JPH0636430Y2 - 循環式クリーン恒温器 - Google Patents
循環式クリーン恒温器Info
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- JPH0636430Y2 JPH0636430Y2 JP10949288U JP10949288U JPH0636430Y2 JP H0636430 Y2 JPH0636430 Y2 JP H0636430Y2 JP 10949288 U JP10949288 U JP 10949288U JP 10949288 U JP10949288 U JP 10949288U JP H0636430 Y2 JPH0636430 Y2 JP H0636430Y2
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 6
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Landscapes
- Other Air-Conditioning Systems (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はヒータで加熱した気体をフィルタに通して器内
に循環させて所定の器内清浄度および温度を得るように
した循環式クリーン恒温器に関する。
に循環させて所定の器内清浄度および温度を得るように
した循環式クリーン恒温器に関する。
この種の恒温器は、近年、各種半導体製造、液晶ディス
プレイパネル製造等の塵埃をきらう高温接着処理分野等
において広く用いられている。
プレイパネル製造等の塵埃をきらう高温接着処理分野等
において広く用いられている。
この種の恒温器においては、特に清浄度の維持が重要視
され、所定の清浄度を確保するために高温用ヘパ（HEP
A）フィルタが採用されている。
され、所定の清浄度を確保するために高温用ヘパ（HEP
A）フィルタが採用されている。
このヘパフィルタは恒温器内温度が一定に保たれるとき
には問題視すべき自己発塵を起こさないが、これが温度
変化にさらされたとき、例えば恒温器において試料出し
入れのための扉の開閉に伴って器内温度が降下、上昇す
る場合、扉開閉なしで高温時を含めた温度サイクル条件
で器内温度が上昇、降下する場合には発塵することが判
り、問題視されていた。
には問題視すべき自己発塵を起こさないが、これが温度
変化にさらされたとき、例えば恒温器において試料出し
入れのための扉の開閉に伴って器内温度が降下、上昇す
る場合、扉開閉なしで高温時を含めた温度サイクル条件
で器内温度が上昇、降下する場合には発塵することが判
り、問題視されていた。
特に近年は、各種製品の生産性を向上させるために、恒
温器における熱処理温度が高く設定される傾向にあり、
その結果、恒温器内温度変化が一層大きくなる傾向にあ
り、このような状況下ではヘパフィルタからの発塵はま
すます無視できないものとなり、温度変化に対し発塵性
の小さい、高温用ヘパフィルタの出現が強く要請されて
いた。
温器における熱処理温度が高く設定される傾向にあり、
その結果、恒温器内温度変化が一層大きくなる傾向にあ
り、このような状況下ではヘパフィルタからの発塵はま
すます無視できないものとなり、温度変化に対し発塵性
の小さい、高温用ヘパフィルタの出現が強く要請されて
いた。
この要請に応え、ごく最近になって高温約300℃または
それ以上までの温度変化に対して発塵性がきわめて小さ
く、高度の清浄度を維持できる高温用ヘパフィルタが開
発された。
それ以上までの温度変化に対して発塵性がきわめて小さ
く、高度の清浄度を維持できる高温用ヘパフィルタが開
発された。
しかしながら、これまでの循環式クリーン恒温器におけ
る清浄度の改良は専ら前述の如きヘパフィルタの改良に
のみ向けられており、このヘパフィルタをフィルタ支持
体へ取り付ける際に該フィルタと該支持体との間に介在
させるシール手段についてはまったく無視されていた。
る清浄度の改良は専ら前述の如きヘパフィルタの改良に
のみ向けられており、このヘパフィルタをフィルタ支持
体へ取り付ける際に該フィルタと該支持体との間に介在
させるシール手段についてはまったく無視されていた。
一般に、フィルタメーカにおけるフィルタによる清浄化
度の実験は第４図のように行われる。すなわち、被験フ
ィルタＦをガスケットG1、G2と共に風洞W1、W2の間に挟
着し、一方の風洞W1に送風機Ｂ、ヒータＨおよび粉塵供
給管Ｐを臨ませるとともに他方の風洞W2にはパーティク
ルカウンタＣを配置して行う。従ってガスケットG1、G2
は大気開放状態にセットされ、ガスケットG1、G2部分か
ら発塵があったり、塵埃の漏れがあったとしても風洞内
陽圧に押されて外部へ逃げるので、パーティクルカウン
タＣに捕獲されることはなく、ガスケットに関する問題
は気付かれることはなかった。
度の実験は第４図のように行われる。すなわち、被験フ
ィルタＦをガスケットG1、G2と共に風洞W1、W2の間に挟
着し、一方の風洞W1に送風機Ｂ、ヒータＨおよび粉塵供
給管Ｐを臨ませるとともに他方の風洞W2にはパーティク
ルカウンタＣを配置して行う。従ってガスケットG1、G2
は大気開放状態にセットされ、ガスケットG1、G2部分か
ら発塵があったり、塵埃の漏れがあったとしても風洞内
陽圧に押されて外部へ逃げるので、パーティクルカウン
タＣに捕獲されることはなく、ガスケットに関する問題
は気付かれることはなかった。
この実験方法は前記改良されたフィルタについても同様
であり、これが密閉された循環式恒温器内にガスケット
と共に取り付けられて器内清浄度が実験されることはな
かった。
であり、これが密閉された循環式恒温器内にガスケット
と共に取り付けられて器内清浄度が実験されることはな
かった。
本考案者は、循環式クリーン恒温器内の清浄度を改良す
るにあたり、器内フィルタとして前記改良されたフィル
タを採用し、恒温器内温度を約300℃として器内清浄度
の測定をしたのであるが、フィルタが達成し得る清浄度
が十分達成されないこと、その原因がフィルタとこれを
支持する支持体との間に介在するガスケットにあること
を見出した。すなわち、ガスケットが幅広い温度変化に
十分追随できず、その復元性に難点があってガスケット
取付け部分に間隔が発生したり、ガスケット自体からも
発塵があることを見出した。
るにあたり、器内フィルタとして前記改良されたフィル
タを採用し、恒温器内温度を約300℃として器内清浄度
の測定をしたのであるが、フィルタが達成し得る清浄度
が十分達成されないこと、その原因がフィルタとこれを
支持する支持体との間に介在するガスケットにあること
を見出した。すなわち、ガスケットが幅広い温度変化に
十分追随できず、その復元性に難点があってガスケット
取付け部分に間隔が発生したり、ガスケット自体からも
発塵があることを見出した。
なお、このとき使用したガスケットは恒温器等において
従来から採用されている高温用無機質ガスケット（ガラ
ス繊維ペーパ等）であった。
従来から採用されている高温用無機質ガスケット（ガラ
ス繊維ペーパ等）であった。
そこで本考案は、恒温器内温度が所定の高温に維持され
ているときは勿論のこと、扉の開閉や温度サイクル条件
によって上下する場合でも、フィルタガスケット部分か
らの問題視すべき自己発塵や塵埃の漏洩がなく、器内を
フィルタに応じた所定の清浄度に維持することができる
循環式クリーン恒温器を提供することを目的とする。
ているときは勿論のこと、扉の開閉や温度サイクル条件
によって上下する場合でも、フィルタガスケット部分か
らの問題視すべき自己発塵や塵埃の漏洩がなく、器内を
フィルタに応じた所定の清浄度に維持することができる
循環式クリーン恒温器を提供することを目的とする。
本考案者は前記目的を達成すべく研究の結果、これまで
恒温器のフィルタ用ガスケットの分野では使用されてい
なかっ弗素樹脂製ガスケットに着目し、本考案を完成し
た。
恒温器のフィルタ用ガスケットの分野では使用されてい
なかっ弗素樹脂製ガスケットに着目し、本考案を完成し
た。
すなわち本考案は、ヒータで加熱した気体をフィルタに
通して器内に循環させて所定の器内清浄度及び温度を得
るようにした循環式クリーン恒温器において、前記フィ
