JPH0640679B2 - 超音波探触子の製造方法 - Google Patents
超音波探触子の製造方法Info
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- JPH0640679B2 JPH0640679B2 JP59198546A JP19854684A JPH0640679B2 JP H0640679 B2 JPH0640679 B2 JP H0640679B2 JP 59198546 A JP59198546 A JP 59198546A JP 19854684 A JP19854684 A JP 19854684A JP H0640679 B2 JPH0640679 B2 JP H0640679B2
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- Japan
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- adhesive layer
- manufacturing
- groove
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
- B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
- B06B1/0629—Square array
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は超音波診断装置に係り、特に複合圧電体を用い
てセンサー部を構成した超音波探触子とその製造方法に
関する。
てセンサー部を構成した超音波探触子とその製造方法に
関する。
〔発明の背景〕 特開昭57-32200に記載された超音波探触子では振動子を
導電性接着剤で導電性支持体に接着し、マトリクス状に
振動子を切断し、信号電極側が前面、アース電極側が後
面の超音波探触子を構成している。したがってこの例で
は、比較的簡単に複合圧電体による超音波探触子を実現
できるが、支持体が導体であることや信号電極が前面に
形成されるという制約のある構成となつていた。
導電性接着剤で導電性支持体に接着し、マトリクス状に
振動子を切断し、信号電極側が前面、アース電極側が後
面の超音波探触子を構成している。したがってこの例で
は、比較的簡単に複合圧電体による超音波探触子を実現
できるが、支持体が導体であることや信号電極が前面に
形成されるという制約のある構成となつていた。
本発明の目的は、複合圧電体を用いて簡単に構成される
性能のよい超音波探触子の製造方法を提供することにあ
る。
性能のよい超音波探触子の製造方法を提供することにあ
る。
本発明の特徴は、ジルコン・チタン酸鉛系セラミツクス
などの圧電体を導電性接着剤などにより音波吸収体上に
接着し、ダイシングソーなどによりマトリクス状に振動
子を切断し、複合圧電体による振動子ブロツクを作り探
触子を構成する。このとき、振動子ブロツク間には音波
吸収体に到達する切断溝が形成され、信号電極側は後面
となり、さらに導電性接着剤と音波吸収体との音響イン
ピーダンスはほぼ等しくされ、導電性接着剤中の超音波
の不要反射が低減された構成となつている。
などの圧電体を導電性接着剤などにより音波吸収体上に
接着し、ダイシングソーなどによりマトリクス状に振動
子を切断し、複合圧電体による振動子ブロツクを作り探
触子を構成する。このとき、振動子ブロツク間には音波
吸収体に到達する切断溝が形成され、信号電極側は後面
となり、さらに導電性接着剤と音波吸収体との音響イン
ピーダンスはほぼ等しくされ、導電性接着剤中の超音波
の不要反射が低減された構成となつている。
本発明で対象としている複合圧電体１０１の構成を第１
図に示す。複合圧電体は１０１は、ジルコン・チタン酸
鉛系セラミツクスなどの柱状圧電体１０２とエポキシ、
ポリウレタンなどの樹脂１０３からなる。この形式の複
合圧電体は、特開昭58-21883などで示される方法で形成
することが可能である。
図に示す。複合圧電体は１０１は、ジルコン・チタン酸
鉛系セラミツクスなどの柱状圧電体１０２とエポキシ、
ポリウレタンなどの樹脂１０３からなる。この形式の複
合圧電体は、特開昭58-21883などで示される方法で形成
することが可能である。
以下、本発明の一実施例を第２図により説明する。これ
は電子リニア超音波探触子へ適用した例であり、ジルコ
ン・チタン酸鉛系セラミツクスなどの振動子２０１を導
電性接着剤２０２により絶縁物からなる音波吸収体２０
