JPH0636196U - イオン源電極冷却装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電極カバ−に高融点材料を使用しなくてもよ
く、低コストにする。 【構成】 加速電極１の両側に平行に配設され電極１に
接触した水冷用大パイプ５と、両大パイプ５間に配設さ
れそれぞれ両端が両大パイプ５に連通し電極１に密接し
た複数本の水冷用小パイプ６と、各小パイプ６をそれぞ
れ覆ったパイプカバ−７と、両大パイプ５及び電極１の
両側をそれぞれ覆い大パイプ５に接触した電極カバ−８
とを備える。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、イオン源装置における加速電極を冷却水により冷却するようにした イオン源電極冷却装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来のイオン源電極の冷却装置は、平面図の図３，一部の切断正面図の図４及 び切断側面図の図５に示す構成になっている。 それらの図において、１はマ−クチャンバ２と真空チャンバ３間に設けられた 加速電極、４はプラズマ、５は電極１の上面の両側に平行に配設され電極１に接 触した水冷用大パイプ、６は複数本の水冷用小パイプであり、両大パイプ５間に 配設され、両端が両大パイプ５に連通し、電極１に接触している。

【０００３】 ７は小パイプ６を覆ったパイプカバ−、８は電極１の両側の電極カバ−であり 、大パイプ５及び電極１の側部を覆い、大パイプ５との間に隙間が形成されてい る。９は電極１の上面と電極カバ−８の下面との間に配設されたカラ−、１０は ねじであり、電極カバ−８の透孔及びカラ−９に挿通され、先端が電極１に螺合 し、電極カバ−８を保持し、パイプカバ−７及び電極カバ−８は、それぞれ小パ イプ６及び大パイプ５がプラズマ４により損傷を受けないように設けられている 。 そして、一方の大パイプ５から冷却水が流入され、各小パイプ６に分流し、他 方の大パイプ５に合流し、電極１を冷却している。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

従来の前記冷却装置の場合、電極カバ−８と大パイプ５との間に隙間があり、 電極カバ−８が大パイプ５の冷却水により冷却されないため、高温度になり、と くに大電流のイオンビ−ムを引き出すときなど、高密度のプラズマ４を必要とす る場合、温度上昇が大きく、そのため高価な高融点材料を使用せねばならず、コ スト高になるという問題点がある。 本考案は、前記の点に留意し、電極カバ−に高融点材料を使用しなくてよく、 低コストになるようにしたイオン源電極冷却装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

前記課題を解決するために、本考案のイオン源電極冷却装置は、加速電極の両 側に平行に配設され電極に接触した水冷用大パイプと、両大パイプ間に配設され それぞれ両端が両大パイプに連通し電極に密接した複数本の水冷用小パイプと、 各小パイプをそれぞれ覆ったパイプカバ−と、両大パイプ及び電極の両側をそれ ぞれ覆い大パイプに接触した電極カバ−とを備えたものである。

【０００６】

【作用】

前記のように構成された本考案のイオン源電極冷却装置は、電極の両側の電極 カバ−が水冷用大パイプに接触しているため、電極カバ−が大パイプを流れる冷 却水により冷却され、高密度のプラズマを必要とする場合でも、電極カバ−に高 融点材料を使用しなくてもよい。

【０００７】

【実施例】

実施例について図１及び図２を参照して説明する。それらの図において図３な いし図５と同一符号は同一もしくは相当するものを示す。 まず、１実施例の一部の切断側面図を示した図１において、図５と異なる点は 、カラ−９が短く、電極カバ−８の下面が水冷用大パイプ５に接触している点で あり、大パイプ５と電極カバ−８との間に隙間がなく、電極カバ−８が大パイプ ５を流れる冷却水により直接冷却され、高温になるのが防止される。

【０００８】 つぎに、他の実施例を示した図２は、図１の大パイプ５が丸形であるのに対し 、大パイプ５を四角形にしたものであり、この場合、大パイプ５と電極１及び電 極カバ−８との接触面積が大になり、冷却効果が増進される。 なお、大パイプ５及び小パイプ６は熱伝導の良好な材料が適しているのは勿論 である。

【０００９】

【考案の効果】

本考案は、以上説明したように構成されているため、つぎに記載する効果を奏 する。 本考案のイオン源電極冷却装置は、電極１の両側の電極カバ−８が水冷用大パ イプ５に接触しているため、電極カバ−８が大パイプ５を流れる冷却水により冷 却され、高密度のプラズマを必要とする場合でも、電極カバ−８に高融点材料を 使用しなくてもよく、低コストにすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の１実施例の一部の切断側面図である。

【図２】本考案の他の実施例の一部の切断側面図であ
る。

【図３】従来例の平面図である。

【図４】図３の一部の切断正面図である。

【図５】図３の切断側面図である。

【符号の説明】

１ 加速電極 ５ 水冷用大パイプ ６ 水冷用小パイプ ７ パイプカバ− ８ 電極カバ−

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 加速電極の両側に平行に配設され前記電
   極に接触した水冷用大パイプと、 該両大パイプ間に配設されそれぞれ両端が前記両大パイ
   プに連通し前記電極に密接した複数本の水冷用小パイプ
   と、 該各小パイプをそれぞれ覆ったパイプカバ−と、 前記両大パイプ及び前記電極の両側をそれぞれ覆い前記
   大パイプに接触した電極カバ−とを備えたイオン源電極
   冷却装置。