JPH0640571U - Vacuum flange joint - Google Patents
Vacuum flange jointInfo
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- Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 互いに締結される対のフランジ１２，１２ど
うしの間に、真空保持のための環状のシール部材１３，
１４をフランジの径方向に間隔をおいて二重に設ける。
それらシール部材と双方のフランジの表面との間に形成
される空隙１６内から真空引きを行うための排気ポート
１５を、少なくともいずれか一方のフランジに設ける。
【効果】 二重のシール部材により優れた真空シール性
能が確保される。シール部材が損傷を受けた場合にはシ
ール部材間を所定の真空度とすることでリーク量を減少
させることができ、シール部材を交換せずにそのまま使
用しても真空シール性能を維持することが可能であり、
フランジ継手を解体しての復旧作業が不要となる。
(57) [Summary] [Structure] An annular seal member 13 for holding a vacuum is provided between a pair of flanges 12, 12 fastened together.
Doubly provided 14 at intervals in the radial direction of the flange.
At least one of the flanges is provided with an exhaust port 15 for evacuating from a space 16 formed between the seal members and the surfaces of both flanges. [Effect] Excellent vacuum sealing performance is ensured by the double sealing member. If the seal members are damaged, the leak amount can be reduced by setting a predetermined vacuum between the seal members, and the vacuum seal performance can be maintained even if the seal members are used without replacement. Is possible,
No need for recovery work after dismantling the flange joint.
Description
【０００１】[0001]
本考案は真空系に適用するフランジ継手に関する。 The present invention relates to a flange joint applied to a vacuum system.
【０００２】[0002]
図３に従来一般の真空用フランジ継手Ａを示す。これは、連結するべき双方の 管１，１の一端に設けた対のフランジ２，２どうしを突き合わせ、それらフラン ジ２，２をボルトおよびナットを用いて締結するようにしたものである。そして 、双方のフランジ２，２の間に、真空保持のための環状のシール部材であるＯリ ング３を介装するようにしている。そのＯリング３としてはゴム製のものが一般 に使用されるが、超高真空が要求される真空系に適用する場合、たとえば１０-9 Ｔｏｒｒ程度の超高真空が要求される粒子加速器の蓄積リングを構成する真空ダ クトどうしの連結に適用されるような場合には、ゴム製のＯリングより真空シー ル性能に優れる高硬度の金属製のＯリングいわゆるメタルシールが使用されるこ とが通常である。FIG. 3 shows a conventional general vacuum flange joint A. This is such that a pair of flanges 2, 2 provided at one end of both pipes 1, 1 to be connected are butted and the flanges 2, 2 are fastened with a bolt and a nut. An O-ring 3 which is an annular sealing member for holding a vacuum is interposed between the two flanges 2 and 2. The O-ring 3 is generally made of rubber, but when applied to a vacuum system requiring an ultra-high vacuum, accumulation of particle accelerators requiring an ultra-high vacuum of, for example, 10 -9 Torr. When applied to the connection of vacuum ducts that make up a ring, a metal O-ring with high hardness, which is superior to rubber O-rings in vacuum sealing performance, a so-called metal seal is used. It is normal.
【０００３】[0003]
ところで、上記のような従来の真空用フランジ継手Ａでは、何等かの原因によ りシール部材３が損傷を受けてしまうと、フランジ２，２間の隙間を通してリー クが生じ、真空系内の真空度を維持することができなくなって直ちに真空度が低 下してしまうことが避けられないものであった。したがって、そのような事態が 発生した場合には、真空系を常圧に戻したうえでこのフランジ継手Ａを解体し、 Ｏリング３や必要に応じてフランジ２も交換するのであるが、そのような復旧作 業には多大の手間と費用を要してしまうものであった。 By the way, in the conventional vacuum flange joint A as described above, if the seal member 3 is damaged due to some reason, a leak occurs through the gap between the flanges 2 and 2, and a leak in the vacuum system occurs. It was unavoidable that the degree of vacuum could not be maintained and the degree of vacuum would drop immediately. Therefore, when such a situation occurs, the vacuum system is returned to normal pressure, the flange joint A is disassembled, and the O-ring 3 and the flange 2 are also replaced, if necessary. This kind of restoration work requires a great deal of time and money.
【０００４】 特に、超高真空が要求される真空系である粒子加速器の蓄積リングにおいては 、上述したようにＯリング３としてメタルシールが用いられるのであるが、その メタルシールは蓄積リングのベイキング処理の際の熱変形により損傷を受けてし まう懸念もないとはいえず、その信頼性は必ずしも十分に満足し得るものではな い。そして、メタルシールが損傷を受けた場合にそれを交換するべくフランジ継 手を解体するようなことは、その後の復旧作業の手間と費用を考慮すると極力避 けなければならず、このため、粒子加速器の蓄積リングのような超高真空が要求 される真空系に適用し得るような信頼性に優れたフランジ継手の開発が要望され ていた。Particularly, in a storage ring of a particle accelerator, which is a vacuum system requiring an ultra-high vacuum, a metal seal is used as the O-ring 3 as described above. The metal seal is a baking treatment of the storage ring. It can be said that there is no concern that it will be damaged by thermal deformation during the process, and its reliability is not always satisfactory. And, if the metal seal is damaged, disassembling the flange joint to replace it should be avoided as much as possible considering the time and cost of the subsequent restoration work. There has been a demand for the development of highly reliable flange joints that can be applied to vacuum systems that require ultra-high vacuum, such as accelerator storage rings.
【０００５】[0005]
本考案は、真空系に適用されるフランジ継手であって、互いに締結される対の フランジどうしの間に、真空保持のための環状のシール部材をそれらフランジの 径方向に間隔をおいて二重に設けるとともに、それらシール部材と双方のフラン ジの表面との間に形成される空隙内から真空引きを行うための排気ポートを少な くともいずれか一方のフランジに設けてなることを特徴とするものである。この 場合、二重に設けられる前記シール部材のうち、内側に位置するものは金属製の Ｏリングとし、外側に位置するものはゴム等の弾性材からなるＯリングとするこ とが考えられる。また、前記空隙内に流動性を有するシール材を注入するための 注入ポートを少なくともいずれか一方のフランジに設けても良い。 The present invention is a flange joint applied to a vacuum system, in which an annular seal member for holding a vacuum is double-spaced between the pair of flanges fastened to each other in the radial direction of the flanges. And an exhaust port for evacuating from the space formed between the seal member and the surfaces of both flanges is provided on at least one of the flanges. It is a thing. In this case, it is conceivable that, of the double sealing members, the inner one is a metal O-ring and the outer one is an O-ring made of an elastic material such as rubber. Further, at least one of the flanges may be provided with an injection port for injecting a fluid sealing material into the void.
【０００６】[0006]
本考案のフランジ継手では、二重に設けたシール部材のうち特に内側のシール 部材により高度の真空シール性能を確保する。そして、そのシール部材が損傷を 受けたような場合には、双方のシール部材間の空隙から排気ポートを通して真空 引きを行ってその空隙内を所定の真空度に維持することにより、空隙を通しての リーク量を大幅に減少させ、真空系内の真空度をそのまま維持する。 In the flange joint of the present invention, a high degree of vacuum sealing performance is ensured by the inner sealing member among the double sealing members. If the seal member is damaged, a vacuum is drawn from the gap between both seal members through the exhaust port to maintain the inside of the gap at a specified vacuum level, thereby preventing leakage through the gap. The amount is greatly reduced and the degree of vacuum in the vacuum system is maintained.
【０００７】[0007]
以下、本考案を粒子加速器の蓄積リングに適用する場合の実施例を図面を参照 して説明する。図１は本考案の第１実施例であるフランジ継手Ｂを示すもので、 図中の符号１１はこのフランジ継手Ｂにより互いに連結されて全体として蓄積リ ングを構成するための真空ダクトである。これら真空ダクト１１，１１が連結さ れて構成される蓄積リング内の真空度は、たとえば１０-9Ｔｏｒｒ程度の超高真 空に維持されるものである。Hereinafter, an embodiment in which the present invention is applied to a storage ring of a particle accelerator will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a flange joint B which is a first embodiment of the present invention. Reference numeral 11 in the drawing denotes a vacuum duct which is connected to each other by the flange joint B to form a storage ring as a whole. The degree of vacuum in the storage ring formed by connecting the vacuum ducts 11 and 11 is maintained at an ultrahigh vacuum of, for example, about 10 -9 Torr.
【０００８】 本第１実施例のフランジ継手Ｂは、連結するべき双方の真空ダクト１１，１１ の一端にそれぞれ形成されている対のフランジ１２，１２どうしをボルト、ナッ トにより締結するものであるが、それらフランジ１２，１２どうしの間に真空保 持のための環状のシール部材１３，１４をフランジ１２の径方向に間隔をおいて 二重に設けるようにしている。それら二重のシール部材１３，１４のうち、内側 に位置するものは金属製のＯリングであるメタルシールが使用され、外側に位置 するものはゴム製のＯリングが使用されている。The flange joint B of the first embodiment is one in which a pair of flanges 12, 12 formed at one end of both vacuum ducts 11, 11 to be connected are fastened together by bolts and nuts. However, annular seal members 13 and 14 for holding a vacuum are provided between the flanges 12 and 12 so as to be doubly spaced from each other in the radial direction of the flange 12. Among these double seal members 13 and 14, the metal seal, which is a metal O-ring, is used for the inner one and the rubber O-ring is used for the outer one.
【０００９】 さらに、一方（図１においては下側のもの）のフランジ１２には排気ポート１ ５が設けられていて、図示しない真空ポンプによりその排気ポート１５を通して 上記二重のシール部材１３，１４と双方のフランジ１２，１２の表面との間に形 成される空隙１６内から真空引きがなされ、その空隙１６内が所望の真空度たと えば１０-2Ｔｏｒｒ程度に維持されるようになっている。Further, an exhaust port 15 is provided on one (lower side in FIG. 1) flange 12, and the double seal members 13, 14 are passed through the exhaust port 15 by a vacuum pump (not shown). A vacuum is evacuated from the space 16 formed between the flanges 12 and 12 and the surface of the flanges 12, 12, and the space in the space 16 is maintained at a desired vacuum level of about 10 -2 Torr. There is.
【００１０】 上記の構造のフランジ継手Ｂにあっては、特に内側のシール部材１３としてメ タルシールを用いていることから超高真空を維持し得る優れた真空シール性能が 得られるものであるが、既に述べたようにメタルシールは蓄積リングのベイキン グの際に損傷を受けてしまう懸念もないとはいえないものである。これに対し、 外側のシール部材１４であるゴム製のＯリングは、それ単独では真空シール性能 の点でメタルシールに及ぶものではないが、このシール部材１４はベイキングの 際の熱変形には自由に追従し得る弾性を有しているのでベイキングにより損傷を 受けてしまう懸念はないものである。そして、このフランジ継手Ｂでは、それら ２つのシール部材１３，１４を二重に設け、しかも、それらの間の空隙１６から 真空引きを行うための排気ポート１５を有しているので、メタルシールが万一損 傷を受けた場合には空隙１６から真空引きを行ってそこを所定の真空度に保持す ることにより、メタルシールが単独に使用されている従来のフランジ継手Ａの場 合に比して蓄積リング内へのリーク量を大幅に抑制できるものである。In the flange joint B having the above structure, since a metal seal is used as the inner seal member 13, excellent vacuum sealing performance capable of maintaining an ultrahigh vacuum can be obtained. As already mentioned, metal seals are not without risk of being damaged when baking the storage ring. On the other hand, the rubber O-ring, which is the outer seal member 14, does not reach the metal seal in terms of vacuum sealing performance by itself, but this seal member 14 is free from thermal deformation during baking. Since it has elasticity that can follow, there is no concern that it will be damaged by baking. In this flange joint B, the two seal members 13 and 14 are doubly provided, and further, the exhaust port 15 for evacuating the gap 16 between them is provided. In the unlikely event of damage, a vacuum is drawn from the gap 16 and the vacuum is maintained at a specified vacuum level, compared to the conventional flange joint A in which a metal seal is used alone. Then, the amount of leakage into the storage ring can be greatly suppressed.
【００１１】 そのことについて具体的な数値例をあげて説明する。たとえば、図３に示した ようにシール部材３としてメタルシールが単独で使用されている従来のフランジ 継手Ａによって真空度Ｐ＝１０-9Ｔｏｒｒに維持されている真空系においては、 そのシール部材３の前後には大気圧Ｐ0＝７６０Ｔｏｒｒと真空系内の圧力Ｐ＝ １０-9Ｔｏｒｒとの差圧ΔＰがそのまま加わる。ここで、 ΔＰ＝Ｐ0−Ｐ＝（７６０−１０-9）Ｔｏｒｒ≒７６０Ｔｏｒｒ である。そして、そのシール部材３が損傷を受けると、そのような大きな差圧が 加わっていることから大きなリークが発生してしまい、そのままでは超高真空を 維持するようなことはできるものではない。いま、シール部材３が損傷を受けて リークが生じ、そのリーク量ΔＱが、 ΔＱ＝１０-6Ｔｏｒｒ・ｌ／ｓｅｃ であったとすると、そのコンダクタンスＣは、ΔＱ＝Ｃ×ΔＰの関係から、 Ｃ≒（１０-6／７６０）ｌ／ｓｅｃ となる。This will be described with reference to specific numerical examples. For example, as shown in FIG. 3, in a vacuum system in which a vacuum degree P = 10 -9 Torr is maintained by a conventional flange joint A in which a metal seal is used alone as the seal member 3, the seal member 3 A pressure difference ΔP between the atmospheric pressure P 0 = 760 Torr and the pressure P in the vacuum system P = 10 −9 Torr is applied before and after. Here, ΔP = P 0 −P = (760−10 −9 ) Torr≈760 Torr. When the seal member 3 is damaged, such a large differential pressure is applied to cause a large leak, and it is not possible to maintain an ultrahigh vacuum as it is. Now, assuming that the seal member 3 is damaged and a leak occurs, and the leak amount ΔQ is ΔQ = 10 −6 Torr · l / sec, the conductance C is calculated from the relation of ΔQ = C × ΔP. ≈ (10 −6 / 760) l / sec.
【００１２】 これに対し、上記実施例のフランジ継手Ｂを用いて空隙１６内から真空引きを 行い、空隙１６内の真空度をＰ1＝１０-2Ｔｏｒｒに保持したとすると、この場 合のシール部材１３（メタルシール）の前後での差圧ΔＰ′は、 ΔＰ′＝Ｐ1−Ｐ＝（１０-2−１０-9）Ｔｏｒｒ≒１０-2Ｔｏｒｒ となり、したがってこの場合のリーク量ΔＱ′は、 ΔＱ′＝Ｃ×ΔＰ′≒１.３×１０-11Ｔｏｒｒ・ｌ／ｓｅｃ となり、シール部材３を単独で用いる従来の場合におけるリーク量ΔＱの値に比 して大幅に低減することになる。On the other hand, if the vacuum is evacuated from the inside of the space 16 using the flange joint B of the above-mentioned embodiment and the degree of vacuum inside the space 16 is maintained at P 1 = 10 -2 Torr, in this case The differential pressure ΔP ′ before and after the seal member 13 (metal seal) is ΔP ′ = P 1 −P = (10 −2 −10 −9 ) Torr≈10 −2 Torr, and therefore the leak amount ΔQ ′ in this case. Is ΔQ ′ = C × ΔP′≈1.3 × 10 −11 Torr · l / sec, which is much smaller than the leakage amount ΔQ in the conventional case where the seal member 3 is used alone. Become.
【００１３】 このように上記構成のフランジ継手Ｂでは、シール部材１３であるメタルシー ルが万一損傷を受けたとしても、シール部材１３，１４間の空隙１６から真空引 きを行うことでそこからのリーク量が大幅に低減し、したがって、真空系の真空 度を十分に維持することが可能となり、このため損傷したシール部材１３の交換 を行うことなくそのまま使用することが可能であってフランジ継手Ｂを解体して の復旧作業が不要となる。As described above, in the flange joint B having the above-described structure, even if the metal seal, which is the seal member 13, is damaged, a vacuum is drawn from the gap 16 between the seal members 13 and 14 so that The amount of leakage of the flange joint is greatly reduced, and therefore the degree of vacuum of the vacuum system can be maintained sufficiently. Therefore, the damaged seal member 13 can be used as it is without replacement and the flange joint can be used. Recovery work after dismantling B becomes unnecessary.
【００１４】 なお、排気ポート１５によるシール部材１３，１４間の空隙１６からの真空引 きは常時継続して行うことでも良いが、所定の真空度Ｐ1に達した後は排気ポー ト１５を気密保持可能な状態に閉止してしまっても良い。It should be noted that the evacuation from the space 16 between the seal members 13 and 14 by the exhaust port 15 may be continuously performed at all times, but the exhaust port 15 is not opened after the predetermined vacuum P 1 is reached. It may be closed so that it can be kept airtight.
【００１５】 図２は本考案の第２実施例を示すものである。本第２実施例のフランジ継手Ｃ には、排気ポート１５に加えて注入ポート１７が設けられ、シール部材１３であ るメタルシールが損傷を受けた場合には排気ポート１５により空隙１６から真空 引きを行いつつ、注入ポート１７から流動性および自硬性を有するシール材１８ たとえばエポキシ樹脂やシリコン系接着剤等を注入し、そのシール材１８を硬化 させることにより空隙１６を埋めてしまうようにしたものである。このフランジ 継手Ｃでは、シール材１８により空隙１６を埋めてしまうことで、シール部材１ ３、１４が大きな損傷を受けたような場合にもリークを完全に止めることができ 、それらを交換せずとも優れた真空シール性能を維持することができるものであ る。FIG. 2 shows a second embodiment of the present invention. The flange joint C of the second embodiment is provided with an injection port 17 in addition to the exhaust port 15, and when the metal seal that is the seal member 13 is damaged, the exhaust port 15 draws a vacuum from the gap 16. While performing the above, a sealant 18 having fluidity and self-hardening property is injected from the injection port 17, for example, epoxy resin or silicone adhesive is injected, and the sealant 18 is cured to fill the gap 16. Is. In this flange joint C, the gap 16 is filled with the seal material 18, so that the leak can be completely stopped even when the seal members 13 and 14 are greatly damaged, and they are not replaced. Both are capable of maintaining excellent vacuum sealing performance.
【００１６】 なお、上記実施例では、内側のシール部材１３としてメタルシールを用い、外 側のシール部材１４としてゴム製のＯリングを用いたが、それらシール部材１３ ，１４の材質は真空系の用途や要求される真空度等を考慮して最適なものを使用 すれば良いのであり、たとえば双方のシール部材１３，１４をともにメタルシー ルあるいはゴム製のＯリングとしたり、真空シール性能を有するものであれば他 の形態のシール部材を採用しても良い。また、上記実施例では、対のフランジ１ ２，１２の一方にのみ排気ポート１５や注入ポート１６を設けたが、それらを双 方のフランジ１２，１２にそれぞれ設けても勿論良い。In the above embodiment, a metal seal is used as the inner seal member 13 and a rubber O-ring is used as the outer seal member 14. However, the seal members 13 and 14 are made of a vacuum system material. It is sufficient to use the most suitable one in consideration of the application and the required degree of vacuum. For example, both sealing members 13 and 14 are both metal seals or rubber O-rings, or those having a vacuum sealing performance. If so, other forms of sealing members may be adopted. Further, in the above embodiment, the exhaust port 15 and the injection port 16 are provided on only one of the pair of flanges 12 and 12, but they may be provided on the two flanges 12 and 12, respectively.
【００１７】[0017]
以上で説明したように、本考案のフランジ継手は、互いに締結される対のフラ ンジどうしの間に真空保持のための環状のシール部材を二重に設けるとともに、 シール部材間の空隙内から真空引きを行うための排気ポートを設けたものである から、二重のシール部材により優れた真空シール性能が確保されることはもとよ り、シール部材が万一損傷を受けたような場合にはシール部材間の空隙を所定の 真空度とすることでリーク量を大きく減少させることができ、したがって、損傷 したシール部材を交換せずにそのまま使用しても真空シール性能を維持すること が可能となって信頼性が大きく向上し、フランジ継手を解体しての復旧作業が不 要となるという優れた効果を奏する。そして、特に、内側のシール部材として金 属製のＯリングであるメタルシールを用い、外側のシール部材としてゴム等の弾 性材からなるＯリングを用いれば、内側のシール部材により超高真空を維持でき るとともに、外側のシール部材は損傷を受け難いので、たとえば粒子加速器の蓄 積リング等の超高真空が要求されるとともに高度の信頼性が要求される真空系に 適用して特に好適である。さらに、空隙内に流動性を有するシール材を注入する ための注入ポートを設けておき、シール部材が損傷を受けたときに空隙内にシー ル材を注入してしまえばリークを完全に止めることが可能となる。 As described above, the flange joint of the present invention is provided with a double annular seal member for maintaining a vacuum between the pair of flanges that are fastened to each other, and a vacuum is provided from the space between the seal members. Since it has an exhaust port for pulling, excellent vacuum sealing performance is ensured by the double sealing member, and in the event that the sealing member is damaged by any chance. The leak amount can be greatly reduced by setting the gap between the seal members to a predetermined vacuum level, so it is possible to maintain the vacuum seal performance even if the damaged seal members are used without replacement. Therefore, the reliability is greatly improved, and an excellent effect that the recovery work after disassembling the flange joint is unnecessary is achieved. Particularly, if a metal seal, which is a metal O-ring, is used as the inner seal member and an O-ring made of an elastic material such as rubber is used as the outer seal member, an ultra-high vacuum is generated by the inner seal member. Since it can be maintained and the outer seal member is less likely to be damaged, it is particularly suitable for application to a vacuum system that requires ultra-high vacuum and high reliability, such as a storage ring of a particle accelerator. is there. In addition, an injection port for injecting a fluid sealant is provided in the void, and if the sealant is damaged, the leak can be completely stopped by injecting the sealant into the void. Is possible.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】本考案の第１実施例である真空用フランジ継手
を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a vacuum flange joint according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本考案の第２実施例である真空用フランジ継手
を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing a vacuum flange joint according to a second embodiment of the present invention.
【図３】従来の真空用フランジ継手を示す断面図であ
る。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a conventional vacuum flange joint.
Ｂ 真空用フランジ継手 １１ 真空ダクト（真空系） １２ フランジ １３ シール部材 １４ シール部材 １５ 排気ポート １６ 空隙 Ｃ 真空用フランジ継手 １７ 注入ポート １８ シール材。 B Vacuum flange joint 11 Vacuum duct (vacuum system) 12 Flange 13 Seal member 14 Seal member 15 Exhaust port 16 Void C Vacuum flange joint 17 Injection port 18 Seal material.
Claims (3)
て、互いに締結される対のフランジどうしの間に、真空
保持のための環状のシール部材をそれらフランジの径方
向に間隔をおいて二重に設けるとともに、それらシール
部材と双方のフランジの表面との間に形成される空隙内
から真空引きを行うための排気ポートを少なくともいず
れか一方のフランジに設けてなることを特徴とする真空
用フランジ継手。1. A flange joint applied to a vacuum system, wherein an annular seal member for holding a vacuum is provided between a pair of flanges fastened to each other at intervals in the radial direction of the flanges. It is heavy, and at least one of the flanges is provided with an exhaust port for evacuating from the space formed between the seal member and the surfaces of both flanges. Flange fitting.
ものは金属製のＯリングであり、外側に位置するものは
ゴム等の弾性材からなるＯリングであることを特徴とす
る請求項１に記載の真空用フランジ継手。2. The seal member inside is a metal O-ring, and the seal member outside is a O-ring made of an elastic material such as rubber. Vacuum flange joint described in.
注入するための注入ポートを少なくともいずれか一方の
フランジに設けてなることを特徴とする請求項１または
２に記載の真空用フランジ継手。3. The vacuum flange joint according to claim 1, wherein at least one of the flanges is provided with an injection port for injecting a fluid sealing material into the void. .
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|---|---|---|---|
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| JP7666592U JPH0640571U (en) | 1992-11-06 | 1992-11-06 | Vacuum flange joint |
Publications (1)
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0640571U (en) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0814455A (en) * | 1994-07-04 | 1996-01-16 | Taimei Kinzoku Kogyo Kk | Seal device for fluid |
| JP2002267029A (en) * | 2001-03-13 | 2002-09-18 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Vacuum sealing mechanism |
| JP2003505690A (en) * | 1999-07-27 | 2003-02-12 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Foil leak detection room |
| JP2006124792A (en) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Ulvac Japan Ltd | Vacuum treatment system and method for producing tunnel junction magneto-resistive effect element |
| WO2009118961A1 (en) * | 2008-03-25 | 2009-10-01 | 三菱重工業株式会社 | Flange connection structure |
| JP2011503450A (en) * | 2007-11-02 | 2011-01-27 | インテグリス・インコーポレーテッド | Integrated face seal |
| JP2014515816A (en) * | 2011-04-04 | 2014-07-03 | ダンフォス・ドライブス・エイ／エス | Cooling system for power module |
| JP2018021742A (en) * | 2016-08-05 | 2018-02-08 | 共和真空技術株式会社 | Seal structure for freeze dryer |
| CN108775459A (en) * | 2018-07-11 | 2018-11-09 | 天津长瑞大通流体控制系统有限公司 | With highly pressurised liquid or the gasket seal device and method of gas barrier material leakage |
| JP2020076450A (en) * | 2018-11-07 | 2020-05-21 | 本田技研工業株式会社 | Seal structure |
| CN119617214A (en) * | 2025-01-22 | 2025-03-14 | 澳柯玛股份有限公司 | Electromagnetic isolation pipe joint assembly |
-
1992
- 1992-11-06 JP JP7666592U patent/JPH0640571U/en not_active Withdrawn
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0814455A (en) * | 1994-07-04 | 1996-01-16 | Taimei Kinzoku Kogyo Kk | Seal device for fluid |
| JP2003505690A (en) * | 1999-07-27 | 2003-02-12 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Foil leak detection room |
| JP2002267029A (en) * | 2001-03-13 | 2002-09-18 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Vacuum sealing mechanism |
| JP2006124792A (en) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Ulvac Japan Ltd | Vacuum treatment system and method for producing tunnel junction magneto-resistive effect element |
| JP2011503450A (en) * | 2007-11-02 | 2011-01-27 | インテグリス・インコーポレーテッド | Integrated face seal |
| WO2009118961A1 (en) * | 2008-03-25 | 2009-10-01 | 三菱重工業株式会社 | Flange connection structure |
| US8393649B2 (en) | 2008-03-25 | 2013-03-12 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Flange connection structure |
| JP2014515816A (en) * | 2011-04-04 | 2014-07-03 | ダンフォス・ドライブス・エイ／エス | Cooling system for power module |
| JP2018021742A (en) * | 2016-08-05 | 2018-02-08 | 共和真空技術株式会社 | Seal structure for freeze dryer |
| CN108775459A (en) * | 2018-07-11 | 2018-11-09 | 天津长瑞大通流体控制系统有限公司 | With highly pressurised liquid or the gasket seal device and method of gas barrier material leakage |
| JP2020076450A (en) * | 2018-11-07 | 2020-05-21 | 本田技研工業株式会社 | Seal structure |
| CN119617214A (en) * | 2025-01-22 | 2025-03-14 | 澳柯玛股份有限公司 | Electromagnetic isolation pipe joint assembly |
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