JPH0638395Y2 - 端面発光型ｅｌ素子 - Google Patents
端面発光型ｅｌ素子Info
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- JPH0638395Y2 JPH0638395Y2 JP10922089U JP10922089U JPH0638395Y2 JP H0638395 Y2 JPH0638395 Y2 JP H0638395Y2 JP 10922089 U JP10922089 U JP 10922089U JP 10922089 U JP10922089 U JP 10922089U JP H0638395 Y2 JPH0638395 Y2 JP H0638395Y2
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Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は発光素子の一つである端面発光型EL素子に関す
る。
る。
従来の技術 近年、電子写真方式のプリンタの発展などに伴って各種
の発光素子が開発された。このような発光素子として
は、例えば、EL（エレクトロ−ルミネセンス）素子が存
するが、これは不足しがちな発光輝度の改善が望まれて
いた。そこで、上面が発光する従来のELに比して100倍
程の発光輝度を示す端面発光型ELが開発された。これ
は、活性元素を含む硫化亜鉛等からなる薄膜状の活性層
を誘電体層で囲んで光導波路を形成したもので、活性層
の端面から極扁平な光が照射されるようになっており、
その輝度の高さからプリンタヘッドなどへの利用が期待
されている。
の発光素子が開発された。このような発光素子として
は、例えば、EL（エレクトロ−ルミネセンス）素子が存
するが、これは不足しがちな発光輝度の改善が望まれて
いた。そこで、上面が発光する従来のELに比して100倍
程の発光輝度を示す端面発光型ELが開発された。これ
は、活性元素を含む硫化亜鉛等からなる薄膜状の活性層
を誘電体層で囲んで光導波路を形成したもので、活性層
の端面から極扁平な光が照射されるようになっており、
その輝度の高さからプリンタヘッドなどへの利用が期待
されている。
そこで、このような端面発光型ELを連設した端面発光型
EL素子アレイ１の構造を第４図及び第５図に基づいて説
明する。まず、第５図に例示するように、この端面発光
型EL素子２は、マンガンなどの活性元素を含む硫化亜鉛
等からなる薄膜状の活性層３を上下から誘電体層4,5で
囲んでEL素子層を形成し、この上下面に電極層6,7を形
成した構造となっている。そして、第４図に例示するよ
うに、前記端面発光型EL素子アレイ１は、多数の前記端
面発光型EL素子２を絶縁基板８の上に薄膜技術で分割形
成するなどして設けられている。
EL素子アレイ１の構造を第４図及び第５図に基づいて説
明する。まず、第５図に例示するように、この端面発光
型EL素子２は、マンガンなどの活性元素を含む硫化亜鉛
等からなる薄膜状の活性層３を上下から誘電体層4,5で
囲んでEL素子層を形成し、この上下面に電極層6,7を形
成した構造となっている。そして、第４図に例示するよ
うに、前記端面発光型EL素子アレイ１は、多数の前記端
面発光型EL素子２を絶縁基板８の上に薄膜技術で分割形
成するなどして設けられている。
このような構成において、この端面発光型EL素子アレイ
１に駆動回路（図示せず）を接続して各端面発光型EL素
子２を選択的に発光駆動させることなどで、電子写真方
式のプリンタヘッドとして利用することができる。
１に駆動回路（図示せず）を接続して各端面発光型EL素
子２を選択的に発光駆動させることなどで、電子写真方
式のプリンタヘッドとして利用することができる。
考案が解決しようとする課題 上述のような端面発光型EL素子２は雰囲気により劣化が
進行するため、実際に製作する場合は発光端面等を透明
保護膜で被うことになる。
進行するため、実際に製作する場合は発光端面等を透明
保護膜で被うことになる。
一般的に、上述のような透明保護膜としては熱硬化性樹
脂などが使用されるが、これは粘性が高く表面張力が大
きいので、その表面が被う物体の角部などで曲面状にな
りやすい。
脂などが使用されるが、これは粘性が高く表面張力が大
きいので、その表面が被う物体の角部などで曲面状にな
りやすい。
従って、第６図に例示するように、端面発光型EL素子２
に形成した透明保護膜９は、上部電極層７の前縁部を被
う部分が曲面状になりやすく、この場合、湾曲した透明