ルタを支持する器内支持体と該フィルタとの間に柔軟性
ある弗素樹脂製ガスケットを介在させたことを特徴とす
る恒温器を提供するものである。
通して器内に循環させて所定の器内清浄度及び温度を得
るようにした循環式クリーン恒温器において、前記フィ
ルタを支持する器内支持体と該フィルタとの間に柔軟性
ある弗素樹脂製ガスケットを介在させたことを特徴とす
る恒温器を提供するものである。
この弗素樹脂製ガスケットとしてはマシュマロ状ないし
スポンジ状の柔軟性ある四弗化エチレン樹脂製ガスケッ
トを例示できる。
スポンジ状の柔軟性ある四弗化エチレン樹脂製ガスケッ
トを例示できる。
より具体的には、例えば日本ピラー工業株式会社製のマ
シュマロ状四弗化エチレン樹脂製ジョイントシーラント
（商品名GORE−TEX）、エフビー工業株式会社製マシュ
マロ状四弗化エチレン樹脂製ガスケット（商品名♯4225
スーパーシール）等を利用できる。
シュマロ状四弗化エチレン樹脂製ジョイントシーラント
（商品名GORE−TEX）、エフビー工業株式会社製マシュ
マロ状四弗化エチレン樹脂製ガスケット（商品名♯4225
スーパーシール）等を利用できる。
本考案恒温器によると、恒温器内温度が所定の高温に維
持されているときは勿論のこと、扉の開閉や温度サイク
ル条件によって上下する場合でも、弗素樹脂製ガスケッ
トはガスケット機能を発揮しフィルタにより達成され得
る清浄度がそのまま、またはそれに近い清浄度が恒温器
内に達成される。
持されているときは勿論のこと、扉の開閉や温度サイク
ル条件によって上下する場合でも、弗素樹脂製ガスケッ
トはガスケット機能を発揮しフィルタにより達成され得
る清浄度がそのまま、またはそれに近い清浄度が恒温器
内に達成される。
以下、本考案の実施例を図面を参照して説明する。
第１図は恒温器の概略断面を示し、第２図は恒温器内の
ヘパフィルタ支持枠にヘパフィルタを取りつけた状態を
正面から見たものである。
ヘパフィルタ支持枠にヘパフィルタを取りつけた状態を
正面から見たものである。
図示の恒温器は前面開口部１を残して周囲が断熱壁体２
によって囲まれている。
によって囲まれている。
開口部１は断熱扉３によって開閉される。
器内上部には電熱ヒータ４及び気体循環兼撹拌用ファン
５が設けられている。このファン５はモータＭによって
駆動される。
５が設けられている。このファン５はモータＭによって
駆動される。
また、器内奥部には上下２段に高温用ヘパフィルタ６が
配置されている。該ヘパフィルタは器内に設けたフィル
タ支持枠８に対しガスケット７を介して押しつけられて
いる。該フィルタの押しつけは、支持枠８に立て設けた
ネジ棒81にフィルタ押さえ板61、62を嵌めるとともに、
押さえ板61、62の外側に突出したネジ棒先端にナット82
を螺合締め付けすることにより行われる。
配置されている。該ヘパフィルタは器内に設けたフィル
タ支持枠８に対しガスケット７を介して押しつけられて
いる。該フィルタの押しつけは、支持枠８に立て設けた
ネジ棒81にフィルタ押さえ板61、62を嵌めるとともに、
押さえ板61、62の外側に突出したネジ棒先端にナット82
を螺合締め付けすることにより行われる。
前記扉３の恒温器開口部１に臨む内面は孔開き板32によ
って形成されており、該板32の内側には凹所31が形成さ
れている。板32の孔は器内の物品収容部10における温度
分布を均一にすべく気流を分配するように設けられてい
る。
って形成されており、該板32の内側には凹所31が形成さ
れている。板32の孔は器内の物品収容部10における温度
分布を均一にすべく気流を分配するように設けられてい
る。
前記恒温器内物品収容部10の寸法は、ほぼ横幅580mm×
高さ1080mm×奥行480mmである。
高さ1080mm×奥行480mmである。
また、前記各フィルタ６は400℃高温用ヘパフィルタで
それ自身は清浄度クラス100を達成できるもの（日本無
機株式会社製）である。フィルタ寸法はほぼ縦537mm×
横540mm×厚さ100mmである。
それ自身は清浄度クラス100を達成できるもの（日本無
