JPH0640059B2 - 浮遊微粒子測定方法及びその装置 - Google Patents
浮遊微粒子測定方法及びその装置Info
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- JPH0640059B2 JPH0640059B2 JP60114565A JP11456585A JPH0640059B2 JP H0640059 B2 JPH0640059 B2 JP H0640059B2 JP 60114565 A JP60114565 A JP 60114565A JP 11456585 A JP11456585 A JP 11456585A JP H0640059 B2 JPH0640059 B2 JP H0640059B2
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- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
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- G—PHYSICS
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/05—Flow-through cuvettes
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- G—PHYSICS
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- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
- G01N21/53—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke
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- G01N2015/0053—Investigating dispersion of solids in liquids, e.g. trouble
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、油、水、空気等の流体中に浮遊する微粒子の
濃度を測定する方法及びその装置に係り、特に光学的に
測定する方法及びその装置に関する。
濃度を測定する方法及びその装置に係り、特に光学的に
測定する方法及びその装置に関する。
流体中の微粒子（例えば油中のダスト、泡、水中の固形
物、空気中の塵埃）の濃度測定は光学的方法が多く用い
られている。この従来の方法は、光源と光検出器とを一
直線上に配置し、光源からの光を流体に照射して透過し
た光を光検出器で検出し、光検出器で検出される光量が
微粒子による光の吸収または散乱のために光源からの光
量よりも少なくなることに基づき流体中における微粒子
の濃度を測定するものである。
物、空気中の塵埃）の濃度測定は光学的方法が多く用い
られている。この従来の方法は、光源と光検出器とを一
直線上に配置し、光源からの光を流体に照射して透過し
た光を光検出器で検出し、光検出器で検出される光量が
微粒子による光の吸収または散乱のために光源からの光
量よりも少なくなることに基づき流体中における微粒子
の濃度を測定するものである。
以上の従来技術によると、微粒子の大きさ及び濃度が小
さいときには光源からの光量と光検出器で検出される光
量との差が大きくならないため、測定可能な微粒子の大
きさ及び濃度に限界があり、極小微粒子及び濃度の測定
は不可能であった。また一定以上の測定精度を維持する
ためには光源からの光量と光検出器で検出される光量と
の差を大きくする必要があり、このために測定対象であ
る試料流体の容量を大きくしなければならず、従って試
料流体の大容量化により装置が全体的に大型化してしま
う問題があった。
さいときには光源からの光量と光検出器で検出される光
量との差が大きくならないため、測定可能な微粒子の大
きさ及び濃度に限界があり、極小微粒子及び濃度の測定
は不可能であった。また一定以上の測定精度を維持する
ためには光源からの光量と光検出器で検出される光量と
の差を大きくする必要があり、このために測定対象であ
る試料流体の容量を大きくしなければならず、従って試
料流体の大容量化により装置が全体的に大型化してしま
う問題があった。
本発明の目的は、微粒子の大きさ、濃度が極めて小さく
ても測定可能で測定限界の向上を図ることができ、また
装置全体を小型化できて取扱いが容易になるとともに、
携帯することも可能になるようにした浮遊微粒子測定方
法およびその装置を提供するところにある。
ても測定可能で測定限界の向上を図ることができ、また
装置全体を小型化できて取扱いが容易になるとともに、
携帯することも可能になるようにした浮遊微粒子測定方
法およびその装置を提供するところにある。
このため本発明の測定方法は、微粒子が浮遊する流体に
光を照射するとともに、この光を鏡面で反射させながら
前記流体中を進行させ、この進行途中で前記微粒子から
反射、散乱した光のそれぞれの平行光線を集光して検出
することにより前記流体中の前記微粒子の濃度を測定す
るものである。
光を照射するとともに、この光を鏡面で反射させながら
前記流体中を進行させ、この進行途中で前記微粒子から
反射、散乱した光のそれぞれの平行光線を集光して検出
することにより前記流体中の前記微粒子の濃度を測定す
るものである。
このように光を鏡面で反射させることにより、光路が長
くなって微粒子に多方向から光が照射されるようにな
り、集光されて検出される前記平行光線の強度を大きく
できるようになる。
くなって微粒子に多方向から光が照射されるようにな
り、集光されて検出される前記平行光線の強度を大きく
できるようになる。
また本発明の測定装置は、内面が鏡面であって内部に微
粒子が浮遊する流体を収容する筒部材と、この筒部材に
光軸が筒部材軸線と角度をなして取付けられた光源と、
前記微粒子から反射、散乱した光のそれぞれの平行光線
を集光する集光レンズと、この集光レンズと対向配置さ
れた光検出器と、この光検出器で検出された光量に関す
る信号を処理して前記流体中の前記微粒子の濃度を求め
る信号処理装置と、を有し、この構成によって前記測定
方法が実現される。
粒子が浮遊する流体を収容する筒部材と、この筒部材に
光軸が筒部材軸線と角度をなして取付けられた光源と、
前記微粒子から反射、散乱した光のそれぞれの平行光線
を集光する集光レンズと、この集光レンズと対向配置さ
れた光検出器と、この光検出器で検出された光量に関す
る信号を処理して前記流体中の前記微粒子の濃度を求め
る信号処理装置と、を有し、この構成によって前記測定
方法が実現される。
以下に説明する各実施例においては理解および説明の便
宜のため同一部材には同一符号を使用する。
宜のため同一部材には同一符号を使用する。
第１図は本実施例に係る装置の基本構造を示す断面図
で、第２図は装置の電気回路構成を示すブロック図であ
る。
で、第２図は装置の電気回路構成を示すブロック図であ
る。
第１図において微粒子が浮遊する流体を内部に収容する
筒部材１は同一内径寸法が軸方向に連続した円筒形で、
内面１Ａは鏡面２になっている。この鏡面２は内面１Ａ
にはＡｌ、Ｍｇ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｒ等を蒸着またはメッ
キすることにより形成される。筒部材１には光源３が取
付けられ、光源３からの光は筒部材１の周側面に形成し
た透孔４を通過して筒部材１の内部に進入できるように
なっている。この透孔４にはガラス等の透明部材が嵌め
込まれ、筒部材１の気密性が確保されている。光源３は
その光軸が筒部材１の軸線と角度をなすように配置さ
れ、本実施例では光源３の光軸と筒部材１の軸線とが直
角をなしている。
筒部材１は同一内径寸法が軸方向に連続した円筒形で、
内面１Ａは鏡面２になっている。この鏡面２は内面１Ａ
にはＡｌ、Ｍｇ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｒ等を蒸着またはメッ
キすることにより形成される。筒部材１には光源３が取
付けられ、光源３からの光は筒部材１の周側面に形成し
た透孔４を通過して筒部材１の内部に進入できるように
なっている。この透孔４にはガラス等の透明部材が嵌め
込まれ、筒部材１の気密性が確保されている。光源３は
その光軸が筒部材１の軸線と角度をなすように配置さ
れ、本実施例では光源３の光軸と筒部材１の軸線とが直
角をなしている。
光源３は例えば、フォトダイオード、タングステンラン
プにより構成される。これに限らず光源３をレーザー光
や分光された光を発生する装置で構成してもよく、また
光ファイバーを利用したものでもよい。
プにより構成される。これに限らず光源３をレーザー光
や分光された光を発生する装置で構成してもよく、また
光ファイバーを利用したものでもよい。
筒部材１の開口端部１Ｂには集光レンズ５が配置され、
この集光レンズ５は片凸レンズで、凸面を外側に向け、
平坦面を開口端部１Ｂに密着当接させて筒部材１に取付
けられている。集光レンズ５の外側には光検出器６が設
けられ、集光レンズ５と光検出器６とは筒部材１の軸線
延長線上に対向配置され、これらの間隔は集光レンズ５
の焦点距離と同じである。集光レンズ５と光検出器６と
の間にはスリット部材７が配置される。
この集光レンズ５は片凸レンズで、凸面を外側に向け、
平坦面を開口端部１Ｂに密着当接させて筒部材１に取付
けられている。集光レンズ５の外側には光検出器６が設
けられ、集光レンズ５と光検出器６とは筒部材１の軸線
延長線上に対向配置され、これらの間隔は集光レンズ５
の焦点距離と同じである。集光レンズ５と光検出器６と
の間にはスリット部材７が配置される。
光検出器６は例えば光電子増倍管、Ｃｄｓその他のフォ
トセンサーにより構成される。これに限らず光検出器６
を光ファイバーにより別の検出器、分光器に光を導入す
る構造としてもよい。
トセンサーにより構成される。これに限らず光検出器６
を光ファイバーにより別の検出器、分光器に光を導入す
る構造としてもよい。
第２図に示す通り光検出器６には信号処理装置８が接続
され、この信号処理装置８は光検出器６で検出された光
が光電変換されて電気出力としての信号に変換された
後、この信号を所望処理するものである。すなわち、信
号処理装置８は電気信号を増幅する機能、これを演算処
理して微粒子の濃度を求める機能、光検出器６で検出さ
れた光量が少ない場合には光源調整部９を制御して光源
３の発光量を増加させる機能などを有する。信号処理装
置８には表示記録部１０が接続され、この表示記録部１
０は信号処理装置８で求められた微粒子の濃度をデジタ
ルまたはアナログ表示する機能およびこれを記録する機
能を有する。
され、この信号処理装置８は光検出器６で検出された光
が光電変換されて電気出力としての信号に変換された
後、この信号を所望処理するものである。すなわち、信
号処理装置８は電気信号を増幅する機能、これを演算処
理して微粒子の濃度を求める機能、光検出器６で検出さ
れた光量が少ない場合には光源調整部９を制御して光源
３の発光量を増加させる機能などを有する。信号処理装
置８には表示記録部１０が接続され、この表示記録部１
０は信号処理装置８で求められた微粒子の濃度をデジタ
ルまたはアナログ表示する機能およびこれを記録する機
能を有する。
次に作用について述べる。
筒部材１の内部に流体を収容する。この流体は濃度を測
定すべきダスト、塵埃等の微粒子が存在するものであれ
ば油、水、空気などでよい。光源３を発光させると流体
に光が照射され、この光は鏡面２で反射しながら流体中
を進行する。進行途中で光は微粒子１１に衝突し、反
射、散乱する。この反射、散乱はそれぞれの微粒子１１
について行われ、散乱光の内の平行光線１２が集光レン
ズ５で集光されながら筒部材１の外部に導出される。
定すべきダスト、塵埃等の微粒子が存在するものであれ
ば油、水、空気などでよい。光源３を発光させると流体
に光が照射され、この光は鏡面２で反射しながら流体中
を進行する。進行途中で光は微粒子１１に衝突し、反
射、散乱する。この反射、散乱はそれぞれの微粒子１１
について行われ、散乱光の内の平行光線１２が集光レン
ズ５で集光されながら筒部材１の外部に導出される。
以上において、鏡面２による反射によって光路が長くな
っているとともに、光の進行方向は乱反射で任意な方向
であるため、微粒子１１には多方向から光が照射され、
換言すると筒部材１の内面１Ａの全面が発光面になった
のと同じになり、従って前記平行光線１２の強度は大き
くなり、集光レンズ５で集光されて光検出器６で検出さ
れる光量が大きなものとなる。
っているとともに、光の進行方向は乱反射で任意な方向
であるため、微粒子１１には多方向から光が照射され、
換言すると筒部材１の内面１Ａの全面が発光面になった
のと同じになり、従って前記平行光線１２の強度は大き
くなり、集光レンズ５で集光されて光検出器６で検出さ
れる光量が大きなものとなる。
光検出器６で検出された光量に基づき電気信号が発生
し、この信号が信号処理装置８で処理されて微粒子１１
の濃度が表示記録部１０に表示、記録される。ここで、
微粒子１１の大きさが極めて小さなものであっても、平
行光線１２の強度が大きくなるため極小微粒子１１の測
定が可能になる。また流体中の微粒子１１の濃度が小さ
なものであってもそれぞれの微粒子１１から発生する平
行光線１２の強度は大きいためその濃度を測定できるよ
うになり、従来装置よりも測定感度を高めることができ
る。
し、この信号が信号処理装置８で処理されて微粒子１１
の濃度が表示記録部１０に表示、記録される。ここで、
微粒子１１の大きさが極めて小さなものであっても、平
行光線１２の強度が大きくなるため極小微粒子１１の測
定が可能になる。また流体中の微粒子１１の濃度が小さ
なものであってもそれぞれの微粒子１１から発生する平
行光線１２の強度は大きいためその濃度を測定できるよ
うになり、従来装置よりも測定感度を高めることができ
る。
また、本装置は外形において筒部材１が主要部材で、光
検出器６、スリット部材７等を含めても全体的に細長の
筒状となるため、装置を小型、軽量化することができ、
取扱い、操作性の向上を図ることができるとともに、携
帯性も得られるようになる。
検出器６、スリット部材７等を含めても全体的に細長の
筒状となるため、装置を小型、軽量化することができ、
取扱い、操作性の向上を図ることができるとともに、携
帯性も得られるようになる。
第３図、第４図は具体的実施例を示す。筒部材１には保
持部材１３が設けられ、この保持部材１３は円筒形状
で、外筒である筒部材１に対して内筒である保持部材１
３は筒部材１の軸線方向に摺動自在になっている。筒部
材１の内部に臨む保持部材１３の開口端部１３Ａには集
光レンズ５が取付保持され、また保持部材１３の内部に
光検出器６及びスリット部材７が配置される。従って集
光レンズ５等は筒部材１に対して移動自在になってい
る。筒部材１の底面１Ｃには開口部１４が形成され、筒
部材１の周側面にも開口部１５が設けられている。
持部材１３が設けられ、この保持部材１３は円筒形状
で、外筒である筒部材１に対して内筒である保持部材１
３は筒部材１の軸線方向に摺動自在になっている。筒部
材１の内部に臨む保持部材１３の開口端部１３Ａには集
光レンズ５が取付保持され、また保持部材１３の内部に
光検出器６及びスリット部材７が配置される。従って集
光レンズ５等は筒部材１に対して移動自在になってい
る。筒部材１の底面１Ｃには開口部１４が形成され、筒
部材１の周側面にも開口部１５が設けられている。
以上の筒部材１、保持部材１３等で検出器１６が構成さ
れ、この検出部１６はコード１７で電気制御部１８に接
続され、電気制御部１８は前記信号処理装置８、光源調
整部９、表示記録部１０を含むものとなっている。
れ、この検出部１６はコード１７で電気制御部１８に接
続され、電気制御部１８は前記信号処理装置８、光源調
整部９、表示記録部１０を含むものとなっている。
本装置の不使用時には保持部材１３が筒部材１に押し入
れられ、従って検出部１６は収縮状態とされ、長さ寸法
の短縮により格納スペースを小さくできる。本装置を使
用する場合には、第４図に示す通り検出部１６を流体１
９に挿入する。この時保持部材１３は筒部材１に対して
伸長状態とされ、前記開口部１４から流体１９が流入す
るとともに前記開口部１５から空気が排出され、筒部材
１に流体１９が収容充填される。そして光源３を発光さ
せて流体１９中に浮遊する微粒子の濃度測定が行われ
る。
れられ、従って検出部１６は収縮状態とされ、長さ寸法
の短縮により格納スペースを小さくできる。本装置を使
用する場合には、第４図に示す通り検出部１６を流体１
９に挿入する。この時保持部材１３は筒部材１に対して
伸長状態とされ、前記開口部１４から流体１９が流入す
るとともに前記開口部１５から空気が排出され、筒部材
１に流体１９が収容充填される。そして光源３を発光さ
せて流体１９中に浮遊する微粒子の濃度測定が行われ
る。
この測定作業において、微粒子の濃度が小さく光検出器
６で検出される光量が少ない場合には、筒部材１に対し
て保持部材１３を伸び挙動させて筒部材１に収容される
流体１９の量を大きくする。これにより筒部材１内の微
粒子の数が増し、光検出器６で検出される光量が増大す
る。このようにこの実施例では保持部材１３を筒部材１
に対して移動自在としたため、筒部材１に収容する流体
１９の量を微粒子の濃度に応じて調整できるようにな
り、検出濃度の限界を高めることができる。
６で検出される光量が少ない場合には、筒部材１に対し
て保持部材１３を伸び挙動させて筒部材１に収容される
流体１９の量を大きくする。これにより筒部材１内の微
粒子の数が増し、光検出器６で検出される光量が増大す
る。このようにこの実施例では保持部材１３を筒部材１
に対して移動自在としたため、筒部材１に収容する流体
１９の量を微粒子の濃度に応じて調整できるようにな
り、検出濃度の限界を高めることができる。
第５図は作業者が筒部材１に試料流体を収容するように
構成されている実施例を示す。筒部材１の周側面には２
本の管部材２０、２１が立設され、筒部材１を水平方向
に対して角度θ傾け、低位の管部材２０から流体を流し
入れるとともに高位の管部材２１から空気抜きを行う。
構成されている実施例を示す。筒部材１の周側面には２
本の管部材２０、２１が立設され、筒部材１を水平方向
に対して角度θ傾け、低位の管部材２０から流体を流し
入れるとともに高位の管部材２１から空気抜きを行う。
第６図は管路２２に流れている流体の微粒子濃度を直接
測定するための実施例を示す。筒部材１の周側面には開
口部２３，２４が形成され、これらの開口部２３，２４
は管路２２に設けられた開口部２５，２６と連結管２
７，２８を介して連結され、管路２２中の流体が筒部材
１に迂回流入し、流出する。この実施例では筒部材１の
内部に反射防止部材２９が設けられており、この反射防
止部材２９の少なくとも集光レンズ５と対向する面が黒
色に着色されている。これにより集光レンズ５とは反対
方向へ進行してから筒部材１の端部で反射されるべき光
線が反射防止部材２９で吸収されて反射せず、従って光
検出器６で検出される光が集光レンズ５の方向へ進行し
た微粒子１１からの前記平行光線１２のみとなり、微粒
子濃度の測定精度を高めるようになっている。
測定するための実施例を示す。筒部材１の周側面には開
口部２３，２４が形成され、これらの開口部２３，２４
は管路２２に設けられた開口部２５，２６と連結管２
７，２８を介して連結され、管路２２中の流体が筒部材
１に迂回流入し、流出する。この実施例では筒部材１の
内部に反射防止部材２９が設けられており、この反射防
止部材２９の少なくとも集光レンズ５と対向する面が黒
色に着色されている。これにより集光レンズ５とは反対
方向へ進行してから筒部材１の端部で反射されるべき光
線が反射防止部材２９で吸収されて反射せず、従って光
検出器６で検出される光が集光レンズ５の方向へ進行し
た微粒子１１からの前記平行光線１２のみとなり、微粒
子濃度の測定精度を高めるようになっている。
第７図は潤滑油にＪＩＳ標準ダストを添加し、JIS B 99
30の５「自動式粒子計数器法」所載の汚濁計測器HIAC P
C-320(HIAC/RYCO Instrument Division 製）によるＮＡ
Ｓ等級との相関を調べた実験結果である。このグラフが
示すように相関係数Ｒ＝０．９９の良好な結果が得られ
た。
30の５「自動式粒子計数器法」所載の汚濁計測器HIAC P
C-320(HIAC/RYCO Instrument Division 製）によるＮＡ
Ｓ等級との相関を調べた実験結果である。このグラフが
示すように相関係数Ｒ＝０．９９の良好な結果が得られ
た。
また蒸留し、０．８ミクロンのミリポアフィルター（Mi
llipore Corp製）で濾過した水にカオリンを添加し、カ
オリン粒子量と表示値（検出光量）との相関を調べた結
果、良好な結果が得られた。
llipore Corp製）で濾過した水にカオリンを添加し、カ
オリン粒子量と表示値（検出光量）との相関を調べた結
果、良好な結果が得られた。
更に、試料流体を空気中の煙草の煙とし、この煙の稀釈
量との相関を調べた結果、良好な結果が得られた。
量との相関を調べた結果、良好な結果が得られた。
第９図は第８図の通りモータ３０で回転する撹拌部材３
１により水をｔ１からｔ２まで撹拌し、水中の泡により
従来の透過法による測定方法と本発明に係る測定方法と
による検出光量の違いを調べたものである。撹拌停止
後、透過法では曲線Ａのように時間とともに検出光量が
増加するのに対し、本発明の方法では曲線Ｂのように検
出光量が減少する。
１により水をｔ１からｔ２まで撹拌し、水中の泡により
従来の透過法による測定方法と本発明に係る測定方法と
による検出光量の違いを調べたものである。撹拌停止
後、透過法では曲線Ａのように時間とともに検出光量が
増加するのに対し、本発明の方法では曲線Ｂのように検
出光量が減少する。
以上説明した第１図〜第６図の各実施例において、筒部
材１は断面円形の円筒状となっていたが、これを断面円
形以外の形状、例えば断面四角形としてもよい。また、
第３図、第４図の実施例のように筒部材１に移動自在な
保持部材１３を設けて粒子濃度に応じ筒部材１に収容す
る流体容量を調整する構成は、第５図、第６図の各実施
例においても実施可能である。更に、第６図で示した反
射防止部材２９についての構成も第３図、第４図の実施
例および第５図の実施例に実施可能である。第３図、第
４図の実施例に反射防止部材２９を適用する場合には、
反射防止部材２９を複数の孔を設けた２枚とし、これら
の反射防止部材２９を孔の位置をずらせて筒部材１の底
面１Ｃに設けることにより、流体の流入と光線の吸収と
を同時に達成できる。
材１は断面円形の円筒状となっていたが、これを断面円
形以外の形状、例えば断面四角形としてもよい。また、
第３図、第４図の実施例のように筒部材１に移動自在な
保持部材１３を設けて粒子濃度に応じ筒部材１に収容す
る流体容量を調整する構成は、第５図、第６図の各実施
例においても実施可能である。更に、第６図で示した反
射防止部材２９についての構成も第３図、第４図の実施
例および第５図の実施例に実施可能である。第３図、第
４図の実施例に反射防止部材２９を適用する場合には、
反射防止部材２９を複数の孔を設けた２枚とし、これら
の反射防止部材２９を孔の位置をずらせて筒部材１の底
面１Ｃに設けることにより、流体の流入と光線の吸収と
を同時に達成できる。
本発明によれば、光検出器で検出される微粒子からの平
行光線の強度が大きくなるため、微粒子の大きさ、濃度
が極めて小さいものであっても測定可能となり、測定限
界を高めることができる。また装置全体を小型化でき、
携帯可能とすることも実現でき、装置の取扱い、操作性
の容易化を達成できるようになる。
行光線の強度が大きくなるため、微粒子の大きさ、濃度
が極めて小さいものであっても測定可能となり、測定限
界を高めることができる。また装置全体を小型化でき、
携帯可能とすることも実現でき、装置の取扱い、操作性
の容易化を達成できるようになる。
第１図は装置の基本構造を示す断面図、第２図は電気回
路を示すブロック図、第３図は具体的実施例を示す一部
断面の説明図、第４図は第３図で示した検出部の使用状
態を示す斜視図、第５図は別実施例を示す斜視図、第６
図は更なる別実施例を示す断面図、第７図は実験結果を
示すグラフの図、第８図は従来方法との比較のための実
験方法を示す図、第９図はその実験結果のグラフ図であ
る。 １……筒部材、２……鏡面、３……光源、５……集光レ
ンズ、６……光検出器、７……スリット部材、８……信
号処理装置、１１……微粒子、１２……平行光線、１３
……保持部材。
路を示すブロック図、第３図は具体的実施例を示す一部
断面の説明図、第４図は第３図で示した検出部の使用状
態を示す斜視図、第５図は別実施例を示す斜視図、第６
図は更なる別実施例を示す断面図、第７図は実験結果を
示すグラフの図、第８図は従来方法との比較のための実
験方法を示す図、第９図はその実験結果のグラフ図であ
る。 １……筒部材、２……鏡面、３……光源、５……集光レ
ンズ、６……光検出器、７……スリット部材、８……信
号処理装置、１１……微粒子、１２……平行光線、１３
……保持部材。
Claims (4)
- 【請求項１】微粒子が浮遊する流体を内面が鏡面となっ
た筒部材の内部に収容し、この筒部材の外部より筒部材
軸線と角度をなす方向から前記流体に光を照射するとと
もに、この光を前記鏡面で反射させながら前記流体中を
進行させ、この進行途中で前記微粒子から反射、散乱し
た光の前記筒部材軸線と同方向に進行するそれぞれの平
行光線を集光して検出することにより前記流体中の前記
微粒子の濃度を測定することを特徴とする浮遊微粒子測
定方法。 - 【請求項２】内面が鏡面であって内部に微粒子が浮遊す
る流体を収容する筒部材と、この筒部材に光軸が筒部材
軸線と角度をなして取付けられた光源と、この光源から
前記流体に照射されて前記鏡面で反射されながら前記微
粒子から反射、散乱した光の前記筒部材軸線と同方向に
進行するそれぞれの平行光線を集光する集光レンズと、
この集光レンズの焦点距離分だけ離れて集光レンズと対
向配置された光検出器と、この光検出器で検出された光
量に関する信号を処理して前記流体中の前記微粒子の濃
度を求める信号処理装置と、を有することを特徴とする
浮遊微粒子測定装置。 - 【請求項３】特許請求の範囲第２項において、前記集光
レンズは前記筒部材に取付けられていることを特徴とす
る浮遊微粒子測定装置。 - 【請求項４】特許請求の範囲第２項において、前記筒部
材には筒部材軸線方向に移動自在な保持部材が設けら
れ、前記集光レンズ及び前記光検出器はこの保持部材に
保持されていることを特徴とする浮遊微粒子測定装置。
Priority Applications (6)
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|---|---|---|---|
| JP60114565A JPH0640059B2 (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 | 浮遊微粒子測定方法及びその装置 |
| CA000509506A CA1272043A (en) | 1985-05-28 | 1986-05-20 | Method of and apparatus for measuring floating fine particles |
| KR1019860004004A KR940002496B1 (ko) | 1985-05-28 | 1986-05-22 | 부유미입자 측정 방법 및 그 장치 |
| EP86107281A EP0203600B1 (en) | 1985-05-28 | 1986-05-28 | Method of and apparatus for measuring floating fine particles |
| DE8686107281T DE3682535D1 (de) | 1985-05-28 | 1986-05-28 | Verfahren und vorrichtung zum messen feiner schwebeteilchen. |
| US07/197,615 US4848905A (en) | 1985-05-28 | 1988-05-23 | Method of and apparatus for measuring suspended fine particles |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60114565A JPH0640059B2 (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 | 浮遊微粒子測定方法及びその装置 |
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|---|---|
| JPS61271438A JPS61271438A (ja) | 1986-12-01 |
| JPH0640059B2 true JPH0640059B2 (ja) | 1994-05-25 |
Family
ID=14640996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60114565A Expired - Lifetime JPH0640059B2 (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 | 浮遊微粒子測定方法及びその装置 |
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| EP (1) | EP0203600B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0640059B2 (ja) |
| KR (1) | KR940002496B1 (ja) |
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| DE (1) | DE3682535D1 (ja) |
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| WO2002031467A1 (en) | 2000-10-12 | 2002-04-18 | Amnis Corporation | Multipass cavity for illumination and excitation of moving objects |
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| CN106370564B (zh) * | 2016-10-08 | 2023-04-14 | 苏州曼德克光电有限公司 | 一种粉尘测试光路元件的射流保护装置 |
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|---|---|---|---|---|
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| US3462608A (en) * | 1966-12-19 | 1969-08-19 | Dynac Corp | Method and apparatus for detecting suspended particles |
| CH490010A (de) * | 1967-10-26 | 1970-05-15 | Ciba Geigy | Schädlingsbekämpfungsmittel |
| US3578867A (en) * | 1969-04-11 | 1971-05-18 | Alfred E Barrington | Device for measuring light scattering wherein the measuring beam is successively reflected between a pair of parallel reflectors |
| US3953127A (en) * | 1974-01-23 | 1976-04-27 | Battelle Development Corporation | Photon-counting integrating nephelometer |
| US4023909A (en) * | 1976-01-15 | 1977-05-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Null balance alphameter |
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| JPS56103353A (en) * | 1980-01-22 | 1981-08-18 | Akitoshi Murakami | Image pickup device of constant angle light scattering image |
| JPS5742842A (en) * | 1980-08-27 | 1982-03-10 | Nittan Co Ltd | Photoelectric smoke sensor |
| DE3221867C2 (de) * | 1982-06-09 | 1985-11-28 | R & Z Biologicals GmbH & Co KG, 4050 Mönchengladbach | Vorrichtung zur Messung der Konzentration von Teilchen in Flüssigkeiten |
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-
1985
- 1985-05-28 JP JP60114565A patent/JPH0640059B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-05-20 CA CA000509506A patent/CA1272043A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-05-22 KR KR1019860004004A patent/KR940002496B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1986-05-28 EP EP86107281A patent/EP0203600B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-05-28 DE DE8686107281T patent/DE3682535D1/de not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-05-23 US US07/197,615 patent/US4848905A/en not_active Expired - Fee Related
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