JPH0641726A - 合成繊維製シートへの被膜形成方法 - Google Patents
合成繊維製シートへの被膜形成方法Info
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- JPH0641726A JPH0641726A JP4195397A JP19539792A JPH0641726A JP H0641726 A JPH0641726 A JP H0641726A JP 4195397 A JP4195397 A JP 4195397A JP 19539792 A JP19539792 A JP 19539792A JP H0641726 A JPH0641726 A JP H0641726A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 合成繊維製シートに金属被膜、或いは、金属
酸化物、金属窒化物又は金属炭化物、或いは、これらの
金属化合物と金属との混合物よりなる被膜を、容易かつ
効率的に形成する。 【構成】 真空容器１内に、陽極２として金属体を、陰
極３として蒸発性金属体をそれぞれ配し、陽極２と陰極
３とに直流電圧を印加してアーク放電を行なうことによ
り、合成繊維製シート４の表面に、蒸発した金属の被膜
を形成する。真空容器１内に酸素、窒素又は低級炭化水
素ガスを導入して、合成繊維製シートの表面に、蒸発し
た金属と導入ガスとの反応で生成した金属化合物の被
膜、或いは、金属化合物と金属との混合被膜を形成す
る。 【効果】 合成繊維製シートの片面又は両面に、各種機
能付与のための、或いは、諸特性向上のための金属被膜
ないし金属化合物被膜を、環境汚染や作業環境の悪化を
引き起こすことなく、容易かつ効率的に緻密かつ均一な
被膜として、密着性良く形成することが可能とされる。
酸化物、金属窒化物又は金属炭化物、或いは、これらの
金属化合物と金属との混合物よりなる被膜を、容易かつ
効率的に形成する。 【構成】 真空容器１内に、陽極２として金属体を、陰
極３として蒸発性金属体をそれぞれ配し、陽極２と陰極
３とに直流電圧を印加してアーク放電を行なうことによ
り、合成繊維製シート４の表面に、蒸発した金属の被膜
を形成する。真空容器１内に酸素、窒素又は低級炭化水
素ガスを導入して、合成繊維製シートの表面に、蒸発し
た金属と導入ガスとの反応で生成した金属化合物の被
膜、或いは、金属化合物と金属との混合被膜を形成す
る。 【効果】 合成繊維製シートの片面又は両面に、各種機
能付与のための、或いは、諸特性向上のための金属被膜
ないし金属化合物被膜を、環境汚染や作業環境の悪化を
引き起こすことなく、容易かつ効率的に緻密かつ均一な
被膜として、密着性良く形成することが可能とされる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は合成繊維製シートへの被
膜形成方法に係り、特に、合成繊維製シートに金属被
膜、或いは、金属酸化物、金属窒化物又は金属炭化物、
或いは、これらの金属化合物と金属との混合物よりなる
被膜を、容易かつ効率的に形成する方法に関する。
膜形成方法に係り、特に、合成繊維製シートに金属被
膜、或いは、金属酸化物、金属窒化物又は金属炭化物、
或いは、これらの金属化合物と金属との混合物よりなる
被膜を、容易かつ効率的に形成する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、合成繊維の織布又は不織布のよう
な合成繊維製シートに金属被膜を形成する方法として
は、一般に、化学メッキ（通称：無電解メッキ）法が採
用されている。この場合、合成繊維の織布又は不織布よ
りなる合成繊維製シートは、巻取状の連続シートとして
無電解メッキ工程に供給され、主としてシートの両面に
同時に金属被膜を形成している。また、この無電解メッ
キ工程の前には、通常、合成繊維製連続シートを予めア
ルカリ脱脂処理、中和処理、触媒化処理する工程が設け
られている。
な合成繊維製シートに金属被膜を形成する方法として
は、一般に、化学メッキ（通称：無電解メッキ）法が採
用されている。この場合、合成繊維の織布又は不織布よ
りなる合成繊維製シートは、巻取状の連続シートとして
無電解メッキ工程に供給され、主としてシートの両面に
同時に金属被膜を形成している。また、この無電解メッ
キ工程の前には、通常、合成繊維製連続シートを予めア
ルカリ脱脂処理、中和処理、触媒化処理する工程が設け
られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】無電解メッキ浴は、メ
