JPH0639326B2 - 金属硼化物の超微粉の製造法 - Google Patents

金属硼化物の超微粉の製造法

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JPH0639326B2
JPH0639326B2 JP110287A JP110287A JPH0639326B2 JP H0639326 B2 JPH0639326 B2 JP H0639326B2 JP 110287 A JP110287 A JP 110287A JP 110287 A JP110287 A JP 110287A JP H0639326 B2 JPH0639326 B2 JP H0639326B2
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悟 大野
雅広 宇田
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科学技術庁金属材料技術研究所長
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は粒径1μm以下の金属硼化物の超微粉の製造法
に関する。
金属硼化物は、極めて融点および硬度が高く、しかも化
学的にも安定であることなどから、超耐熱材料、耐摩耗
材料、複合材料などに利用されるとともに、その優れた
物性から新機能を有する電子材料、触媒材料、超電導材
料などとして注目されている。
金属硼化物をこのような用途に適用する場合の加工方法
としては、主として粉末冶金的手段、すなわち焼結法が
用いられるが、高性能な焼結体を得るためには、高純度
でかつ焼結性の優れた微細な金属硼化物粉であることが
要求される。
従来技術 従来、粒径1μm以下の金属硼化物超微粉を製造する方
法としては、(1)金属硼化物塊の機械的粉砕、(2)金属塩
化物と塩化硼素との混合気体の水素還元合成などがあ
る。ここで、前者の機械的粉砕法では、粒径1μm以下
の金属硼化物超微粉を得ることが極めて困難である。ま
た、後者の水素還元合成法では反応効率を向上させるこ
とが困難であるとともに、反応副生成物による超微粉の
汚染、すなわち高純度の超微粉が得難いことや、公害の
予想される排ガス(主としてHClガス)の処理等、そ
の製造工程・装置は極めて複雑なものとなっている。
発明の目的 本発明は、これらの欠点を解決すべくなされたものであ
り、その目的は簡易な装置・製造工程で、かつ無公害的
に粒径1μm以下の金属硼化物超微粉を製造する方法を
提供するにある。
発明の構成 本発明者らは、前記目的を達成すべく研究の結果、水素
または水素と不活性ガスとの混合ガス中で発生した熱プ
ラズマにより、金属硼化物塊あるいは所定の化学量論的
混合比を有する該金属と硼素との混合物を加熱・溶融す
ることにより、該金属の硼化物が効率良く蒸発するとと
もに、この蒸発した金属硼化物蒸気が該雰囲気中で凝縮
して金属硼化物超微粒子となることを見出した。この知
見に基づいて本発明を完成したものである。
本発明は、水素あるいは水素とアルゴン、ヘリウム等の
不活性ガスとの混合ガス中で発生した熱プラズマ(アー
ク、プラズマジェットあるいは高周波プラズマ等)によ
り、金属硼化物あるいは該金属と硼素とを所定の化学量
論比に混合した混合物を加熱・溶融し、この際に発生す
る金属硼化物蒸気を該雰囲気中で凝縮させて金属硼化物
超微粉を製造する方法である。
本発明における金属硼化物超微粒子の生成機構の詳細は
明らかではないが、本発明者らが先に見出した水素プラ
ズマによる金属超微粒子の生成現象と同様に(特許第11
46170号)、アークプラズマ内で活性化された水素(原
子状あるいはイオン状水素)と溶融金属硼化物との反応
過程において、該溶融金属硼化物が強制的に蒸発し、そ
の蒸気が凝縮することにより金属硼化物超微粒子を形成
したものと考えられる。
本発明における出発原料としては、塊状の金属硼化物を
そのまま用いてもよいが、金属と硼素との化学量論的混
合物(一般に、粉末を混合して調整する)を熱プラズマ
で直接加熱・溶融してもよい(この加熱・溶融により該
金属硼化物が合成される)。
熱プラズマを発生する雰囲気としては、水素あるいは水
素と不活性ガスとの混合ガスが使用されるが、超微粒子
の発生速度の観点より、純水素あるいは少なくとも20
%(体積比)以上の水素を含む水素と不活性ガスとの混
合ガス雰囲気とすることが望ましい。また、この雰囲気
の圧力は、熱プラズマを安定に発生・維持しうる範囲
