JPH0640551B2 - リ−ドフレ−ム移送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体装置製品製造に用いられるリードフレ
ームの移送装置に関するもので、特にリードフレームを
立てて移送するとき、例えばＬＥＤ用などのたて型リー
ドフレームを移送するときに用いられる移送装置に関す
るものである。

〔従来技術〕

ＬＥＤチップ支持用のたて型リードフレームを取扱う場
合、従来は各作業処理工程の中、及び工程相互間の移送
はリードフレームをケースに入れた状態で行っている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従って、半導体製造全工程に対して多量のケースを必要
とし、さらにリードフレームをケースから出入する作業
も必要としていたため、作業能率が悪く問題であった。

本発明は、従来のこの問題点を解決しようとするもの
で、ケースが不要で、人手もあまり要しないで、直接重
ねたリードフレーム群から１部のリードフレームを分離
すること、或いは直接重ねたリードフレーム群へリード
フレームをさらに直接重ねることができるリードフレー
ム移送装置を提供することを目的とするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、リ−ドフレームを立ててリードフレーム面に
鉛直方向を重ね方向としてリードフレーム相互間に若干
の間隙をあけてテーブル上に並べたリードフレーム群を
移送する装置であって、固定テーブルと、水平方向に往
復動可能の移動テーブルとを、互に対向縁に噛み合うよ
うに突出部を設けてテーブル上面を同一平面上として並
べて備え、前記固定テーブルにはリードフレーム群のリ
ードフレーム送り板を水平方向に往復動可能に設けると
共に、テーブル端縁部付近にリードフレーム支持爪を上
下動可能に設け、また前記移動テーブルには前記固定テ
ーブル上に鉛直状態下で重合配列した複数のリードフレ
ーム面と平行に対向する押え板を設けると共に、この移
動テーブル端縁部付近にリードフレーム支持爪を上下動
可能に設けたことを特徴とするリードフレーム移送装置
である。

〔作用〕

本発明は、固定テーブル上のリードフレーム送り板と、
テーブル面より突出させたリードフレーム支持爪とによ
り、固定テーブル上にリードフレーム面に鉛直方向を重
ね方向としてリードフレーム相互間に若干の間隙をあけ
て並べたリードフレーム群を前後から挟持してリードフ
レーム群の起立状態を保持することができる。

また、移動テーブルのリードフレーム支持爪をテーブル
面よりも下降させ移動テーブルを固定テーブルの方に動
かせば、リードフレーム送り板とリードフレーム押え板
とにより、テーブル上の前記リードフレーム群を挟持す
ることができる。

また、リードフレーム支持爪をテーブル面より下降させ
れば、リードフレーム送り板と移動テーブルのリードフ
レーム押え板に挟持された状態で下方に落下させること
なく突出部上にガイドしてリードフレーム群全体を動か
すことができる。例えばリードフレーム群から先端のリ
ードフレームを１枚分離するときは、リードフレーム相
互間の距離を１ピッチとしてリードフレーム送り板と移
動テーブルを１ピッチ前進させてリードフレーム群を突
出部上に受けて１ピッチ前進させることができる。

また、１ピッチ前進後にリードフレーム支持爪をテーブ
ル面より突出させれば、リードフレーム支持爪は、１ピ
ッチ前進したリードフレーム群の１番目と２番目のリー
ドフレームの間隙に挿入することができる。

本発明は以上の作用を有するので、リードフレーム群の
先端のリードフレームをリードフレーム支持爪による拘
束から除外し、２番目以降のリードフレーム群をそれぞ
れ１ピッチ前進した位置で、リードフレーム送り板とリ
ードフレームの支持爪とにより挟持した状態で突出部を
介してテーブル上に残すことができる。

リードフレーム支持爪による拘束を脱した先端のリード
フレームは、前進したリードフレーム群の１番目と２番
目のリードフレームの間隙にリードフレーム支持爪を挿
入する。即ちリードフレーム支持爪を上昇させることに
より、移動テーブル上にリードフレーム押え板とリード
フレーム支持爪とにより挟持状態で保持される。即ち先
端のリードフレームは２番目以降のリードフレーム群か
ら隔離される。従って移動テーブルを移動させることに
よりリードフレーム群から独立した１枚のリードフレー
ムを突出部上にガイドして所定の位置へ分離移送するこ
とができる。このようにして人手を用いず、ケースを用
いずに、単に重ねられてテーブルに載置された状態のリ
ードフレーム群から、１枚のリードフレームを下方に落
下させることなくガイドして確実に分離・移送すること
ができる。同様にして逆に１枚のリードフレームを確実
にリードフレーム群に重ね合わせることができる。

〔実施例〕

本発明の実施例を図面を用いて説明すると、リードフレ
ーム１１は、第１図及び第２図に示すように半導体装置
としてＬＥＤチツプが備えられるＬＥＤ用のたて型のリ
ードフレームで、多数のＬＥＤチツプ支持部１２とリー
ド部１３をフレーム部１４を介して一対に連設してリー
ドフレーム１１を形成しており、フレーム部１４にはス
ペーサ部１５を突設して備えていて、さらにＬＥＤチツ
プ支持部１２の先端には半導体装置取付部である受皿状
部１６が最大外径Ｄのコーン状凹部で中心線から両側
に突出して形成されている。

このスペーサ部１５は、第２図におけるフレーム部１５
の厚さＴを受皿状部１６の最大外径Ｄと等しいか、それ
より大なる寸法とするようにした円筒状突起で、この突
起は裏側の凹部に隣接するリードフレーム１１の突起が
嵌入することのない形状としてあって、多数のリードフ
レーム１１を第２図のように立てて並べた時に隣接する
リードフレーム１１，１１間には隙間Ｓが形成され、リ
ードフレーム１１，１１相互がスペーサ部１５を介して
フレーム部１４相互で当接し、受皿状部１６相互は軽く
接触するか離隔する状態に保たれるようにしてある。ま
たスペーサ部１５は間隔をあけて複数設けてあって、並
べたリードフレーム１１群のリードフレーム１１，１１
間の隙間Ｓに下方から爪部材などを挿入することができ
るようにしてある。

次に第３〜６図を用いて本発明をボンディング装置への
リードフレームの移送装置及びボンディング装置からの
リードフレームの移送装置に適用した例について説明す
る。

第３〜５図において、２１は受皿状部１６にＬＥＤチッ
プをダイボンディングするダイボンディング装置または
ダイボンディングされたＬＥＤチップとリード部１３を
ワイヤでボンディングするワイヤボンディング装置で、
ボンディングツール４４を上下動可能に備えたボンディ
ングヘッド４５と１対のガイド壁５０，５１を両側に備
えたリードフレーム用走行路４６と、該走行路４６上を
リードフレーム１１をピッチ送りする送りツメ４７，４
７と、シリンダ５２でＸ軸方向に移動でき、ボンディン
グ位置４８付近のリードフレーム１１の部分を押えるフ
レーム押え４９とを有し、供給機構２２から１枚ずつ供
給されるリードフレーム１１にボンディングを行い、ボ
ンディング後のリードフレーム１１を送出機構２３に送
出するものである。このリードフレーム１１の供給機構
２２と送出機構２３に移送機構が適用される。

即ち、供給機構２２は固定テーブル２４と移動テーブル
２５及びフレーム送り板２９とから構成され、固定テー
ブル２４にはリードフレーム送り板２６と、リードフレ
ームの支持爪４３とが備えられ、移動テーブル２５には
リードフレーム支持爪２８とリードフレーム押え板４０
とが備えられている。

なお、前記固定テーブル２４は、リードフレーム１１，
１１間に仕切板等を介在させずに鉛直方向を重ね方向と
して、即ち、Ｙ軸方向を重ね方向として重ねて並べたリ
ードフレーム１１群をＹ軸方向に滑動可能に載置する固
定されたテーブルで、リードフレーム１１群の進行方向
の前端はＹ軸方向前方に突出する３本の突出部３０，３
１，３２に形成されリードフレームが下方に落下しない
ように受けている。この固定テーブル２４の後端にはリ
ードフレーム１１群の後端を押してリードフレーム１１
群をテーブル上に前進させる送り板２６がＹ軸方向に往
復移動可能に設けられている。

該送り板２６は、テーブル２４表面に当接する即面を有
して、送りネジ３４の先端に取付けられており、送りネ
ジ３４は軸受に回転可能に保持されたナット３５に螺合
して設けられている。ナット３５はベルト、プーリ等の
伝達装置を介してモータ３６により回転駆動されるよう
になっていて、ナット３５の正逆回転により送りネジ３
４がＹ軸方向に移動して、前記送り板２６を固定テーブ
ル２４上を摺動させるようになっている。４２，４２は
ガイドロッドでナット３５、モータ３６群を支持した支
持部材と送り板２６との間に架装してある。

固定テーブル２４の突出部３０，３１，３２の前端部付
近、即ち移動テーブル２５側の端縁部付近には支持爪４
３，４３，４３が上下動可能に設けられている。

各支持爪４３はリードフレーム１１群のＹ軸方向の１ピ
ッチ分の移動距離即ち、リードフレーム１１の厚さＴと
等しい長さをＹ軸方向の長さとして有しているフレーム
支承部２７の端部に上方に垂直に突出して設けられてい
て、フレーム支承部２７と共に上下動するように設けら
れている。前記支持爪４３の形状はその最上昇位置にお
いて、リードフレーム１１の中位高さまで達しうる高さ
と、第２図におけるリードフレーム１１，１１間の隙間
Ｓより小なる厚さを有し、フレーム支承部２７は、その
最上昇位置において突出部３１の全面及び突出部３０，
３２の内側半面に連続して固定テーブル２４の一部を形
成する如く設けられている。

前記フレーム支承部２７は、連結体で連結されており
（図示せず）、その上下動の駆動源としてはシリンダ３
７が用いられていて、支持爪４３の上端が固定テーブル
２４表面より下方に引込む高さを最下降位置としてあ
る。

なお、リードフレーム１１群は、スペーサ部１５を進行
方向に向けて並べられており、リードフレーム送り板２
６は、受皿状部１６を逃げてリードフレーム１１の偏平
な後面を押すように、その押出面はＹ軸に直交する平面
で形成されている。またリードフレーム１１は、並べた
ときに支持爪２８、４３に接触しない領域のフレーム部
１４（第３図において領域３８）に複数のスペーサ部１
５を突設してあり、支持爪４３はスペーサ部１５のない
偏平な前面に当接して、リードフレーム群の送り板２６
と支持爪４３とでリードフレーム１１群を支えてリード
フレーム１１群の直立状態を保持するようになってい
る。

前記移動テーブル２５としては、リードフレーム１１の
進行方向とは反対側の端部が固定テーブル２４の前端の
突出部３０，３１，３２で形成される凹部に嵌入可能の
４片の突出部３９をその表面をテーブル面として有し、
該テーブル面は固定テーブル２４表面が含まれている面
と同じ水平面にあるように設けられ、移動テーブル２５
が元にもどる際に突出部でリードフレーム１１が落下し
ないようにガイドしている。なお、突出部３９のリード
フレーム１１の進行方向側の端部にはリードフレーム押
え板４０が上方に突出して形成されており、この押え板
４０を備えた移動テーブル２５は、保持したリードフレ
ーム１１がガイド壁５０，５１間の走行路４６の延長上
に合致する供給位置を前進位置として、また、押え板４
０がフレーム支承部２７上のリードフレーム１１前面に
当接する位置を後退位置として、駆動源（図示せず）に
よりＹ軸方向に移動可能である。押え板４０はリードフ
レーム送り板２６と対向してほぼ同じ高さに形成され、
リードフレーム１１群のリードフレーム面と平行に対向
し、リードフレーム１１にある受皿状部１６の下方の偏
平な前面に当接可能の押え面を有している。押え面の下
部は、リードフレーム１１，１１間の隙間Ｓと同じか、
それ以上のＸ軸方向の深さと支持爪４３の高さ以上の高
さを有する凹部となっていて、支持爪４３を逃げ、スペ
ーサ部１５に当接するか又はスペーサ部１５をも逃げる
ようになっている。また、前記固定テーブル２４の突出
部３０，３２の外側半面、即ちフレーム支承部２７の接
離しない部分に対向する移動テーブル２５の位置には、
押え板４０との間にリードフレーム１１を挟持する分離
用の支持爪２８，２８が移動テーブル２５のテーブル面
より突没可能に設けられる。

各支持爪２８は、その最上昇位置、好ましくは押え板４
０の押え面に対向する高さを有し、且つその基部は移動
テーブル２５上に保持したリードフレーム１１の記載面
を形成する如くその最上昇位置において、テーブル２４
を含む面と同一の面に位置するフレーム支承部３３を押
え板４０の側に張出して備えている。（第５図） リードフレーム分離用の支持爪２８，２８は一体に連結
され（図示せず）、移動テーブル２５に取付けられて移
動テーブル２５と共にＹ軸方向に移動するように設けら
れており、上下動の駆動源はシリンダ４１が用いられて
いる。

前記フレーム送り板２９は、供給位置まで最前進した移
動テーブル２５に保持されているリードフレーム１１を
Ｘ軸方向に押出してボンディング機構２１領域内に移行
させるもので、第３，４図の如く走行路４６の供給路側
のＸ軸方向の延長上に、走行路４６との間に供給位置に
あるときの移動テーブル２５を挟む位置に設けられる。

前記送出機構２３は、供給機構２２と同一の構成のもの
を動作を変えて用いてあり、５３は移動テーブル，５４
はリードフレーム押え板，５５はリードフレーム支持
爪，５６はフレーム支承部，５７は固定テーブル，５８
はリードフレーム支持爪，５９はフレーム支承部，６０
はリードフレーム送り板である。

次に第６図(a)〜(e)を用いて供給機構２２の動作を説明
する。

リードフレーム１１群は最端のリードフレーム１１Ａを
フレーム支承部２７上に乗せ、残りは突出部上に乗せた
状態で送り板２６と支持爪４３により支えられて待機し
ている。移動テーブル２５は突出部３９上で支持爪２８
と押え板４０に支えられて保持されているリードフレー
ム１１Ｃの載置面が、ボンディング機構２１の走行路４
６の延長上に合致する前進位置にあり、移動テーブル２
５上のリードフレーム１１Ｃは一部が走行路４６領域に
入っている状態にある。このとき、支持爪４３、２８と
もに上昇位置にある。…第６図(a) 移動テーブル２５上のリードフレーム１１Ｃの全体が、
移動テーブル２５領域から脱してボンディング機構２１
の走行路４６領域に入ったら、支持爪２８を移動テーブ
ル２５から没するまで下降させ、移動テーブル２５を待
機しているリードフレーム１１群の最端のリードフレー
ム１１Ａに押え板４０が当接するまで後退させ、リード
フレーム送り板２６と押え板４０で両テーブルの突出部
上に支える。このとき、前記支持爪２８はリードフレー
ム１１Ａと、次のリードフレーム１１Ｂとの間隙の下方
に位置している。最端のリードフレーム１１Ａはフレー
ム支承部２７と移動テーブル２５の上に乗っている。…
第６図(b) 次で、前記支持爪４３をその先端が固定テーブル２４か
ら没するまで下降させる。リードフレーム１１Ａは移動
テーブル２５にのみ乗っている。…第６図(c) そして送り板２６及び移動テーブル２５を１ピッチ進め
ると、支持爪４３，２８はリードフレーム１１Ａとリー
ドフレーム１１Ｂの間の隙間の下方に位置することとな
る。なお、リードフレーム１１Ｂは固定テーブル２４か
らは外れるが、移動テーブル２５の突出部３９上に乗て
いるので、下方に落下することはない。…第６図(d) 支持爪４３，２８を上昇させてリードフレーム１１Ａを
支持爪２８と押え板４０で支え、リードフレーム１１Ｂ
以降のリードフレーム１１群を送り板２６と支持爪４３
とでテーブルの突出部上に支える。…第６図(e) さらに、移動テーブル２５を供給位置まで前進させ、フ
レーム送り板２９でリードフレーム１１Ａをボンディン
グ機構２１の走行路４６に押出す。フレーム送り板２９
の押出量は、供給側の送りツメ４７のピッチ送り領域に
リードフレーム１１Ａの送りツメ４７の係合部が達する
まででよく、その後は、送りツメ４７，４７によりピッ
チ送りに続行され（第６図(a)に戻る。但し、フレーム
群送り板２６は１ピッチ進んでいる。）、移動テーブル
２５から出てしまうこととなり、第６図(b)に続く。

送出機構２３の動作は供給機構２２の動作のほぼ逆であ
る。

なお、上述の実施例において、フレーム支承部２７と、
支持爪４３を分けてフレーム支承部２７を固定テーブル
２４に延長して一体に設けてもよい。その場合は移動テ
ーブル２５は１枚のリードフレーム１１を保持するスペ
ースがあればよいので、突出部３９の突出長さは支持爪
２８ぐらいまででよい。またフレーム支承部２７をテー
ブル２４に延長して設けた場合には、突出部３９を全然
設けず支持爪２８のフレーム支承部３３を移動テーブル
２５のリードフレーム載置面とすることができる。その
場合は第６図(d)のような状況において、リードフレー
ム１１Ａが宙に浮いてしまうが、リードフレーム送り板
２６と押え板４０との挟持圧力で保持することもできる
し、第６図(c)のときに支持爪２８を上昇させておきフ
レーム支承部３３上に載置することもできる。

〔発明の効果〕

本発明のリードフレーム移送装置を用いれば、ケースを
用いずにかつ入手をあまり要さずに、直接立てた状態で
重ねたリードフレーム群から１部のリードフレームを独
立分離させて、或いは独立分離したリードフレームをリ
ードフレーム群にさらに重ねて、各作業処理工程の中及
び工程相互間のリードフレームの移送を能率よく行うこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置に適用されるリードフレームの１例
の１部の斜視図、第２図は重ねた状態の断面図、第３〜
５図は本発明の実施例の使用状態を示し、第３図は全体
の平面図、第４図は正面図、第５図は第３図Ａ−Ａ線に
おける縦断面図、第６図(a)〜(e)は供給機構の動作説明
図で、(イ)は(ロ)のＩ−Ｉ線断面平面図、(ロ)は(イ)のII−
II線断面側面図である。 １１……リードフレーム、１２……ＬＥＤチップ支持
部、１３……リード部、１４……フレーム部、１５……
スペーサ部、１６……受皿状部、２１……ボンディング
装置、２２……供給機構、２３……送出機構、２４……
固定テーブル、２５……移動テーブル、２６……リード
フレーム送り板、２７……フレーム支承部、２８……リ
ードフレーム支持爪、２９……フレーム送り板、３０…
…突出部、３１……突出部、３２……突出部、３３……
フレーム支承部、３４……送りネジ、３５……ナット、
３６……モータ、３７……シリンダ、３８……領域、３
９……突出部、４０……リードフレーム押え板、４１…
…シリンダ、４２……ガイドロッド、４３……リードフ
レーム支持爪、４４……ボンディングツール、４５……
ボンディングヘッド、４６……走行路、４７……送りツ
メ、４８……ボンディング位置、４９……フレーム押
え、５０……ガイド壁、５１……ガイド壁、５２……シ
リンダ、５３……移動テーブル、５４……押え板、５５
……支持爪、５６……フレーム支承部、７……固定テー
ブル、５８……支持爪、５９……フレーム支承部、６０
……送り板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】リ−ドフレームを立ててリードフレーム面
   に鉛直方向を重ね方向としてリードフレーム相互間に若
   干の間隙をあけてテーブル上に並べたリードフレーム群
   を移送する装置であって、固定テーブルと、水平方向に
   往復動可能の移動テーブルとを、互に対向縁に噛み合う
   ように突出部を設けてテーブル上面を同一平面上として
   並べて備え、前記固定テーブルにはリードフレーム群の
   リードフレーム送り板を水平方向に往復動可能に設ける
   と共に、テーブル端縁部付近にリードフレーム支持爪を
   上下動可能に設け、また前記移動テーブルには前記固定
   テーブル上に鉛直状態下で重合配列した複数のリードフ
   レーム面と平行に対向する押え板を設けると共に、この
   移動テーブル端縁部付近にリードフレーム支持爪を上下
   動可能に設けたことを特徴とするリードフレーム移送装
   置。