３に接着した後、ダイシングソーなどにより２次元的に
切断して、柱状圧電体２０４を形成し、さらにその切断
溝にエポキシ，ポリウレタンなどの樹脂２０５を充填し
たものである。ここでは、３列の柱状圧電体と樹脂によ
り形成される複合圧電体２０６が短冊状の振動子ブロツ
ク２０７，２０８，…を形成する。振動子ブロツク内で
は、切断溝２０９は導電性接着剤２０２内にとどめら
れ、各振動子ブロツクを分離する切断溝２１０は音波吸
収体２０３に到達する。
は電子リニア超音波探触子へ適用した例であり、ジルコ
ン・チタン酸鉛系セラミツクスなどの振動子２０１を導
電性接着剤２０２により絶縁物からなる音波吸収体２０
３に接着した後、ダイシングソーなどにより２次元的に
切断して、柱状圧電体２０４を形成し、さらにその切断
溝にエポキシ，ポリウレタンなどの樹脂２０５を充填し
たものである。ここでは、３列の柱状圧電体と樹脂によ
り形成される複合圧電体２０６が短冊状の振動子ブロツ
ク２０７，２０８，…を形成する。振動子ブロツク内で
は、切断溝２０９は導電性接着剤２０２内にとどめら
れ、各振動子ブロツクを分離する切断溝２１０は音波吸
収体２０３に到達する。
さらに信号線の取り出しは、露出している電極部２１１
などから取り出せばよい。また前面にアース側電極を金
・クロムの蒸着や導電性接着剤をスクリーン印刷するこ
となどにより形成する。このアース電極の形成に際して
は、露出電極部２１１などに絶縁物を形成するなどし
て、信号接着とアース電極が接続しないようすることは
いうまでもない。以上、電子リニア探触子への適用につ
いて述べたが、他の探触子についても適用可能である。
各振動子ブロツクを分離する切断溝２１０を形成せず、
導電性接着剤２０２内にとどめられる切断溝２０９だけ
であれば信号電極は１つの共通電極となる。このときア
ース電極の形状を円や楕円または多重リングなどにすれ
ば、通常の円形，楕円形多重リングの探触子に対応する
複合圧電体による探触子が構成される。また切断溝２１
０を２次元的に形成すれば、複合圧電体による２次元探
触子と構成できる。
などから取り出せばよい。また前面にアース側電極を金
・クロムの蒸着や導電性接着剤をスクリーン印刷するこ
となどにより形成する。このアース電極の形成に際して
は、露出電極部２１１などに絶縁物を形成するなどし
て、信号接着とアース電極が接続しないようすることは
いうまでもない。以上、電子リニア探触子への適用につ
いて述べたが、他の探触子についても適用可能である。
各振動子ブロツクを分離する切断溝２１０を形成せず、
導電性接着剤２０２内にとどめられる切断溝２０９だけ
であれば信号電極は１つの共通電極となる。このときア
ース電極の形状を円や楕円または多重リングなどにすれ
ば、通常の円形，楕円形多重リングの探触子に対応する
複合圧電体による探触子が構成される。また切断溝２１
０を２次元的に形成すれば、複合圧電体による２次元探
触子と構成できる。
また、音波吸収体が凸面や凹面にすることも可能である
が、このときは切断が困難となる。また前面の電極を信
号側、後面の電極をアース側として使うことも可能であ
る。
が、このときは切断が困難となる。また前面の電極を信
号側、後面の電極をアース側として使うことも可能であ
る。
さらにこの発明では導電性接着剤の厚みがかなり厚くな
るが、このままでは導電性接着剤層での超音波の不要反
射が生じ問題となる。そこで導電性接着剤と音波吸収体
の音響インピーダンスをほぼ同一にすることで不要反射
をなくすことが可能である。
るが、このままでは導電性接着剤層での超音波の不要反
射が生じ問題となる。そこで導電性接着剤と音波吸収体
の音響インピーダンスをほぼ同一にすることで不要反射
をなくすことが可能である。
このように、本発明によれば、種々の構成の複合圧電体
による性能のよい超音波探触子を簡単に実現することが
可能である。
による性能のよい超音波探触子を簡単に実現することが
可能である。
本発明によれば、複合圧電体による性能の良い超音波探
触子を容易に実現することができるので、非常に有用性
が高い。即ち、導電性接着剤と音波吸収体の音響インピ
ーダンスをほぼ同一にするので、導電性接着剤中での超
音波の不要反射をなくすことができ、振動子ブロツクか
らの信号線の取り出しが容易である超音波探触子を得る
ことが出来る。
触子を容易に実現することができるので、非常に有用性
が高い。即ち、導電性接着剤と音波吸収体の音響インピ
ーダンスをほぼ同一にするので、導電性接着剤中での超
音波の不要反射をなくすことができ、振動子ブロツクか
らの信号線の取り出しが容易である超音波探触子を得る