ッキすべき金属イオンと金属イオンの還元剤及びその他
の助剤から構成されているが、メッキ作業中に金属イオ
ン濃度が低下するのでその補給が必要であり、且つ、浴
組成コントロール、浴温コントロールが重要である。し
かし、建浴後、補給を繰り返して使用していると、浴組
成のバランスが崩れるため、メッキ浴をある時点で廃棄
し、再度建浴する必要がある。このため、廃液処理費が
必要である、公害・安全衛生の面からも好ましくないな
どの欠点がある。
ッキすべき金属イオンと金属イオンの還元剤及びその他
の助剤から構成されているが、メッキ作業中に金属イオ
ン濃度が低下するのでその補給が必要であり、且つ、浴
組成コントロール、浴温コントロールが重要である。し
かし、建浴後、補給を繰り返して使用していると、浴組
成のバランスが崩れるため、メッキ浴をある時点で廃棄
し、再度建浴する必要がある。このため、廃液処理費が
必要である、公害・安全衛生の面からも好ましくないな
どの欠点がある。
【０００４】しかも、無電解メッキによる金属被膜形成
方法では、高純度の金属膜を得ることは技術的に困難で
ある。
方法では、高純度の金属膜を得ることは技術的に困難で
ある。
【０００５】本発明は上記従来の問題点を解決し、合成
繊維製シートの表面に、金属被膜等の被膜を、公害や安
全衛生面の問題を引き起こすことなく、密着性良く、し
かも均一かつ高純度の被膜として、容易かつ効率的に形
成することができる合成繊維製シートへの被膜形成方法
に関する。
繊維製シートの表面に、金属被膜等の被膜を、公害や安
全衛生面の問題を引き起こすことなく、密着性良く、し
かも均一かつ高純度の被膜として、容易かつ効率的に形
成することができる合成繊維製シートへの被膜形成方法
に関する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の合成繊維製シ
ートへの被膜形成方法は、合成繊維製シートの表面に金
属被膜を形成する方法において、真空容器内に、陽極と
して金属体を、陰極として蒸発性金属体をそれぞれ配
し、該陽極と陰極とに直流電圧を印加してアーク放電を
行なうことにより、前記合成繊維製シートの表面に、蒸
発した金属の被膜を形成することを特徴とする。
ートへの被膜形成方法は、合成繊維製シートの表面に金
属被膜を形成する方法において、真空容器内に、陽極と
して金属体を、陰極として蒸発性金属体をそれぞれ配
し、該陽極と陰極とに直流電圧を印加してアーク放電を
行なうことにより、前記合成繊維製シートの表面に、蒸
発した金属の被膜を形成することを特徴とする。
【０００７】請求項２の合成繊維製シートへの被膜形成
方法は、請求項１の方法において、被膜形成時の温度
を、合成繊維の軟化点以下に保持することを特徴とす
る。
方法は、請求項１の方法において、被膜形成時の温度
を、合成繊維の軟化点以下に保持することを特徴とす
る。
【０００８】請求項３の合成繊維製シートへの被膜形成
方法は、請求項１又は２の方法において、合成繊維製シ
ートの表面を予め有機溶剤又は水系洗浄剤で洗浄した
後、被膜を形成することを特徴とする。
方法は、請求項１又は２の方法において、合成繊維製シ
ートの表面を予め有機溶剤又は水系洗浄剤で洗浄した
後、被膜を形成することを特徴とする。
【０００９】請求項４の合成繊維製シートへの被膜形成
方法は、合成繊維製シートの表面に、金属酸化物、金属
窒化物及び金属炭化物よりなる群から選ばれるいずれか
１種の金属化合物被膜、或いは、該金属化合物と当該金
属化合物を構成する金属との混合被膜を形成する方法に
おいて、真空容器内に、陽極として金属体を、陰極とし
て蒸発性金属体をそれぞれ配し、該真空容器内に酸素、
窒素又は低級炭化水素ガスを導入させつつ、該陽極と陰
極とに直流電圧を印加してアーク放電を行なうことによ
り、前記合成繊維製シートの表面に、蒸発した金属と導
入ガスとの反応で生成した金属化合物の被膜、或いは、
該金属化合物と金属との混合被膜を形成することを特徴
とする。
方法は、合成繊維製シートの表面に、金属酸化物、金属
窒化物及び金属炭化物よりなる群から選ばれるいずれか
１種の金属化合物被膜、或いは、該金属化合物と当該金
属化合物を構成する金属との混合被膜を形成する方法に
おいて、真空容器内に、陽極として金属体を、陰極とし
て蒸発性金属体をそれぞれ配し、該真空容器内に酸素、
窒素又は低級炭化水素ガスを導入させつつ、該陽極と陰
極とに直流電圧を印加してアーク放電を行なうことによ
り、前記合成繊維製シートの表面に、蒸発した金属と導
入ガスとの反応で生成した金属化合物の被膜、或いは、
該金属化合物と金属との混合被膜を形成することを特徴
とする。
【００１０】請求項５の合成繊維製シートへの被膜形成
方法は、請求項４の方法において、被膜形成時の温度
を、合成繊維の軟化点以下に保持することを特徴とす
る。
方法は、請求項４の方法において、被膜形成時の温度
を、合成繊維の軟化点以下に保持することを特徴とす
る。
【００１１】請求項６の合成繊維製シートへの被膜形成
方法は、請求項４又は５の方法において、合成繊維製シ
ートの表面を予め有機溶剤又は水系洗浄剤で洗浄した
後、被膜を形成することを特徴とする。
方法は、請求項４又は５の方法において、合成繊維製シ
ートの表面を予め有機溶剤又は水系洗浄剤で洗浄した
後、被膜を形成することを特徴とする。
【００１２】請求項７の合成繊維製シートへの被膜形成
方法は、請求項４〜６の方法において、低級炭化水素ガ
スとしてアセチレンガス又はメタンガスを導入して金属
炭化物被膜を形成することを特徴とする。
方法は、請求項４〜６の方法において、低級炭化水素ガ
スとしてアセチレンガス又はメタンガスを導入して金属
炭化物被膜を形成することを特徴とする。
【００１３】以下に本発明を詳細に説明する。
【００１４】本発明において、被膜を形成する合成繊維
製シートを構成する合成繊維としては、ポリ塩化ビニ
ル、ビニロン、ナイロン６、ナイロン６６、ポリ塩化ビ
ニリデン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステ
ル、ポリアクリロニトリル、炭素繊維、芳香族系ポリア
ミド、ノボラック樹脂等が挙げられ、これらの混紡品も
使用できる。
製シートを構成する合成繊維としては、ポリ塩化ビニ
ル、ビニロン、ナイロン６、ナイロン６６、ポリ塩化ビ
ニリデン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステ
ル、ポリアクリロニトリル、炭素繊維、芳香族系ポリア
ミド、ノボラック樹脂等が挙げられ、これらの混紡品も
使用できる。
【００１５】また、シートは織布であっても不織布であ
っても良い。ただし、被膜形成にあたり、真空蒸着処理
を施すことから、界面活性剤又は有機バインダーを使用
していない織布又は不織布が好ましい。
っても良い。ただし、被膜形成にあたり、真空蒸着処理
を施すことから、界面活性剤又は有機バインダーを使用
していない織布又は不織布が好ましい。
【００１６】このような合成繊維製シートは、被膜形成
に先立ち、有機溶剤又は水系洗浄剤で洗浄して脱脂処理
を行なうのが好ましい。
に先立ち、有機溶剤又は水系洗浄剤で洗浄して脱脂処理
を行なうのが好ましい。
【００１７】場合によっては、紫外線／オゾンの同時照
射により、予め繊維表面の酸化処理により水との接触角
を小さくし、被膜との密着性を付与することも可能であ
る。また、予め表面をプラズマエッチングすることによ
り、表面積を拡大して被膜との密着性を付与することも
可能である。
射により、予め繊維表面の酸化処理により水との接触角
を小さくし、被膜との密着性を付与することも可能であ
る。また、予め表面をプラズマエッチングすることによ
り、表面積を拡大して被膜との密着性を付与することも
可能である。
【００１８】しかしながら、通常の場合は、上記脱脂処
理で十分な被膜密着性が得られる。
理で十分な被膜密着性が得られる。
【００１９】本発明において、このような合成繊維製シ
ートに形成する被膜は、金属被膜、金属酸化物、金属窒
化物又は金属炭化物被膜、或いは、これらの金属化合物
と金属との混合物よりなる被膜であるが、被膜を構成す
る金属としては、ニッケル、クロム、銅、ステンレス等
の１種又は２種以上が挙げられ、また、金属酸化物とし
ては酸化タンタル、酸化チタンが、金属窒化物としては
窒化クロム、窒化チタン、窒化ジルコニウムが、金属炭
化物としては炭化クロム、炭化タングステン、炭化チタ
ンがそれぞれ挙げられる。
ートに形成する被膜は、金属被膜、金属酸化物、金属窒
化物又は金属炭化物被膜、或いは、これらの金属化合物
と金属との混合物よりなる被膜であるが、被膜を構成す
る金属としては、ニッケル、クロム、銅、ステンレス等
の１種又は２種以上が挙げられ、また、金属酸化物とし
ては酸化タンタル、酸化チタンが、金属窒化物としては
窒化クロム、窒化チタン、窒化ジルコニウムが、金属炭
化物としては炭化クロム、炭化タングステン、炭化チタ
ンがそれぞれ挙げられる。
【００２０】形成する被膜の厚さは、目的に応じて種々
選定することができ、本発明においては１０μｍ程度の
厚膜から０．０５μｍ程度の薄膜まで任意に形成するこ
とができる。
選定することができ、本発明においては１０μｍ程度の
厚膜から０．０５μｍ程度の薄膜まで任意に形成するこ
とができる。
【００２１】本発明において、このような被膜の形成に
は、例えば、図１に示す低温アーク蒸着装置を用いて真
空アーク放電を行なうことが、高純度で均一な被膜を密
着性良く形成できることから好ましい。
は、例えば、図１に示す低温アーク蒸着装置を用いて真
空アーク放電を行なうことが、高純度で均一な被膜を密
着性良く形成できることから好ましい。
【００２２】以下に図１を参照して、本発明に係る被膜
の形成方法について説明する。図１は本発明の実施に好
適な低温アーク蒸着装置の概略を示す系統図である。
の形成方法について説明する。図１は本発明の実施に好
適な低温アーク蒸着装置の概略を示す系統図である。
【００２３】図１において、１は真空容器であり、該真
空容器１内の下部にはカーボンスチール棒からなる陽極
２が、上部には陰極３が配置されており、本実施例では
前記陰極３はその先端部と陽極２との間隔が約１５ｍｍ
となるように調整されていると共に、陰極３は上下方向
に機械的に動いて、陽極２との接触、離反を繰り返すよ
うに構成されている。陰極３のターゲットとしては、前
述の金属及び合金等の蒸発性金属体を使用することがで
きる。陽極２としては、炭素鋼（カーボンスチール）の
他、ステンレス鋼、モリブデン金属等を用いることがで
きる。
空容器１内の下部にはカーボンスチール棒からなる陽極
２が、上部には陰極３が配置されており、本実施例では
前記陰極３はその先端部と陽極２との間隔が約１５ｍｍ
となるように調整されていると共に、陰極３は上下方向
に機械的に動いて、陽極２との接触、離反を繰り返すよ
うに構成されている。陰極３のターゲットとしては、前
述の金属及び合金等の蒸発性金属体を使用することがで
きる。陽極２としては、炭素鋼（カーボンスチール）の
他、ステンレス鋼、モリブデン金属等を用いることがで
きる。
【００２４】この真空容器１内には陰極３と並行に、陰
極３から２０〜８０ｃｍ離れた下方の位置に被塗装物で
ある合成繊維製シート４が配置されている。前記陽極２
及び陰極３はそれぞれ導線２１、２２を介して電源装置
１３と接続されており、該電源装置１３は制御盤１４か
らの指示に従い所定の電圧を印加するように構成されて
いる。
極３から２０〜８０ｃｍ離れた下方の位置に被塗装物で
ある合成繊維製シート４が配置されている。前記陽極２
及び陰極３はそれぞれ導線２１、２２を介して電源装置
１３と接続されており、該電源装置１３は制御盤１４か
らの指示に従い所定の電圧を印加するように構成されて
いる。
【００２５】また、前記真空容器１は主弁１０及びバッ
フル９を介して油拡散ポンプ８と配管２３で接続されて
おり、この配管２３の真空容器１と主弁１０との間は、
ベント弁７及び粗引弁６を備える配管２４で油回転ポン
プ５と接続されている。この配管２４の油回転ポンプ５
と粗引弁６との間は、油拡散ポンプ８の吸引口と、上流
弁１１を備える配管２５で接続されている。
フル９を介して油拡散ポンプ８と配管２３で接続されて
おり、この配管２３の真空容器１と主弁１０との間は、
ベント弁７及び粗引弁６を備える配管２４で油回転ポン
プ５と接続されている。この配管２４の油回転ポンプ５
と粗引弁６との間は、油拡散ポンプ８の吸引口と、上流
弁１１を備える配管２５で接続されている。
【００２６】１２は蒸発油を冷却し、回収して再循環を
行なうための冷凍機であり、バッフル９と配管２６で接
続されている。１５は酸素、窒素又は低級炭化水素ガス
のガスボンベであり、真空容器１にバルブ１６、フロー
メーター１７、減圧調節弁１８を備える配管２７で接続
されている。
行なうための冷凍機であり、バッフル９と配管２６で接
続されている。１５は酸素、窒素又は低級炭化水素ガス
のガスボンベであり、真空容器１にバルブ１６、フロー
メーター１７、減圧調節弁１８を備える配管２７で接続
されている。
【００２７】図示の装置を用いて、合成繊維製シート４
に金属被膜を形成するには、まず、油回転ポンプ５を作
動させて真空容器１内を粗引きした後、油拡散ポンプ８
を作動させて真空容器１内を所定の真空度（１０-3〜１
０-5Ｔｏｒｒ）にする。次いで、陽極２と陰極３との間
に直流電圧を印加し、アーク放電を行なって、金属の蒸
着を行なう。なお、金属酸化物、金属窒化物、又は、金
属炭化物の蒸着を行なう場合には、ガスボンベ１５より
酸素ガス、窒素ガス又はアセチレン、メタン等の低級炭
化水素ガスを、減圧調節弁１８及びフローメーター１７
を介して真空度を約１０-4Ｔｏｒｒに調整して、真空容
器１内へ導入する。
に金属被膜を形成するには、まず、油回転ポンプ５を作
動させて真空容器１内を粗引きした後、油拡散ポンプ８
を作動させて真空容器１内を所定の真空度（１０-3〜１
０-5Ｔｏｒｒ）にする。次いで、陽極２と陰極３との間
に直流電圧を印加し、アーク放電を行なって、金属の蒸
着を行なう。なお、金属酸化物、金属窒化物、又は、金
属炭化物の蒸着を行なう場合には、ガスボンベ１５より
酸素ガス、窒素ガス又はアセチレン、メタン等の低級炭
化水素ガスを、減圧調節弁１８及びフローメーター１７
を介して真空度を約１０-4Ｔｏｒｒに調整して、真空容
器１内へ導入する。
【００２８】なお、この場合、導入ガス量を調整するこ
とにより、金属化合物と金属との混合物の被膜を形成す
ることができる。また、ガスを導入せずに金属被膜を形
成した後、ガスを導入して金属化合物の被膜を形成する
ことにより、２層の複合被膜を連続的に形成することが
できる。
とにより、金属化合物と金属との混合物の被膜を形成す
ることができる。また、ガスを導入せずに金属被膜を形
成した後、ガスを導入して金属化合物の被膜を形成する
ことにより、２層の複合被膜を連続的に形成することが
できる。
【００２９】なお、本発明において、この真空蒸着処理
温度を合成繊維製シートを構成する合成繊維の軟化点以
下の温度とすることが重要であり、これにより、合成繊
維製シートに熱的損傷を与えることなく被膜を形成する
ことができるようになる。
温度を合成繊維製シートを構成する合成繊維の軟化点以
下の温度とすることが重要であり、これにより、合成繊
維製シートに熱的損傷を与えることなく被膜を形成する
ことができるようになる。
【００３０】真空蒸着処理温度を合成繊維の軟化点以下
とするためには、成膜条件、特に、アーク電流、陰極と
合成繊維製シートとの距離を適正に選定する必要があ
る。一般には、合成繊維製シートと陰極との間の距離は
２０〜８０ｃｍ、アーク電流は３０〜１５０Αの範囲で
それぞれ選定するのが好ましい。
とするためには、成膜条件、特に、アーク電流、陰極と
合成繊維製シートとの距離を適正に選定する必要があ
る。一般には、合成繊維製シートと陰極との間の距離は
２０〜８０ｃｍ、アーク電流は３０〜１５０Αの範囲で
それぞれ選定するのが好ましい。
【００３１】
【作用】乾式メッキ法の１種である真空蒸着法、特に、
真空容器内で陽極と蒸発源たる陰極とに直流電圧を印加
し、陽極と陰極を接触、離反させつつアーク放電を行な
い、陰極から金属を蒸発させる方法によれば、環境汚染
や作業環境の悪化等の問題を引き起こすことなく、高純
度で緻密かつ均一な被膜を、合成繊維製シートの表面に
容易かつ効率的に、密着性良く形成することができる。
真空容器内で陽極と蒸発源たる陰極とに直流電圧を印加
し、陽極と陰極を接触、離反させつつアーク放電を行な
い、陰極から金属を蒸発させる方法によれば、環境汚染
や作業環境の悪化等の問題を引き起こすことなく、高純
度で緻密かつ均一な被膜を、合成繊維製シートの表面に
容易かつ効率的に、密着性良く形成することができる。
【００３２】請求項２、５の方法によれば、合成繊維製
シートに熱的損傷を全く付与することなく被膜形成を行
なえる。
シートに熱的損傷を全く付与することなく被膜形成を行
なえる。
【００３３】請求項３、６の方法によれば、より一層被
膜の密着性が高められる。
膜の密着性が高められる。
【００３４】請求項７の方法によれば、工業的に有用な
金属窒化物被膜を有する合成繊維製シートを製造するこ
とができる。
金属窒化物被膜を有する合成繊維製シートを製造するこ
とができる。
【００３５】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明をより具体的に
説明する。
説明する。
【００３６】実施例１ 繊度１２デニールのポリエステル（ＰＥＴ）モノフィラ
メント（軟化点２３８〜２４０℃）からなる２００メッ
シュの布（秤量２４ｇ／ｍ2 、２０ｃｍ×３０ｃｍのサ
イズ）１枚を、予め、イソプロピルアルコールで５分間
超音波洗浄後、風乾し、図１に示す真空容器（内容積１
ｍ3 ）内に垂直にセットした。
メント（軟化点２３８〜２４０℃）からなる２００メッ
シュの布（秤量２４ｇ／ｍ2 、２０ｃｍ×３０ｃｍのサ
イズ）１枚を、予め、イソプロピルアルコールで５分間
超音波洗浄後、風乾し、図１に示す真空容器（内容積１
ｍ3 ）内に垂直にセットした。
【００３７】このＰＥＴ布と平行に３０ｃｍ離れた位置
に、陰極として直径２５ｍｍ、長さ４０ｃｍのニッケル
棒を配置し、真空度４×１０-5Ｔｏｒｒにした後、カー
ボンスチールの陽極棒とニッケルの陰極棒との間に直流
電圧を印加し、ニッケル棒の３０ｃｍの長さにわたり、
均一にアーク放電を行なった。その結果、熱変形を引き
起こすことなく、ＰＥＴ布の片面に厚さ２μｍのニッケ
ル被膜を形成することができた。次に、この布の反対面
をニッケル棒に相対するようにセットし、同様にもう一
方の面にも厚さ２μｍのニッケル被膜を形成した。
に、陰極として直径２５ｍｍ、長さ４０ｃｍのニッケル
棒を配置し、真空度４×１０-5Ｔｏｒｒにした後、カー
ボンスチールの陽極棒とニッケルの陰極棒との間に直流
電圧を印加し、ニッケル棒の３０ｃｍの長さにわたり、
均一にアーク放電を行なった。その結果、熱変形を引き
起こすことなく、ＰＥＴ布の片面に厚さ２μｍのニッケ
ル被膜を形成することができた。次に、この布の反対面
をニッケル棒に相対するようにセットし、同様にもう一
方の面にも厚さ２μｍのニッケル被膜を形成した。
【００３８】このようにして得られた、両面にニッケル
被膜を形成したＰＥＴ布の表面抵抗値（Ω／１０ｃｍ×
１０ｃｍ）及び電磁波シールド効果（アドバンテスト法
による電界シールドは３０〜１０００ＭＨｚ、磁界シー
ルドは３０〜１００ＭＨｚ）は次の通りであり、シール
ド効果は極めて良好であった。
被膜を形成したＰＥＴ布の表面抵抗値（Ω／１０ｃｍ×
１０ｃｍ）及び電磁波シールド効果（アドバンテスト法
による電界シールドは３０〜１０００ＭＨｚ、磁界シー
ルドは３０〜１００ＭＨｚ）は次の通りであり、シール
ド効果は極めて良好であった。
【００３９】
【表１】
【００４０】また、このニッケル被覆したＰＥＴ布の両
面にゴムローラーで黒色塗料を塗布し、ＯＡ機器の電磁
波シールド用のＶＤＴ（ＶＤＴは Video Display Termi
nalの略）フィルターとして、使用可能なことが確認で
きた。
面にゴムローラーで黒色塗料を塗布し、ＯＡ機器の電磁
波シールド用のＶＤＴ（ＶＤＴは Video Display Termi
nalの略）フィルターとして、使用可能なことが確認で
きた。
【００４１】実施例２ ポリエステル（ＰＥＴ）／ナイロン６＝５０／５０（軟
化点１８０℃）の重量混合比になるように１７分割され
たノズルにＰＥＴ及びナイロン６の溶融液を供給し、溶
融紡糸法にて繊度３．４デニールの混合糸を得ると共
に、この混合糸を多数集めてなるシートに高圧ウォータ
ージェットを吹き付けてフィブリル化し、目付６０ｇ／
ｍ2 、厚さ０．４０ｍｍの連続ウエブ状の不織布（大和
紡績（株）製ミラクルクロスＤＦ−５−６０）を形成し
た。更に、この連続ウエブ状の不織布を２本のヒートロ
ールの間に通し、１９０〜２００℃にて、表面のフラッ
ト加工を行なった。
化点１８０℃）の重量混合比になるように１７分割され
たノズルにＰＥＴ及びナイロン６の溶融液を供給し、溶
融紡糸法にて繊度３．４デニールの混合糸を得ると共
に、この混合糸を多数集めてなるシートに高圧ウォータ
ージェットを吹き付けてフィブリル化し、目付６０ｇ／
ｍ2 、厚さ０．４０ｍｍの連続ウエブ状の不織布（大和
紡績（株）製ミラクルクロスＤＦ−５−６０）を形成し
た。更に、この連続ウエブ状の不織布を２本のヒートロ
ールの間に通し、１９０〜２００℃にて、表面のフラッ
ト加工を行なった。
【００４２】この６０ｇ／ｍ2 のＰＥＴ／ナイロン６の
混合不織布（最高処理可能温度１８０℃）を予めイソプ
ロパノールで５分間超音波洗浄し、風乾後、この不織布
の片面に実施例１と同様にして熱変形を引き起こすこと
なく厚さ３μｍのニッケル被膜を両面に形成した。
混合不織布（最高処理可能温度１８０℃）を予めイソプ
ロパノールで５分間超音波洗浄し、風乾後、この不織布
の片面に実施例１と同様にして熱変形を引き起こすこと
なく厚さ３μｍのニッケル被膜を両面に形成した。
【００４３】このニッケル被覆された不織布の表面抵抗
値は０．２〜０．５Ω／５ｃｍ間隔であり、電磁波シー
ルド効果は、実施例１と同じ方法で測定した結果、電界
シールド値は３０〜１０００ＭＨｚで３０〜５２ｄＢ、
磁界シールド値は３０〜５２ｄＢであった。
値は０．２〜０．５Ω／５ｃｍ間隔であり、電磁波シー
ルド効果は、実施例１と同じ方法で測定した結果、電界
シールド値は３０〜１０００ＭＨｚで３０〜５２ｄＢ、
磁界シールド値は３０〜５２ｄＢであった。
【００４４】また、このニッケル被覆した不織布の電波
反射能を次のようにして測定した。
反射能を次のようにして測定した。
【００４５】まず、発泡スチロール板により、図２に示
すような支持台３０を作製し、その垂直部３１に８イン
チ直径のアルミ円板（標準）又は試料３２（コントロー
ラー）としてニッケル被覆した不織布（ニッケル被覆面
を反射面とする。）を取り付け、９３７５ＭＨｚの電波
を照射して、反射電波強度を測定した。結果を表２に示
す。
すような支持台３０を作製し、その垂直部３１に８イン
チ直径のアルミ円板（標準）又は試料３２（コントロー
ラー）としてニッケル被覆した不織布（ニッケル被覆面
を反射面とする。）を取り付け、９３７５ＭＨｚの電波
を照射して、反射電波強度を測定した。結果を表２に示
す。
【００４６】
【表２】
【００４７】表２の減衰値から、得られたニッケル被覆
不織布は、１０ＧＨｚ帯でのレーダー反射器及びパラボ
ラアンテナ等の電波反射材料として使用可能であること
が確認された。
不織布は、１０ＧＨｚ帯でのレーダー反射器及びパラボ
ラアンテナ等の電波反射材料として使用可能であること
が確認された。
【００４８】実施例３ 実施例２において、ニッケル棒の代わりに直径２５ｍ
ｍ、長さ４０ｃｍのクロム棒を使用し、ＰＥＴ／ナイロ
ン６（混紡比５０／５０）の混合不織布（大和紡績
（株）製ミラクルクロスＤＦ−５−６０）（予めイソプ
ロパノールで超音波洗浄後、風乾したもの）を真空容器
内にセットし、微量の窒素ガスを流しながら真空度３×
１０-4Ｔｏｒｒにてクロム棒の長さ３０ｃｍにわたり均
一にアーク放電を行ない、片面に３μｍ厚さのＣｒＮ被
膜を形成した後取り出し、反対面にも同様にＣｒＮ被膜
を形成した。
ｍ、長さ４０ｃｍのクロム棒を使用し、ＰＥＴ／ナイロ
ン６（混紡比５０／５０）の混合不織布（大和紡績
（株）製ミラクルクロスＤＦ−５−６０）（予めイソプ
ロパノールで超音波洗浄後、風乾したもの）を真空容器
内にセットし、微量の窒素ガスを流しながら真空度３×
１０-4Ｔｏｒｒにてクロム棒の長さ３０ｃｍにわたり均
一にアーク放電を行ない、片面に３μｍ厚さのＣｒＮ被
膜を形成した後取り出し、反対面にも同様にＣｒＮ被膜
を形成した。
【００４９】このＣｒＮ被膜が形成された不織布は、被
膜形成前のものに比べて耐熱性、耐摩耗性が著しく向上
していた。
膜形成前のものに比べて耐熱性、耐摩耗性が著しく向上
していた。
【００５０】
【発明が解決しようとする課題】以上詳述した通り、本
発明の合成繊維製シートへの被膜形成方法によれば、合
成繊維製シートの片面又は両面に、各種機能付与のため
の、或いは、諸特性向上のための金属被膜ないし金属化
合物被膜を、環境汚染や作業環境の悪化を引き起こすこ
となく、容易かつ効率的に緻密かつ均一な被膜として、
密着性良く形成することが可能とされる。
発明の合成繊維製シートへの被膜形成方法によれば、合
成繊維製シートの片面又は両面に、各種機能付与のため
の、或いは、諸特性向上のための金属被膜ないし金属化
合物被膜を、環境汚染や作業環境の悪化を引き起こすこ
となく、容易かつ効率的に緻密かつ均一な被膜として、
密着性良く形成することが可能とされる。
【００５１】請求項２、５の方法によれば、合成繊維製
シートに熱的損傷を全く付与することなく被膜形成を行
なえる。
シートに熱的損傷を全く付与することなく被膜形成を行
なえる。
【００５２】請求項３、６の方法によれば、より一層被
膜の密着性が高められる。
膜の密着性が高められる。
【００５３】請求項７の方法によれば、工業的に有用な
金属窒化物被膜を有する合成繊維製シートを製造するこ
とができる。
金属窒化物被膜を有する合成繊維製シートを製造するこ
とができる。
【図１】本発明の実施に好適な低温アーク蒸着装置の概
略を示す系統図である。
略を示す系統図である。
【図２】実施例２で用いた電波反射能測定用支持台を示
す斜視図である。
す斜視図である。
１ 真空容器 ２ 陽極 ３ 陰極 ４ 合成繊維製シート ５ 油回転ポンプ ６ 粗引弁 ７ ベント弁 ８ 油拡散ポンプ ９ バッフル １０ 主弁 １１ 上流弁 １２ 冷凍機 １３ 電源装置 １４ 制御盤 １５ ガスボンベ １６ バルブ １７ フローメーター １８ 減圧調節弁
Claims (7)
- 【請求項１】 合成繊維製シートの表面に金属被膜を形
成する方法において、 真空容器内に、陽極として金属体を、陰極として蒸発性
金属体をそれぞれ配し、該陽極と陰極とに直流電圧を印
加してアーク放電を行なうことにより、前記合成繊維製
シートの表面に、蒸発した金属の被膜を形成することを
特徴とする合成繊維製シートへの被膜形成方法。 - 【請求項２】 被膜形成時の温度を、合成繊維の軟化点
以下に保持することを特徴とする請求項１に記載の合成
繊維製シートへの被膜形成方法。 - 【請求項３】 合成繊維製シートの表面を予め有機溶剤
又は水系洗浄剤で洗浄した後、被膜を形成することを特
徴とする請求項１又は２に記載の合成繊維製シートへの
被膜形成方法。 - 【請求項４】 合成繊維製シートの表面に、金属酸化
物、金属窒化物及び金属炭化物よりなる群から選ばれる
いずれか１種の金属化合物被膜、或いは、該金属化合物
と当該金属化合物を構成する金属との混合被膜を形成す
る方法において、 真空容器内に、陽極として金属体を、陰極として蒸発性
金属体をそれぞれ配し、該真空容器内に酸素、窒素又は
低級炭化水素ガスを導入させつつ、該陽極と陰極とに直
流電圧を印加してアーク放電を行なうことにより、前記
合成繊維製シートの表面に、蒸発した金属と導入ガスと
の反応で生成した金属化合物の被膜、或いは、該金属化
合物と金属との混合被膜を形成することを特徴とする合
成繊維製シートへの被膜形成方法。 - 【請求項５】 被膜形成時の温度を、合成繊維の軟化点
以下に保持することを特徴とする請求項４に記載の合成
繊維製シートへの被膜形成方法。 - 【請求項６】 合成繊維製シートの表面を予め有機溶剤
又は水系洗浄剤で洗浄した後、被膜を形成することを特
徴とする請求項４又は５に記載の合成繊維製シートへの
被膜形成方法。 - 【請求項７】 低級炭化水素ガスとしてアセチレンガス
又はメタンガスを導入して金属炭化物被膜を形成するこ
とを特徴とする請求項４ないし６のいずれか１項に記載
の合成繊維製シートへの被膜形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4195397A JPH0641726A (ja) | 1992-07-22 | 1992-07-22 | 合成繊維製シートへの被膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4195397A JPH0641726A (ja) | 1992-07-22 | 1992-07-22 | 合成繊維製シートへの被膜形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0641726A true JPH0641726A (ja) | 1994-02-15 |
Family
ID=16340458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4195397A Withdrawn JPH0641726A (ja) | 1992-07-22 | 1992-07-22 | 合成繊維製シートへの被膜形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0641726A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111041812A (zh) * | 2019-12-27 | 2020-04-21 | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 | 一种自清洁纤维的制备方法 |
| JP2021509449A (ja) * | 2017-12-28 | 2021-03-25 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 難燃性ポリマーを含むセラミックコーティングされた繊維、及び不織布構造の製造方法 |
-
1992
- 1992-07-22 JP JP4195397A patent/JPH0641726A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021509449A (ja) * | 2017-12-28 | 2021-03-25 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 難燃性ポリマーを含むセラミックコーティングされた繊維、及び不織布構造の製造方法 |
| CN111041812A (zh) * | 2019-12-27 | 2020-04-21 | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 | 一种自清洁纤维的制备方法 |
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|---|---|---|---|
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