JPH0638358Y2 - 放電灯 - Google Patents
放電灯Info
- Publication number
- JPH0638358Y2 JPH0638358Y2 JP6495189U JP6495189U JPH0638358Y2 JP H0638358 Y2 JPH0638358 Y2 JP H0638358Y2 JP 6495189 U JP6495189 U JP 6495189U JP 6495189 U JP6495189 U JP 6495189U JP H0638358 Y2 JPH0638358 Y2 JP H0638358Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- tip
- terminal
- supply terminal
- discharge lamp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
- Details Of Connecting Devices For Male And Female Coupling (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、半導体ウエハーの露光等に好適に用いられる
放電灯に関する。
放電灯に関する。
半導体ウエハーの露光に用いられる放電灯は、通常、ガ
ラス製発光管の中央の発光空間膨出部内に一対の電極が
対向配置され、この膨出部の両側には一対の封止管部が
形成され、これらの封止管部には口金が固定されてい
る。
ラス製発光管の中央の発光空間膨出部内に一対の電極が
対向配置され、この膨出部の両側には一対の封止管部が
形成され、これらの封止管部には口金が固定されてい
る。
この放電灯は、その電極間方向が垂直となるような姿勢
で凹面反射鏡に組み込まれてウエハーの露光に使用され
る。すなわち、放電灯の他方の封止管部が、頂部に開口
を有し反射面が上方に向かう状態に配置された凹面反射
鏡の当該頂部の開口から貫通し、一方の封止管部が凹面
反射鏡の反射面の前方側に位置するよう配置される。
で凹面反射鏡に組み込まれてウエハーの露光に使用され
る。すなわち、放電灯の他方の封止管部が、頂部に開口
を有し反射面が上方に向かう状態に配置された凹面反射
鏡の当該頂部の開口から貫通し、一方の封止管部が凹面
反射鏡の反射面の前方側に位置するよう配置される。
凹面反射鏡の反射面の前方側に位置している一方の封止
管部に固定された口金より導出される給電用の外導線は
より線からなり、この外導線は凹面反射鏡の反射面の前
方を横切る方向に伸びるよう配設される。この外導線の
先端には、従来、圧着端子が取り付けられ、この圧着端
子が電源部の給電端子にねじ等により固定されて接続さ
れる。
管部に固定された口金より導出される給電用の外導線は
より線からなり、この外導線は凹面反射鏡の反射面の前
方を横切る方向に伸びるよう配設される。この外導線の
先端には、従来、圧着端子が取り付けられ、この圧着端
子が電源部の給電端子にねじ等により固定されて接続さ
れる。
しかるに、ウエハーの露光作業においては、通常、放電
灯は24時間連続して点灯されて使用に供されるので、一
ヶ月に２本程度の割合で交換が必要となる。
灯は24時間連続して点灯されて使用に供されるので、一
ヶ月に２本程度の割合で交換が必要となる。
しかし、圧着端子を電源部の給電端子にねじ等で固定す
る手段では、圧着端子の取り外し作業が面倒であり、ま
た、放電灯の交換時に、より線からなる外導線がねじれ
てその接続部に無理な力がかかり、ガラス製発光管にク
ラックが入りやすいという問題がある。
る手段では、圧着端子の取り外し作業が面倒であり、ま
た、放電灯の交換時に、より線からなる外導線がねじれ
てその接続部に無理な力がかかり、ガラス製発光管にク
ラックが入りやすいという問題がある。
本考案は以上の如き事情に基づいてなされたものであっ
て、その目的は、放電灯の交換が容易であって、しかも
交換時にガラス製発光管にクラックを生じさせず、かつ
大電流の接続を確実にする放電灯を提供することにあ
る。
て、その目的は、放電灯の交換が容易であって、しかも
交換時にガラス製発光管にクラックを生じさせず、かつ
大電流の接続を確実にする放電灯を提供することにあ
る。
以上の目的を達成するため、本考案の放電灯は、一対の
電極が対向配置された中央の発光空間膨出部およびその
両側に伸びる一対の封止管部からなるガラス製発光管
と、これらの封止管部の先端に取り付けられた口金と、
一方の口金を貫通して外方に伸びるより線からなる外導
線と、この外導線の先端に取り付けられた、電源部の給
電端子に接続するための接続端子とを有してなり、前記
接続端子は、前記外導線の先端が筒内に挿入されて接続
された筒状基部と、この筒状基部の先端部を覆う位置に
形成されたフランジ部と、このフランジ部の先端面に設
けられた、前記電源部の給電端子の先端に設けられた凹
部に係合して回転を阻止する突起部と、前記筒状基部の
外周を取り囲む位置に前後に移動可能に設けられた、前
記筒状基部の外径より大きく前記フランジ部の外径より
小さい開口を有する底壁を備え、その筒状内壁にめねじ
が設けられ、前記電源部の給電端子に設けられたおねじ
に螺合されて接続される接続固定部とよりなる構成を採
用する。
電極が対向配置された中央の発光空間膨出部およびその
両側に伸びる一対の封止管部からなるガラス製発光管
と、これらの封止管部の先端に取り付けられた口金と、
一方の口金を貫通して外方に伸びるより線からなる外導
線と、この外導線の先端に取り付けられた、電源部の給
電端子に接続するための接続端子とを有してなり、前記
接続端子は、前記外導線の先端が筒内に挿入されて接続
された筒状基部と、この筒状基部の先端部を覆う位置に
形成されたフランジ部と、このフランジ部の先端面に設
けられた、前記電源部の給電端子の先端に設けられた凹
部に係合して回転を阻止する突起部と、前記筒状基部の
外周を取り囲む位置に前後に移動可能に設けられた、前
記筒状基部の外径より大きく前記フランジ部の外径より
小さい開口を有する底壁を備え、その筒状内壁にめねじ
が設けられ、前記電源部の給電端子に設けられたおねじ
に螺合されて接続される接続固定部とよりなる構成を採
用する。
接続端子において、筒状基部の外周を取り囲む位置に前
後に移動可能に設けられた接続固定部が、筒状基部の外
径より大きくフランジ部の外径より小さい開口を有する
底壁を備え、その筒状内壁にめねじが設けられているの
で、接続固定部を電源部の給電端子に接近移動させて当
該めねじを当該給電端子のおねじに螺合させるという簡
単な作業により、電気的な接続を達成することができ
る。また、取り外しも簡単に行うことができる。
後に移動可能に設けられた接続固定部が、筒状基部の外
径より大きくフランジ部の外径より小さい開口を有する
底壁を備え、その筒状内壁にめねじが設けられているの
で、接続固定部を電源部の給電端子に接近移動させて当
該めねじを当該給電端子のおねじに螺合させるという簡
単な作業により、電気的な接続を達成することができ
る。また、取り外しも簡単に行うことができる。
フランジ部の先端面には、回転を阻止する突起部を設け
て、この突起部を電源部の給電端子の先端面に設けた凹
部に係合させるので、フランジ部および筒状基部を回転
させずに接続固定部のみを回転させて螺合させることが
できる。従って、より線よりなる外導線をねじるおそれ
がなく、その接続部に無理な力がかからず、交換時にガ
ラス製発光管にクラックが入ることもなく、大電流を供
給することができる。
て、この突起部を電源部の給電端子の先端面に設けた凹
部に係合させるので、フランジ部および筒状基部を回転
させずに接続固定部のみを回転させて螺合させることが
できる。従って、より線よりなる外導線をねじるおそれ
がなく、その接続部に無理な力がかからず、交換時にガ
ラス製発光管にクラックが入ることもなく、大電流を供
給することができる。
以下、本考案の実施例を具体的に説明する。
本実施例の放電灯は、第１図に示すように、一対の電極
21,22が対向配置された中央の発光空間膨出部11および
その両側に伸びる一対の封止管部12,13からなるガラス
製発光管10と、これらの封止管部12,13の先端に取り付
けられた口金31,32と、一方の封止管部12から口金31を
貫通して外方に伸びるより線からなる外導線40と、第２
図に拡大して示すように、この外導線40の先端に取り付
けられた、電源部（図示省略）の給電端子80に接続する
ための接続端子50とを有してなる。
21,22が対向配置された中央の発光空間膨出部11および
その両側に伸びる一対の封止管部12,13からなるガラス
製発光管10と、これらの封止管部12,13の先端に取り付
けられた口金31,32と、一方の封止管部12から口金31を
貫通して外方に伸びるより線からなる外導線40と、第２
図に拡大して示すように、この外導線40の先端に取り付
けられた、電源部（図示省略）の給電端子80に接続する
ための接続端子50とを有してなる。
この接続端子50は、外導線40の先端が筒内に挿入されて
接続された筒状基部51と、この筒状基部51の先端部を覆
う位置に設けられたフランジ部52と、このフランジ部52
の先端面52Aから突出しかつ当該先端面52Aに沿って横に
直線状に伸びて、電源部の給電端子80の先端に設けられ
た横に伸びる凹部81に係合して回転を阻止する突起部53
と、筒状基部51の外周を取り囲む位置に前後に移動可能
に設けられた、当該筒状基部51の外径より大きくフラン
ジ部52の外径より小さい開口61を有する底壁62を備え、
その筒状内壁63にめねじ64が設けられ、電源部の給電端
子80に設けられたおねじ82に螺合されて接続される接続
固定部54とよりなる。
接続された筒状基部51と、この筒状基部51の先端部を覆
う位置に設けられたフランジ部52と、このフランジ部52
の先端面52Aから突出しかつ当該先端面52Aに沿って横に
直線状に伸びて、電源部の給電端子80の先端に設けられ
た横に伸びる凹部81に係合して回転を阻止する突起部53
と、筒状基部51の外周を取り囲む位置に前後に移動可能
