JPH0642804A - セルフクリーニング機構付ダクト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 吸、排気ダクト等において、ダクトの内壁に
反応ガスによる生成物やゴミ等が付着、堆積しても、自
動的にそれらの物質を除去、移動させ、又は付着防止機
能を付加させることを目的とする。 【構成】 ダクト３の内壁に沿って回転するセルフクリ
ーニング用羽根４を配置した。 【効果】 ダクト内内壁にゴミ等が付着、堆積しても、
セルフクリーニング用羽根を回転させることにより、こ
れらの除去及び付着防止等を自動的に行なうことがで
き、装置の稼働率を向上させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば半導体製造装
置用のダクト内に堆積した物質等を自動的に除去、又は
堆積するのを防止する機能を備えたダクトに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】図５ａ，ｂはそれぞれ従来から用いられ
ているこの種の吸、排気ダクトの２つの例を示す斜視図
で、１はブリキ製スパイラルダクトであり、２は鋼管ダ
クトである。

【０００３】次に動作について説明する。従来のダクト
は以上のように、ブリキ板をスパイラル状に巻いて円筒
状にしたもの１や、鋼製の円筒状のもの２が用いられて
きた。そしてこのようなものにおいては、ダクト内に流
す物質によりダクト内壁にそれらが付着、堆積してつま
りの原因となるため、定期的に取り除く必要があった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のダクトは以上の
様に構成されているので、ダクトの内壁に反応ガスの生
成物やゴミが付着、堆積するために、クリーニングが必
要であるとともに、その除去作業は容易ではなく、かつ
長時間を要し、装置稼働率の低下、危険度の増加等の問
題があった。

【０００５】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、ダクト内の内壁に反応ガスによ
る生成物やゴミが付着堆積しにくくなり、又堆積しても
自動的に取り除くことができるダクトを得ることを目的
とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明に係るダクト
は、ダクト内の内壁に沿って回転可能なセルフクリーニ
ング用羽根を設けたものである。

【０００７】またこの発明に係るダクトは、セルフクリ
ーニング機能をダクトの曲線部に対しても適用できる様
にダクト内壁に沿って回転可能なコイル状セルフクリー
ナーを設けたものである。

【０００８】

【作用】この発明におけるダクトは、ダクト内壁に反応
ガスによる生成物やゴミ等が付着、堆積しても、セルフ
クリーニング用羽根を回転させることにより、自動的に
かつ容易に除去することが可能である。

【０００９】また、この発明においては、曲線状のダク
ト内壁に付着した反応生成物等においても、コイル状セ
ルフクリーナーを回転させることにより除去し、それら
を所定の場所へ移動させることが可能である。

【００１０】

【実施例】

実施例１．以下、この発明の実施例１を図について説明
する。図１はこの発明に係るセルフクリーニング機構を
備えたダクトを示すもので、ａは一部切欠の斜視図、ｂ
は断面正面図、ｃはその側面図である。図において、３
はダクト本体、４はダクト内壁に沿って回転可能に配置
されたセルフクリーニング用羽根、５はこの羽根４を固
定するための支柱で、可能な限り表面積を小さくして堆
積物の付着をおさえる様にしている。６は羽根の駆動用
モータ、７は接続用の吸、排気口、８は接続部である。

【００１１】次にその動作について説明する。セルフク
リーニング用羽根４がダクトの内壁に沿って回転可能に
配置されているので、排気ガスによる反応生成物等の物
質がダクト内壁に付着、堆積した場合、駆動用モータ６
によって羽根４を回転させることで、上記付着物質を自
動的に取り除くことができる。また、このセルフクリー
ニング用羽根４を常時回転させることにより、物質の付
着をおさえることも可能になる。したがって、配管を接
続したままでクリーニングが行なえるため、従来の様な
装置を止めて配管を外してクリーニングを行なう必要が
ない。

【００１２】実施例２．図２はこの発明に係る実施例２
を示すもので、ａ，ｂ，ｃはそれぞれ図１ａ，ｂ，ｃと
対応する図である。図２においては、図１のセルフクリ
ーニング用羽根４にらせん状フィン９を取付けたもので
ある。

【００１３】上記実施例では、まず、図１の実施例の場
合と同様に、ダクト本体１の内壁に付着した堆積物をセ
ルフクリーニング用羽根４の回転によりけずり落とすと
ともに、羽根に取付けられたらせん状フィン９の回転に
よりこのけずり落とされた物質を所定の場所にまで移送
することができ、この結果、堆積物除去作業の効率をさ
らに良くすることが可能になる。

【００１４】実施例３．図３はこの発明の実施例３を示
す一部切欠の斜視図ａと断面側面図ｂであり、この図に
おいて、１０はダクトの内径と同じ寸法の直径を有する
回転可能なコイル状セルフクリーナーである。このコイ
ル状セルフクリーナー１０を回転することで、ダクト内
壁に付着した物質を自動的に除去すると同時に、一方へ
移送する機能を有する。この実施例の場合、可撓性を有
するので、ダクトの形状によらず例えば曲線状のダクト
においてもセルフクリーナーを取付けることが可能にな
る。

【００１５】実施例４．図４はこの発明の実施例４を示
すもので、ａ，ｂはそれぞれ図３に対応する図であり、
ここで１１は実施例３におけるコイル状セルフクリーナ
ー１０の一部に設けられたヒーターで、必要に応じて該
クリーナーの表面温度を任意に設定することができ、こ
のヒーターによる熱によって実施例１〜３における反応
生成物等の付着防止機能をさらに向上させることができ
る。

【００１６】

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、ダクト
内内壁に回転可能なセルフクリーニング用羽根を設けた
ので、堆積物のクリーニングが自動的に行なえ、ダクト
内のつまり等による圧力損失を生じさせない効果があ
る。

【００１７】また、この発明によれば、ダクト内内壁に
沿って回転可能なコイル状セルフクリーナーを設けたの
で、曲線状のダクトにおいても自動的に堆積物を除去
し、それらを移動させることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例１を示す一部切欠の斜視図ａ
と断面図ｂと側面図ｃである。

【図２】この発明の実施例２を示す一部切欠の斜視図ａ
と断面図ｂと側面図ｃである。

【図３】この発明の実施例３を示す一部切欠の斜視図ａ
と断面側面図ｂである。

【図４】この発明の実施例４を示す一部切欠の斜視図ａ
と断面図ｂと側面図ｃである。

【図５】従来のダクトの例を示す斜視図である。

【符号の説明】

３ ダクト本体 ４ セルフクリーニング用羽根 ５ 支柱 ６ 駆動用モータ ９ らせん状フィン １０ コイル状セルフクリーナー １１ ヒータ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ダクトの内壁に沿って回転可能なセルフ
   クリーニング用羽根を備えたことを特徴とするセルフク
   リーニング機構付ダクト。
2. 【請求項２】 セルフクリーニング用羽根に、堆積物の
   移送用のらせん状フィンを付設したことを特徴とする請
   求項１記載のセルフクリーニング機構付ダクト。
3. 【請求項３】 ダクトの内壁に沿って回転可能に配置さ
   れ、ダクト内径と同一直径を有するコイル状セルフクリ
   ーナーを備えたことを特徴とするセルフクリーニング機
   構付ダクト。
4. 【請求項４】 セルフクリーナーの内部にヒーターを備
   えたことを特徴とする請求項１乃至３記載のセルフクリ
   ーニング機構付ダクト。