ことが出来る。
第１図は複合圧電体の立体図、第２図は本発明による複
合圧電体電子リニア超音波探触子の構成を示す立体図で
ある。 １０１，２０６……複合圧電体、１０２，２０４……柱
状圧電体、１０３，２０５……樹脂、２０１……圧電セ
ラミツクス、２０２……導電性接着剤、２０３……音波
吸収体、２０７，２０８……複合圧電体振動子ブロツ
ク、２０９，２１０……切断溝、２１１……露出電極
部。
合圧電体電子リニア超音波探触子の構成を示す立体図で
ある。 １０１，２０６……複合圧電体、１０２，２０４……柱
状圧電体、１０３，２０５……樹脂、２０１……圧電セ
ラミツクス、２０２……導電性接着剤、２０３……音波
吸収体、２０７，２０８……複合圧電体振動子ブロツ
ク、２０９，２１０……切断溝、２１１……露出電極
部。
Claims (4)
- 【請求項１】絶縁物より成る音波吸収体に圧電セラミツ
クス板を導電性を有する接着剤にて接着する第１の工程
と、前記圧電セラミツクス板に多数の切断溝を形成する
第２の工程と、前記第２の工程により形成された溝に有
機物をうめ込む第３の工程を含み、前記第２の工程では
前記接着剤の層を切断しない第１の深さの溝と、前記接
着剤の層を切断する第２の深さの溝の２種類の溝を形成
し、前記第２の深さの溝により分離された複数のブロッ
クの複合圧電体を得ることを特徴とする超音波探触子の
製造方法。 - 【請求項２】前記接着剤の層と前記音波吸収体の音響イ
ンピーダンスがほぼ等しいことを特徴とする特許請求の
範囲第１項に記載の超音波探触子の製造方法。 - 【請求項３】前記第１の工程において、前記圧電セラミ
ツクス板が接着されていない前記音波吸収体の面に前記
接着層に連続して前記接着剤が塗布され、前記第２の工
程において、さらに前記の塗布された接着剤の層の部分
に切断溝が形成されたことを特徴とする特許請求の範囲
第１項に記載の超音波探触子の製造方法。 - 【請求項４】さらに、前記の塗布された接着剤の層の部
分から信号線を接続する工程を有することを特徴とする
特許請求の範囲第３項に記載の超音波探触子の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59198546A JPH0640679B2 (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | 超音波探触子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59198546A JPH0640679B2 (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | 超音波探触子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6177498A JPS6177498A (ja) | 1986-04-21 |
| JPH0640679B2 true JPH0640679B2 (ja) | 1994-05-25 |
Family
ID=16392960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59198546A Expired - Fee Related JPH0640679B2 (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | 超音波探触子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0640679B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2964147B2 (ja) * | 1989-03-20 | 1999-10-18 | 株式会社日立メディコ | 超音波診断装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5822046A (ja) * | 1981-08-03 | 1983-02-09 | 株式会社日立メディコ | 超音波探触子 |
-
1984
- 1984-09-25 JP JP59198546A patent/JPH0640679B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6177498A (ja) | 1986-04-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |