JPH0643508U - 膜厚測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光量の調整を精密、且つ容易に行なうことの
できる膜厚測定装置を提供することである。 【構成】 所定波長の測光値又は測光値の最大値が膜厚
測定開始前など、膜厚測定時以外であっても、表示装置
上にリアルタイム表示され、精密、且つ容易に観察でき
るようにした。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、薄膜の干渉反射光を分光測光することにより膜厚を測定する膜厚測 定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

近時、半導体上の酸化薄膜等の極めて薄い薄膜の膜厚を精密に測定することが 求められている。 従来の膜厚測定装置は、表示装置に膜厚測定値の他に、膜厚測定時もしくは測 定時以外に分光曲線をグラフ表示するものがあった。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

白色光源を使用し薄膜からの干渉反射光を分光測光することにより膜厚を測定 する膜厚測定装置では、干渉反射光の分光強度が使用するレンズの倍率や絞りの 大きさにより変化し、又測定対象とする薄膜によっても変化する。 したがって、測定対象の薄膜が異なり、使用するレンズの倍率や絞りの大きさ をそれに合わせて適正に選択しても、直ちに最適な光量で測定できるとは限らな かった。このため、測定を行なう前には必ず光量の調整を行なう必要がある。こ の光量の調整は極めて微妙なものである。 しかしながらグラフ表示された分光曲線によるのでは、光量の調整が精密に行 えないという問題があった。

【０００４】 本考案は上記の課題に鑑み、光量の調整を精密、且つ容易に行なうことのでき る膜厚測定装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案は、薄膜に照射された白色光の干渉反射光を分光測光することにより膜 厚を測定し、測定値を表示する表示装置を有する膜厚測定装置において、所定波 長の測光値又は測光値の最大値を膜厚測定時以外であっても、表示装置上にリア ルタイム表示する機能を有する膜厚測定装置を構成した。

【０００６】

【作用】

所定波長の測光値又は測光値の最大値が膜厚測定開始前など、膜厚測定時以外 であっても、表示装置上にリアルタイム表示され、精密、且つ容易に観察できる 。

【０００７】

【実施例】

本考案の一実施例を図１により説明する。図１は本実施例の構成図である。 白色光源１から放射された白色光はレンズ２、絞り３、レンズ４からなる集光 レンズにより収束されて絞り５を通り、ハーフミラー７を介して対物レンズ６に より薄膜Ｓに照射される。薄膜Ｓで反射した干渉光はハーフミラー７を透過し、 、レンズ８により収束されて絞り９を通り、反射ミラー１０により反射して分光 器１１に入射する。干渉光は分光器１１により分光されて検出器１２に入射し、 検出器１２により光電変換された電気信号が演算装置１３に入力する。演算装置 １３において演算が行われ、薄膜Ｓの膜厚値、ならびに所定波長の測光値及び測 光値の最大値が算出され、表示装置１４上に表示される。

【０００８】 本実施例によれば、随時表示装置上にリアルタイム表示可能であるので、測定 対象の薄膜に対応して選択された所定波長の測光値又は測光値の最大値がディジ タルな数字であるから、グラフ表示された分光曲線によるのとは異なり、直ちに 精密、且つ容易に観察して光量の調整することができる。

【０００９】

【考案の効果】

本考案により、光量の調整を精密、且つ容易に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す構成図である。

【符号の説明】

１．．白色光源 ２、４、８．．レンズ ６．．対物レンズ ７．．ハーフミラー １１．分光器 １３．演算装置 １４．表示装置 Ｓ．．薄膜

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄膜に照射された白色光の干渉反射光を
   分光測光することにより膜厚を測定し、該測定値を表示
   する表示装置を有する膜厚測定装置において、 所定波長の測光値又は測光値の最大値を膜厚測定時以外
   であっても、前記表示装置上にリアルタイム表示する機
   能を有することを特徴とする膜厚測定装置。