機株式会社製）である。フィルタ寸法はほぼ縦537mm×
横540mm×厚さ100mmである。
なお、本明細書において清浄度を示す「クラス」は米国
連邦規格（FS）209Bに基づき、1cf（立方フィート）当
たりの粒子径0.5μｍ以上の粒子数を10倍して得られる
値である。
連邦規格（FS）209Bに基づき、1cf（立方フィート）当
たりの粒子径0.5μｍ以上の粒子数を10倍して得られる
値である。
前記各ガスケット６はマシュマロ状の柔軟性ある四弗化
エチレン樹脂製ガスケット（日本ピラー工業株式会社製
ジョイントシーラント 商品名 GORE−TEX ピラーNo.
3300）であり、フィルタ６の周縁部に沿って配置され、
両端は突き合わせ配置されている。
エチレン樹脂製ガスケット（日本ピラー工業株式会社製
ジョイントシーラント 商品名 GORE−TEX ピラーNo.
3300）であり、フィルタ６の周縁部に沿って配置され、
両端は突き合わせ配置されている。
前記実施例によると、器内気体はヒータ４によって加熱
されたのち、ファン５によってフィルタ６の背後に送ら
れ、該フィルタを通過することによって所定の清浄度に
浄化されたのち、物品収容部10に入り、そこから扉内面
の孔開き板32を通過して扉凹所31へ進入し、該凹所を上
昇して再び加熱器４へ導かれる。
されたのち、ファン５によってフィルタ６の背後に送ら
れ、該フィルタを通過することによって所定の清浄度に
浄化されたのち、物品収容部10に入り、そこから扉内面
の孔開き板32を通過して扉凹所31へ進入し、該凹所を上
昇して再び加熱器４へ導かれる。
前記実施例恒温器によると、物品収容部10への試料出し
入れのための扉３の開閉に伴って器内温度が降下、上昇
する場合やと扉３を閉めきったまま温度サイクル条件下
に器内温度が上昇、降下する場合等の温度変化時を含
め、所定の高温状態が維持される場合においてもガスケ
ット７はその機能を十分発揮し、ガスケット７部分から
の自己発塵や塵埃漏洩はきわめて少なく、フィルタ６に
より達成される清浄度に近い清浄度が得られる。
入れのための扉３の開閉に伴って器内温度が降下、上昇
する場合やと扉３を閉めきったまま温度サイクル条件下
に器内温度が上昇、降下する場合等の温度変化時を含
め、所定の高温状態が維持される場合においてもガスケ
ット７はその機能を十分発揮し、ガスケット７部分から
の自己発塵や塵埃漏洩はきわめて少なく、フィルタ６に
より達成される清浄度に近い清浄度が得られる。
前記実施例における器内清浄度を従来の無機質ガスケッ
トを使用した場合と比較する実験を行ったところ、第３
図に示す結果を得た。
トを使用した場合と比較する実験を行ったところ、第３
図に示す結果を得た。
この実験では、図示しないパーティクルカウンタ（リオ
ン株式会社製KC−01A）が用いられ、その集塵チューブ
口は第１図に示す物品収容部10の中心部Ｐに配置され
た。
ン株式会社製KC−01A）が用いられ、その集塵チューブ
口は第１図に示す物品収容部10の中心部Ｐに配置され
た。
また、従来ガスケットにはガラス繊維ペーパからなるも
のが採用された。
のが採用された。
温度変化は常温から約300℃までとした。
なお、第３図において一点鎖線はクラス100を、実線の
太線は実施例による清浄度を、破線は従来ガスケットを
用いた比較例による清浄度を、また、実線の細線は器内
温度をそれぞれ示している。
太線は実施例による清浄度を、破線は従来ガスケットを
用いた比較例による清浄度を、また、実線の細線は器内
温度をそれぞれ示している。
第３図から判るように、実施例によると、器内温度変化
時及び300℃時のいずれにおいても器内はフィルタ６に
より達成される清浄度クラス100に近い清浄度に維持さ
れている。
時及び300℃時のいずれにおいても器内はフィルタ６に
より達成される清浄度クラス100に近い清浄度に維持さ
れている。
本考案によると、恒温器内温度が所定の高温に維持され
ているときは勿論のこと、扉の開閉や温度サイクル条件
によって上下する場合でも、フィルタガスケット部分か
らの問題視すべき自己発塵や塵埃の漏洩がなく、器内を
フィルタに応じて所定の清浄度に維持することができる
