JPH0638060B2 - ファイバを用いた光学式温度測定装置 - Google Patents

ファイバを用いた光学式温度測定装置

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JPH0638060B2
JPH0638060B2 JP55139977A JP13997780A JPH0638060B2 JP H0638060 B2 JPH0638060 B2 JP H0638060B2 JP 55139977 A JP55139977 A JP 55139977A JP 13997780 A JP13997780 A JP 13997780A JP H0638060 B2 JPH0638060 B2 JP H0638060B2
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Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は測定温度下に置かれた半導体のホトルミネスセ
ンス材料から成る発光体の発光から温度を測定する温度
測定装置に関する。
温度測定の多種の利用において、光ファイバ中の光の伝
送を利用した非電気的方法を使用できることは非常に興
味あることである。このような方法は爆発しやすい環境
や、強い電場や磁場の中では特に好都合である。
［従来の技術］ この種の既存の測定装置の欠点は、特別な装置がない
と、どの場所にも設置できないことである。別の欠点
は、伝送中に温度の影響で起こる変化と、他の原因で発
生するかもしれない減衰との区別が難しいことである。
実際上、このような測定装置は、装置を測定場所に設置
した後、既知温度で目盛りを較正しなければならないの
で面倒である。
前記の問題や他の関連した問題に対する一つの解決は特
願昭５４−７９０１７号に開示され、そこでは測定温度
下に置かれた材料の温度に依存するスペクトル吸収量を
測定している。その際、光ファイバは光を前記の材料へ
伝え、その材料に吸収された後のその光の一部を取り出
すために使用される。この測定装置は前記材料へ投射さ
れる光の、少なくとも二つの波長の範囲で前記吸収量を
測定する装置を備えている。
光ファイバを用いた温度測定装置として使用される別の
装置が特願昭５５−７２１２８号（特開昭５５−１６２
０７３号）に開示され、その測定装置はサイリスタに用
いられるものであって、一つの光ファイバがサイリスタ
と光学的に接触して配接され、サイリスタからの光信号
からサイリスタの温度が測定できる。
以下の説明および特許請求の範囲の記述中で使われる
「光」という表現は、波長範囲０．１〜１０ミクロンの
電磁放射を示す。
温度測定において、材料の温度による固有の波長の光を
発する発光体を使用することはよく知られている。
［発明が解決しようとする課題］ 温度に依存して発光する材料へ光ファイバを介して励起
光を伝送して、これにより同材料から発光された光を光
ファイバを介して電気光学測定手段へ伝送して材料と温
度を測定する温度測定装置においては、励起光の変動や
光ファイバの屈曲などにより測定値が影響される不都合
がある。
そこで、本発明はこれらの影響を除去した温度測定装置
を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 本発明の温度測定装置においては、少なくとも一つの光
ファイバを介して、それと光学的に接触させた発光体に
光を伝送し、それによって発光が起こり、このように発
光した光が、少なくとも一つの光ファイバ（前述の光フ
ァイバと全部同一または一部同一）を介して電気光学測
定手段へ伝送されるようにする。前記発光体は温度に依
存して発光する半導体材料から成り、発光による放射光
および反射された励起光（もしあれば）は、別々になっ
ている光ファイバ、一つの共通な光ファイバまたは分岐
した光ファイバ枝路を介して、相互に異なったスペクト
ル応答曲線を持つ二つの光検出器へ供給される。あるい
は、その発光による放射光は、光ファイバまたは光ファ
イバ枝路を介して、相互に異なったスペクトル応答曲線
を持つ少なくとも二つの光検出器へ供給される。
［作用］ 相互に異なったスペクトル応答曲線を持つ光検出器によ
り、発光体の温度の変化により生じる発光光のスペクト
ル形状および位置の変化を表す二つの光検出器の電気的
出力を電子的に処理して励起光の変動や、光ファイバの
屈曲などの影響を除去して発光体の温度を表す測定信号
を得る。
［実施例］ 本発明のファイバを用いた光学式温度測定装置は、半導
体のホトルミネスセンス材料から成る発光体の発光を利
用したものである。この場合に二つの異なった効果が二
者択一的に使用される。すなわち発光スペクトル分布の
温度依存性と、発光効果の温度依存性である。光ファイ
バの屈曲などによって起こる強度の変化は、励起光の反
射を検出し、その反射信号で発光信号を割ることによっ
て補償される。従来のファイバ光学的方法と比較してこ
の方法の有利な点は、この測定装置の温度依存性を、適
当な材料や適当なドーピングの選択によって広い範囲で
変化させることができることである。
それとは別の実施例が、さらに添付の図に示され以下記
述されているが、そこでは文献で公知の現象を利用して
いる。
第１図に示す第１の実施例においては、半導体のホトル
ミネスセンス材料から成る発光体１を、光ファイバ２へ
光学的に連結し、この光ファイバは２ａのところで、光
ファイバ３と４へ分岐している。
好適実施例においては、この発光体１は温度に依存して
発光する半導体材料から成る。この半導体材料として
は、ＺｎとＯ、もしくはＣｄとＯを適度にドープしたＧ
ａＰ、またはＣｕとＭｎを適度にドープしたＺｎＳｅな
どを用いる。
光ファイバ４は４ａのところで、光ファイバ５と５ａへ
分岐している。発光ダイオード６は光ファイバ３へ連結
し、発光体１の発光を励起する。
光検出器７は光学的に光ファイバ５に連結し、光ファイ
バ５と光検出器７の間に光フィルタ９を配設する。この
光フィルタ９によって、発光体１によって反射される発
光ダイオード６からの光のみが検出される。発光ダイオ
ード６からの光は光ファイバ３と２を通過し、発光体１
に反射し、そして光ファイバ４と５を通過する。一方向
においてファイバシステムを通る光の減衰をＢとし、発
光ダイオード６によって発せられる光強度をＬ０とする
と、光検出器７によって検出される信号は、ほぼＢ２・
Ｌ０となる。
光検出器８は光学的に光ファイバ５ａに連結し、光ファ
イバ５ａと光検出器８の間に光フィルタ１０を配設す
る。この光フィルタ１０によって、発光体１の発光によ
って発せられる光のみが検出される。発光体１に適当な
波長の光を送ると、よく知られているように、光励起に
よって発光し、この場合その光は光ファイバ２、４およ
び５ａを介して送られる。発光の効率をηとすると、光
検出器８によって検出される信号は、ほぼＢ・η・ＢＬ
０となる。
この二つの光検出器７、８からの信号は、関数発生器、
すなわち除算器１１へ送られて、その出力信号はほぼη
となる。ηの値の温度依存性（η（Ｔ））を利用して、
温度の変化や発光ダイオード６の老化によって生じるＬ
０の変動や光ファイバの屈曲の影響とは無関係に温度が
得られる。
第１ｂ図は、発光ダイオード６として緑色光を発するＧ
ａＰを用い、発光体１としてＺｎとＯをドープしたＧａ
Ｐを用いた場合の発光体１の発光スペクトルを示す。
半導体材料は、前述した例の他に、ＡｌＰ、ＡｌＡｓ、
ＧａＰ、ＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＩｎＡｓ、Ｉｎ1-x Ａｌｘ
Ｐ、Ｉｎ1-x ＧａｘＰ、Ｇａ1-x ＡｌｘＰ、Ｉｎ1-x Ａ
ｌｘＡｓ、Ｉｎ1-x ＧａｘＡｓ、Ｇａ1-x ＡｌｘＡｓ、
ＩｎＡｓ1-y Ｐｙ、ＧａＡｓ1-y Ｐｙ、ＺｎＴｅ、Ｚｎ
Ｓｅ、ＺｎＳ、ＺｎＯ、ＣｄＳｅ、ＣｄＴｅまたはＣｄ
Ｓ（ただし、０＜ｘ＜１、０＜ｙ＜１）を用いることが
できる。
第１ｂ図で、実線の曲線１２は発光スペクトル、点線の
曲線１３は発光体１に対する励起スペクトル、曲線１４
は光フィルタ１０の透過曲線、曲線１５は光フィルタ９
の透過曲線を示す。曲線１６は一般的な緑色光発光ダイ
オードのスペクトルである。
第１ａ図で発光ダイオード６からの励起光を別の光ファ
イバで送り、また発光による放射光や反射による光を、
さらに別の光ファイバで必要な接続を施して送ることが
可能である。
第２ａ図は別の実施例を示す。
光は光ファイバ３と２を介して、発光ダイオード６から
発光体１へ放射され発光が得られる。放射された光は光
ファイバ２、光ファイバ枝路２ａ、光ファイバ４、光フ
ァイバ枝路４ａを介して、各々光ファイバ５と５ａへ送
られる。この場合の光フィルタ９の透過曲線は、第１ａ
図の場合の光フィルタ９の透過曲線と異なる。この実施
例においては、二つの異なった波長範囲の発光信号間の
商が、二つの光フィルタ９と１０とを用いて検出される
（第２ｂ図参照）。発光体１の温度が変化すると、発光
スペクトルの形と位置が変化し、そのとき検出された商
は発光体１の温度の測定を与える。
この実施例においても、二つの光検出器７、８からの出
力信号は除算器１１へ送られ、その出力信号は温度の測
定値を与える。測定信号は発光ダイオード６の発光強度
のばらつきや、光ファイバの屈曲などの影響を受けな
い。
第２ｂ図は、光フィルタ９の透過曲線１５ａが第１ｂ図
における曲線１５と異なっているという点を除くと、第
１ｂ図に対応している。光フィルタ９の透過曲線は、図
中で左側に異なる波長範囲に移動しているのに対し、光
フィルタ１０の透過曲線１４は、第１ｂ図における他の
曲線と同様に位置が変わっていない。このグラフの横軸
には、単位ｈνが使われ、ここでｈはプランク定数で、
νは光の周波数である。縦軸は、各々の光フィルタの透
過、発光によって放射される光の強度、発光ダイオード
６が発する光の強度および発光体１のスペクトル感度を
示す。このように発光スペクトルは横軸に沿って変化
し、発光体１の温度に依存してその形状を変える。この
ようにして温度測定は除算器１１の出力側で得られる。
第３図は本発明による温度測定法に関する別のシステム
を示す。
発光ダイオード１７は強度Ｌ17の光を発し、その光は周
波数ｆ17によって振幅変調され、光ファイバ１８、１９
を通過し、発光材料（Ａ）へ伝送される。光ファイバ１
９と発光材料（Ａ）の間には、半透明な反射鏡２０を配
置する。発光材料（Ａ）の発光による放射光は、光ファ
イバ１９、２２および光フィルタ２２ａを通って、光検
出器２１へ伝送される。光フィルタ２２ａは励起光に対
応する波長の光は透過しない。光検出器２１により検出
される光強度は、Ｋ１・Ｌ17・Ｂ２・η（ＴＡ）とな
る。この信号は周波数ｆ17を持つ。
発光ダイオード２３は、発光ダイオード１７と全く同じ
で、強度Ｌ23の光を発し、その光は周波数ｆ23によって
振幅変調され、発光材料（Ａ）と同じ性質を持つ発光材
料（Ｂ）へ伝送される。発光材料（Ｂ）の発光による放
射光は、光フィルタ２２ａと同じ透過曲線を持つ光フィ
ルタ２４および光ファイバ２５、１９を通って伝送さ
れ、反射鏡２０によって一部反射され、光ファイバ１
９、２２を通って光検出器２１へ伝送される。光検出器
２１によって検出される光強度は、Ｋ２・Ｌ23・Ｂ２・
η（Ｔ）となる。Ｌ17あるいはＬ23は、Ｋ１・Ｌ17＝Ｋ
２・Ｌ23となるように調節される。
光検出器２１からの信号は、増幅器２６により増幅さ
れ、電気フィルタ２７、２８により、周波数ｆ17とｆ23
との信号に各々分離され、電力回路３０を制御する制御
回路２９に伝送される。加熱器または冷却器３１におけ
る電力は、制御回路２９へ送られる二つの入力信号が等
しくなるように調節される。このことはη（ＴＢ）＝η
（ＴＡ）すなわちＴＢ＝ＴＡのとき起こる。例えば、熱
電対を使ってＴＢを測ることによってＴＡが得られる。
発光材料（Ａ）すなわちＴＡの温度は、二つの光信号の
通過する系の各部分における減衰を示す係数Ｂの値を知
らなくても、この方法によって測定することができる。
このことは、例えば、光ファイバ１９の屈曲によって生
じる光信号の減衰は、測定の精度に影響を与えないこと
を意味する。
第４図はさらに別の実施例を示す。
発光ダイオード３２からの光はファイバシステムを通っ
て、測定温度下に置かれた発光材料（Ａ）と、その温度
が制御される発光材料（Ａ）と同一の発光材料（Ｂ）と
へ伝送される。励起光を透過する光フィルタ３４Ａを有
する光検出器３３Ａは、Ｌ０・Ｂ２に比例した出力信号
を有する。ここでＢは、ファイバシステムを通って一方
向を通過するときの光信号の減衰を示す。
光検出器３３Ｂおよび光フィルタ３４Ｂから成るシステ
ムは、光検出器３３Ａおよび光フィルタ３４Ａから成る
前記システムと同じである。光検出器３３Ｂおよび光フ
ィルタ３４Ｂから成るシステムは、発光材料（Ｂ）によ
って反射される励起光を受け、Ｌ０に比例する出力信号
を与える。光検出器３３Ａおよび光フィルタ３４Ａから
成るシステムは、発光材料（Ａ）によって反射される励
起光を受け、Ｂ２・Ｌ０に比例する出力信号を与える。
増幅器３６と３７で増幅した後、この二つの信号間の商
は除算器３８で作られ、Ｂ２に比例した信号が得られ
る。
光検出器３９Ａおよび光フィルタ４０Ａから成るシステ
ムと、光検出器３９Ｂおよび光フィルタ４０Ｂから成る
システムとは同一の特性を持つ。光フィルタ４０Ａと４
０Ｂは発光された光を透過する。
増幅器４１と４２からの出力信号は、各々Ｌ０・Ｂ２・
η（ＴＡ）とＬ０・η（ＴＢ）に比例する。増幅器４１
と除算器３８からの信号を受けて、除算器４３はＬ０・
η（ＴＡ）に比例する出力信号を出す。増幅器４２から
の出力信号とこの信号は、制御回路４４へ伝えられる。
これによる電力回路４５および加熱器４６の制御は、第
３図の例と同様である。
このシステムにおいても、発光材料（Ｂ）の温度を従来
の方法により測定することによって、発光材料（Ａ）の
温度が得られる。
［発明の効果］ 光ファイバを使用した温度測定装置であり、例えば、通
電中の工場内の接近が困難であるような環境中の被測定
箇所に、半導体のホトルミネスセンス材料から成る発光
体を設けて光ファイバで励起光を伝送し、ホトルミネス
センス放射光を検出して温度を測定する際に、光ファイ
バの屈曲および励起光の強度の変動などの影響を除去し
た温度測定ができる。従って、高信頼性で、経済的かつ
堅牢な測定装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
第１ａ図は、発光された光と、発光体表面で反射した励
起光とを使用した実施例を示す図面。 第２ａ図は、二つの波長範囲で発光された光が検出され
る実施例を示す図面。 第１ｂ図および第２ｂ図は、波長と強さとの相関曲線を
示す図面。 第３図は、比較の原理に基づく温度測定の測定システム
を示す図面。 第４図は、このシステムに代わる別のシステムを示す図
面。 １は発光体、２、３、４、５は光ファイバ、６は発光ダ
イオード、７、８は光検出器、９、１０は光フィルタ、
１２は発光スペクトル曲線、１３は励起スペクトル曲
線、１４は光フィルタ１０の透過曲線、１５は光フィル
タ９の透過曲線、１６は一般的な緑色光発光ダイオード
のスペクトル曲線、２０は半透明反射鏡、２１は光検出
器である。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭49−31382（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−116882（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−65080（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−162073（ＪＰ，Ａ) 特公 昭52−36026（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭62−23245（ＪＰ，Ｂ２)

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】光ファイバを用いた温度測定装置であっ
    て、測定されるべき温度に依存して形状および波長に対
    する位置が変位するホトルミネスセンスの一つのピーク
    を有する連続スペクトルを発生する半導体のホトルミネ
    スセンス材料から成る発光体と、 この発光体に対して励起光を発して、この発光体をして
    ホトルミネスセンス放射光を放出させる励起用放射光源
    と、 前記発光体からのホトルミネスセンス放射光の連続スペ
    クトルを受け、供給される光入力に関連した電気的出力
    を発生する第１および第２の光検出器であって、この第
    １の光検出器の電気的出力は、前記発光体によって放射
    されたホトルミネスセンスの連続光スペクトルの全部の
    波長範囲を表し、前記第２の光検出器の電気的出力は、
    前記連続スペクトルの波長範囲の一端から所定波長まで
    の所定の波長範囲を表し、前記発光体の温度の変化によ
    り前記連続スペクトルの形状および波長に対する位置が
    変位するのに伴い、前記第２の光検出器により検知され
    る前記連続スペクトルの前記所定の波長範囲は変化する
    が、前記第１の光検出器は前記連続スペクトルの全部の
    波長範囲を検知する前記第１および第２の光検出器と、 前記励起用放射光源からの励起光を前記発光体に供給
    し、また前記発光体からのホトルミネスセンス放射光を
    前記第１および第２の光検出器に供給する一体の主共通
    部分と末端の分岐部分を含む光ファイバと、 前記発光体の温度の変化により生じる前記ホトルミネス
    センス放射光の連続スペクトルの形状および波長に対す
    る位置の変位を表す前記第１および第２の光検出器の電
    気的出力から、前記発光体の温度を表す測定信号を作成
    する電子的処理手段と、 から成る温度測定装置。
  2. 【請求項２】特許請求の範囲第１項において、前記二つ
    の光検出器は、各々検知すべきホトルミネスセンス放射
    光の連続スペクトルの全波長範囲と所定の波長範囲を透
    過する光フィルタを有していることを特徴とする温度測
    定装置。
  3. 【請求項３】特許請求の範囲第１項において、前記励起
    用放射光源は、少なくとも一つの発光ダイオードまたは
    少なくとも一つのレーザダイオードから成ることを特徴
    とする温度測定装置。
  4. 【請求項４】特許請求の範囲第３項において、前記発光
    ダイオードまたは前記レーザダイオードが、温度的に安
    定されていることを特徴とする温度測定装置。
  5. 【請求項５】光ファイバを用いた温度測定装置であっ
    て、測定されるべき温度に依存して形状および波長に対
    する位置が変位するホトルミネスセンスの一つのピーク
    を有する連続スペクトルを発生する半導体のホトルミネ
    スセンス材料から成る発光体と、 この発光体に対して励起光を発して、この発光体をして
    ホトルミネスセンス放射光を放出させる励起用放射光源
    と、 前記発光体から放射される連続スペクトルを受け、供給
    される光入力に関連した電気的出力を発生する第１の光
    検出器、および前記励起用放射光源からの励起光を受け
    前記発光体により反射される反射光を受けて電気的出力
    を発生する第２の光検出器であって、この第１の光検出
    器の電気的出力は、前記発光体によって放射されたホト
    ルミネスセンスの連続光スペクトルの全部の波長範囲を
    表し、前記第２の光検出器の電気的出力は、前記発光体
    から反射される励起光の連続スペクトルの全波長範囲を
    表し、前記発光体の温度の変化により前記ホトルミネス
    センス連続スペクトルの形状および波長に対する位置が
    変位しても、前記第１の光検出器は前記連続スペクトル
    の全部の波長範囲を検知する前記第１および第２の光検
    出器と、 前記励起用放射光源からの励起光を前記発光体に供給
    し、また前記発光体からのホトルミネスセンス放射光お
    よび前記発光体から反射される励起光の反射光を、それ
    ぞれ前記第１および第２の光検出器に供給する一体の主
    共通部分と末端の分岐部分を含む光ファイバと、 前記発光体の温度および励起光の強度に依存した前記第
    １の光検出器の電気的出力、および励起光の強度に依存
    した前記第２の光検出器の電気的出力から、励起光の強
    度の変動に影響されない前記発光体の温度を表す測定信
    号を作成する電子的処理手段と、 から成る温度測定装置。
  6. 【請求項６】特許請求の範囲第５項において、前記二つ
    の光検出器は各々一つの光フィルタを有していて、一方
    の光フィルタはホトルミネスセンス放射光の連続スペク
    トルの全波長範囲を透過し、他方の光フィルタは前記反
    射光の連続スペクトルの全波長範囲を透過することを特
    徴とする温度測定装置。
  7. 【請求項７】特許請求の範囲第５項において、前記励起
    用放射光源は、少なくとも一つの発光ダイオードまたは
    少なくとも一つのレーザダイオードから成ることを特徴
    とする温度測定装置。
  8. 【請求項８】特許請求の範囲第７項において、前記発光
    ダイオードまたは前記レーザダイオードが、温度的に安
    定されていることを特徴とする温度測定装置。
JP55139977A 1979-10-10 1980-10-08 ファイバを用いた光学式温度測定装置 Expired - Lifetime JPH0638060B2 (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
SE7908382-0 1979-10-10
SE7908382A SE431259B (sv) 1979-10-10 1979-10-10 Fiberoptisk temperaturgivare baserad pa fotoluminiscens hos ett fast material

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JPS5661625A JPS5661625A (en) 1981-05-27
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JP (1) JPH0638060B2 (ja)
DE (1) DE3036682A1 (ja)
FR (1) FR2467395A1 (ja)
GB (1) GB2063466B (ja)
SE (1) SE431259B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006133005A (ja) * 2004-11-04 2006-05-25 Yokogawa Electric Corp 温度測定装置

Families Citing this family (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4437772A (en) 1979-09-10 1984-03-20 Samulski Thaddeus V Luminescent decay time techniques for temperature measurement
SE423752B (sv) * 1980-09-29 1982-05-24 Asea Ab Optiskt sensorelement
SE424022B (sv) * 1980-10-21 1982-06-21 Asea Ab Fiberoptiskt metdon for spektralanalys
SE436800B (sv) * 1980-11-06 1985-01-21 Asea Ab Optiskt sensorelement av fast material for avkenning av fysikaliska storheter, sasom tryck, vilket exciteras optiskt och avger fotoluminiscens
IL63053A0 (en) * 1981-06-05 1981-09-13 Yeda Res & Dev Device and method for measurement of photosynthetic activity by photoacoustic spectroscopy
JPS581627A (ja) * 1981-06-23 1983-01-07 東洋製罐株式会社 密封包装体の殺菌方法
JPS5895226A (ja) * 1981-12-02 1983-06-06 Nec Corp 温度検出素子及び温度測定装置
SE435966B (sv) * 1982-02-02 1984-10-29 Asea Ab Fiberoptiskt metdon
SE435967B (sv) * 1982-04-01 1984-10-29 Asea Ab Fiberoptiskt luminiscensmetdon
JPS58182520A (ja) * 1982-04-20 1983-10-25 Sharp Corp 光学式温度検出器
SE430825B (sv) * 1982-05-27 1983-12-12 Asea Ab Fiberoptisk givare for metning av dynamiska rorelser
SE439481B (sv) * 1982-06-21 1985-06-17 Asea Ab Hermetisk forsegling mellan galliumarsenidkomponenter och glaskroppar
US4708494A (en) * 1982-08-06 1987-11-24 Marcos Kleinerman Methods and devices for the optical measurement of temperature with luminescent materials
US5004913A (en) * 1982-08-06 1991-04-02 Marcos Kleinerman Remote measurement of physical variables with fiber optic systems - methods, materials and devices
US5090818A (en) * 1982-08-06 1992-02-25 Kleinerman Marcos Y Fiber optic systems for sensing temperature and other physical variables
US5222810A (en) * 1982-08-06 1993-06-29 Kleinerman Marcos Y Fiber optic systems for sensing temperature and other physical variables
US4481418A (en) * 1982-09-30 1984-11-06 Vanzetti Systems, Inc. Fiber optic scanning system for laser/thermal inspection
JPS59111027A (ja) * 1982-12-17 1984-06-27 Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd 温度測定方法
US4516864A (en) * 1982-12-27 1985-05-14 General Electric Company Non-contact sensing apparatus and method for polymer melt temperature profile determination
US4607963A (en) * 1983-03-08 1986-08-26 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Multi-channel infrared thermometer
JPS6061634A (ja) * 1983-09-14 1985-04-09 Omron Tateisi Electronics Co 温度測定装置
US4621929A (en) * 1983-10-12 1986-11-11 Luxtron Corporation Fiber optic thermal anemometer
IT1198706B (it) * 1983-10-18 1988-12-21 Consiglio Nazionale Ricerche Sensore di temperatura a fibra ottica ad effetto termocormico
US4543961A (en) * 1983-11-14 1985-10-01 Cordis Corporation Data transmission system
JPS6110825A (ja) * 1984-06-25 1986-01-18 松下電工株式会社 リモ−トコントロ−ル式回路しや断器
JPS6145526U (ja) * 1984-08-29 1986-03-26 旭化成株式会社 パラペット笠木の構造
US4617467A (en) * 1984-11-16 1986-10-14 Union Oil Company Of California Apparatus for characterizing kerogens
US4616133A (en) * 1984-11-16 1986-10-07 Union Oil Company Of California Method and apparatus for characterizing kerogens
US4652143A (en) * 1984-11-29 1987-03-24 Luxtron Corporation Optical temperature measurement techniques
US4626110A (en) * 1985-05-03 1986-12-02 Luxtron Corporation Technique for optically measuring the temperature of an ultrasonically heated object
US4679934A (en) * 1985-08-08 1987-07-14 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Fiber optic pyrometry with large dynamic range
US4789992A (en) * 1985-10-15 1988-12-06 Luxtron Corporation Optical temperature measurement techniques
GB8621077D0 (en) * 1986-09-01 1986-10-08 Gen Electric Co Plc Temperature sensing system
US4785824A (en) * 1987-06-22 1988-11-22 Luxtron Corporation Optical fiber probe for measuring the temperature of an ultrasonically heated object
US5051595A (en) * 1989-12-06 1991-09-24 Santa Barbara Research Center Fiber optic flame detection and temperature measurement system employing doped optical fiber
US5319978A (en) * 1990-05-02 1994-06-14 Dynisco, Inc. Optical pressure transducer
US5351547A (en) * 1990-05-02 1994-10-04 Dynisco, Inc. Optical pressure transducer having a fixed reflector and a movable reflector attached to a diaphragm
US5089749A (en) * 1991-01-28 1992-02-18 Commonwealth Edison Company Method and apparatus for measuring output of a heat lamp for an optical TLD reader
US5183338A (en) * 1991-04-10 1993-02-02 Luxtron Corporation Temperature measurement with combined photo-luminescent and black body sensing techniques
US5112137A (en) * 1991-04-10 1992-05-12 Luxtron Corporation Temperature measurement with combined photo-luminescent and black body sensing techniques
JP2719257B2 (ja) * 1991-12-18 1998-02-25 住友電気工業株式会社 分光分析装置
US5352040A (en) * 1992-08-24 1994-10-04 Martin Marietta Energy Systems, Inc. Dual neutron flux/temperature measurement sensor
US5263776A (en) * 1992-09-25 1993-11-23 International Business Machines Corporation Multi-wavelength optical thermometry
US5453838A (en) * 1994-06-17 1995-09-26 Ceram Optec Industries, Inc. Sensing system with a multi-channel fiber optic bundle sensitive probe
US6816803B1 (en) * 2000-06-02 2004-11-09 Exactus, Inc. Method of optical pyrometry that is independent of emissivity and radiation transmission losses
CA2372637A1 (en) * 2002-02-20 2003-08-20 Institut National D'optique Packaged optical sensors on the side of optical fibres
US7726876B2 (en) 2007-03-14 2010-06-01 Entegris, Inc. System and method for non-intrusive thermal monitor
DE102007030398A1 (de) 2007-06-29 2009-01-02 Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung der Temperatur und/oder einer temperaturabhängigen Kenngröße eines optischen Elements
JP5288884B2 (ja) * 2008-05-27 2013-09-11 アズビル株式会社 蛍光温度センサ
DE102009040095B4 (de) * 2009-09-04 2013-07-04 Olympus Winter & Ibe Gmbh Medizinische Leuchte mit Leuchtstoffschicht
EP3382378B1 (en) * 2017-03-29 2022-10-26 Mitsubishi Electric R&D Centre Europe B.V. Optical monitoring

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1480583A (en) 1973-07-02 1977-07-20 Reyrolle Parsons Ltd Measurement of surface temperature of rotating objects
US4075493A (en) * 1976-12-16 1978-02-21 Ronald Alves Optical temperature measurement technique utilizing phosphors
JPS53116882A (en) * 1977-03-23 1978-10-12 Toshiba Corp Optical temperature detector
US4136566A (en) * 1977-06-24 1979-01-30 University Of Utah Semiconductor temperature sensor
US4111050A (en) * 1977-07-14 1978-09-05 International Telephone And Telegraph Corporation Thermometer with birefringent sensing element in fiber optic coupling
JPS5465080A (en) * 1977-11-02 1979-05-25 Toshiba Corp Optical temperature detector
SE411955B (sv) * 1978-06-02 1980-02-11 Asea Ab Fiberoptiskt metdon med hogst tva fibrer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006133005A (ja) * 2004-11-04 2006-05-25 Yokogawa Electric Corp 温度測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
SE431259B (sv) 1984-01-23
GB2063466A (en) 1981-06-03
FR2467395A1 (fr) 1981-04-17
DE3036682C2 (ja) 1987-10-08
FR2467395B1 (ja) 1983-11-18
US4376890A (en) 1983-03-15
SE7908382L (sv) 1981-04-11
JPS5661625A (en) 1981-05-27
GB2063466B (en) 1984-09-05
DE3036682A1 (de) 1981-04-23

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