JPH0643129A - 湿度センサー - Google Patents
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- JPH0643129A JPH0643129A JP4107069A JP10706992A JPH0643129A JP H0643129 A JPH0643129 A JP H0643129A JP 4107069 A JP4107069 A JP 4107069A JP 10706992 A JP10706992 A JP 10706992A JP H0643129 A JPH0643129 A JP H0643129A
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- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y15/00—Nanotechnology for interacting, sensing or actuating, e.g. quantum dots as markers in protein assays or molecular motors
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】湿度センサーに用いる感湿素子の表面を、フッ
化アルキル基を含む単分子膜をシロキサン結合によって
基材表面と共有結合させることにより耐水性のすぐれた
湿度センサーとする。 【構成】湿度センサーに用いる感湿素子を、ヘプタデカ
フルオロトリデシルトリクロロシラン等の界面活性剤溶
液の希薄溶液に浸漬し、未反応物を洗浄除去して、フッ
化アルキル基を含むシロキサン結合を介した化学吸着単
分子膜を感湿素子表面に形成する。この感湿素子の表面
には、感湿素子１の表面にシロキサン結合２を介して、
フッ化アルキル基を含有する単分子膜３が形成されてい
る。
化アルキル基を含む単分子膜をシロキサン結合によって
基材表面と共有結合させることにより耐水性のすぐれた
湿度センサーとする。 【構成】湿度センサーに用いる感湿素子を、ヘプタデカ
フルオロトリデシルトリクロロシラン等の界面活性剤溶
液の希薄溶液に浸漬し、未反応物を洗浄除去して、フッ
化アルキル基を含むシロキサン結合を介した化学吸着単
分子膜を感湿素子表面に形成する。この感湿素子の表面
には、感湿素子１の表面にシロキサン結合２を介して、
フッ化アルキル基を含有する単分子膜３が形成されてい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は湿度センサーに関し、よ
り詳しくは、湿度センサーの耐水性向上に関する。
り詳しくは、湿度センサーの耐水性向上に関する。
【０００２】
【従来の技術】湿度センサーは、冷暖房器具の湿度制
御、乾燥機の水蒸気検知、オーブンや電子レンジなどの
自動調理のための湿度検知などに実用化されている。
御、乾燥機の水蒸気検知、オーブンや電子レンジなどの
自動調理のための湿度検知などに実用化されている。
【０００３】湿度検知の方法としては、種々の物理・化
学現象が利用されているが、機器のシステム化には、湿
度を電気的な信号として検出する必要があるため、セラ
ミックや有機高分子の静電容量あるいは抵抗の変化をと
らえる方法が一般的である。
学現象が利用されているが、機器のシステム化には、湿
度を電気的な信号として検出する必要があるため、セラ
ミックや有機高分子の静電容量あるいは抵抗の変化をと
らえる方法が一般的である。
【０００４】また、感湿素子に多孔質セラミックを用い
たセラミック湿度センサーや高分子を用いた高分子湿度
センサーもよく知られている。
たセラミック湿度センサーや高分子を用いた高分子湿度
センサーもよく知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
湿度センサーを、結露したりあるいは水に濡れたりする
ような環境で使用すると、感湿素子に水滴が付着した
り、感湿材料である高分子電解質が溶け出したりして、
センサーの特性が著しく低下するという課題があった。
湿度センサーを、結露したりあるいは水に濡れたりする
ような環境で使用すると、感湿素子に水滴が付着した
り、感湿材料である高分子電解質が溶け出したりして、
センサーの特性が著しく低下するという課題があった。
【０００６】本発明は、従来の欠点に鑑みなされたもの
で、耐水性の優れた湿度センサーを提供することを目的
としている。
で、耐水性の優れた湿度センサーを提供することを目的
としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明の第１番目の湿度センサーは、感湿素子表面にシ
ロキサン結合を介してフッ化アルキル基を有する化学吸
着膜を設けるという構成を備えたものである。
本発明の第１番目の湿度センサーは、感湿素子表面にシ
ロキサン結合を介してフッ化アルキル基を有する化学吸
着膜を設けるという構成を備えたものである。
【０００８】次に本発明の第２番目の湿度センサーは、
感湿素子を内部に収納するためのパッケージ表面にシロ
キサン結合を介してフッ化アルキル基を有する化学吸着
膜を設ける構成を備えたものである。
感湿素子を内部に収納するためのパッケージ表面にシロ
キサン結合を介してフッ化アルキル基を有する化学吸着
膜を設ける構成を備えたものである。
【０００９】前記構成においては、化学吸着膜が単分子
膜またはポリマー膜であることが望ましい。
膜またはポリマー膜であることが望ましい。
【００１０】
【作用】本発明の第１の湿度センサーに用いられる感湿
素子は、その表面にフッ化アルキル基を含有する化学吸
着膜がシロキサン結合を介して化学結合して形成されて
いるので、撥水性がすぐれている。すなわち、前記化学
吸着膜の表層にはフッ化アルキル基が存在するから、撥
水性に優れたものとなる。その結果、結露あるいは水に
濡れても、水滴がつかず耐水性に優れた湿度センサーと
なる。また、前記化学吸着膜の基部は、シロキサン結合
を介して化学結合して形成されているので、耐久性に優
れた膜とすることができる。さらに、本発明の化学吸着
膜は、ナノメータないしオングストローム単位の極薄い
膜であり、水分子は透過させるので湿度センサーの特性
を損ねることはない。
素子は、その表面にフッ化アルキル基を含有する化学吸
着膜がシロキサン結合を介して化学結合して形成されて
いるので、撥水性がすぐれている。すなわち、前記化学
吸着膜の表層にはフッ化アルキル基が存在するから、撥
水性に優れたものとなる。その結果、結露あるいは水に
濡れても、水滴がつかず耐水性に優れた湿度センサーと
なる。また、前記化学吸着膜の基部は、シロキサン結合
を介して化学結合して形成されているので、耐久性に優
れた膜とすることができる。さらに、本発明の化学吸着
膜は、ナノメータないしオングストローム単位の極薄い
膜であり、水分子は透過させるので湿度センサーの特性
を損ねることはない。
【００１１】本発明の第２の湿度センサーに用いられる
パッケージは、その表面にフッ化アルキル基を含有する
化学吸着膜がシロキサン結合を介して化学結合して形成
されているので、撥水性がすぐれている。すなわち、前
記化学吸着膜の表層にはフッ化アルキル基が存在するか
ら、撥水性に優れたものとなる。その結果、結露あるい
は水に濡れても、水滴が浸透して感湿素子に付着するこ
とがなく耐水性に優れた湿度センサーとなる。また、前
記化学吸着膜の基部は、シロキサン結合を介して化学結
合して形成されているので、耐久性に優れた膜とするこ
とができる。
パッケージは、その表面にフッ化アルキル基を含有する
化学吸着膜がシロキサン結合を介して化学結合して形成
されているので、撥水性がすぐれている。すなわち、前
記化学吸着膜の表層にはフッ化アルキル基が存在するか
ら、撥水性に優れたものとなる。その結果、結露あるい
は水に濡れても、水滴が浸透して感湿素子に付着するこ
とがなく耐水性に優れた湿度センサーとなる。また、前
記化学吸着膜の基部は、シロキサン結合を介して化学結
合して形成されているので、耐久性に優れた膜とするこ
とができる。
【００１２】次に、化学吸着膜が単分子膜またはポリマ
ー膜であるという本発明の好ましい構成によれば、膜厚
が均一でさらに優れた耐水性を発揮できる。
ー膜であるという本発明の好ましい構成によれば、膜厚
が均一でさらに優れた耐水性を発揮できる。
【００１３】
【実施例】以下実施例を用いてより具体的に本発明を説
明する。本発明の第１の湿度センサーは図１に示すよう
に、感湿素子１の表面にシロキサン結合２を介して、フ
ッ化アルキル基を含有する単分子膜３が形成された感湿
素子を用いる。
明する。本発明の第１の湿度センサーは図１に示すよう
に、感湿素子１の表面にシロキサン結合２を介して、フ
ッ化アルキル基を含有する単分子膜３が形成された感湿
素子を用いる。
【００１４】本発明の第２の湿度センサーは図３に示す
ように、パッケージ３１の表面にシロキサン結合３２を
介してフッ化アルキル基を含有する単分子膜３３が形成
されたパッケージを用いる。
ように、パッケージ３１の表面にシロキサン結合３２を
介してフッ化アルキル基を含有する単分子膜３３が形成
されたパッケージを用いる。
【００１５】感湿素子材料はとしてたとえば、多孔質セ
ラミックスとしてマグネシウムスピネル（ＭｇＣｒ
Ｏ4 ）とルチル型（ＴｉＯ2 ）、またはＺｒＯ2 とＭｇ
Ｏからなるセラミックスおよびこれらのセラミックスに
高分子電解質を含浸させたものがよく用いられる。ま
た、高分子として熱硬化性樹脂の親水性樹脂４級アンモ
ニウム鉛と疎水性樹脂メラニン樹脂とを架橋させたもの
がよく用いられる。
ラミックスとしてマグネシウムスピネル（ＭｇＣｒ
Ｏ4 ）とルチル型（ＴｉＯ2 ）、またはＺｒＯ2 とＭｇ
Ｏからなるセラミックスおよびこれらのセラミックスに
高分子電解質を含浸させたものがよく用いられる。ま
た、高分子として熱硬化性樹脂の親水性樹脂４級アンモ
ニウム鉛と疎水性樹脂メラニン樹脂とを架橋させたもの
がよく用いられる。
【００１６】本発明のパッケージに用いる樹脂材料とし
ては、ポリブチレンテレフタレート、ナイロン／ＡＢＳ
複合物などがよく用いられる。本発明の湿度センサーの
感湿素子またはパッケージ表面に設けられる化学吸着膜
はフッ化アルキル基を有するクロロシラン系界面活性剤
から構成されている。
ては、ポリブチレンテレフタレート、ナイロン／ＡＢＳ
複合物などがよく用いられる。本発明の湿度センサーの
感湿素子またはパッケージ表面に設けられる化学吸着膜
はフッ化アルキル基を有するクロロシラン系界面活性剤
から構成されている。
【００１７】フッ化アルキル基を有するクロロシラン系
界面活性剤としては、例えばＣＦ3（ＣＦ2 ）7 （ＣＨ
2 ）2 ＳｉＣｌ3 ，ＣＦ3 ＣＨ2 Ｏ（ＣＨ2 ）15ＳｉＣ
ｌ3，ＣＦ3 （ＣＨ2 ）2 Ｓｉ（ＣＨ3 ）2 （ＣＨ2 ）
15ＳｉＣｌ3 ，Ｆ（ＣＦ2 ） 4 （ＣＨ2 ）2 Ｓｉ（ＣＨ
3 ）2 （ＣＨ2 ）9 ＳｉＣｌ3 ，Ｆ（ＣＦ2 ）8 （ＣＨ
2 ）2 Ｓｉ（ＣＨ3 ）2 （ＣＨ2 ）9 ＳｉＣｌ3 ，Ｆ
（ＣＦ2 ）8 （ＣＨ2 ） 2 Ｓｉ（ＣＨ3 ）2 （ＣＨ2 ）
10ＳｉＣｌ3 ，ＣＦ3 ＣＯＯ（ＣＨ2 ）15ＳｉＣｌ3 ，
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）5 （ＣＨ2 ）2 ＳｉＣｌ3 等のような
トリクロロシラン系界面活性剤を始め、例えばＣＦ
3 （ＣＦ2 ）7 （ＣＨ2 ）2 ＳｉＣｌn （Ｃ
Ｈ 3 ）3-n ，ＣＦ3 （ＣＦ2 ）7 （ＣＨ2 ）2 ＳｉＣｌ
n （Ｃ2 Ｈ5 ）3-n ，ＣＦ 3 ＣＨ2 Ｏ（ＣＨ2 ）15Ｓｉ
Ｃｌn （ＣＨ3 ）3-n ，ＣＦ3 ＣＨ2 Ｏ（ＣＨ2 ） 15Ｓ
ｉＣｌn （Ｃ2 Ｈ5 ）3-n ，ＣＦ3 （ＣＨ2 ）2 Ｓｉ
（ＣＨ3 ）2 （ＣＨ2）15ＳｉＣｌn （ＣＨ3 ）3-n ，
Ｆ（ＣＦ2 ）4 （ＣＨ2 ）2 Ｓｉ（ＣＨ3 ）2（Ｃ
Ｈ2 ）9 ＳｉＣｌn （Ｃ2 Ｈ5 ）3-n ，Ｆ（ＣＦ2 ）8
（ＣＨ2 ）2 Ｓｉ（ＣＨ3 ）2 （ＣＨ2 ）9 ＳｉＣｌn
（ＣＨ3 ）3-n ，ＣＦ3 ＣＯＯ（ＣＨ2 ）15ＳｉＣｌn
（ＣＨ3 ）3-n ，ＣＦ3 （ＣＦ2 ）5 （ＣＨ2 ）2 Ｓｉ
Ｃｌn （ＣＨ 3 ）3-n （但し式中のｎは何れも１又は
２）等のような低級アルキル基置換のモノクロロシラン
系またはジクロロシラン系界面活性剤が挙げられる。こ
れらの中でも特にトリクロロシラン系界面活性剤の親水
性基と結合したクロロシリル結合以外のクロロシリル結
合が、隣合うクロロシラン基とシロキサン結合で分子間
結合を形成するため、より強固な化学吸着膜となり好ま
しい。また、ＣＦ3 （ＣＦ 2 ）n ＣＨ2 ＣＨ2 ＳｉＣｌ
3 （但し式中のｎは整数であり、３〜２５程度が最も扱
いやすい）が、溶剤溶解性、化学吸着性と防汚性等の機
能性との釣合が取れているため好ましい。さらにまた、
フッ化アルキル鎖部分にビニレン基（−Ｃ＝Ｃ−）やア
セチニック基（エチニル基）を組み込んでおけば、化学
吸着膜形成後５メガラド程度の電子線照射で架橋できる
のでさらに化学吸着膜自体の硬度を向上させることも可
能である。本発明に使用できるクロロシラン系界面活性
剤は、上述に例示したように直鎖状だけではなく、フッ
化アルキル基又は炭化水素基が分岐した形状でも、又は
末端の珪素にフッ化アルキル基もしくは炭化水素基が置
換した形状（即ちＲ、Ｒ1 、Ｒ2 、Ｒ3 をフッ化アルキ
ル基又は炭化水素基として一般式Ｒ2 ＳｉＣｌ2 、Ｒ3
ＳｉＣｌ、Ｒ1 Ｒ2 ＳｉＣｌ2 もしくはＲ1 Ｒ2Ｒ3 Ｓ
ｉＣｌ等）であってもよいが、吸着密度を高めるために
は一般には直鎖状が好ましい。さらに、例えば、ＳｉＣ
ｌ4 、ＳｉＨＣｌ3 、ＳｉＨ2 Ｃｌ2 、Ｃｌ−（ＳｉＣ
ｌ2 Ｏ）n −ＳｉＣｌ3 （但し式中ｎは自然数）、Ｓｉ
Ｃｌm （ＣＨ3 ）4-m 、ＳｉＣｌm （Ｃ2 Ｈ5 ）
4-m （但し式中ｍは１〜３の整数）、ＨＳｉＣｌr （Ｃ
Ｈ3 ）3-r 、ＨＳｉＣｌr （Ｃ2 Ｈ5 ）3-r （但し式中
ｒは１又は２）等のようなクロロシリル結合を複数個含
む物質を化学吸着させた後、水分と反応させると、表面
のクロロシリル結合が親水性のシラノール結合に変わ
り、感湿素子およびパッケージ表面が親水性となる。な
お、このクロロシリル基を複数個含む物質の中でも、テ
トラクロロシラン（ＳｉＣｌ4 ）は反応性が高く分子量
も小さいためより高密度にシラノール結合を付与できる
ため好ましい。この上に例えばフッ化アルキル基を含む
クロロシラン系界面活性剤を化学吸着でき、このように
して得た化学吸着膜はより高密度化されるため、撥水性
の機能がより高められる。
界面活性剤としては、例えばＣＦ3（ＣＦ2 ）7 （ＣＨ
2 ）2 ＳｉＣｌ3 ，ＣＦ3 ＣＨ2 Ｏ（ＣＨ2 ）15ＳｉＣ
ｌ3，ＣＦ3 （ＣＨ2 ）2 Ｓｉ（ＣＨ3 ）2 （ＣＨ2 ）
15ＳｉＣｌ3 ，Ｆ（ＣＦ2 ） 4 （ＣＨ2 ）2 Ｓｉ（ＣＨ
3 ）2 （ＣＨ2 ）9 ＳｉＣｌ3 ，Ｆ（ＣＦ2 ）8 （ＣＨ
2 ）2 Ｓｉ（ＣＨ3 ）2 （ＣＨ2 ）9 ＳｉＣｌ3 ，Ｆ
（ＣＦ2 ）8 （ＣＨ2 ） 2 Ｓｉ（ＣＨ3 ）2 （ＣＨ2 ）
10ＳｉＣｌ3 ，ＣＦ3 ＣＯＯ（ＣＨ2 ）15ＳｉＣｌ3 ，
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）5 （ＣＨ2 ）2 ＳｉＣｌ3 等のような
トリクロロシラン系界面活性剤を始め、例えばＣＦ
3 （ＣＦ2 ）7 （ＣＨ2 ）2 ＳｉＣｌn （Ｃ
Ｈ 3 ）3-n ，ＣＦ3 （ＣＦ2 ）7 （ＣＨ2 ）2 ＳｉＣｌ
n （Ｃ2 Ｈ5 ）3-n ，ＣＦ 3 ＣＨ2 Ｏ（ＣＨ2 ）15Ｓｉ
Ｃｌn （ＣＨ3 ）3-n ，ＣＦ3 ＣＨ2 Ｏ（ＣＨ2 ） 15Ｓ
ｉＣｌn （Ｃ2 Ｈ5 ）3-n ，ＣＦ3 （ＣＨ2 ）2 Ｓｉ
（ＣＨ3 ）2 （ＣＨ2）15ＳｉＣｌn （ＣＨ3 ）3-n ，
Ｆ（ＣＦ2 ）4 （ＣＨ2 ）2 Ｓｉ（ＣＨ3 ）2（Ｃ
Ｈ2 ）9 ＳｉＣｌn （Ｃ2 Ｈ5 ）3-n ，Ｆ（ＣＦ2 ）8
（ＣＨ2 ）2 Ｓｉ（ＣＨ3 ）2 （ＣＨ2 ）9 ＳｉＣｌn
（ＣＨ3 ）3-n ，ＣＦ3 ＣＯＯ（ＣＨ2 ）15ＳｉＣｌn
（ＣＨ3 ）3-n ，ＣＦ3 （ＣＦ2 ）5 （ＣＨ2 ）2 Ｓｉ
Ｃｌn （ＣＨ 3 ）3-n （但し式中のｎは何れも１又は
２）等のような低級アルキル基置換のモノクロロシラン
系またはジクロロシラン系界面活性剤が挙げられる。こ
れらの中でも特にトリクロロシラン系界面活性剤の親水
性基と結合したクロロシリル結合以外のクロロシリル結
合が、隣合うクロロシラン基とシロキサン結合で分子間
結合を形成するため、より強固な化学吸着膜となり好ま
しい。また、ＣＦ3 （ＣＦ 2 ）n ＣＨ2 ＣＨ2 ＳｉＣｌ
3 （但し式中のｎは整数であり、３〜２５程度が最も扱
いやすい）が、溶剤溶解性、化学吸着性と防汚性等の機
能性との釣合が取れているため好ましい。さらにまた、
フッ化アルキル鎖部分にビニレン基（−Ｃ＝Ｃ−）やア
セチニック基（エチニル基）を組み込んでおけば、化学
吸着膜形成後５メガラド程度の電子線照射で架橋できる
のでさらに化学吸着膜自体の硬度を向上させることも可
能である。本発明に使用できるクロロシラン系界面活性
剤は、上述に例示したように直鎖状だけではなく、フッ
化アルキル基又は炭化水素基が分岐した形状でも、又は
末端の珪素にフッ化アルキル基もしくは炭化水素基が置
換した形状（即ちＲ、Ｒ1 、Ｒ2 、Ｒ3 をフッ化アルキ
ル基又は炭化水素基として一般式Ｒ2 ＳｉＣｌ2 、Ｒ3
ＳｉＣｌ、Ｒ1 Ｒ2 ＳｉＣｌ2 もしくはＲ1 Ｒ2Ｒ3 Ｓ
ｉＣｌ等）であってもよいが、吸着密度を高めるために
は一般には直鎖状が好ましい。さらに、例えば、ＳｉＣ
ｌ4 、ＳｉＨＣｌ3 、ＳｉＨ2 Ｃｌ2 、Ｃｌ−（ＳｉＣ
ｌ2 Ｏ）n −ＳｉＣｌ3 （但し式中ｎは自然数）、Ｓｉ
Ｃｌm （ＣＨ3 ）4-m 、ＳｉＣｌm （Ｃ2 Ｈ5 ）
4-m （但し式中ｍは１〜３の整数）、ＨＳｉＣｌr （Ｃ
Ｈ3 ）3-r 、ＨＳｉＣｌr （Ｃ2 Ｈ5 ）3-r （但し式中
ｒは１又は２）等のようなクロロシリル結合を複数個含
む物質を化学吸着させた後、水分と反応させると、表面
のクロロシリル結合が親水性のシラノール結合に変わ
り、感湿素子およびパッケージ表面が親水性となる。な
お、このクロロシリル基を複数個含む物質の中でも、テ
トラクロロシラン（ＳｉＣｌ4 ）は反応性が高く分子量
も小さいためより高密度にシラノール結合を付与できる
ため好ましい。この上に例えばフッ化アルキル基を含む
クロロシラン系界面活性剤を化学吸着でき、このように
して得た化学吸着膜はより高密度化されるため、撥水性
の機能がより高められる。
【００１８】本発明の湿度センサーに用いられ感湿素子
またはパッケージの表面にシロキサン結合を介してフッ
化アルキル基を含有する化学吸着膜を形成する方法とし
ては、感湿素子を非水系の有機溶媒に浸漬して、この表
面にクロロシラン系界面活性剤を化学吸着させ、シロキ
サン結合を介してフッ化アルキル基を含有する化学吸着
膜を形成させる。または、感湿素子およびパッケージを
気相でハロゲン化シラン系化学吸着剤と接触させ、次に
水分と反応させることにより化学吸着膜を形成させる方
法がある。
またはパッケージの表面にシロキサン結合を介してフッ
化アルキル基を含有する化学吸着膜を形成する方法とし
ては、感湿素子を非水系の有機溶媒に浸漬して、この表
面にクロロシラン系界面活性剤を化学吸着させ、シロキ
サン結合を介してフッ化アルキル基を含有する化学吸着
膜を形成させる。または、感湿素子およびパッケージを
気相でハロゲン化シラン系化学吸着剤と接触させ、次に
水分と反応させることにより化学吸着膜を形成させる方
法がある。
【００１９】本発明の湿度センサーの感湿素子またはパ
ッケージ表面に、シロキサン結合を介してフッ化アルキ
ル基を含有する化学吸着膜を形成する方法に用いる非水
系溶媒は、クロロシラン系界面活性剤と反応する活性水
素を持たない有機溶媒であればよい。その例として例え
ば１，１−ジクロロ，１−フルオロエタン、１，１−ジ
クロロ，２、２、２−トリフルオロエタン、１，１−ジ
クロロ，２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロパ
ン、１，３−ジクロロ，１，１，２，２，３−ヘプタフ
ルオロプロパン、トリフッ化アルキルアミン、パーフル
オロフランおよびそのフッ化アルキル誘導体等のフッ素
系溶媒、例えばヘキサン、オクタン、ヘキサデカン、シ
クロヘキサン等の炭化水素系溶媒、例えばジブチルエー
テル、ジベンジルエーテル等のエーテル系溶媒、例えば
酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸アミ
ル等エステル系溶媒の何れかが好ましい。
ッケージ表面に、シロキサン結合を介してフッ化アルキ
ル基を含有する化学吸着膜を形成する方法に用いる非水
系溶媒は、クロロシラン系界面活性剤と反応する活性水
素を持たない有機溶媒であればよい。その例として例え
ば１，１−ジクロロ，１−フルオロエタン、１，１−ジ
クロロ，２、２、２−トリフルオロエタン、１，１−ジ
クロロ，２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロパ
ン、１，３−ジクロロ，１，１，２，２，３−ヘプタフ
ルオロプロパン、トリフッ化アルキルアミン、パーフル
オロフランおよびそのフッ化アルキル誘導体等のフッ素
系溶媒、例えばヘキサン、オクタン、ヘキサデカン、シ
クロヘキサン等の炭化水素系溶媒、例えばジブチルエー
テル、ジベンジルエーテル等のエーテル系溶媒、例えば
酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸アミ
ル等エステル系溶媒の何れかが好ましい。
【００２０】また、本発明の湿度センサーに用いられる
感湿素子およびパッケージ表面に形成される化学吸着膜
は、単分子化学吸着膜一層だけでも充分に機能が発揮さ
れる。単分子化学吸着膜を一層だけ形成するには、クロ
ロシラン系界面活性剤又はクロロシリル基を複数個含む
物質を化学吸着した後、水分に接触させないで非水系の
溶剤で洗浄するだけでよく、特別な工程を要しなく簡便
に行える。また、化学吸着膜は単分子膜が累積していて
も良いこと勿論である。このように、化学吸着膜が単分
子膜を形成すると、付与された機能性を示す基が配向
し、密度も向上するためより高機能を発揮できる。また
本発明の化学吸着ポリマー膜を得るには、前記した非水
系の溶剤で洗浄する工程を省くことにより得られる。
感湿素子およびパッケージ表面に形成される化学吸着膜
は、単分子化学吸着膜一層だけでも充分に機能が発揮さ
れる。単分子化学吸着膜を一層だけ形成するには、クロ
ロシラン系界面活性剤又はクロロシリル基を複数個含む
物質を化学吸着した後、水分に接触させないで非水系の
溶剤で洗浄するだけでよく、特別な工程を要しなく簡便
に行える。また、化学吸着膜は単分子膜が累積していて
も良いこと勿論である。このように、化学吸着膜が単分
子膜を形成すると、付与された機能性を示す基が配向
し、密度も向上するためより高機能を発揮できる。また
本発明の化学吸着ポリマー膜を得るには、前記した非水
系の溶剤で洗浄する工程を省くことにより得られる。
【００２１】次に具体的実施例を用いて本発明を説明す
る。 実施例１ マグネシウムスピネルとルチル型から形成された半導体
多孔質セラミックスからなる感湿素子に高分子電解質と
してアルキルアミンエピクロルヒドリンを含浸させて作
った、湿度センサー（図２）を、ヘプタデカフルオロデ
シルトリクロロシランの１０-2mol ／リットル シクロ
ヘキサン溶液に室温、窒素雰囲気下で１２０分間浸漬
し、引き続いて未反応のヘプタデカフルオロデシルトリ
クロロシランをシクロヘキサンで洗浄して、しかる後純
水で洗浄し、フッ化アルキル基を含むシロキサン結合を
介した化学吸着単分子膜を感湿素子表面に形成した。
る。 実施例１ マグネシウムスピネルとルチル型から形成された半導体
多孔質セラミックスからなる感湿素子に高分子電解質と
してアルキルアミンエピクロルヒドリンを含浸させて作
った、湿度センサー（図２）を、ヘプタデカフルオロデ
シルトリクロロシランの１０-2mol ／リットル シクロ
ヘキサン溶液に室温、窒素雰囲気下で１２０分間浸漬
し、引き続いて未反応のヘプタデカフルオロデシルトリ
クロロシランをシクロヘキサンで洗浄して、しかる後純
水で洗浄し、フッ化アルキル基を含むシロキサン結合を
介した化学吸着単分子膜を感湿素子表面に形成した。
【００２２】実施例２ 実施例１と同じ湿度センサーを、まず１ｗｔ％のテトラ
クロロシラン溶液［溶媒：トリ（ｎーノナフルオロブチ
ル）アミン］に窒素雰囲気下で室温で６０分間浸漬し、
引き続いて未反応のテトラクロロシランをトリ（ｎーノ
ナフルオロブチル）アミンで洗浄して、しかる後純水で
洗浄し、乾燥した試料を用いて、フッ化アルキル基を含
むクロロシラン系界面活性剤としてヘプタデカフルオロ
デシルトリクロロシランを用い、濃度１０-2mol ／リッ
トルのトリ（ｎ−ノナフルオロブチル）アミン溶液に窒
素雰囲気下室温で１２０分間浸漬し、引き続いて未反応
のヘプタデカフルオロデシルトリクロロシランをトリ
（ｎ−ノナフルオロブチル）アミン溶媒で洗浄して、し
かる後純水で洗浄し、フッ化アルキル基を含むシロキサ
ン結合を介した化学吸着単分子膜を感湿素子表面に形成
した。
クロロシラン溶液［溶媒：トリ（ｎーノナフルオロブチ
ル）アミン］に窒素雰囲気下で室温で６０分間浸漬し、
引き続いて未反応のテトラクロロシランをトリ（ｎーノ
ナフルオロブチル）アミンで洗浄して、しかる後純水で
洗浄し、乾燥した試料を用いて、フッ化アルキル基を含
むクロロシラン系界面活性剤としてヘプタデカフルオロ
デシルトリクロロシランを用い、濃度１０-2mol ／リッ
トルのトリ（ｎ−ノナフルオロブチル）アミン溶液に窒
素雰囲気下室温で１２０分間浸漬し、引き続いて未反応
のヘプタデカフルオロデシルトリクロロシランをトリ
（ｎ−ノナフルオロブチル）アミン溶媒で洗浄して、し
かる後純水で洗浄し、フッ化アルキル基を含むシロキサ
ン結合を介した化学吸着単分子膜を感湿素子表面に形成
した。
【００２３】実施例３ 実施例１においてヘプタデカフルオロデシルトリクロロ
シランを９−（ヘプタデカフルオロデシルジメチルシリ
ル）ノニルトリクロロシランにかえて同様の実験をし
た。
シランを９−（ヘプタデカフルオロデシルジメチルシリ
ル）ノニルトリクロロシランにかえて同様の実験をし
た。
【００２４】実施例４ 実施例２においてテトラクロロシランをヘキサクロロシ
ランにかえて同様の実験をした。
ランにかえて同様の実験をした。
【００２５】実施例５ 実施例１の感湿素子を、デシケータ中でフッ化アルキル
基を含むクロロシラン系界面活性剤としてヘプタデカフ
ルオロデシルトリクロロシランの蒸気に１２０分間さら
し、フッ化アルキル基を含むシロキサン結合を介した化
学吸着単分子膜を感湿素子表面に形成した。引き続いて
空気中に６０分間放置し、吸着分子間にもシロキサン結
合を形成させた。
基を含むクロロシラン系界面活性剤としてヘプタデカフ
ルオロデシルトリクロロシランの蒸気に１２０分間さら
し、フッ化アルキル基を含むシロキサン結合を介した化
学吸着単分子膜を感湿素子表面に形成した。引き続いて
空気中に６０分間放置し、吸着分子間にもシロキサン結
合を形成させた。
【００２６】実施例６ 実施例５において、ヘキサクロロシランの蒸気に６０分
間さらし、さらに空気中に６０分間放置した後、実施例
５と同様の実験をした。
間さらし、さらに空気中に６０分間放置した後、実施例
５と同様の実験をした。
【００２７】比較例１ 実施例１において、化学吸着膜を形成しない湿度センサ
ーを比較例１の試料とした。
ーを比較例１の試料とした。
【００２８】実施例７ ポリブチレンテレフタレートからなる湿度センサー用の
パッケージ（図４）をＵＶドライ・ストリッパー（ＵＶ
−１、サムコインターナショナル製）中で酸素流量１リ
ットル／ｍｉｎの条件で酸素プラズマ処理を１０分間施
して表面を酸化処理した後、ヘプタデカフルオロデシル
トリクロロシランの１０-2mol ／リットル シクロヘキ
サン溶液に室温、窒素雰囲気下で１２０分間浸漬し、引
き続いて未反応のヘプタデカフルオロデシルトリクロロ
シランをシクロヘキサンで洗浄して、しかる後純水で洗
浄し、フッ化アルキル基を含むシロキサン結合を介した
化学吸着単分子膜をパッケージ表面に形成した。このパ
ッケージに比較例１のセンサーを組み入れた。
パッケージ（図４）をＵＶドライ・ストリッパー（ＵＶ
−１、サムコインターナショナル製）中で酸素流量１リ
ットル／ｍｉｎの条件で酸素プラズマ処理を１０分間施
して表面を酸化処理した後、ヘプタデカフルオロデシル
トリクロロシランの１０-2mol ／リットル シクロヘキ
サン溶液に室温、窒素雰囲気下で１２０分間浸漬し、引
き続いて未反応のヘプタデカフルオロデシルトリクロロ
シランをシクロヘキサンで洗浄して、しかる後純水で洗
浄し、フッ化アルキル基を含むシロキサン結合を介した
化学吸着単分子膜をパッケージ表面に形成した。このパ
ッケージに比較例１のセンサーを組み入れた。
【００２９】実施例８ 実施例７と同じパッケージを、まず１ｗｔ％のテトラク
ロロシラン溶液［溶媒：トリ（ｎーノナフルオロブチ
ル）アミン］に窒素雰囲気下で室温で６０分間浸漬し、
引き続いて未反応のテトラクロロシランをトリ（ｎーノ
ナフルオロブチル）アミンで洗浄して、しかる後純水で
洗浄し、乾燥した試料を用いて、フッ化アルキル基を含
むクロロシラン系界面活性剤としてヘプタデカフルオロ
デシルトリクロロシランを用い、濃度１０-2mol ／リッ
トルのトリ（ｎ−ノナフルオロブチル）アミン溶液に窒
素雰囲気下室温で１２０分間浸漬し、引き続いて未反応
のヘプタデカフルオロデシルトリクロロシランをトリ
（ｎ−ノナフルオロブチル）アミン溶媒で洗浄して、し
かる後純水で洗浄し、フッ化アルキル基を含むシロキサ
ン結合を介した化学吸着単分子膜をパッケージ表面に形
成した。このパッケージに比較例１の湿度センサーを組
み入れた。
ロロシラン溶液［溶媒：トリ（ｎーノナフルオロブチ
ル）アミン］に窒素雰囲気下で室温で６０分間浸漬し、
引き続いて未反応のテトラクロロシランをトリ（ｎーノ
ナフルオロブチル）アミンで洗浄して、しかる後純水で
洗浄し、乾燥した試料を用いて、フッ化アルキル基を含
むクロロシラン系界面活性剤としてヘプタデカフルオロ
デシルトリクロロシランを用い、濃度１０-2mol ／リッ
トルのトリ（ｎ−ノナフルオロブチル）アミン溶液に窒
素雰囲気下室温で１２０分間浸漬し、引き続いて未反応
のヘプタデカフルオロデシルトリクロロシランをトリ
（ｎ−ノナフルオロブチル）アミン溶媒で洗浄して、し
かる後純水で洗浄し、フッ化アルキル基を含むシロキサ
ン結合を介した化学吸着単分子膜をパッケージ表面に形
成した。このパッケージに比較例１の湿度センサーを組
み入れた。
【００３０】実施例９ 実施例７においてヘプタデカフルオロデシルトリクロロ
シランを９−（ヘプタデカフルオロデシルジメチルシリ
ル）ノニルトリクロロシランにかえて同様の実験をし
た。
シランを９−（ヘプタデカフルオロデシルジメチルシリ
ル）ノニルトリクロロシランにかえて同様の実験をし
た。
【００３１】実施例１０ 実施例８においてテトラクロロシランをヘキサクロロシ
ランにかえて同様の実験をした。
ランにかえて同様の実験をした。
【００３２】比較例２ 実施例７のパッケージに吸着膜を形成せずに、比較例１
の湿度センサーを組み入れて、比較例２の試料とした。
の湿度センサーを組み入れて、比較例２の試料とした。
【００３３】実施例１〜６、比較例１のセンサーおよび
実施例７〜１０および比較例２の湿度センサーを耐水試
験として１時間水に浸漬、３ｍ／ｓのかぜで９０秒乾燥
のサイクルを１００回繰り返し、耐水試験前後のインピ
ーダンスを温度２５℃、ＡＣ１Ｖ，Ｓｉｎ波で相対湿度
１０％〜９０％の範囲で測定した。その結果を図５およ
び図６に示す。図５は実施例１〜６および比較例１の測
定結果で、図６は実施例７〜１０および比較例２の測定
結果である。
実施例７〜１０および比較例２の湿度センサーを耐水試
験として１時間水に浸漬、３ｍ／ｓのかぜで９０秒乾燥
のサイクルを１００回繰り返し、耐水試験前後のインピ
ーダンスを温度２５℃、ＡＣ１Ｖ，Ｓｉｎ波で相対湿度
１０％〜９０％の範囲で測定した。その結果を図５およ
び図６に示す。図５は実施例１〜６および比較例１の測
定結果で、図６は実施例７〜１０および比較例２の測定
結果である。
【００３４】図５および６から明らかなように、本発明
の湿度センサーは耐水試験後でも初期値とほとんど変化
なかったが、比較例では大きく変化し、湿度センサーと
しての機能を示さなかった。
の湿度センサーは耐水試験後でも初期値とほとんど変化
なかったが、比較例では大きく変化し、湿度センサーと
しての機能を示さなかった。
【００３５】
【発明の効果】以上のように本発明の湿度センサーは、
感湿素子および／またはパッケージの表面にシロキサン
結合を介してフッ化アルキル基を含有する化学吸着膜が
設けたものを用いるので、従来のものに比べて、耐水性
が著しく優れている。その結果、結露や水に濡れる環境
下で連続し使用しても湿度センサーとしての機能を失わ
ない。このように本発明は工業的価値の大なるものであ
る。
感湿素子および／またはパッケージの表面にシロキサン
結合を介してフッ化アルキル基を含有する化学吸着膜が
設けたものを用いるので、従来のものに比べて、耐水性
が著しく優れている。その結果、結露や水に濡れる環境
下で連続し使用しても湿度センサーとしての機能を失わ
ない。このように本発明は工業的価値の大なるものであ
る。
【図１】本発明の湿度センサーに用いられる感湿素子の
表面を分子レベルまで拡大した断面概念図である。
表面を分子レベルまで拡大した断面概念図である。
【図２】本発明の湿度センサーに用いられる感湿素子の
一例である。
一例である。
【図３】本発明の湿度センサーに用いるパッケージの表
面を分子レベルまで拡大した断面概念図である。
面を分子レベルまで拡大した断面概念図である。
【図４】本発明の湿度センサーに用いられるパッケージ
の一例である。
の一例である。
【図５】実施例１〜６および比較例１の湿度センサーの
耐水試験前後の特性図である。
耐水試験前後の特性図である。
【図６】実施例７〜１０および比較例２の湿度センサー
の耐水試験前後の特性図である。
の耐水試験前後の特性図である。
１ 感湿素子 ２ シロキサン結合 ３ 化学吸着膜 ２１ 感湿素子 ２２ アルミナ板 ２３ サーミスタ ２４ リード ３１ パッケージ ３２ シロキサン結合 ３３ 化学吸着膜 ４１ パッケージ ４２ リード ５１ 実施例１〜６の初期値 ５２ 比較例１の初期値 ５３ 実施例１〜６の耐水試験後の値 ５４ 比較例１の耐水試験後の値 ６１ 実施例７〜１０の初期値 ６２ 比較例２の初期値 ６３ 実施例７〜１０の耐水試験後の値 ６４ 比較例２の耐水試験後の値
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年６月２９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１９】本発明の湿度センサーの感湿素子またはパ
ッケージ表面に、シロキサン結合を介してフッ化アルキ
ル基を含有する化学吸着膜を形成する方法に用いる非水
系溶媒は、クロロシラン系界面活性剤と反応する活性水
素を持たない有機溶媒であればよい。その例として例え
ば１，１−ジクロロ，１−フルオロエタン、１，１−ジ
クロロ，２，２，２−トリフルオロエタン、１，１−ジ
クロロ，２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロパ
ン、１，３−ジクロロ，１，１，２，２，３−ヘプタフ
ルオロプロパン、トリフッ化アルキルアミン、パーフル
オロフランおよびそのフッ化アルキル誘導体等のフッ素
系溶媒、例えばヘキサン、オクタン、ヘキサデカン、シ
クロヘキサン等の炭化水素系溶媒、例えばジブチルエー
テル、ジベンジルエーテル等のエーテル系溶媒、例えば
酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸アミ
ル等エステル系溶媒の何れかが好ましい。
ッケージ表面に、シロキサン結合を介してフッ化アルキ
ル基を含有する化学吸着膜を形成する方法に用いる非水
系溶媒は、クロロシラン系界面活性剤と反応する活性水
素を持たない有機溶媒であればよい。その例として例え
ば１，１−ジクロロ，１−フルオロエタン、１，１−ジ
クロロ，２，２，２−トリフルオロエタン、１，１−ジ
クロロ，２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロパ
ン、１，３−ジクロロ，１，１，２，２，３−ヘプタフ
ルオロプロパン、トリフッ化アルキルアミン、パーフル
オロフランおよびそのフッ化アルキル誘導体等のフッ素
系溶媒、例えばヘキサン、オクタン、ヘキサデカン、シ
クロヘキサン等の炭化水素系溶媒、例えばジブチルエー
テル、ジベンジルエーテル等のエーテル系溶媒、例えば
酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸アミ
ル等エステル系溶媒の何れかが好ましい。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小川 一文 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 感湿素子表面にシロキサン結合を介して
フッ化アルキル基を含有する化学吸着膜を設けたことを
特徴とする湿度センサー。 - 【請求項２】 感湿素子を内部に収納するためのパッケ
ージ表面にシロキサン結合を介してフッ化アルキル基を
含有する化学吸着膜を設けたことを特徴とする湿度セン
サー。 - 【請求項３】 化学吸着膜が単分子膜またはポリマー膜
である請求項１または請求項２に記載の湿度センサー。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4107069A JPH0786493B2 (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | 湿度センサー |
| EP93106669A EP0567152B1 (en) | 1992-04-24 | 1993-04-23 | Humidity sensor |
| DE69319373T DE69319373T2 (de) | 1992-04-24 | 1993-04-23 | Feuchtigkeitsfühler |
| US08/287,590 US5473933A (en) | 1992-04-24 | 1994-08-08 | Humidity sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4107069A JPH0786493B2 (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | 湿度センサー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0643129A true JPH0643129A (ja) | 1994-02-18 |
| JPH0786493B2 JPH0786493B2 (ja) | 1995-09-20 |
Family
ID=14449706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4107069A Expired - Fee Related JPH0786493B2 (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | 湿度センサー |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5473933A (ja) |
| EP (1) | EP0567152B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0786493B2 (ja) |
| DE (1) | DE69319373T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002073178A1 (en) * | 2001-03-13 | 2002-09-19 | Tdk Corporation | Humidity sensor element and method for manufacture thereof |
Families Citing this family (7)
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|---|---|---|---|---|
| TW507073B (en) * | 2000-03-31 | 2002-10-21 | Tdk Corp | Humidity sensor and method for making |
| US6470696B1 (en) * | 2001-09-18 | 2002-10-29 | Valerie Palfy | Devices and methods for sensing condensation conditions and for removing condensation from surfaces |
| US7295126B2 (en) * | 2005-01-05 | 2007-11-13 | Honeywell International Inc. | Perforated plane moisture sensor |
| CA2669078C (en) | 2006-11-08 | 2017-05-30 | Sargent And Greenleaf, Inc. | Cash tracking system |
| DE102011119484A1 (de) * | 2011-11-28 | 2013-05-29 | Elena König | Membran zur Bestimmung von Gasen in nicht wässrigen Flüssigkeiten, Verfahren zur Herstellung der Membran, Messanordung und Verfahren zu Bestimmung von Gasen in nicht wässrigen Flüssigkeiten |
| WO2016102028A1 (en) * | 2014-12-24 | 2016-06-30 | Honeywell International Inc. | Humidity sensing system |
| CN109690302B (zh) * | 2016-09-30 | 2022-07-19 | 美蓓亚三美株式会社 | 湿度传感器 |
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| US4166891A (en) * | 1972-04-19 | 1979-09-04 | Elliott Stanley B | Visual-type hygrometer |
| JPS5610244A (en) * | 1979-07-04 | 1981-02-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Temperature sensor controlling device |
| EP0076131B1 (en) * | 1981-09-28 | 1986-04-09 | Hitachi, Ltd. | Humidity sensor and method for preparing a humidity sensor |
| JPS5990039A (ja) * | 1982-11-16 | 1984-05-24 | Mitsubishi Electric Corp | 感湿材料 |
| JPS59102149A (ja) * | 1982-12-06 | 1984-06-13 | Mitsubishi Electric Corp | 感湿材料 |
| JPS59102150A (ja) * | 1982-12-06 | 1984-06-13 | Mitsubishi Electric Corp | 感湿材料 |
| JPS62245149A (ja) * | 1986-04-17 | 1987-10-26 | Shinei Kk | 感湿素子 |
| JPH0697571B2 (ja) * | 1987-12-07 | 1994-11-30 | 信越化学工業株式会社 | 有機高誘電体 |
| JPH0279453U (ja) * | 1988-12-08 | 1990-06-19 | ||
| US4954694A (en) * | 1989-01-31 | 1990-09-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Cooking oven having function to automatically clean soils attached to inner walls thereof |
| EP0395349B2 (en) * | 1989-04-26 | 1998-06-10 | Yamatake-Honeywell Co. Ltd. | Moisture sensitive element |
| US5045828A (en) * | 1989-07-27 | 1991-09-03 | Texas Instruments Incorporated | Fluoropolymer humidity sensors |
| JPH03165247A (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-17 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 感湿装置 |
| US5079407A (en) * | 1990-01-09 | 1992-01-07 | Whirlpool Corporation | Boil condition detection device for a range |
| US5036704A (en) * | 1990-03-23 | 1991-08-06 | Gas Research Institute | Moisture sensor |
| JPH0752699B2 (ja) * | 1990-04-20 | 1995-06-05 | 松下電器産業株式会社 | コンデンサーとその製造方法 |
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-
1992
- 1992-04-24 JP JP4107069A patent/JPH0786493B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-04-23 DE DE69319373T patent/DE69319373T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-04-23 EP EP93106669A patent/EP0567152B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-08-08 US US08/287,590 patent/US5473933A/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002073178A1 (en) * | 2001-03-13 | 2002-09-19 | Tdk Corporation | Humidity sensor element and method for manufacture thereof |
| US6615659B2 (en) | 2001-03-13 | 2003-09-09 | Tdk Corporation | Humidity sensor and method for manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0567152B1 (en) | 1998-07-01 |
| EP0567152A3 (en) | 1994-09-07 |
| EP0567152A2 (en) | 1993-10-27 |
| JPH0786493B2 (ja) | 1995-09-20 |
| US5473933A (en) | 1995-12-12 |
| DE69319373D1 (de) | 1998-08-06 |
| DE69319373T2 (de) | 1998-10-29 |
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