循環式クリーン恒温器を提供することができる。
ているときは勿論のこと、扉の開閉や温度サイクル条件
によって上下する場合でも、フィルタガスケット部分か
らの問題視すべき自己発塵や塵埃の漏洩がなく、器内を
フィルタに応じて所定の清浄度に維持することができる
循環式クリーン恒温器を提供することができる。
第１図は本考案の一実施例の概略断面図、第２図はフィ
ルタ支持枠にフィルタを取りつけた状態の正面図、第３
図は実施例と比較例による恒温器内温度変化に対する器
内清浄度測定実験結果を示すグラフ、第４図はフィルタ
の浄化能力実験の説明図である。 10…物品収容部、 ４…ヒータ、 ５…ファン、 ６…フィルタ、 ７…ガスケット、 ８…フィルタ支持枠。
ルタ支持枠にフィルタを取りつけた状態の正面図、第３
図は実施例と比較例による恒温器内温度変化に対する器
内清浄度測定実験結果を示すグラフ、第４図はフィルタ
の浄化能力実験の説明図である。 10…物品収容部、 ４…ヒータ、 ５…ファン、 ６…フィルタ、 ７…ガスケット、 ８…フィルタ支持枠。
Claims (2)
- 【請求項１】ヒータで加熱した気体をフィルタに通して
器内に循環させて所定の器内清浄度および温度を得るよ
うにした循環式クリーン恒温器において、前記フィルタ
を支持する器内支持体と該フィルタとの間に柔軟性ある
弗素樹脂製ガスケットを介在させたことを特徴とする恒
温器。 - 【請求項２】前記ガスケットが四弗化エチレン樹脂製の
マシュマロ状ないしスポンジ状の柔軟性あるガスケット
である請求項１記載の恒温器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10949288U JPH0636430Y2 (ja) | 1988-08-19 | 1988-08-19 | 循環式クリーン恒温器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10949288U JPH0636430Y2 (ja) | 1988-08-19 | 1988-08-19 | 循環式クリーン恒温器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0230829U JPH0230829U (ja) | 1990-02-27 |
| JPH0636430Y2 true JPH0636430Y2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=31345783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10949288U Expired - Lifetime JPH0636430Y2 (ja) | 1988-08-19 | 1988-08-19 | 循環式クリーン恒温器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0636430Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2624597B2 (ja) * | 1991-12-27 | 1997-06-25 | タバイエスペック株式会社 | クリーンオーブン |
| JP4789352B2 (ja) * | 2001-06-19 | 2011-10-12 | キヤノン株式会社 | 露光装置およびデバイス製造方法 |
| JP2007307445A (ja) * | 2006-05-16 | 2007-11-29 | Espec Corp | エアーフィルタユニット、及びこのエアーフィルタユニットを備えた熱処理装置 |
-
1988
- 1988-08-19 JP JP10949288U patent/JPH0636430Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0230829U (ja) | 1990-02-27 |
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