JPH064033A - 偏向コイル駆動方式 - Google Patents
偏向コイル駆動方式Info
- Publication number
- JPH064033A JPH064033A JP4159164A JP15916492A JPH064033A JP H064033 A JPH064033 A JP H064033A JP 4159164 A JP4159164 A JP 4159164A JP 15916492 A JP15916492 A JP 15916492A JP H064033 A JPH064033 A JP H064033A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- during
- deflection coil
- switch
- amplifier
- blanking period
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Details Of Television Scanning (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 リニアリティが良好で、且つ帰線期間に高電
圧を必要としない偏向コイル駆動方式を提供する。 【構成】 スイッチ１３は走査期間にはオンとなり、走
査期間には増幅器１２に入力される鋸歯状波信号ＶINは
増幅器１２で増幅され、スイッチ１３を介して偏向コイ
ル１０に供給される。これにより、電流増幅方式による
駆動がなされる。帰線期間にはスイッチ１３はオフとな
る。これによって偏向コイル１０は増幅器１２から切り
離され、並列に接続されているコンデンサＣ1 と共振す
ることによって帰線パルスＶL が発生し、これによって
偏向電流ＩL は振り戻される。
圧を必要としない偏向コイル駆動方式を提供する。 【構成】 スイッチ１３は走査期間にはオンとなり、走
査期間には増幅器１２に入力される鋸歯状波信号ＶINは
増幅器１２で増幅され、スイッチ１３を介して偏向コイ
ル１０に供給される。これにより、電流増幅方式による
駆動がなされる。帰線期間にはスイッチ１３はオフとな
る。これによって偏向コイル１０は増幅器１２から切り
離され、並列に接続されているコンデンサＣ1 と共振す
ることによって帰線パルスＶL が発生し、これによって
偏向電流ＩL は振り戻される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、偏向コイルの駆動方式
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】偏向コイルはＣＲＴディスプレイ装置や
走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）等の荷電粒子ビームを偏向
させる場合に幅広く用いられているが、その駆動方式と
してはパルス駆動方式と電流増幅方式の二つが主に用い
られている。
走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）等の荷電粒子ビームを偏向
させる場合に幅広く用いられているが、その駆動方式と
してはパルス駆動方式と電流増幅方式の二つが主に用い
られている。
【０００３】図７はパルス駆動方式による偏向コイル駆
動回路の構成例を示す図であり、同期信号２によりトラ
ンジスタＱ1 をスイッチングさせることによって偏向コ
イル１に駆動電流を供給するように構成されている。ま
た、図８は電流増幅方式による駆動回路の構成例を示す
図であり、入力される鋸歯状波の電流を増幅器３で電流
増幅して偏向コイル１を駆動するようになされている。
動回路の構成例を示す図であり、同期信号２によりトラ
ンジスタＱ1 をスイッチングさせることによって偏向コ
イル１に駆動電流を供給するように構成されている。ま
た、図８は電流増幅方式による駆動回路の構成例を示す
図であり、入力される鋸歯状波の電流を増幅器３で電流
増幅して偏向コイル１を駆動するようになされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】パルス駆動方式は回路
構成が簡単、且つ効率が良好であるためＣＲＴディスプ
レイ装置の偏向回路に広く採用されているが、リニアリ
ティの点で問題があり、そのためにＳ字歪補正、ピンク
ッション歪補正等の歪補正を行う回路が煩雑になるばか
りでなく、細かな歪補正が非常に難しいという問題があ
る。
構成が簡単、且つ効率が良好であるためＣＲＴディスプ
レイ装置の偏向回路に広く採用されているが、リニアリ
ティの点で問題があり、そのためにＳ字歪補正、ピンク
ッション歪補正等の歪補正を行う回路が煩雑になるばか
りでなく、細かな歪補正が非常に難しいという問題があ
る。
【０００５】これに対して、電流増幅方式はリニアリテ
ィが良好であり、且つ歪補正を高精度に行うことができ
るためにＳＥＭの走査コイルの駆動に用いられている
が、帰線期間には大電圧を必要とするという問題があ
る。即ち、図８において偏向コイル１のインダクタンス
をＬy ，偏向コイル１の抵抗分をＲy ，偏向電流をＩL
としたとき、必要な電源電圧Ｅは Ｅ＝Ｌy ×（ｄＩL／ｄｔ）＋Ｒy ×ＩL で表されるが、帰線期間では駆動電流の時間的変化が非
常に大きなものとなるために必要な電源電圧Ｅは大きな
ものとなるのである。
ィが良好であり、且つ歪補正を高精度に行うことができ
るためにＳＥＭの走査コイルの駆動に用いられている
が、帰線期間には大電圧を必要とするという問題があ
る。即ち、図８において偏向コイル１のインダクタンス
をＬy ，偏向コイル１の抵抗分をＲy ，偏向電流をＩL
としたとき、必要な電源電圧Ｅは Ｅ＝Ｌy ×（ｄＩL／ｄｔ）＋Ｒy ×ＩL で表されるが、帰線期間では駆動電流の時間的変化が非
常に大きなものとなるために必要な電源電圧Ｅは大きな
ものとなるのである。
【０００６】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、リニアリティが良好で、且つ帰線期間に高電圧を
必要としない偏向コイル駆動方式を提供することを目的
とするものである。
って、リニアリティが良好で、且つ帰線期間に高電圧を
必要としない偏向コイル駆動方式を提供することを目的
とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の偏向コイル駆動方式は、走査期間は電流
増幅方式により偏向コイルを駆動し、帰線期間はパルス
駆動方式により駆動することを特徴とする。
めに、本発明の偏向コイル駆動方式は、走査期間は電流
増幅方式により偏向コイルを駆動し、帰線期間はパルス
駆動方式により駆動することを特徴とする。
【０００８】
【作用及び発明の効果】本発明によれば、走査期間には
電流増幅方式により駆動するので、リニアリティが良好
であるばかりでなく、各種の歪の補正も容易に、且つ高
精度に行うことができる。そして、帰線期間にはパルス
駆動方式の動作を行うので高い電源電圧は必要とせず、
従って従来に比較して損失を低減させることができる。
電流増幅方式により駆動するので、リニアリティが良好
であるばかりでなく、各種の歪の補正も容易に、且つ高
精度に行うことができる。そして、帰線期間にはパルス
駆動方式の動作を行うので高い電源電圧は必要とせず、
従って従来に比較して損失を低減させることができる。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
図１は本発明に係る偏向コイル駆動方式の一実施例の構
成を示す図、図２はその動作を説明するための波形図で
あり、１０は偏向コイル、１１は鋸歯状波発生器、１２
は増幅器、１３はスイッチを示す。
図１は本発明に係る偏向コイル駆動方式の一実施例の構
成を示す図、図２はその動作を説明するための波形図で
あり、１０は偏向コイル、１１は鋸歯状波発生器、１２
は増幅器、１３はスイッチを示す。
【００１０】鋸歯状波発生器１１は、図２Ａに示す鋸歯
状波信号ＶIN及び同図Ｂに示すような帰線期間にローレ
ベルとなる制御信号ＶCONTを発生する。そして、鋸歯状
波信号ＶINは増幅器１２へ入力され、制御信号ＶCONTは
スイッチ１３に供給される。制御信号ＶCONTは走査期間
はハイレベル、帰線期間はローレベルであり、制御信号
ＶCONTがハイレベルのときスイッチ１３は閉路状態にな
り、ローレベルの場合は開路状態になる。
状波信号ＶIN及び同図Ｂに示すような帰線期間にローレ
ベルとなる制御信号ＶCONTを発生する。そして、鋸歯状
波信号ＶINは増幅器１２へ入力され、制御信号ＶCONTは
スイッチ１３に供給される。制御信号ＶCONTは走査期間
はハイレベル、帰線期間はローレベルであり、制御信号
ＶCONTがハイレベルのときスイッチ１３は閉路状態にな
り、ローレベルの場合は開路状態になる。
【００１１】従って、走査期間には増幅器１２に入力さ
れる鋸歯状波信号ＶINは増幅器１２で増幅され、スイッ
チ１３を介して偏向コイル１０に供給される。即ち、走
査期間には従来の電流増幅方式と同様の駆動がなされ
る。しかし、帰線期間にはスイッチ１３は開路状態とな
るので、偏向コイル１０は増幅器１２から切り離され、
並列に接続されているコンデンサＣ1 と共振することに
よって図２Ｃに示す帰線パルスＶL が発生し、これによ
って偏向電流ＩL は図２Ｄに示すように振り戻される。
れる鋸歯状波信号ＶINは増幅器１２で増幅され、スイッ
チ１３を介して偏向コイル１０に供給される。即ち、走
査期間には従来の電流増幅方式と同様の駆動がなされ
る。しかし、帰線期間にはスイッチ１３は開路状態とな
るので、偏向コイル１０は増幅器１２から切り離され、
並列に接続されているコンデンサＣ1 と共振することに
よって図２Ｃに示す帰線パルスＶL が発生し、これによ
って偏向電流ＩL は図２Ｄに示すように振り戻される。
【００１２】なお、従来の電流増幅方式においては増幅
器１２の電源電圧Ｖ- は、帰線パルスＶL の最小値Ｖ
Lminより小さくなければならなかったが、本発明では帰
線期間にはパルス駆動方式により駆動するので、図２Ｃ
に示すようにＶ- ＞ＶLminでも動作するものである。
器１２の電源電圧Ｖ- は、帰線パルスＶL の最小値Ｖ
Lminより小さくなければならなかったが、本発明では帰
線期間にはパルス駆動方式により駆動するので、図２Ｃ
に示すようにＶ- ＞ＶLminでも動作するものである。
【００１３】図１において、スイッチ１３としては外部
よりオン／オフ制御が可能なものであればどのような構
成のものでも用いることができるが、実際には負荷定
数、帰線期間の長さ、帰線パルス電圧等を考慮して、ト
ランジスタ、電界効果トランジスタ、リレー、アナログ
スイッチ等を用いて構成すればよい。
よりオン／オフ制御が可能なものであればどのような構
成のものでも用いることができるが、実際には負荷定
数、帰線期間の長さ、帰線パルス電圧等を考慮して、ト
ランジスタ、電界効果トランジスタ、リレー、アナログ
スイッチ等を用いて構成すればよい。
【００１４】図３はスイッチ１３をトランジスタＱ2 と
ダイオードＤ2 の並列回路で構成した例を示す図であ
り、図４はその動作を説明するための波形図である。ト
ランジスタＱ2 は走査期間にはオン、帰線期間にはオフ
となされ、これによって上述した動作が行われる。ここ
で、トランジスタＱ2 のオン／オフ制御は、そのベース
に図２Ｂに示す制御信号ＶCONTを印加することによって
行うことができるのは当然であるが、図３においては所
定の閾値ＶTHを設定することによって帰線期間にはオフ
となるようになされている。即ち、増幅器１２の出力電
圧ＶO は帰線期間には閾値ＶTH未満となるのでトランジ
スタＱ2 はオフとなり、これによって偏向コイル１０は
増幅器１２から切り離され、並列に接続されているコン
デンサＣ1と共振することによって図４Ｃに示す帰線パ
ルスＶL が発生し、これによって偏向電流ＩL は図４Ｄ
に示すように振り戻される。
ダイオードＤ2 の並列回路で構成した例を示す図であ
り、図４はその動作を説明するための波形図である。ト
ランジスタＱ2 は走査期間にはオン、帰線期間にはオフ
となされ、これによって上述した動作が行われる。ここ
で、トランジスタＱ2 のオン／オフ制御は、そのベース
に図２Ｂに示す制御信号ＶCONTを印加することによって
行うことができるのは当然であるが、図３においては所
定の閾値ＶTHを設定することによって帰線期間にはオフ
となるようになされている。即ち、増幅器１２の出力電
圧ＶO は帰線期間には閾値ＶTH未満となるのでトランジ
スタＱ2 はオフとなり、これによって偏向コイル１０は
増幅器１２から切り離され、並列に接続されているコン
デンサＣ1と共振することによって図４Ｃに示す帰線パ
ルスＶL が発生し、これによって偏向電流ＩL は図４Ｄ
に示すように振り戻される。
【００１５】また、図５はスイッチ１３をトランジスタ
Ｑ3 ，Ｑ4 の並列回路で構成した例を示す図であり、図
６はその動作を説明するための波形図である。トランジ
スタＱ3 ，Ｑ4 のベースには制御信号ＶCONTが印加され
る。また、制御信号ＶCONTはスイッチＳ1 ，Ｓ2 にも供
給される。スイッチＳ1 は走査期間にはオン、帰線期間
にはオフとなり、スイッチＳ2 は走査期間にはオフ、帰
線期間にはオンとなるものである。
Ｑ3 ，Ｑ4 の並列回路で構成した例を示す図であり、図
６はその動作を説明するための波形図である。トランジ
スタＱ3 ，Ｑ4 のベースには制御信号ＶCONTが印加され
る。また、制御信号ＶCONTはスイッチＳ1 ，Ｓ2 にも供
給される。スイッチＳ1 は走査期間にはオン、帰線期間
にはオフとなり、スイッチＳ2 は走査期間にはオフ、帰
線期間にはオンとなるものである。
【００１６】従って、走査期間には入力鋸歯状波信号Ｖ
INはスイッチＳ1 を介して増幅器１２に入力され、増幅
されてスイッチ１３を介して偏向コイル１０に供給され
る。しかし、帰線期間には偏向コイル１０は増幅器１２
から切り離され、並列に接続されているコンデンサＣ1
と共振することによって図６Ｃに示す帰線パルスＶLが
発生し、これによって偏向電流ＩL は図６Ｄに示すよう
に振り戻される。なお、スイッチＳ1 ，Ｓ2 は、帰線期
間に増幅器１２が飽和することがあるので、それを防止
するために設けられているものである。
INはスイッチＳ1 を介して増幅器１２に入力され、増幅
されてスイッチ１３を介して偏向コイル１０に供給され
る。しかし、帰線期間には偏向コイル１０は増幅器１２
から切り離され、並列に接続されているコンデンサＣ1
と共振することによって図６Ｃに示す帰線パルスＶLが
発生し、これによって偏向電流ＩL は図６Ｄに示すよう
に振り戻される。なお、スイッチＳ1 ，Ｓ2 は、帰線期
間に増幅器１２が飽和することがあるので、それを防止
するために設けられているものである。
【００１７】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々
の変形が可能であることは当業者に明かである。
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々
の変形が可能であることは当業者に明かである。
【図１】 本発明の一実施例の構成を示す図である。
【図２】 図１の構成の動作を説明するための波形図で
ある。
ある。
【図３】 本発明の他の構成例を示す図である。
【図４】 図３の構成の動作を説明するための波形図で
ある。
ある。
【図５】 本発明の更に他の構成例を示す図である。
【図６】 図５の構成の動作を説明するための波形図で
ある。
ある。
【図７】 パルス駆動方式を説明するための図である。
【図８】 電流駆動方式を説明するための図である。
１０…偏向コイル、１１…鋸歯状波発生器、１２…増幅
器、１３…スイッチ。
器、１３…スイッチ。
Claims (1)
- 【請求項１】 走査期間は電流増幅方式により偏向コイ
ルを駆動し、帰線期間はパルス駆動方式により駆動する
ことを特徴とする偏向コイル駆動方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4159164A JPH064033A (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 偏向コイル駆動方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4159164A JPH064033A (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 偏向コイル駆動方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH064033A true JPH064033A (ja) | 1994-01-14 |
Family
ID=15687676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4159164A Withdrawn JPH064033A (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 偏向コイル駆動方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH064033A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014093211A (ja) * | 2012-11-05 | 2014-05-19 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビームの偏向装置及びそれを備えた荷電粒子ビーム装置 |
-
1992
- 1992-06-18 JP JP4159164A patent/JPH064033A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014093211A (ja) * | 2012-11-05 | 2014-05-19 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビームの偏向装置及びそれを備えた荷電粒子ビーム装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990831 |