(通常、約50Torr〜5atm)であれば任意であるが、
超微粒子の発生効率や操業性、超微粒子の搬送・捕集性
などの点から大気圧近傍の圧力が望ましい。
該金属硼化物を加熱・溶融、金属硼化物超微粒子を発生
させるための熱プラズマとしては、直流または交流アー
ク、移行式または非移行式プラズマジェットあるいは高
周波誘導プラズマが利用できるが、熱効率の点より直流
アークあるいは移行式プラズマジェットを使用すること
が望ましい。
本発明において作成しうる金属硼化物超微粉は、該熱プ
ラズマの加熱・溶融に際して容易に分解しない程度に高
融点(大略2000℃以上)の金属硼化物であり、周期
表のIa、IIa、IIIa、IVa、VaおよびVIa族に属
する金属、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属、
希土類金属、Ti,Zr、Hf、V、Nb、Ta、C
r、Mo、Wなどの硼化物が挙げられる。
本発明の方法における金属硼化物超微粉を製造するため
の装置としては、第1図に示したような、本発明者らが
先に考案した金属超微粒子の製造装置(特許第1226806
号)が挙げられる。図中、1は密閉容器、2は熱プラズ
マ、3は溶融金属硼化物、4は雰囲気ガスの導入口、5
は溶解台、6は冷却器、7は超微粉捕集器である。
溶融金属硼化物から発生した金属硼化物蒸気は、雰囲気
ガスによって直ちに冷却・凝縮されて超微粒子となり、
該金属硼化物超微粒子は雰囲気ガス導入口4から冷却器
6を経て超微粒子捕集器7へ向かう雰囲気ガス流によっ
て捕集器7に搬送され、捕集される。
実施例1 第1図に示す装置を使用し、プラズマ発生方法としては
直流アーク(正極性、電流:150A)を、雰囲気は5
0%H2−Arをそれぞれ用いて硼化チタン(Ti
B2)塊を加熱・溶融し、チタン硼化物の超微粉を作成
した。
得られた超微粉の電子顕微鏡写真を第2図、粉末X線回
折図形を第3図に示す。チタン硼化物の超微粒子は六角
板状、球形等の晶癖を有するが、いずれもその粒径は0.
3μm以下の超微粒子となっている。また、第3図のX
線回折図形より、この超微粒子は六方晶形のTiB2で
あることが判明した。
実施例2 実施例1と同一の装置を使用し、50%H2−Ar雰囲
気中において硼化ジルコニウム(ZrB2)を直流アー
ク(電流:150A)により加熱・溶融し、ジルコニウ
ム硼化物の超微粉を得た。
得られた超微粉の電子顕微鏡写真を第4図に、粉末X線
回折図形を第5図に示す。ジルコニウム硼化物の超微粒
子は、主として球形の粒子であり、その粒径はいずれも
0.2μm以下の超微粒子であった。また、第5図の粉末
X線回折図形より、このジルコニウム硼化物は六方晶形
に属する硼化ジルコニウム(ZrB2)であることが判
明した。
発明の効果 このように、本発明の方法によれば、簡易な装置によ
り、容易かつ無公害的に高純度な金属硼化物の超微粉を
製造することができる。また、このようにして得られた
金属硼化物超微粉は、金属硼化物の焼結温度・圧力等の
条件を著しく緩和できるという効果を有するばかりでは
なく、触媒や電子材料、超電導材料として新しい機能を
開発することができるという優れた効果も発現し得られ
という特徴を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は金属硼化物超微粉を製造する装置の実施態様
図、第2図および第4図は金属硼化物超微粒子の電子顕
微鏡写真、第3図および第5図は金属硼化物超微粉のX
線回折図形を示す。 1:密閉容器、2:熱プラズマ 3:溶融金属硼化物、4:雰囲気ガス導入口 5:溶解台、6:冷却器 7:超微粉捕集器

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】水素または水素と不活性ガスとの混合ガス
    雰囲気中で発生した熱プラズマにより、周期表Ia、II
    a、IIIa、IVa、VaおよびVIa族金属の硼化物ある
    いは該金属と硼素との混合物を加熱・溶融することによ
    り該金属硼化物を蒸発・凝縮させることを特徴とする該
    金属の硼化物超微粉の製造法。
JP110287A 1987-01-08 1987-01-08 金属硼化物の超微粉の製造法 Expired - Lifetime JPH0639326B2 (ja)

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