に設けられた、当該筒状基部51の外径より大きくフラン
ジ部52の外径より小さい開口61を有する底壁62を備え、
その筒状内壁63にめねじ64が設けられ、電源部の給電端
子80に設けられたおねじ82に螺合されて接続される接続
固定部54とよりなる。
この接続端子50は次のようにして電源部の給電端子80に
取り付けることができる。
取り付けることができる。
（１）接続端子50の突起部53を給電端子80の凹部81に係
合させる。この係合により給電端子80に対して接続端子
50の回転が阻止される。
合させる。この係合により給電端子80に対して接続端子
50の回転が阻止される。
（２）筒状基部51に対して接続固定部54を給電端子80に
接近する方向に移動させて、当該接続固定部54のめねじ
64を給電端子80のおねじ82に螺合させる。この螺合作業
においては、突起部53と凹部81の係合により筒状基部51
の回転が阻止されるので、より線からなる外導線40はね
じれるおそれがない。
接近する方向に移動させて、当該接続固定部54のめねじ
64を給電端子80のおねじ82に螺合させる。この螺合作業
においては、突起部53と凹部81の係合により筒状基部51
の回転が阻止されるので、より線からなる外導線40はね
じれるおそれがない。
（３）螺合により接続固定部54の底壁62がフランジ部52
に衝合すると、このフランジ部52がストッパーとしての
機能を果たすので、めねじ64とおねじ82が強固に螺合し
た状態となる。
に衝合すると、このフランジ部52がストッパーとしての
機能を果たすので、めねじ64とおねじ82が強固に螺合し
た状態となる。
以上のようにして接続端子50が給電端子80に取り付けら
れるが、接続端子50を取り外す場合は、上記と逆の操作
を行えばよい。
れるが、接続端子50を取り外す場合は、上記と逆の操作
を行えばよい。
なお、発光管10の中央の膨出部11から封止管部12,13に
至る表面には膨出部11の最冷部の温度を高めるための反
射膜71が設けられ、封止管部12,13においては気密封止
用の導電体としてそれぞれ４枚のモリブデン箔が配設さ
れている。
至る表面には膨出部11の最冷部の温度を高めるための反
射膜71が設けられ、封止管部12,13においては気密封止
用の導電体としてそれぞれ４枚のモリブデン箔が配設さ
れている。
一方の電極21は陰極であり、先端には平坦面が形成され
ている。他方の電極22は陽極であり、先端部はほぼ半球
面状でかつその先端には平坦面が形成されている。
ている。他方の電極22は陽極であり、先端部はほぼ半球
面状でかつその先端には平坦面が形成されている。
本実施例の放電灯は、第３図に示すように、その電極間
方向が垂直となるような姿勢で凹面反射鏡90に組み込ま
れてウエハーの露光に使用される。すなわち、他方の封
止管部13が、頂部に開口91を有し反射面92が上方に向か
う状態に配置された凹面反射鏡90の当該頂部の開口91か
ら貫通し、一方の封止管部12は凹面反射鏡90の反射面92
の前方側に位置するよう配設される。
方向が垂直となるような姿勢で凹面反射鏡90に組み込ま
れてウエハーの露光に使用される。すなわち、他方の封
止管部13が、頂部に開口91を有し反射面92が上方に向か
う状態に配置された凹面反射鏡90の当該頂部の開口91か
ら貫通し、一方の封止管部12は凹面反射鏡90の反射面92
の前方側に位置するよう配設される。
そして、凹面反射鏡90の反射面92の前方側に位置してい
る口金31より導出される給電用の外導線40は、凹面反射
鏡90の反射面92の前方を横切る方向に配設される。
る口金31より導出される給電用の外導線40は、凹面反射
鏡90の反射面92の前方を横切る方向に配設される。
以上説明したように、本考案によれば、接続端子の接続
固定部に設けためねじと電源部の給電端子のおねじとを
螺合して両者を接続する構成であるので、給電端子に対
する接続端子の取り付けおよび取り外し作業が容易であ
り、しかも接続端子のフランジ部の先端に設けた突起部
と電源部の給電端子の凹部とを係合させて給電端子に対
する接続端子の回転を阻止した状態で螺合作業を行うこ
とができるので、より線からなる外導線がねじれるおそ
れがなくて外導線とガラス製発光管との接続部に無理な
力が作用せずクラックの発生するおそれがなく、大電流
を供給することができる。
固定部に設けためねじと電源部の給電端子のおねじとを
螺合して両者を接続する構成であるので、給電端子に対
する接続端子の取り付けおよび取り外し作業が容易であ
り、しかも接続端子のフランジ部の先端に設けた突起部
と電源部の給電端子の凹部とを係合させて給電端子に対
する接続端子の回転を阻止した状態で螺合作業を行うこ
とができるので、より線からなる外導線がねじれるおそ
れがなくて外導線とガラス製発光管との接続部に無理な
力が作用せずクラックの発生するおそれがなく、大電流
を供給することができる。
第１図は実施例に係る放電灯の概略図、第２図は放電灯
の接続端子および電源部の給電端子の説明図、第３図は
放電灯を半導体ウエハーの露光用光源として用いる場合
の使用の態様を示す説明図である。 10……ガラス製発光管、11……発光空間膨出部 21,22……電極、12,13……封止管部 31,32……口金、40……外導線 50……接続端子、51……筒状基部 52……フランジ部、52A……先端面 53……突起部、54……接続固定部 61……開口、62……底壁 63……筒状内壁、64……めねじ 71……反射膜、80……給電端子 81……凹部、82……おねじ 90……凹面反射鏡、91……開口 92……反射面
の接続端子および電源部の給電端子の説明図、第３図は
放電灯を半導体ウエハーの露光用光源として用いる場合
の使用の態様を示す説明図である。 10……ガラス製発光管、11……発光空間膨出部 21,22……電極、12,13……封止管部 31,32……口金、40……外導線 50……接続端子、51……筒状基部 52……フランジ部、52A……先端面 53……突起部、54……接続固定部 61……開口、62……底壁 63……筒状内壁、64……めねじ 71……反射膜、80……給電端子 81……凹部、82……おねじ 90……凹面反射鏡、91……開口 92……反射面
Claims (1)
- 【請求項１】一対の電極が対向配置された中央の発光空
間膨出部およびその両側に伸びる一対の封止管部からな
るガラス製発光管と、これらの封止管部の先端に取り付
けられた口金と、一方の口金を貫通して外方に伸びるよ
り線からなる外導線と、この外導線の先端に取り付けら
れた、電源部の給電端子に接続するための接続端子とを
有してなり、 前記接続端子は、前記外導線の先端が筒内に挿入されて
接続された筒状基部と、この筒状基部の先端部を覆う位
置に形成されたフランジ部と、このフランジ部の先端面
に設けられた、前記電源部の給電端子の先端に設けられ
た凹部に係合して回転を阻止する突起部と、前記筒状基
部の外周を取り囲む位置に前後に移動可能に設けられ
た、前記筒状基部の外径より大きく前記フランジ部の外
径より小さい開口を有する底壁を備え、その筒状内壁に
めねじが設けられ、前記電源部の給電端子に設けられた
おねじに螺合されて接続される接続固定部とよりなるこ
とを特徴とする放電灯。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6495189U JPH0638358Y2 (ja) | 1989-06-05 | 1989-06-05 | 放電灯 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6495189U JPH0638358Y2 (ja) | 1989-06-05 | 1989-06-05 | 放電灯 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH034637U JPH034637U (ja) | 1991-01-17 |
| JPH0638358Y2 true JPH0638358Y2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=31596344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6495189U Expired - Lifetime JPH0638358Y2 (ja) | 1989-06-05 | 1989-06-05 | 放電灯 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0638358Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003045219A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-14 | Canon Inc | 水銀ランプ、照明装置及び露光装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100396224B1 (ko) * | 2001-06-29 | 2003-09-02 | 임원기 | 역반사형 방전등 |
| JP2017172554A (ja) * | 2016-03-25 | 2017-09-28 | 株式会社豊田自動織機 | 電動圧縮機 |
-
1989
- 1989-06-05 JP JP6495189U patent/JPH0638358Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003045219A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-14 | Canon Inc | 水銀ランプ、照明装置及び露光装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH034637U (ja) | 1991-01-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |