JPH063714A - 非線形光学薄膜素子およびその作製方法 - Google Patents
非線形光学薄膜素子およびその作製方法Info
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- JPH063714A JPH063714A JP18613692A JP18613692A JPH063714A JP H063714 A JPH063714 A JP H063714A JP 18613692 A JP18613692 A JP 18613692A JP 18613692 A JP18613692 A JP 18613692A JP H063714 A JPH063714 A JP H063714A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 非線形感受率が高く非線形光学材料として優
れた特性を有する３−メチル−４−ニトロピリジン−Ｎ
−オキシド（ＰＯＭ）の薄膜結晶からなる非線形光学薄
膜素子を得る。 【構成】 非線形光学薄膜素子は、３−メチル−４−ニ
トロピリジン−Ｎ−オキシド（ＰＯＭ）の薄膜結晶層お
よびＰＯＭの昇華を防止するための透明保護層が基板上
に順次積層された構造を有している。この場合、ＰＯＭ
の薄膜結晶層は、基板を０℃以下に冷却してＰＯＭを真
空蒸着することにより形成する。
れた特性を有する３−メチル−４−ニトロピリジン−Ｎ
−オキシド（ＰＯＭ）の薄膜結晶からなる非線形光学薄
膜素子を得る。 【構成】 非線形光学薄膜素子は、３−メチル−４−ニ
トロピリジン−Ｎ−オキシド（ＰＯＭ）の薄膜結晶層お
よびＰＯＭの昇華を防止するための透明保護層が基板上
に順次積層された構造を有している。この場合、ＰＯＭ
の薄膜結晶層は、基板を０℃以下に冷却してＰＯＭを真
空蒸着することにより形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザーの波長変換
素子等として有用な、有機化合物からなる非線形光学薄
膜素子およびその作製方法に関する。
素子等として有用な、有機化合物からなる非線形光学薄
膜素子およびその作製方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】非線形光学材料は、該材料を透過した光
が高調波に変換されることから、波長変換素子、光変調
器等の光学素子として使用される。従来、非線形光学材
料としては、ＫＤＰ（リン酸二水素カリウム）等の無機
系材料が使用されているが、近年では非線形感受率が高
いことなどから有機系の非線形光学材料が注目されてい
る。例えば、下記構造式を有する３−メチル−４−ニト
ロピリジン−Ｎ−オキシド（以下ＰＯＭと称する）は、
カットオフ波長が４１４ｎｍと短波長であり、青色の波
長領域でも非線形光学特性を発現し、２次の非線形性能
指数もＫＤＰと比較して１６００倍高いという優れた特
徴を有するので注目されており（Laser& Optics,p59,19
87.11. ）、そのバルク結晶について、第２高調波発
生、パラメトリック発振等が観測されている（J.Zyss,
D.S.Chemia and J.F.Nicoud,Journalof Chemical Physi
cs,74,p4800,1981; J.Zyss,I.Ledoux,R.B.Hierle,R.K.
Rajand J.L.Oudar, IEEE Journal of Quantum Electron
ics,QE-21,p1286,1985 ）。
が高調波に変換されることから、波長変換素子、光変調
器等の光学素子として使用される。従来、非線形光学材
料としては、ＫＤＰ（リン酸二水素カリウム）等の無機
系材料が使用されているが、近年では非線形感受率が高
いことなどから有機系の非線形光学材料が注目されてい
る。例えば、下記構造式を有する３−メチル−４−ニト
ロピリジン−Ｎ−オキシド（以下ＰＯＭと称する）は、
カットオフ波長が４１４ｎｍと短波長であり、青色の波
長領域でも非線形光学特性を発現し、２次の非線形性能
指数もＫＤＰと比較して１６００倍高いという優れた特
徴を有するので注目されており（Laser& Optics,p59,19
87.11. ）、そのバルク結晶について、第２高調波発
生、パラメトリック発振等が観測されている（J.Zyss,
D.S.Chemia and J.F.Nicoud,Journalof Chemical Physi
cs,74,p4800,1981; J.Zyss,I.Ledoux,R.B.Hierle,R.K.
Rajand J.L.Oudar, IEEE Journal of Quantum Electron
ics,QE-21,p1286,1985 ）。
【０００３】
【化１】
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＰＯＭを小
光強度で動作する非線形デバイスとして使用するために
は、光を有効に利用するためにＰＯＭで光導波路を作製
することが必須となる。しかしながら、そのための技術
は未だ検討段階であり確立していない。すなわち、ＭＮ
Ａ（２−メチル−４−ニトロアニリン）、ＤＡＮ（１−
ジメチルアミノ−２−アセトアミド−４−ニトロベンゼ
ン）等の他の有機系の非線形光学材料においては、当該
材料を溶融後徐冷することによりスラブ状あるいはファ
イバ状の導波路に加工することがなされているが、この
方法をＰＯＭに適用するとＰＯＭが熱分解してしまうの
で適用することはできない。そのため、ＰＯＭの光導波
路の作製方法としては、溶液からの単結晶作製法による
薄膜導波路の作製が試みられているにすぎない。
光強度で動作する非線形デバイスとして使用するために
は、光を有効に利用するためにＰＯＭで光導波路を作製
することが必須となる。しかしながら、そのための技術
は未だ検討段階であり確立していない。すなわち、ＭＮ
Ａ（２−メチル−４−ニトロアニリン）、ＤＡＮ（１−
ジメチルアミノ−２−アセトアミド−４−ニトロベンゼ
ン）等の他の有機系の非線形光学材料においては、当該
材料を溶融後徐冷することによりスラブ状あるいはファ
イバ状の導波路に加工することがなされているが、この
方法をＰＯＭに適用するとＰＯＭが熱分解してしまうの
で適用することはできない。そのため、ＰＯＭの光導波
路の作製方法としては、溶液からの単結晶作製法による
薄膜導波路の作製が試みられているにすぎない。
【０００５】この発明は、このような従来技術の課題を
解決しようとするものであり、ＰＯＭ薄膜結晶からなる
非線形光学薄膜素子を容易に得られるようにし、それに
よりＰＯＭの薄膜光導波路の作製を可能としてＰＯＭを
小光強度で動作する非線形デバイスとして利用できるよ
うにすることを目的としている。
解決しようとするものであり、ＰＯＭ薄膜結晶からなる
非線形光学薄膜素子を容易に得られるようにし、それに
よりＰＯＭの薄膜光導波路の作製を可能としてＰＯＭを
小光強度で動作する非線形デバイスとして利用できるよ
うにすることを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明者は、真空蒸着
によりＰＯＭの結晶薄膜を形成し、さらにその上に透明
保護層を設けるとＰＯＭを薄膜結晶の形態に保持でき、
薄膜光導波路として利用できることを見出し、この発明
を完成させるに至った。
によりＰＯＭの結晶薄膜を形成し、さらにその上に透明
保護層を設けるとＰＯＭを薄膜結晶の形態に保持でき、
薄膜光導波路として利用できることを見出し、この発明
を完成させるに至った。
【０００７】すなわち、この発明は、基板上に、ＰＯＭ
薄膜結晶層および透明保護層が順次積層されてなる非線
形光学薄膜素子を提供する。
薄膜結晶層および透明保護層が順次積層されてなる非線
形光学薄膜素子を提供する。
【０００８】また、このような非線形光学薄膜素子の作
製方法として、基板を０℃以下に冷却してＰＯＭを真空
蒸着することにより基板上にＰＯＭ薄膜結晶層を形成
し、その後その上に透明保護層を形成することを特徴と
する非線形光学薄膜素子の作製方法を提供する。
製方法として、基板を０℃以下に冷却してＰＯＭを真空
蒸着することにより基板上にＰＯＭ薄膜結晶層を形成
し、その後その上に透明保護層を形成することを特徴と
する非線形光学薄膜素子の作製方法を提供する。
【０００９】上記のように、この発明の非線形光学薄膜
素子は、ガラス基板上にＰＯＭ薄膜結晶層および透明保
護層が積層した構造を有している。このＰＯＭ薄膜結晶
層としては、必ずしもＰＯＭ単結晶層を設ける必要はな
いが、非線形光学薄膜素子の用途に応じてＰＯＭ結晶の
大きさがある程度の大きさに成長したＰＯＭの薄膜層を
設ける。例えば、波長変換素子として使用する場合に、
ＰＯＭ結晶の大きさは基本波長よりも大きくすることが
好ましい。
素子は、ガラス基板上にＰＯＭ薄膜結晶層および透明保
護層が積層した構造を有している。このＰＯＭ薄膜結晶
層としては、必ずしもＰＯＭ単結晶層を設ける必要はな
いが、非線形光学薄膜素子の用途に応じてＰＯＭ結晶の
大きさがある程度の大きさに成長したＰＯＭの薄膜層を
設ける。例えば、波長変換素子として使用する場合に、
ＰＯＭ結晶の大きさは基本波長よりも大きくすることが
好ましい。
【００１０】基板上にＰＯＭ薄膜結晶層を形成する方法
としては、この発明の方法により基板の温度を０℃以下
に冷却してＰＯＭを真空蒸着することが好ましい。真空
蒸着法で形成することによりＰＯＭ薄膜結晶層の膜厚を
精密に制御することが可能となり、また、その際の基板
温度を０℃以下に冷却することによりＰＯＭ結晶の成長
したＰＯＭ薄膜結晶層を形成することが可能となる。な
お、真空蒸着によりＰＯＭ薄膜結晶層を形成するに際し
ては、必要に応じてマスキングし、パターン形成しても
よい。これにより微小非線形光学回路への応用が可能と
なる。
としては、この発明の方法により基板の温度を０℃以下
に冷却してＰＯＭを真空蒸着することが好ましい。真空
蒸着法で形成することによりＰＯＭ薄膜結晶層の膜厚を
精密に制御することが可能となり、また、その際の基板
温度を０℃以下に冷却することによりＰＯＭ結晶の成長
したＰＯＭ薄膜結晶層を形成することが可能となる。な
お、真空蒸着によりＰＯＭ薄膜結晶層を形成するに際し
ては、必要に応じてマスキングし、パターン形成しても
よい。これにより微小非線形光学回路への応用が可能と
なる。
【００１１】この発明において、ＰＯＭ薄膜結晶層上に
積層する透明保護層としては、ＰＯＭの昇華を防止でき
る透明層を設ける。ＰＯＭは蒸気圧が高いので、基板上
に単にその薄膜結晶層を形成しただけでは室温で速やか
に昇華して消失してしまうが、透明保護層を設けること
により、ＰＯＭ薄膜結晶層を基板上に安定的に保持させ
ることが可能となる。
積層する透明保護層としては、ＰＯＭの昇華を防止でき
る透明層を設ける。ＰＯＭは蒸気圧が高いので、基板上
に単にその薄膜結晶層を形成しただけでは室温で速やか
に昇華して消失してしまうが、透明保護層を設けること
により、ＰＯＭ薄膜結晶層を基板上に安定的に保持させ
ることが可能となる。
【００１２】このような透明保護層としては、種々の有
機化合物あるいは無機化合物からなる透明層を設けるこ
とができ、例えば、ポリスチレン、ポリメチルメタクリ
レート、ポリブタジエン、ポリエチレン、ポリエチレン
グリコール、ポリイソブチレン、ポリメチルスチレン等
の有機高分子化合物からなる透明膜、あるいはフッ化マ
グネシウム、氷晶石等からなる透明膜を設けることがで
きる。
機化合物あるいは無機化合物からなる透明層を設けるこ
とができ、例えば、ポリスチレン、ポリメチルメタクリ
レート、ポリブタジエン、ポリエチレン、ポリエチレン
グリコール、ポリイソブチレン、ポリメチルスチレン等
の有機高分子化合物からなる透明膜、あるいはフッ化マ
グネシウム、氷晶石等からなる透明膜を設けることがで
きる。
【００１３】透明保護層の形成方法としては、真空蒸着
によることが好ましい。これによりＰＯＭ薄膜結晶層を
真空蒸着により形成した後、引続き同装置で透明保護層
を形成することが可能となる。
によることが好ましい。これによりＰＯＭ薄膜結晶層を
真空蒸着により形成した後、引続き同装置で透明保護層
を形成することが可能となる。
【００１４】
【作用】この発明の非線形光学薄膜素子によれば、基板
上のＰＯＭ薄膜結晶層上にさらに透明保護層が積層され
ているので、非線形感受率が高く非線形光学材料として
優れた特性を有するＰＯＭの薄膜結晶層が、昇華により
消失することなく基板上に安定的に保持される。
上のＰＯＭ薄膜結晶層上にさらに透明保護層が積層され
ているので、非線形感受率が高く非線形光学材料として
優れた特性を有するＰＯＭの薄膜結晶層が、昇華により
消失することなく基板上に安定的に保持される。
【００１５】また、この発明の非線形光学薄膜素子の作
製方法によれば、ＰＯＭ薄膜結晶層を真空蒸着により形
成するので、その膜厚を精密に制御することが可能とな
り、さらに蒸着時にマスキングすることによりパターン
形成することも可能となる。また、この発明の非線形光
学薄膜素子の作製方法によれば、基板温度を０℃以下に
冷却するので、ＰＯＭ薄膜結晶層中のＰＯＭ結晶の大き
さを、波長変換素子として使用する際の基本波に対して
十分に大きくすることが可能となる。
製方法によれば、ＰＯＭ薄膜結晶層を真空蒸着により形
成するので、その膜厚を精密に制御することが可能とな
り、さらに蒸着時にマスキングすることによりパターン
形成することも可能となる。また、この発明の非線形光
学薄膜素子の作製方法によれば、基板温度を０℃以下に
冷却するので、ＰＯＭ薄膜結晶層中のＰＯＭ結晶の大き
さを、波長変換素子として使用する際の基本波に対して
十分に大きくすることが可能となる。
【００１６】
【実施例】以下、この発明を実施例に基づいて具体的に
説明する。
説明する。
【００１７】実施例１ 図１は、この発明の非線形光学薄膜素子を作製するに際
して使用した真空蒸着装置の構成図である。同図の真空
蒸着装置は、Ｎ２ガスを電磁弁１を介して矢印のように
液体Ｎ２デュア２に供給し、デュア２内の液体Ｎ２から
気化した低温のＮ２ガスを蒸着室３内の基板装着部４の
裏面に供給することにより基板装着部４を冷却できるよ
うになっている。また、基板装着部４には熱電対５が設
けられており、温度コントローラ６でＮ２ガスの供給量
を制御して基板装着部４の温度を制御できるようになっ
ている。
して使用した真空蒸着装置の構成図である。同図の真空
蒸着装置は、Ｎ２ガスを電磁弁１を介して矢印のように
液体Ｎ２デュア２に供給し、デュア２内の液体Ｎ２から
気化した低温のＮ２ガスを蒸着室３内の基板装着部４の
裏面に供給することにより基板装着部４を冷却できるよ
うになっている。また、基板装着部４には熱電対５が設
けられており、温度コントローラ６でＮ２ガスの供給量
を制御して基板装着部４の温度を制御できるようになっ
ている。
【００１８】このような装置を使用して、蒸着基板とし
てガラス基板を用い、ＰＯＭ蒸発源をタングステン製蒸
発ボート（フルウチ化学製、ＢＰ−１６）に入れ、基板
温度を−４℃に設定してＰＯＭを厚さ５００ｎｍ蒸着し
た。この場合、蒸着開始時の真空度は１０−３Ｐａもし
くはそれより高い真空度とした。また、蒸着は抵抗加熱
法で行い、電源は２．５Ｖ、１００Ａの電流可変のもの
を使用した。ＰＯＭ蒸発源の蒸発速度およびガラス基板
上の蒸着膜の膜厚は水晶振動式の膜厚計を用いて測定し
た。
てガラス基板を用い、ＰＯＭ蒸発源をタングステン製蒸
発ボート（フルウチ化学製、ＢＰ−１６）に入れ、基板
温度を−４℃に設定してＰＯＭを厚さ５００ｎｍ蒸着し
た。この場合、蒸着開始時の真空度は１０−３Ｐａもし
くはそれより高い真空度とした。また、蒸着は抵抗加熱
法で行い、電源は２．５Ｖ、１００Ａの電流可変のもの
を使用した。ＰＯＭ蒸発源の蒸発速度およびガラス基板
上の蒸着膜の膜厚は水晶振動式の膜厚計を用いて測定し
た。
【００１９】ＰＯＭをガラス基板に蒸着後、さらに同装
置でスチレンオリゴマー（分子量１２５０）を別の蒸発
ボートから蒸発させて厚さ２００ｎｍに蒸着し、この発
明の非線形光学薄膜素子を作製した。そして、この非線
形光学薄膜素子の温度が室温に上昇した後、それを装置
から取り出した。
置でスチレンオリゴマー（分子量１２５０）を別の蒸発
ボートから蒸発させて厚さ２００ｎｍに蒸着し、この発
明の非線形光学薄膜素子を作製した。そして、この非線
形光学薄膜素子の温度が室温に上昇した後、それを装置
から取り出した。
【００２０】得られた非線形光学薄膜素子を光学顕微鏡
で観察したところ、１０〜４０μｍ程度の結晶が観察さ
れた。
で観察したところ、１０〜４０μｍ程度の結晶が観察さ
れた。
【００２１】また、図２に示した構成の第２高調波観測
装置において、得られた非線形光学薄膜素子を試料室に
載置し、ＸｅＣｌエキシマレーザ（波長３０８ｎｍ）励
起の色素レーザ（レーザ色素、スチリル９）で波長８６
０ｎｍの光を照射し、第２高調波を観測した。この場
合、パルス当りのエネルギーは１．６ｍＪ、パルス幅は
約２０ｎｓとした。この結果、色素レーザの発振波形に
対応して発生する第２高調波の波形は、トランジェント
デジタイザで図３に示したように観測された。また、比
較のため、この発明の非線形光学薄膜素子の代わりに粉
末のＰＯＭを使用して、同様に第２高調波を観測した。
この結果も図３に示した。これにより、この発明の非線
形光学薄膜素子を使用した場合の第２高調波の強度は、
粉末のＰＯＭを使用した場合に比べて約１０倍以上大き
く、この発明の有効性が確認された。このようにこの発
明の非線形光学素子により大きい強度が得られるのは、
非線形相互作用をする距離が結晶形成により増大したた
めと思われる。
装置において、得られた非線形光学薄膜素子を試料室に
載置し、ＸｅＣｌエキシマレーザ（波長３０８ｎｍ）励
起の色素レーザ（レーザ色素、スチリル９）で波長８６
０ｎｍの光を照射し、第２高調波を観測した。この場
合、パルス当りのエネルギーは１．６ｍＪ、パルス幅は
約２０ｎｓとした。この結果、色素レーザの発振波形に
対応して発生する第２高調波の波形は、トランジェント
デジタイザで図３に示したように観測された。また、比
較のため、この発明の非線形光学薄膜素子の代わりに粉
末のＰＯＭを使用して、同様に第２高調波を観測した。
この結果も図３に示した。これにより、この発明の非線
形光学薄膜素子を使用した場合の第２高調波の強度は、
粉末のＰＯＭを使用した場合に比べて約１０倍以上大き
く、この発明の有効性が確認された。このようにこの発
明の非線形光学素子により大きい強度が得られるのは、
非線形相互作用をする距離が結晶形成により増大したた
めと思われる。
【００２２】実施例２ ガラス基板の温度を−２５℃に設定し、実施例１と同様
にしてＰＯＭを厚さ５００ｎｍ蒸着し、その後スチレン
オリゴマー（分子量１２５０）を厚さ２００ｎｍ蒸着し
た。そして、この基板の温度が室温に上昇した後、それ
を装置から取り出した。これを光学顕微鏡で観察したと
ころ、２０〜５０μｍの大きさの結晶が観察された。
にしてＰＯＭを厚さ５００ｎｍ蒸着し、その後スチレン
オリゴマー（分子量１２５０）を厚さ２００ｎｍ蒸着し
た。そして、この基板の温度が室温に上昇した後、それ
を装置から取り出した。これを光学顕微鏡で観察したと
ころ、２０〜５０μｍの大きさの結晶が観察された。
【００２３】比較例１ ガラス基板の温度を２０℃（室温）に設定し、実施例１
と同様にしてＰＯＭを厚さ２００ｎｍ蒸着した。その後
蒸発ボートが冷却する間にＰＯＭの蒸着膜厚が減少する
のが観察された。５分後に蒸着室を真空状態から常圧に
戻し、ガラス基板を取り出したところ、その基板にはわ
ずかに粉状のＰＯＭが付着していただけであった。
と同様にしてＰＯＭを厚さ２００ｎｍ蒸着した。その後
蒸発ボートが冷却する間にＰＯＭの蒸着膜厚が減少する
のが観察された。５分後に蒸着室を真空状態から常圧に
戻し、ガラス基板を取り出したところ、その基板にはわ
ずかに粉状のＰＯＭが付着していただけであった。
【００２４】比較例２ ガラス基板の温度を２℃に設定し、実施例１と同様にし
てＰＯＭを厚さ５００ｎｍ蒸着し、その後スチレンオリ
ゴマー（分子量１２５０）を厚さ２００ｎｍ蒸着した。
そして、この基板の温度が室温に上昇した後、それを装
置から取り出した。これを光学顕微鏡で観察したとこ
ろ、１〜２μｍの大きさの結晶が観察された。この程度
の大きさの結晶は基本波の波長と同程度であるため光導
波路を作製するのに適当ではなく、ＰＯＭの蒸着時にガ
ラス基板をより低温にすべきことが確認できた。
てＰＯＭを厚さ５００ｎｍ蒸着し、その後スチレンオリ
ゴマー（分子量１２５０）を厚さ２００ｎｍ蒸着した。
そして、この基板の温度が室温に上昇した後、それを装
置から取り出した。これを光学顕微鏡で観察したとこ
ろ、１〜２μｍの大きさの結晶が観察された。この程度
の大きさの結晶は基本波の波長と同程度であるため光導
波路を作製するのに適当ではなく、ＰＯＭの蒸着時にガ
ラス基板をより低温にすべきことが確認できた。
【００２５】比較例３ ガラス基板の温度を−２℃に設定し、実施例１と同様に
してＰＯＭを厚さ５００ｎｍ蒸着した。そしてその上に
スチレンオリゴマーを蒸着させることなく、基板温度を
室温に戻し、それを装置から取り出した。その結果、Ｐ
ＯＭ蒸着膜は昇華して基板上に残存していなかった。そ
こで、ＰＯＭの蒸着時のガラス基板の温度をさらに低く
して同様の実験を繰り返したが、結果は同じであった。
してＰＯＭを厚さ５００ｎｍ蒸着した。そしてその上に
スチレンオリゴマーを蒸着させることなく、基板温度を
室温に戻し、それを装置から取り出した。その結果、Ｐ
ＯＭ蒸着膜は昇華して基板上に残存していなかった。そ
こで、ＰＯＭの蒸着時のガラス基板の温度をさらに低く
して同様の実験を繰り返したが、結果は同じであった。
【００２６】これにより、ＰＯＭの蒸着時にガラス基板
を冷却することによりその基板上にＰＯＭ蒸着膜が形成
されたとしても、ＰＯＭ蒸着膜上にＰＯＭの昇華を防ぐ
保護層が存在しない場合には、ＰＯＭは蒸気圧が高いた
めに昇華して消失することが確認できた。
を冷却することによりその基板上にＰＯＭ蒸着膜が形成
されたとしても、ＰＯＭ蒸着膜上にＰＯＭの昇華を防ぐ
保護層が存在しない場合には、ＰＯＭは蒸気圧が高いた
めに昇華して消失することが確認できた。
【００２７】
【発明の効果】この発明によれば、非線形感受率が高く
非線形光学材料として優れた特性を有するＰＯＭの薄膜
結晶からなる非線形光学薄膜素子を容易に得られるよう
になり、ＰＯＭを小光強度で動作する非線形デバイスと
して利用することが可能となる。
非線形光学材料として優れた特性を有するＰＯＭの薄膜
結晶からなる非線形光学薄膜素子を容易に得られるよう
になり、ＰＯＭを小光強度で動作する非線形デバイスと
して利用することが可能となる。
【図１】非線形光学薄膜素子の作製に使用した真空蒸着
装置の構成図である。
装置の構成図である。
【図２】第２高調波観測装置の構成図である。
【図３】第２高調波の波形図である。
１ 電磁弁 ２ 液体Ｎ２デュア ３ 蒸着室 ４ 基板装着部 ５ 熱電対 ６ 温度コントローラ
Claims (4)
- 【請求項１】 基板上に、３−メチル−４−ニトロピリ
ジン−Ｎ−オキシドの薄膜結晶層および透明保護層が順
次積層されてなる非線形光学薄膜素子。 - 【請求項２】 透明保護層が有機高分子化合物からなる
請求項１記載の非線形光学薄膜素子。 - 【請求項３】 基板を０℃以下に冷却して３−メチル−
４−ニトロピリジン−Ｎ−オキシドを真空蒸着すること
により基板上にその薄膜結晶層を形成し、その後その上
に透明保護層を形成することを特徴とする非線形光学薄
膜素子の作製方法。 - 【請求項４】 透明保護層を、有機高分子化合物を真空
蒸着することにより形成する請求項３記載の非線形光学
薄膜素子の作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18613692A JPH063714A (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 非線形光学薄膜素子およびその作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18613692A JPH063714A (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 非線形光学薄膜素子およびその作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH063714A true JPH063714A (ja) | 1994-01-14 |
Family
ID=16183010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18613692A Pending JPH063714A (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 非線形光学薄膜素子およびその作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH063714A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160074590A (ko) * | 2013-10-25 | 2016-06-28 | 도요 고한 가부시키가이샤 | 비선형 광학 색소, 포토리프랙티브 재료 조성물, 포토리프랙티브 기재 및 홀로그램 기록 매체 |
| GB2607764A (en) * | 2020-01-17 | 2022-12-14 | Zimeno Inc Dba Monarch Tractor | Adjustable height sensor roof |
-
1992
- 1992-06-19 JP JP18613692A patent/JPH063714A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160074590A (ko) * | 2013-10-25 | 2016-06-28 | 도요 고한 가부시키가이샤 | 비선형 광학 색소, 포토리프랙티브 재료 조성물, 포토리프랙티브 기재 및 홀로그램 기록 매체 |
| US20160230010A1 (en) * | 2013-10-25 | 2016-08-11 | Toyo Kohan Co., Ltd. | Nonlinear optical dye, photorefractive material composition, photorefractive substrate and hologram recording medium |
| US9902858B2 (en) * | 2013-10-25 | 2018-02-27 | Toyo Kohan Co., Ltd. | Nonlinear optical dye, photorefractive material composition, photorefractive substrate and hologram recording medium |
| GB2607764A (en) * | 2020-01-17 | 2022-12-14 | Zimeno Inc Dba Monarch Tractor | Adjustable height sensor roof |
| US11543815B2 (en) | 2020-01-17 | 2023-01-03 | Zimeno, Inc. | Adjustable height sensor roof |
| US12007762B2 (en) | 2020-01-17 | 2024-06-11 | Zimeno Inc. | Adjustable height sensor roof |
| GB2607764B (en) * | 2020-01-17 | 2024-12-04 | Zimeno Inc Dba Monarch Tractor | Adjustable height sensor roof |
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