部材で発光端面が被われることになるため、出射光が屈
折や散乱等されて端面発光型EL素子２の性能が低下す
る。
に形成した透明保護膜９は、上部電極層７の前縁部を被
う部分が曲面状になりやすく、この場合、湾曲した透明
部材で発光端面が被われることになるため、出射光が屈
折や散乱等されて端面発光型EL素子２の性能が低下す
る。
課題を解決するための手段 基板上に下部電極層とEL素子層と上部電極層とを順次積
層形成した端面発光型EL素子において、端面発光型EL素
子の上部電極層の上に分厚い上部部材を設け、端面発光
型EL素子の発光端面を含んで少なくとも上部部材の内部
から基板内部に至る平面を形成し、この平面を連続的に
被う透明保護膜を設ける。
層形成した端面発光型EL素子において、端面発光型EL素
子の上部電極層の上に分厚い上部部材を設け、端面発光
型EL素子の発光端面を含んで少なくとも上部部材の内部
から基板内部に至る平面を形成し、この平面を連続的に
被う透明保護膜を設ける。
作用 端面発光型EL素子の上部電極層の上に分厚い上部部材を
設け、端面発光型EL素子の発光端面を含んで少なくとも
上部部材の内部から基板内部に至る平面を形成し、この
平面を連続的に被う透明保護膜を設けたことにより、端
面発光型EL素子の形成された発光端面から上方に連続し
た平面が上部部材により形成されるので、この上に形成
された透明保護膜は発光端面を被う部分の平滑性が良好
で出射光の散乱が少ない。
設け、端面発光型EL素子の発光端面を含んで少なくとも
上部部材の内部から基板内部に至る平面を形成し、この
平面を連続的に被う透明保護膜を設けたことにより、端
面発光型EL素子の形成された発光端面から上方に連続し
た平面が上部部材により形成されるので、この上に形成
された透明保護膜は発光端面を被う部分の平滑性が良好
で出射光の散乱が少ない。
実施例 本考案の実施例を第１図ないし第３図に基づいて説明す
る。なお、前述の従来例と同一の部分は同一の名称及び
符号を用いて説明も省略する。この端面発光型EL素子10
は、上部電極層６上に形成された上部部材11の前面が発
光端面と同一平面を形成しており、この絶縁基板８の下
縁部から上部部材11の上縁部まで発光端面を含んで連続
した平面の上に透明保護膜12が形成されている。
る。なお、前述の従来例と同一の部分は同一の名称及び
符号を用いて説明も省略する。この端面発光型EL素子10
は、上部電極層６上に形成された上部部材11の前面が発
光端面と同一平面を形成しており、この絶縁基板８の下
縁部から上部部材11の上縁部まで発光端面を含んで連続
した平面の上に透明保護膜12が形成されている。
そこで、上述のような構造の端面発光型EL素子10からな
る端面発光型EL素子アレイ13の製作工程の一例を第２図
（ａ）〜（ｆ）に基づいて説明する。まず、絶縁基板８
上にスパッタリングで形成した薄膜をフォトエッチング
でパターニングするなどしてTi等からなる下部電極層７
を形成する。つぎに、この下部電極層７の上に、厚さ30
00ÅのY2O3からなる誘電体層５とMnをドープした厚さ10
000ÅのZnSからなる活性層３及び厚さ3000ÅのY2O3から
なる誘電体層４を蒸着等で順次積層してEL素子層を形成
し、この上にCr等で上部電極層６を形成する。そこで、
イオンミリング法で前記各層３〜６を連続的にエッチン
グして複数個の端面発光型EL素子10を分割形成する。
る端面発光型EL素子アレイ13の製作工程の一例を第２図
（ａ）〜（ｆ）に基づいて説明する。まず、絶縁基板８
上にスパッタリングで形成した薄膜をフォトエッチング
でパターニングするなどしてTi等からなる下部電極層７
を形成する。つぎに、この下部電極層７の上に、厚さ30
00ÅのY2O3からなる誘電体層５とMnをドープした厚さ10
000ÅのZnSからなる活性層３及び厚さ3000ÅのY2O3から
なる誘電体層４を蒸着等で順次積層してEL素子層を形成
し、この上にCr等で上部電極層６を形成する。そこで、
イオンミリング法で前記各層３〜６を連続的にエッチン
グして複数個の端面発光型EL素子10を分割形成する。
そこで、上述のようにして得られた各端面発光型EL素子
10の上部電極層６の上に、プラズマCVD法で形成した厚
さ10μｍのSiNx（窒化シリコン）の薄膜をCF4ガスを用
いたプラズマエッチングで成形することで上部部材11を
形成する。このようにして形成された端面発光型EL素子
アレイ13に対し、絶縁基板８の前縁部の裏面にダイヤモ
ンドホイル等で端面発光型EL素子10の連設方向と平行に
所定深さのＶ溝を形成して破断することで、絶縁基板８
の下縁部から上部部材11の上縁部まで発光端面を含んで
連続した平面が形成される。
10の上部電極層６の上に、プラズマCVD法で形成した厚
さ10μｍのSiNx（窒化シリコン）の薄膜をCF4ガスを用
いたプラズマエッチングで成形することで上部部材11を
形成する。このようにして形成された端面発光型EL素子
アレイ13に対し、絶縁基板８の前縁部の裏面にダイヤモ
ンドホイル等で端面発光型EL素子10の連設方向と平行に
所定深さのＶ溝を形成して破断することで、絶縁基板８
の下縁部から上部部材11の上縁部まで発光端面を含んで
連続した平面が形成される。
そして、この端面発光型EL素子アレイ13を所定の粘度に
調節したポリエステル系のUV硬化樹脂内に浸漬して一定
速度で引き上げることで、このUV硬化樹脂が発光端面を
含む平面を被うように略全面に均一にコーティングされ
た状態となる。そこで、このUV硬化樹脂を紫外線の照射
で硬化させることで、透明保護膜12が形成された端面発
光型EL素子アレイ13が形成される。
調節したポリエステル系のUV硬化樹脂内に浸漬して一定
速度で引き上げることで、このUV硬化樹脂が発光端面を
含む平面を被うように略全面に均一にコーティングされ
た状態となる。そこで、このUV硬化樹脂を紫外線の照射
で硬化させることで、透明保護膜12が形成された端面発
光型EL素子アレイ13が形成される。
ここで、このようにして形成された端面発光型EL素子ア
レイ13は、第２図（ｆ）に例示するように、各端面発光
型EL素子10の上部電極層６上に形成された上部部材11に
より発光端面から上方に連続した平面が形成されている
ので、この上に形成した透明保護膜12は発光端面を被う
部分の平滑性が良好で出射光に悪影響が生じない。
レイ13は、第２図（ｆ）に例示するように、各端面発光
型EL素子10の上部電極層６上に形成された上部部材11に
より発光端面から上方に連続した平面が形成されている
ので、この上に形成した透明保護膜12は発光端面を被う
部分の平滑性が良好で出射光に悪影響が生じない。
なお、本実施例で例示した透明保護膜12は屈折率が比較
的大きいので、第３図に例示するように、連設された端
面発光型EL素子10の発光端面の平滑性が低くても出射光
の散乱を補正する作用がある。つまり、端面発光型EL素
子10の活性層３とUV硬化樹脂からなる透明保護膜12との
屈折率は各々2.3と1.6と近いので、これらの部材間での
屈折率は透明保護膜12と雰囲気との屈折率に比して小さ
い。従って、透明保護膜12の平滑性が良好であれば散乱
が少ない出射光が得られることになる。
的大きいので、第３図に例示するように、連設された端
面発光型EL素子10の発光端面の平滑性が低くても出射光
の散乱を補正する作用がある。つまり、端面発光型EL素
子10の活性層３とUV硬化樹脂からなる透明保護膜12との
屈折率は各々2.3と1.6と近いので、これらの部材間での
屈折率は透明保護膜12と雰囲気との屈折率に比して小さ
い。従って、透明保護膜12の平滑性が良好であれば散乱
が少ない出射光が得られることになる。
なお、上述のようにして形成した端面発光型EL素子アレ
イ13は、各電極層6,7上の透明保護膜12の一部をCF4ガス
等で除去することにより配線も容易に行なえる。そこ
で、この端面発光型EL素子アレイ13に駆動回路やロッド
レンズアレイ（共に図示せず）等を組合わせることで、
高性能なラインヘッドを製作することができる。
イ13は、各電極層6,7上の透明保護膜12の一部をCF4ガス
等で除去することにより配線も容易に行なえる。そこ
で、この端面発光型EL素子アレイ13に駆動回路やロッド
レンズアレイ（共に図示せず）等を組合わせることで、
高性能なラインヘッドを製作することができる。
考案の効果 本考案は上述のように、基板上に下部電極層とEL素子層
と上部電極層とを順次積層形成した端面発光型EL素子に
おいて、端面発光型EL素子の上部電極層の上に分厚い上
部部材を設け、端面発光型EL素子の発光端面を含んで少
なくとも上部部材の内部から基板内部に至る平面を形成
し、この平面を連続的に被う透明保護膜を設けたことに
より、端面発光型EL素子の形成された発光端面から上方
に連続した平面が上部部材により形成されるので、この
上に形成した透明保護膜は発光端面を被う部分の平滑性
が良好で、出射光の散乱が少なく高性能な端面発光型EL
素子を形成することができ、各端面発光型EL素子は雰囲
気から良好に保護されて性能が安定している等の効果を
有するものである。
と上部電極層とを順次積層形成した端面発光型EL素子に
おいて、端面発光型EL素子の上部電極層の上に分厚い上
部部材を設け、端面発光型EL素子の発光端面を含んで少
なくとも上部部材の内部から基板内部に至る平面を形成
し、この平面を連続的に被う透明保護膜を設けたことに
より、端面発光型EL素子の形成された発光端面から上方
に連続した平面が上部部材により形成されるので、この
上に形成した透明保護膜は発光端面を被う部分の平滑性
が良好で、出射光の散乱が少なく高性能な端面発光型EL
素子を形成することができ、各端面発光型EL素子は雰囲
気から良好に保護されて性能が安定している等の効果を
有するものである。
第１図は本考案の実施例を示す端面発光型EL素子の縦断
側面図、第２図は製作工程図、第３図は平面図、第４図
は従来例を示す端面発光型EL素子アレイの斜視図、第５
図は端面発光型EL素子の斜視図、第６図は縦断側面図で
ある。 ３〜５……EL素子層、６……上部電極層、７……下部電
極層、８……基板、10……端面発光型EL素子、11……上
部部材、12……透明保護膜
側面図、第２図は製作工程図、第３図は平面図、第４図
は従来例を示す端面発光型EL素子アレイの斜視図、第５
図は端面発光型EL素子の斜視図、第６図は縦断側面図で
ある。 ３〜５……EL素子層、６……上部電極層、７……下部電
極層、８……基板、10……端面発光型EL素子、11……上
部部材、12……透明保護膜
Claims (1)
- 【請求項１】基板上に下部電極層とEL素子層と上部電極
層とを順次積層形成した端面発光型EL素子において、前
記端面発光型EL素子の上部電極層の上に分厚い上部部材
を設け、前記端面発光型EL素子の発光端面を含んで少な
くとも前記上部部材の内部から前記基板内部に至る平面
を形成し、この平面を連続的に被う透明保護膜を設けた
ことを特徴とする端面発光型EL素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10922089U JPH0638395Y2 (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 端面発光型ｅｌ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10922089U JPH0638395Y2 (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 端面発光型ｅｌ素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0348895U JPH0348895U (ja) | 1991-05-10 |
| JPH0638395Y2 true JPH0638395Y2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=31657820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10922089U Expired - Lifetime JPH0638395Y2 (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 端面発光型ｅｌ素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0638395Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2013124953A1 (ja) * | 2012-02-20 | 2015-05-21 | パイオニア株式会社 | 発光装置 |
| WO2013124953A1 (ja) * | 2012-02-20 | 2013-08-29 | パイオニア株式会社 | 発光装置 |
| US8933468B2 (en) * | 2012-03-16 | 2015-01-13 | Princeton University Office of Technology and Trademark Licensing | Electronic device with reduced non-device edge area |
-
1989
- 1989-09-19 JP JP10922089U patent/JPH0638395Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0348895U (ja) | 1991-05-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |