JPH0643638A - Photopolymerizable composition - Google Patents

Photopolymerizable composition

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JPH0643638A
JPH0643638A JP5239493A JP5239493A JPH0643638A JP H0643638 A JPH0643638 A JP H0643638A JP 5239493 A JP5239493 A JP 5239493A JP 5239493 A JP5239493 A JP 5239493A JP H0643638 A JPH0643638 A JP H0643638A
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JP
Japan
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photopolymerizable composition
compound
meth
parts
average
Prior art date
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Pending
Application number
JP5239493A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuichi Wakata
裕一 若田
Masayuki Iwasaki
政幸 岩崎
Sadao Fujikura
貞雄 藤倉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication of JPH0643638A publication Critical patent/JPH0643638A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To provide an alkali developable photopolymerizable composition suitable for a dry film photoresist or photomask for forming a printed board, a planographic printing plate, a resin letter press or the like and excellent in preservable stability in the state laminated on a metallic plate and to provide the alkali developable photopolymerizable composition suppressed in reddening, development residue and sensitivity degradation generated at the time of preserving in the state laminated on the metallic plate and high in sensitivity and excellent in adhesive strength, plating property and etching property. CONSTITUTION:The alkali developable photopolymerizable composition contains (1) a carboxyl group-containing high polymer binder, (2) a compound having in average at least one ethylenic unsaturated double bond and in average at least one triazol ring, (3) a photopolymerizable monomer except (2) and (4) a photopolynaerization initiator base.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は分子中に少なくとも一つ
のエチレン性不飽和二重結合および少なくとも一つのト
リアゾール環を有する化合物を含有する光重合性組成物
に関する。更に詳しくは、プリント基板作成用ドライフ
ィルムフォトレジスト又はフォトマスク、平版印刷版、
樹脂凸版などの用途に好適な、金属板に積層した状態で
の保存安定性に優れたアルカリ現像可能な光重合性組成
物に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a photopolymerizable composition containing a compound having at least one ethylenically unsaturated double bond and at least one triazole ring in a molecule. More specifically, a dry film photoresist or photomask for making a printed circuit board, a lithographic printing plate,
The present invention relates to an alkali-developable photopolymerizable composition suitable for applications such as a resin relief plate and having excellent storage stability when laminated on a metal plate.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年のプリント基板作成等の分野におい
て、ドライフィルムレジストが広く使用されている。ド
ライフィルムレジストのアルカリ水溶液処理を可能にす
るために、ドライフィルムレジストの組成として、従来
よりカルボキシル基を有する高分子結合剤を用いること
が広く知られている。
2. Description of the Related Art In recent years, dry film resists have been widely used in fields such as printed circuit board production. It has been widely known that a polymer binder having a carboxyl group is conventionally used as a composition of a dry film resist so that the dry film resist can be treated with an alkaline aqueous solution.

【0003】しかし、カルボキシル基を有する高分子結
合剤を用いた場合、レジストを銅張積層板に積層したの
ち経時すると、現像後に現れる未露光部の銅板の表面が
赤褐色に変色(いわゆる赤変)したり、現像残り(ある
いはスカム)が発生しやすい。この傾向は、経時時間と
ともに増大する傾向にある。実際の使用に際しては、レ
ジストを銅張積層板に積層したのち数日間放置されるよ
うなことも行われている。赤変や現像残りの発生は、し
ばしばエッチング残りやメッキ膜剥がれを引き起こす原
因となるため重大な問題である。
However, when a polymer binder having a carboxyl group is used, after the resist is laminated on the copper clad laminate, the surface of the unexposed portion of the copper plate which appears after development is reddish brown (so-called reddish) after development. Or residual development (or scum) is likely to occur. This tendency tends to increase with time. In actual use, a resist is laminated on a copper clad laminate and then left for several days. The occurrence of red discoloration and development residue often causes etching residue and peeling of the plated film, which is a serious problem.

【0004】従来より赤変、あるいは現像残りの発生を
防止するために光重合系への添加剤等が提案されてき
た。例えば、特公昭58−22486号、特開昭61−
194438各号明細書においてクエン酸、マロン酸等
の低分子量カルボン酸が提案されている。確かに、これ
らのカルボン酸を添加することにより、赤変や現像残り
を低下させることが可能である。しかし、添加量が少な
い場合には十分な効果が得られず、十分な効果を得るた
めに多量に添加すると、感度低下やレジストの耐アルカ
リ性の低下(その結果、例えばメッキのもぐり込みを生
じる)をもたらす点で赤変防止剤としては未だ十分では
なかった。
Conventionally, additives and the like to the photopolymerization system have been proposed in order to prevent the occurrence of red discoloration or residual development. For example, JP-B-58-22486 and JP-A-61-
In each specification of 194438, low molecular weight carboxylic acids such as citric acid and malonic acid are proposed. Certainly, by adding these carboxylic acids, it is possible to reduce red discoloration and development residue. However, when the addition amount is small, a sufficient effect cannot be obtained, and when added in a large amount in order to obtain a sufficient effect, the sensitivity is lowered and the alkali resistance of the resist is lowered (as a result, for example, the penetration of plating occurs). It was not yet sufficient as an anti-reddensing agent.

【0005】本発明者らは先に特願平2−242977
号明細書において示した様に、トリアゾール系化合物の
添加が有効で有る事を見出している。しかしながら、こ
れらの化合物は確かに赤変防止効果、エッチング性は十
分であるが、その後のメッキ処理時にレジスト下部にメ
ッキがもぐり込むといった欠点が生ずる場合が有った。
The present inventors previously filed Japanese Patent Application No. 2-242977.
As shown in the specification, it has been found that the addition of the triazole compound is effective. However, although these compounds certainly have a sufficient effect of preventing red discoloration and an etching property, there is a case in which the plating may go under the resist during the subsequent plating treatment.

【0006】この様なメッキ性を向上させる手段として
は例えば特開昭55−65203号明細書に記載されて
いるイミダゾール誘導体、特開昭59−125726号
明細書に記載されているテトラゾール誘導体、特公昭5
0−9177号明細書に記載されているベンズイミダゾ
ール、ベンズチアゾール、ベンズトリアゾール、特開昭
53−702号明細書に記載されている2−メルカプト
ベンズチアゾール、2−メルカプトベンズイミダゾー
ル、また、特開昭59−113432号、特開昭59−
16501号、特開昭60−12543号、特開昭60
−12544号、特開昭61−172139号、特開平
3−240063号各明細書に記載されている化合物等
を添加し、金属基板との密着性を増大させる方法が知ら
れている。しかしながらこれらの化合物を用いると、確
かにメッキ性は向上するが、現像後の金属表面に赤変や
現像残りを生じ易い。この様にドライフィルムレジスト
に必要な性能を悪化させずに赤変を改良するのに十分な
化合物は見出されていない。
Means for improving such plating properties include, for example, imidazole derivatives described in JP-A-55-65203 and tetrazole derivatives described in JP-A-59-125726. Kosho 5
No. 0-9177, benzimidazole, benzthiazole, benztriazole, 2-mercaptobenzthiazole, 2-mercaptobenzimidazole described in JP-A-53-702, and JP-A-59-113432, JP-A-59-
16501, JP-A-60-12543, JP-A-60
There is known a method of increasing adhesion to a metal substrate by adding compounds described in JP-A-12544, JP-A-61-272139 and JP-A-3-240063. However, when these compounds are used, the plating property is certainly improved, but the metal surface after development is liable to cause red coloration or residual development. Thus, sufficient compounds have not been found to improve redness without compromising the performance required for dry film resists.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、アルカリ水
溶液で現像可能な光重合性組成物を金属板に積層した状
態で保存したときに発生する赤変、現像残り及び感度低
下を抑制し、高感度で金属板への密着性が良く、更にエ
ッチング性及びメッキ性に優れた光重合性組成物を提供
することを目的とする。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention suppresses red discoloration, residual development and sensitivity decrease which occur when a photopolymerizable composition developable with an alkaline aqueous solution is stored in a state of being laminated on a metal plate, It is an object of the present invention to provide a photopolymerizable composition having high sensitivity, good adhesion to a metal plate, and excellent etching property and plating property.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明者等は、種々の検
討を重ねた結果、上記の目的を達成しうる光重合性組成
物を見出した。即ち、本発明の目的は、(1)カルボキ
シル基含有高分子結合剤、(2)分子中に平均して少な
くとも一つのエチレン性不飽和二重結合および平均して
少なくとも一つのトリアゾール環を有する化合物、
(3)前記(2)以外の光重合可能なモノマー、及び
(4)光重合開始剤系とを含有することを特徴とするア
ルカリ性水溶液で現像可能な光重合性組成物によって達
成された。
Means for Solving the Problems As a result of various studies, the present inventors have found a photopolymerizable composition that can achieve the above object. That is, the object of the present invention is to provide a compound having (1) a carboxyl group-containing polymer binder, (2) an average of at least one ethylenically unsaturated double bond and an average of at least one triazole ring in the molecule. ,
(3) A photopolymerizable composition developable with an alkaline aqueous solution, which comprises a photopolymerizable monomer other than (2) above and (4) a photopolymerization initiator system.

【0009】これらの効果の理由は明確ではないが、以
下のように考えられる。即ち、分子中に平均して少なく
とも一つのエチレン性不飽和二重結合および平均して少
なくとも一つのトリアゾール環を有する化合物は、その
トリアゾール環の作用により赤変、現像残りを抑制し、
かつ一方露光部はエチレン性不飽和二重結合の重合によ
り耐アルカリ性、メッキ液に対する充分な耐性を有する
事に起因するものと思われる。
Although the reasons for these effects are not clear, they are considered as follows. That is, a compound having an average of at least one ethylenically unsaturated double bond and an average of at least one triazole ring in the molecule is reddish due to the action of the triazole ring, and suppresses the development residue.
On the other hand, it is considered that the exposed area has alkali resistance and sufficient resistance to the plating solution due to polymerization of ethylenically unsaturated double bond.

【0010】本発明の光重合性組成物の構成成分につい
て順に説明する。本発明の光重合性組成物に用いられる
カルボキシル基含有高分子結合剤は、広範な種類の合
成、半合成、天然の高分子物質の中から次の条件を満足
するものが用いられる。即ち、光重合可能なモノマー、
光重合開始剤系との相溶性が良好で、塗布液の調製か
ら、塗布、乾燥にいたる製造工程、および得られる混合
物の保存中に脱混合を起こさないこと、本発明の使用法
に応じた性質、例えばアルカリ性水溶液に可溶性、ある
いは少なくとも膨潤性のある事、テンティング用フォト
レジストに用いる場合には結合剤の強度、延伸性、耐摩
耗性、耐薬品性などが適当であること、さらに、結合剤
の分子量、分子間力、硬さ、軟化温度、結晶性、破壊伸
度などが適切なことである。
The constituent components of the photopolymerizable composition of the present invention will be described in order. As the carboxyl group-containing polymer binder used in the photopolymerizable composition of the present invention, those satisfying the following conditions are used from a wide variety of synthetic, semi-synthetic and natural polymer substances. That is, a photopolymerizable monomer,
It has good compatibility with the photopolymerization initiator system, does not cause demixing during the manufacturing process from preparation of the coating solution to coating, drying, and storage of the resulting mixture, according to the usage of the present invention. Properties, for example, soluble in an alkaline aqueous solution, or at least swellable, when used for a photoresist for tenting, the strength, stretchability, abrasion resistance, chemical resistance, etc. of the binder are appropriate, The molecular weight, intermolecular force, hardness, softening temperature, crystallinity and fracture elongation of the binder are appropriate.

【0011】結合剤の具体例を挙げると、(メタ)アク
リル酸と(メタ)アクリル酸エステル(エステルとして
は、メチルエステル、エチルエステル、ブチルエステ
ル、2−エチルヘキシルエステル、ベンジルエステル、
2−ヒドロキシエチルエステルなど)との共重合物、ポ
リ(メタ)アクリル酸、スチレンと無水マレイン酸など
の不飽和二塩基酸無水物との共重合物、および該ポリマ
ーとアルコール類との反応物、セルロースの多塩基酸無
水物との反応物などがある。上記のポリマーのうち、本
発明の結合剤として特に好適に用いられるものは、スチ
レン/無水マレイン酸共重合体、特開昭60−2585
39号明細書記載のメタクリル酸メチル/メタクリル酸
/メタクリル酸2−エチルヘキシル/メタクリル酸ベン
ジル四元共重合体、特公昭55−38961号明細書記
載のスチレン/マレイン酸モノ−n−ブチルエステル共
重合体、特公昭54−25957号明細書記載のスチレ
ン/メタクリル酸メチル/アクリル酸エチル/メタクリ
ル酸の四元共重合体、特開昭52−99810号明細書
記載のメタクリル酸ベンジル/メタクリル酸共重合体、
特公昭58−12577号明細書記載のアクリロニトリ
ル/メタクリル酸2−エチルヘキシル/メタクリル酸の
三元共重合体、および特公昭55−6210号明細書記
載のメタクリル酸メチル/アクリル酸エチル/アクリル
酸の三元共重合体とイソプロパノールで一部分エステル
化したスチレン/無水マレイン酸共重合体の2種などで
ある。
Specific examples of the binder include (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid ester (as the ester, methyl ester, ethyl ester, butyl ester, 2-ethylhexyl ester, benzyl ester,
2-hydroxyethyl ester, etc.), poly (meth) acrylic acid, a copolymer of styrene and an unsaturated dibasic acid anhydride such as maleic anhydride, and a reaction product of the polymer with alcohols. , A reaction product of polybasic acid anhydride of cellulose, and the like. Among the above polymers, those which are particularly preferably used as the binder of the present invention are styrene / maleic anhydride copolymers, JP-A-60-2585.
39, methyl methacrylate / methacrylic acid / 2-ethylhexyl methacrylate / benzyl methacrylate quaternary copolymer, styrene / maleic acid mono-n-butyl ester copolymerization described in JP-B-55-38961. Combined, styrene / methyl methacrylate / ethyl acrylate / methacrylic acid quaternary copolymers described in JP-B-54-25957, benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymers described in JP-A-52-99810. Coalescing,
Acrylonitrile / 2-ethylhexyl methacrylate / methacrylic acid terpolymer described in JP-B-58-12577 and methyl methacrylate / ethyl acrylate / acrylic acid described in JP-B-55-6210. Two kinds of styrene / maleic anhydride copolymer partially esterified with the original copolymer and isopropanol.

【0012】これらの結合剤は、単独で結合剤として用
いてもよいが、相溶性が良好で、塗布液の調製から、塗
布、乾燥にいたる製造工程、および得られる混合物の保
存中に脱混合を起こさないポリマーを2種以上適当な比
率で混合して結合剤として用いてもよい。結合剤として
用いられる高分子物質の分子量はポリマーの種類によっ
て広範な値をとりうるが、一般的には、5,000〜
2,000,000、好ましくは、10,000〜20
0,000、更に好ましくは、40,000〜85,0
00の範囲のものが本発明に好適に用いられる。分子量
が5,000未満では、光重合して得られたレジストの
力学的強度が不十分となり、2,000,000を越え
ると現像性が悪化するため、本発明の目的には適さな
い。結合剤の量は、光重合性組成物の固形分に対して好
ましくは40〜90wt%、より好ましくは50〜70
wt%である。40wt%未満では、光重合組成物の流
動性が高すぎてクリープ現象を起こしやすくなり、また
90wt%を越えると露光部と未露光部との溶解性の差
が小さくなりすぎるため良好な画質が得られないため、
いずれも本発明の目的には適さない。
These binders may be used alone as binders, but they have good compatibility and are demixed during the manufacturing process from preparation of the coating solution to coating, drying and storage of the resulting mixture. Two or more polymers that do not cause the above may be mixed at an appropriate ratio and used as a binder. The molecular weight of the polymer substance used as the binder can take a wide range of values depending on the type of polymer, but generally, it is 5,000 to
2,000,000, preferably 10,000-20
50,000, more preferably 40,000 to 85.0
Those in the range of 00 are preferably used in the present invention. If the molecular weight is less than 5,000, the mechanical strength of the resist obtained by photopolymerization becomes insufficient, and if it exceeds 2,000,000, the developability is deteriorated, which is not suitable for the purpose of the present invention. The amount of the binder is preferably 40 to 90 wt%, more preferably 50 to 70, based on the solid content of the photopolymerizable composition.
wt%. If it is less than 40 wt%, the fluidity of the photopolymerizable composition is too high, and the creep phenomenon is likely to occur. If it exceeds 90 wt%, the difference in solubility between the exposed portion and the unexposed portion becomes too small, resulting in good image quality. I can't get it,
Neither is suitable for the purpose of the invention.

【0013】本発明で好適に用いられる分子中に平均し
て少なくとも一つのエチレン性不飽和二重結合および平
均して少なくとも一つのトリアゾール環を有する化合物
としては例えば以下の様な化合物が挙げられる。
Examples of compounds having an average of at least one ethylenically unsaturated double bond and an average of at least one triazole ring in the molecule which are preferably used in the present invention include the following compounds.

【0014】[0014]

【化1】 [Chemical 1]

【0015】[0015]

【化2】 [Chemical 2]

【0016】[0016]

【化3】 [Chemical 3]

【0017】[0017]

【化4】 [Chemical 4]

【0018】[0018]

【化5】 [Chemical 5]

【0019】〔式中、R1 ,R2 :H、炭素数1〜10
のアルキル基、炭素数6〜10のアリール基、炭素数7
〜20のアラルキル基、OR’、SR’、もしくはN
R’23 ,R4 :Hもしくはメチル基 R5 ,R6 ,R7 :H、炭素数1〜10のアルキル基、
炭素数6〜10のアリール基、もしくは炭素数7〜20
のアラルキル基 R8 :炭素数2〜20のアルキレン(分岐を有したり、
環を形成してもよい)、アリーレン(置換基を有しても
よい)、もしくはアラルキレン(置換基を有してもよ
い) R’:H、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数6〜1
0のアリール基、もしくは炭素数7〜20のアラルキル
基 l:1〜3、m:1〜2、n:1〜20、i:0〜3、
j:0〜3、かつi+j:1〜5を示す〕
[In the formula, R 1 and R 2 : H, carbon number 1 to 10
Alkyl group, C6-10 aryl group, C7
~ 20 aralkyl groups, OR ', SR', or N
R '2 R 3, R 4 : H or methyl R 5, R 6, R 7 : H, alkyl group having 1 to 10 carbon atoms,
Aryl group having 6 to 10 carbon atoms or 7 to 20 carbon atoms
Aralkyl group R 8: or a alkylene (branched having 2 to 20 carbon atoms,
A ring may be formed), arylene (which may have a substituent), or aralkylene (which may have a substituent) R ′: H, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and 6 carbon atoms ~ 1
0 aryl group or aralkyl group having 7 to 20 carbon atoms 1: 1 to 3, m: 1 to 2, n: 1 to 20, i: 0 to 3,
j: 0 to 3 and i + j: 1 to 5 are shown]

【0020】この様な化合物の合成方法としては例えば
OH基、アミノ基を含有するトリアゾール誘導体と(メ
タ)アクリル酸または(メタ)アクリル酸クロライド等
との反応が挙げられる。またトリアゾール誘導体とアル
デヒドまたはその前駆体との反応や、ハロゲン含有アル
コールとの反応等によりアルコールを含有するトリアゾ
ール誘導体を合成し、更にこれと(メタ)アクリル酸ま
たは(メタ)アクリル酸クロライド等との反応によって
も合成される。またトリアゾール誘導体とアルデヒドま
たはその前駆体によりトリアゾール誘導体をメチロール
化した後、少なくとも一つのエチレン性不飽和二重結合
を有する1級アミンまたは2級アミンとの反応によって
も得られる。この様な化合物及び合成方法に関しては特
開昭59−93058号明細書に記載されている。しか
しながら、本発明の様な特定の化合物にの効果について
は記載が無く、またプリント基板作成用ドライフィルム
フォトレジスト又はフォトマスク、平版印刷版、樹脂凸
版などの用途についての記載も無い。
Examples of the method for synthesizing such a compound include a reaction of a triazole derivative having an OH group or an amino group with (meth) acrylic acid or (meth) acrylic acid chloride. In addition, a triazole derivative containing an alcohol is synthesized by a reaction of the triazole derivative with an aldehyde or a precursor thereof, a reaction with a halogen-containing alcohol, and the like, and further, the (meth) acrylic acid or (meth) acrylic acid chloride It is also synthesized by reaction. It can also be obtained by methylating a triazole derivative with a triazole derivative and an aldehyde or a precursor thereof, and then reacting it with a primary amine or secondary amine having at least one ethylenically unsaturated double bond. Such compounds and synthetic methods are described in JP-A-59-93058. However, there is no description about the effect on a specific compound as in the present invention, and there is no description about applications such as dry film photoresists or photomasks for producing printed boards, lithographic printing plates and resin relief printing plates.

【0021】またトリアゾール誘導体と(メタ)アクリ
ル酸のマイケル付加反応生成物を合成し、更にこれと少
なくとも一つのエポキシ基及び少なくとも一つのエチレ
ン性不飽和二重結合含有の化合物または少なくとも一つ
のOH基及び少なくとも一つのエチレン性不飽和二重結
合含有の化合物とを反応させる方法、トリアゾール誘導
体と少なくとも一つのOH基を含有する(メタ)アクリ
ル酸エステルまたは少なくとも一つのOH基を含有する
(メタ)アクリルアミドとのマイケル付加反応生成物を
合成し、更にこれと(メタ)アクリル酸または(メタ)
アクリル酸クロライド等と反応させる方法によっても合
成される。またm個の(メタ)アクリロイル基、及び/
又は(メタ)アクリルアミド基を含有する化合物の1モ
ルに対して一般式(I)または一般式(II)で示され
るトリアゾール誘導体をnモル反応させた生成物も用い
る事ができる。(mは2以上、nは1以上。但しm−n
≧1である)
Further, a Michael addition reaction product of a triazole derivative and (meth) acrylic acid was synthesized, and further, a compound containing at least one epoxy group and at least one ethylenically unsaturated double bond or at least one OH group was synthesized. And a method of reacting with a compound containing at least one ethylenically unsaturated double bond, a triazole derivative and a (meth) acrylic acid ester containing at least one OH group, or a (meth) acrylamide containing at least one OH group A Michael addition reaction product with is synthesized, and this is further mixed with (meth) acrylic acid or (meth)
It is also synthesized by a method of reacting with acrylic acid chloride or the like. Also, m (meth) acryloyl groups, and /
Alternatively, a product obtained by reacting 1 mol of the compound containing a (meth) acrylamide group with the triazole derivative represented by the general formula (I) or the general formula (II) in an amount of n mol can also be used. (M is 2 or more, n is 1 or more.
≧ 1)

【0022】[0022]

【化6】 [Chemical 6]

【0023】この反応は一般式(I)の場合はNHと、
一般式(II)の場合はSHと(メタ)アクリロイル
基、及び/又は(メタ)アクリルアミド基とのマイケル
付加反応である。このような反応を用いると非常に容易
に分子中に平均してm−n個の(メタ)アクリロイル
基、及び/又は(メタ)アクリルアミド基と平均してn
個トリアゾール環を有する化合物が得られる。この際、
mおよびnの組み合わせを変化させるのみで容易に分子
中の(メタ)アクリロイル基、及び/又は(メタ)アク
リルアミド基の数とトリアゾール環の数を変化させる事
が可能となる。これらの内、特に好ましい具体例として
は例えば以下の様な化合物が挙げられるが、これらに限
定されるものではない。
This reaction is carried out with NH in the case of the general formula (I),
The case of the general formula (II) is a Michael addition reaction of SH with a (meth) acryloyl group and / or a (meth) acrylamide group. When such a reaction is used, it is very easy to average n to (n) (meth) acryloyl groups and / or (meth) acrylamide groups in the molecule.
A compound having individual triazole rings is obtained. On this occasion,
It is possible to easily change the number of (meth) acryloyl groups and / or (meth) acrylamide groups and the number of triazole rings in the molecule simply by changing the combination of m and n. Among these, particularly preferable specific examples include, for example, the following compounds, but the present invention is not limited thereto.

【0024】[0024]

【化7】 [Chemical 7]

【0025】[0025]

【化8】 [Chemical 8]

【0026】[0026]

【化9】 [Chemical 9]

【0027】分子中に平均して少なくとも一つのエチレ
ン性不飽和二重結合および平均して少なくとも一つのト
リアゾール環を有する化合物の量は、光重合性組成物の
固形分の0.001〜10wt%、好ましくは0.00
2〜5wt%の範囲である。0.001wt%未満で
は、赤変を防止する効果が弱くなり、10wt%を越え
ると、レジスト性が低下し、エッチングやメッキに耐え
られなくなるため、本発明の目的には適合しない。これ
らの化合物は、それぞれ単独で用いてもよいが、2種以
上の化合物を併用してもよい。
The amount of the compound having an average of at least one ethylenically unsaturated double bond and an average of at least one triazole ring in the molecule is 0.001 to 10 wt% of the solid content of the photopolymerizable composition. , Preferably 0.00
It is in the range of 2 to 5 wt%. If it is less than 0.001 wt%, the effect of preventing red discoloration is weakened, and if it exceeds 10 wt%, the resist property deteriorates and it cannot withstand etching or plating, so it is not suitable for the purpose of the present invention. These compounds may be used alone or in combination of two or more kinds.

【0028】本発明に用いることのできる分子中に平均
して少なくとも一つのエチレン性不飽和二重結合および
平均して少なくとも一つのトリアゾール環を有する化合
物以外の光重合性モノマーとしては、例えば、特開昭6
0−258539号、特願平1−91247号明細書に
記載されているような、公知の(メタ)アクリル酸エス
テルを挙げることができる。具体的には、ジエチレング
リコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコー
ルジ(メタ)アクリレート、ノナエチレングリコールジ
(メタ)アクリレート、テトラデカエチレングリコール
ジ(メタ)アクリレート、ノナプロピレングリコールジ
(メタ)アクリレート、ドデカプロピレングリコールジ
(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ
(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンのエチ
レンオキサイド付加物のトリ(メタ)アクリレート、ペ
ンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエ
リスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリス
リトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリス
リトールヘキサ(メタ)アクリレート、グリセリンジ
(メタ)アクリレート、1,3−プロパンジオールジ
(メタ)アクリレート等のポリオールの(メタ)アクリ
ル酸エステルが挙げられる。
The photopolymerizable monomer other than the compound having an average of at least one ethylenically unsaturated double bond and an average of at least one triazole ring in the molecule which can be used in the present invention is, for example, Kaisho 6
Known (meth) acrylic acid esters such as those described in the specifications of 0-258539 and Japanese Patent Application No. 1-91247 can be mentioned. Specifically, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, nonaethylene glycol di (meth) acrylate, tetradecaethylene glycol di (meth) acrylate, nona Propylene glycol di (meth) acrylate, dodecapropylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tri (meth) acrylate of ethylene oxide adduct of trimethylolpropane, pentaerythritol di (meth) acrylate, penta Erythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, glycerin Di (meth) acrylate, (meth) acrylic acid esters of 1,3-propanediol di (meth) polyols such acrylate.

【0029】(メタ)アクリルアミド類としては、メチ
レンビス(メタ)アクリルアミドのほか、エチレンジア
ミン、ジアミノプロパン、ジアミノブタン、ペンタメチ
レンジアミン、ビス(2−アミノプロピル)アミン、ジ
エチレントリアミンジアミン、フェニレンジアミン、ジ
アミノ安息香酸などから誘導されるポリ(メタ)アクリ
ルアミドがある。アリル化合物としては、例えば、フタ
ル酸、マロン酸等のジアリルエステル、ベンゼンジスル
ホン酸、2,5−ジヒドロキシジスルホン酸等のジアリ
ルエステルなどがある。ビニルエーテル化合物として
は、例えば、エチレングリコールジビニルエーテル、
1,3,5−トリ−β−ビニルオキシエトキシベンゼン
などがある。ビニルエステル類としては、コハク酸ジビ
ニル、アジピン酸ジビニルなどがある。スチレン化合物
としては、ジビニルベンゼン、p−アリルスチレン、ビ
ニル安息香酸などがある。更に、少なくとも二つのイソ
シアネート基を有するポリイソシアネート化合物と少な
くとも一つの水酸基と少なくとも一つのエチレン性不飽
和基を有する化合物との反応生成物、または少なくとも
二つの水酸基を有するポリオール化合物と、やや過剰の
少なくとも二つのイソシアネート基を有するポリイソシ
アネート化合物とを反応させて得られた反応生成物に、
少なくとも一つの水酸基と少なくとも一つのエチレン性
不飽和基を有する化合物とを更に反応させて得られる、
少なくとも二つのエチレン性不飽和基を有する多官能ウ
レタン化合物も本発明に好適に用いることができる。
Examples of the (meth) acrylamides include methylenebis (meth) acrylamide, ethylenediamine, diaminopropane, diaminobutane, pentamethylenediamine, bis (2-aminopropyl) amine, diethylenetriaminediamine, phenylenediamine and diaminobenzoic acid. There are poly (meth) acrylamides derived from Examples of the allyl compound include diallyl esters such as phthalic acid and malonic acid, diallyl esters such as benzenedisulfonic acid and 2,5-dihydroxydisulfonic acid. Examples of vinyl ether compounds include ethylene glycol divinyl ether,
1,3,5-tri-β-vinyloxyethoxybenzene and the like. Examples of vinyl esters include divinyl succinate and divinyl adipate. Examples of the styrene compound include divinylbenzene, p-allylstyrene and vinylbenzoic acid. Further, a reaction product of a polyisocyanate compound having at least two isocyanate groups and at least one hydroxyl group and a compound having at least one ethylenically unsaturated group, or a polyol compound having at least two hydroxyl groups, and a slight excess of at least The reaction product obtained by reacting with a polyisocyanate compound having two isocyanate groups,
Obtained by further reacting at least one hydroxyl group and a compound having at least one ethylenically unsaturated group,
A polyfunctional urethane compound having at least two ethylenically unsaturated groups can also be suitably used in the present invention.

【0030】分子中に平均して少なくとも一つのエチレ
ン性不飽和二重結合および平均して少なくとも一つのト
リアゾール環を有する化合物以外の光重合性モノマーの
量は光重合性組成物の固形分の10〜60wt%、好ま
しくは25〜50wt%の範囲で用いられる。10wt
%未満では、露光部と未露光部との溶解性の差が小さす
ぎる為、良好な画質が得られず、60wt%を越える
と、光重合性組成物の流動性が高すぎクリープ現象を起
こしやすいので本発明の目的には適合しない。
The amount of the photopolymerizable monomer other than the compound having an average of at least one ethylenically unsaturated double bond and an average of at least one triazole ring in the molecule is 10% of the solid content of the photopolymerizable composition. It is used in the range of -60 wt%, preferably 25-50 wt%. 10 wt
If it is less than 60%, the difference in solubility between the exposed area and the unexposed area is too small, so that good image quality cannot be obtained, and if it exceeds 60% by weight, the fluidity of the photopolymerizable composition is too high and a creep phenomenon occurs. It is not suitable for the purpose of the present invention because it is easy.

【0031】本発明に使用できる好適な光重合開始剤と
しては、約300〜800nm、より好ましくは330
〜500nmの範囲に少なくとも約50の分子吸光係数
を有する成分を少なくとも1種含有していることが好ま
しい。例えば、芳香族ケトン類、ロフィン2量体、ベン
ゾインおよびベンゾインエーテル類、ポリハロゲン類お
よびこれらの2種以上の組合せなどがある。これらの具
体例として、以下の化合物を挙げることができる。
Suitable photoinitiators that can be used in the present invention are about 300 to 800 nm, more preferably 330.
It is preferable to contain at least one component having a molecular extinction coefficient of at least about 50 in the range of ˜500 nm. For example, aromatic ketones, lophine dimers, benzoin and benzoin ethers, polyhalogens, and combinations of two or more thereof. Specific examples of these include the following compounds.

【0032】芳香族ケトン類としては、例えば、ベンゾ
フェノン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフ
ェノン、4−メトキシ−4’−ジメチルアミノベンゾフ
ェノン、4,4’−ジメトキシベンゾフェノン、4−ジ
メチルアミノベンゾフェノン、4−ジメチルアミノアセ
トフェノン、ベンジル、アントラキノン、2−tert
−ブチルアントラキノン、2−メチルアントラキノン、
キサントン、チオキサントン、2−クロルチオキサント
ン、2,4−ジエチルチオキサントン、フルオレノン、
アクリドンなどがある。
Examples of aromatic ketones include benzophenone, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone, 4,4'-dimethoxybenzophenone and 4-dimethylaminobenzophenone. , 4-dimethylaminoacetophenone, benzyl, anthraquinone, 2-tert
-Butyl anthraquinone, 2-methyl anthraquinone,
Xanthone, thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, fluorenone,
There is Akridon.

【0033】ロフィン2量体として好適に用いられるも
のとしては、前記の特公昭45−37377号、特公昭
48−38403号、特開昭56−35134号、特願
昭63−200605号各明細書に記載されているもの
などが挙げられる。例えば、2−(o−クロロフェニ
ル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−
(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(m−メトキシフ
ェニル)イミダゾール2量体、2−(o−フルオロフェ
ニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−
(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダ
ゾール2量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5
−ジフェニルイミダゾール2量体などがある。
Suitable examples of the lophine dimer include those described in JP-B-45-37377, JP-B-48-38403, JP-A-56-35134, and JP-A-63-200605. And the like are listed. For example, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2-
(O-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2-
(O-Methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5
-Diphenylimidazole dimer and the like.

【0034】ベンゾインおよびベンゾインエーテル類と
しては、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチル
エーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイ
ンフェニルエーテルなどがある。ポリハロゲン化合物と
しては、例えば、四臭化炭素、フェニルトリブロモメチ
ルフェニルスルホン、フェニルトリクロロメチルケト
ン、および、特開昭53−133428号、特公昭57
−1819号、特公昭57−6096号、米国特許第3
615455号各明細書に記載の化合物がある。 特に
好ましい例としては、4,4’−ビス(ジメチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、2,4−ジエチルチオキサント
ン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
とベンゾフェノンとの組合せ、4,4’−ビス(ジエチ
ルアミノ)ベンゾフェノンとフェニルトリブロモメチル
フェニルスルホンとの組合せなどが挙げられる。
Examples of benzoin and benzoin ethers include benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether and benzoin phenyl ether. Examples of the polyhalogen compound include carbon tetrabromide, phenyltribromomethylphenyl sulfone, phenyltrichloromethyl ketone, and JP-A-53-133428 and JP-B-57.
-1819, Japanese Patent Publication No. 57-6096, and U.S. Pat. No. 3
There are compounds described in each specification. Particularly preferred examples are 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2,4-diethylthioxanthone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone and benzophenone. And a combination of 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone and phenyltribromomethylphenyl sulfone.

【0035】光重合開始剤系の含有量は、光重合性組成
物の固形分に対して、好ましくは0.1〜20wt%、
より好ましくは0.2〜10wt%である。0.1wt
%未満では、感度が不足し、20wt%を越えると光重
合性組成物の膜物性に悪影響を及ぼすため、本発明の目
的には適合しない。
The content of the photopolymerization initiator system is preferably 0.1 to 20 wt% with respect to the solid content of the photopolymerizable composition,
More preferably, it is 0.2 to 10 wt%. 0.1 wt
If it is less than%, the sensitivity is insufficient, and if it exceeds 20% by weight, the physical properties of the film of the photopolymerizable composition are adversely affected, so that it is not suitable for the purpose of the present invention.

【0036】本発明の光重合性組成物は、前述のごと
く、(1)カルボキシル基含有高分子結合剤、(2)分
子中に少なくとも一つのエチレン性不飽和二重結合およ
び少なくとも一つのトリアゾール環を有する化合物、
(3)前記(2)以外の光重合性モノマー、及び(4)
光重合開始剤(系)、を主成分とするが、必要に応じ
て、熱重合禁止剤、可塑剤、色素、変色剤、密着促進剤
等を併用してもよく、これによって目的とするフォトレ
ジスト、樹脂凸版、平版印刷版、フォトマスク等を広範
に調製できる。
As described above, the photopolymerizable composition of the present invention comprises (1) a carboxyl group-containing polymer binder, (2) at least one ethylenically unsaturated double bond and at least one triazole ring in the molecule. A compound having
(3) Photopolymerizable monomer other than the above (2), and (4)
The main component is a photopolymerization initiator (system), but if necessary, a thermal polymerization inhibitor, a plasticizer, a dye, a discoloring agent, an adhesion promoter, etc. may be used in combination. A wide range of resists, resin letterpress plates, planographic printing plates, photomasks, etc. can be prepared.

【0037】熱重合禁止剤は、光重合性組成物の熱的な
重合や経時的な重合を防止するために添加するもので、
これにより光重合性組成物の調製時や金属板に積層して
使用するまでの保存時の化学的な安定性を高めることが
できる。熱重合禁止剤の例としては、p−メトキシフェ
ノール、ハイドロキノン、ベンゾキノン、o−トルキノ
ン、p−トルキノン、t−ブチルカテコール、ピロガロ
ール、2−ヒドロキシベンゾフェノン、4−メトキシ2
−ヒドロキシベンゾフェノン、塩化第一銅、フェノチア
ジン、フロラニル、クロラニル、ナフチルアミン、ピリ
ジン、p−トルイジン、β−ナフトール、2,6−ジ−
t−ブチル−p−クレゾール、ニトロベンゼン、ジニト
ロベンゼン、ピクリン酸、N−ニトロソフェニルヒドロ
キシルアミオンのアルミニウム塩もしくはアンモニウム
塩、メチレンブルー有機銅、サリチル酸メチル、アリー
ルフォスファイト等が挙げられる。熱重合禁止剤の好ま
しい添加量は、光重合性組成物の固形分に対して、0.
001〜10wt%、より好ましくは、0.01〜3w
t%である。0.001wt%未満では、熱安定性が劣
り、10wt%を越えると感度が低下する。
The thermal polymerization inhibitor is added to prevent thermal polymerization or temporal polymerization of the photopolymerizable composition.
This makes it possible to enhance chemical stability during preparation of the photopolymerizable composition and storage before use by laminating it on a metal plate. Examples of the thermal polymerization inhibitor include p-methoxyphenol, hydroquinone, benzoquinone, o-toluquinone, p-toluquinone, t-butylcatechol, pyrogallol, 2-hydroxybenzophenone, 4-methoxy-2.
-Hydroxybenzophenone, cuprous chloride, phenothiazine, floranyl, chloranil, naphthylamine, pyridine, p-toluidine, β-naphthol, 2,6-di-
Examples thereof include t-butyl-p-cresol, nitrobenzene, dinitrobenzene, picric acid, an aluminum salt or ammonium salt of N-nitrosophenylhydroxylamione, methylene blue organic copper, methyl salicylate, and aryl phosphite. The preferred addition amount of the thermal polymerization inhibitor is 0. 0 with respect to the solid content of the photopolymerizable composition.
001 to 10 wt%, more preferably 0.01 to 3 w
t%. If it is less than 0.001 wt%, the thermal stability is poor, and if it exceeds 10 wt%, the sensitivity is lowered.

【0038】可塑剤は、光重合性組成物の光硬化前後の
膜質やその他の物性、感光性等を調整するために添加す
る。可塑剤の例としては、フタル酸ジブチル、フタル酸
ジヘプチル、フタル酸ジオクチル、フタル酸ジアリル等
のフタル酸エステル類、トリエチレングリコールジアセ
テート、テトラエチレングリコールジアセテート等のグ
リコールエステル類、p−トルエンスルホンアミド、ベ
ンゼンスルホンアミド、N−n−ブチルベンゼンスルホ
ンアミド等の酸アミド類、アジピン酸ジイソブチル、ア
ゼライン酸ジオクチル、マレイン酸ジブチル等の脂肪族
2塩基酸エステル類、クエン酸トリブチル、グリセリン
トリアセテート、ラウリン酸ブチル4,5−ジエポキシ
シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸ジオクチルなど
が挙げられる。可塑剤の好ましい添加量は、光重合性組
成物の固形分の0.001〜50wt%であり、より好
ましくは、0.01〜20wt%である。50wt%を
越えると現像性や画質に悪影響を及ぼす。
The plasticizer is added to adjust the film quality before and after photocuring of the photopolymerizable composition, other physical properties, photosensitivity and the like. Examples of the plasticizer include phthalates such as dibutyl phthalate, diheptyl phthalate, dioctyl phthalate, diallyl phthalate, glycol esters such as triethylene glycol diacetate and tetraethylene glycol diacetate, p-toluene sulfone. Amides, benzenesulfonamide, Nn-butylbenzenesulfonamide and other acid amides, diisobutyl adipate, dioctyl azelate, dibutyl maleate and other aliphatic dibasic acid esters, tributyl citrate, glycerin triacetate, lauric acid Butyl 4,5-diepoxycyclohexane-1,2-dicarboxylic acid dioctyl and the like can be mentioned. The preferable addition amount of the plasticizer is 0.001 to 50 wt% of the solid content of the photopolymerizable composition, and more preferably 0.01 to 20 wt%. If it exceeds 50 wt%, the developability and the image quality are adversely affected.

【0039】色素は、光重合性組成物の着色のために添
加される。色素の例としては、マラカイトグリーン、メ
チルグリーン、ブリリアトグリーン、メチルバイオレッ
ト、クリスタルバイオレット、エチルバイオレット、ビ
クトリアピュアブルーBOH、オイルブルー#603
(オリエント化学工業株式会社製)、エオシン、エリス
ロシンB、ローズベンガル、ローダミンB、ローダミン
6G、2,7−ジクロロフルオレセイン、フェノールフ
タレイン、アリザリンレッドS、チモールフタレイン、
キナルジンレッド、メタニルイエロー、チモールスルホ
フタレイン、ジフェニルトリアゼン、キシレノールブル
ー、メチルコンゴレッド、ジフェニルチオカルバゾン、
パラメチルレッド、コンゴーレッド、ベンゾブルブリン
4B、α−ナフチルレッド、ナイルブルーA、フェナセ
タリン、パラフクシン、ベイシックフクシン等を挙げる
ことができる。色素の好ましい添加量は、光重合性組成
物の固形分の0.001〜10wt%、より好ましくは
0.1〜5wt%である。10wt%を越えると、感度
に悪影響を与える。
The pigment is added for coloring the photopolymerizable composition. Examples of dyes include malachite green, methyl green, brilliate green, methyl violet, crystal violet, ethyl violet, Victoria pure blue BOH, oil blue # 603.
(Manufactured by Orient Chemical Industry Co., Ltd.), eosin, erythrosin B, rose bengal, rhodamine B, rhodamine 6G, 2,7-dichlorofluorescein, phenolphthalein, alizarin red S, thymolphthalein,
Quinaldine red, methanyl yellow, thymol sulfophthalein, diphenyltriazene, xylenol blue, methylcongo red, diphenylthiocarbazone,
Paramethyl red, Congo red, benzobulbulin 4B, α-naphthyl red, Nile blue A, phenacetaline, parafuchsin, basic fuchsin and the like can be mentioned. The preferable addition amount of the dye is 0.001 to 10 wt% of the solid content of the photopolymerizable composition, and more preferably 0.1 to 5 wt%. If it exceeds 10 wt%, the sensitivity is adversely affected.

【0040】変色剤は、光重合性組成物をフォトマスク
を通して光照射したときに可視像が得られるように添加
される。変色剤の例としては、前記の色素の他にジフェ
ニルアミン、ジベンジルアニリン、トリフェニルアミ
ン、ジエチルアニリン、ジフェニル−p−フェニレンジ
アミン、p−トルイジン、4,4’−ビフェニルジアミ
ン、o−クロロアニリン、p,p’,p”−ヘキサメチ
ルトリアミノトリフェニルメタン、p,p’−テトラメ
チルジアミノトリフェニルメタン、p,p’,p”−ト
リアミノトリフェニルカルビノール等が挙げられる。変
色剤の好ましい添加量は、光重合性組成物の固形分の
0.001〜10wt%、より好ましくは0.01〜5
wt%である。10wt%を越えると、感度低下やカブ
リを起こしやすい。
The color-changing agent is added so that a visible image can be obtained when the photopolymerizable composition is irradiated with light through a photomask. Examples of the color-changing agent include diphenylamine, dibenzylaniline, triphenylamine, diethylaniline, diphenyl-p-phenylenediamine, p-toluidine, 4,4′-biphenyldiamine, o-chloroaniline, in addition to the above dyes. p, p ', p "-hexamethyltriaminotriphenylmethane, p, p'-tetramethyldiaminotriphenylmethane, p, p', p" -triaminotriphenylcarbinol and the like can be mentioned. The preferred amount of the color changing agent is 0.001 to 10 wt% of the solid content of the photopolymerizable composition, and more preferably 0.01 to 5%.
wt%. If it exceeds 10 wt%, the sensitivity is likely to decrease and fog is likely to occur.

【0041】密着促進剤は、銅、ステンレス、陽極酸化
したアルミニウム、シリコン等の金属板等の表面への光
重合性組成物の密着性を高めるために添加する。密着促
進剤の例としては、特公昭50−9177号明細書に記
載されているベンズイミダゾール、ベンズチアゾール、
ベンズトリアゾール、特開昭53−702号明細書に記
載されている2−メルカプトベンズチアゾール、2−メ
ルカプトベンズイミダゾール、また、特開昭59−11
3432号、特開昭59−16501号、特開昭60−
12543号、特開昭60−12544号、特開昭61
−172139号各明細書に記載されている化合物を挙
げることができる。但しこれらの化合物を添加する際に
は、前述の様に現像残りや赤変が発生しない様に使用す
ることが重要である。密着促進剤の好ましい添加量は、
光重合性組成物の固形分の0.001〜10wt%、よ
り好ましくは0.01〜5wt%である。10wt%を
越えると現像残りの原因となる。
The adhesion promoter is added to enhance the adhesion of the photopolymerizable composition to the surface of a metal plate such as copper, stainless steel, anodized aluminum or silicon. Examples of the adhesion promoter include benzimidazole, benzthiazole, which are described in Japanese Patent Publication No. 50-9177.
Benztriazole, 2-mercaptobenzthiazole and 2-mercaptobenzimidazole described in JP-A-53-702, and JP-A-59-11.
3432, JP-A-59-16501, JP-A-60-
12543, JP-A-60-12544, JP-A-61
The compound described in each specification can be mentioned. However, when these compounds are added, it is important to use them so as not to cause undeveloped residue or red discoloration as described above. The preferred amount of the adhesion promoter added is
The solid content of the photopolymerizable composition is 0.001 to 10 wt%, more preferably 0.01 to 5 wt%. If it exceeds 10% by weight, it may be a cause of residual development.

【0042】本発明の光重合性組成物は、基板にラミネ
ート・画像露光した後、未露光部を溶解除去(現像)す
ることにより、レジスト像を形成することができる。本
発明の光重合性組成物は、アルカリ水溶液により現像す
ることができる。現像液としては、例えば、水酸化ナト
リウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、炭酸ナトリ
ウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム、アンモニア等の
0.1〜10wt%の水溶液を用いることができるが、
場合によっては、アミン類、例えばブチルアミン、ヘキ
シルアミン、ベンジルアミン、アリルアミン等の1級ア
ミン、ジエチルアミン、ベンジルエチルアミン等の2級
アミン、トリエチルアミン等の3級アミン、エタノール
アミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、
2−アミノ−1,3−プロパンジオール等のヒドロキシ
ルアミン、モルホリン、ピリジン、ピペラジン、ピペリ
ジン等の環状アミン、前記アミンの硫酸塩、炭酸塩、重
炭酸塩、アルカリ金属リン酸塩、ピロリン酸塩等の塩基
性塩、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、コリン
等のヒドロキシ塩等を使用することもできる。以下に、
実施例に基づき本発明を更に詳細に説明するが、本発明
はこれによって限定されるものではない。なお、「部」
は、特に断りのないかぎり、「重量部」を意味する。
The photopolymerizable composition of the present invention can form a resist image by laminating on a substrate and exposing it to an image, and then dissolving and removing (developing) the unexposed portion. The photopolymerizable composition of the present invention can be developed with an aqueous alkaline solution. As the developing solution, for example, a 0.1-10 wt% aqueous solution of sodium hydroxide, potassium hydroxide, lithium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, lithium carbonate, ammonia or the like can be used.
In some cases, amines such as butylamine, hexylamine, benzylamine, allylamine and other primary amines, diethylamine, benzylethylamine and other secondary amines, triethylamine and other tertiary amines, ethanolamine, diethanolamine, triethanolamine,
Hydroxylamines such as 2-amino-1,3-propanediol, cyclic amines such as morpholine, pyridine, piperazine and piperidine, sulfates, carbonates, bicarbonates, alkali metal phosphates and pyrophosphates of the above amines. It is also possible to use a basic salt of, a hydroxy salt of tetramethylammonium hydroxide, choline or the like. less than,
The present invention will be described in more detail based on examples, but the present invention is not limited thereto. In addition, "part"
Means "parts by weight" unless otherwise specified.

【0043】[0043]

【実施例】【Example】

合成例1 1,2,4−トリアゾール6.9部、2−ヒドロキシエ
チルアクリレート11.6部、2,5−ジ−t−ヘキシ
ルハイドロキノン0.018部をメチルエチルケトン2
0部に溶解し、75℃で40時間加熱撹拌する。この反
応液を濃縮し、更に120℃で1.5時間真空乾燥する
ことでトリアゾール/2−ヒドロキシエチルアクリレー
トのマイケル付加体を得た。この付加体9.26部、ト
リエチルアミン5.57部をTHF20部に溶解し、氷
冷下でアクリル酸クロリド4.71部/THF10部の
溶液を滴下する。室温で一夜放置した後、不溶物を濾別
し、溶液を濃縮する。得られた油状物をシリカゲルカラ
ムクロマトグラフィーで精製する事で式(26)の化合
物(R3 はH)5.5部(黄色油状物)を得た。
Synthesis Example 1 6.9 parts of 1,2,4-triazole, 11.6 parts of 2-hydroxyethyl acrylate, 0.018 part of 2,5-di-t-hexyl hydroquinone and 2 parts of methyl ethyl ketone 2
It is dissolved in 0 part and heated and stirred at 75 ° C. for 40 hours. The reaction solution was concentrated and further vacuum dried at 120 ° C. for 1.5 hours to obtain a Michael adduct of triazole / 2-hydroxyethyl acrylate. 9.26 parts of this adduct and 5.57 parts of triethylamine are dissolved in 20 parts of THF, and a solution of 4.71 parts of acrylic acid chloride / 10 parts of THF is added dropwise under ice cooling. After standing overnight at room temperature, the insoluble material is filtered off and the solution is concentrated. The resulting oil was purified by silica gel column chromatography to obtain 5.5 parts of the compound of formula (26) (R 3 is H) (yellow oil).

【0044】合成例2 1,2,4−トリアゾール3.45部、ペンタエリスリ
トールテトラアクリレート17.6部、ハイドロキノン
モノメチルエーテル0.025部をメチルエチルケトン
20部に溶解し、80℃で60時間加熱撹拌する。この
反応液を濃縮することで式(30)の化合物20.9部
(淡橙色油状物)を得た。
Synthetic Example 2 3.45 parts of 1,2,4-triazole, 17.6 parts of pentaerythritol tetraacrylate and 0.025 part of hydroquinone monomethyl ether were dissolved in 20 parts of methyl ethyl ketone and heated and stirred at 80 ° C. for 60 hours. . The reaction solution was concentrated to obtain 20.9 parts of the compound of formula (30) (pale orange oily substance).

【0045】合成例3 合成例2のペンタエリスリトールテトラアクリレートを
ペンタエリスリトールトリアクリレート/フタル酸無水
物の付加体22.3部とする他は合成例4と同様にして
式(33)の化合物14.0部(橙色〜褐色油状物)を
得た。
Synthesis Example 3 Compound 14 of formula (33) was prepared in the same manner as in Synthesis Example 4 except that pentaerythritol tetraacrylate of Synthesis Example 2 was changed to 22.3 parts of an adduct of pentaerythritol triacrylate / phthalic anhydride. 0 part (orange to brown oil) was obtained.

【0046】合成例4 合成例2のペンタエリスリトールテトラアクリレートを
テトラエチレングリコールジアクリレート15.1部と
する他は合成例4と同様にして式(35)の化合物1
5.3部(淡黄色油状物)を得た。
Synthesis Example 4 Compound 1 of formula (35) was prepared in the same manner as in Synthesis Example 4 except that pentaerythritol tetraacrylate of Synthesis Example 2 was changed to 15.1 parts of tetraethylene glycol diacrylate.
5.3 parts (pale yellow oily substance) were obtained.

【0047】合成例5 1,2,4−トリアゾール3.45部、ペンタエリスリ
トールテトラアクリレート8.81部、ハイドロキノン
モノメチルエーテル0.015部をメチルエチルケトン
15部に溶解し、80℃で60時間加熱撹拌する。この
反応液を濃縮することで式(32)の化合物12.4部
(淡橙色油状物)を得た。
Synthesis Example 5 1.45 parts of 1,2,4-triazole, 8.81 parts of pentaerythritol tetraacrylate and 0.015 parts of hydroquinone monomethyl ether were dissolved in 15 parts of methyl ethyl ketone, and heated and stirred at 80 ° C. for 60 hours. . The reaction solution was concentrated to obtain 12.4 parts of the compound of the formula (32) (pale orange oily substance).

【0048】合成例6 3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール1.01
部、ペンタエリスリトールテトラアクリレート3.52
部、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.005部を
メチルエチルケトン10部に溶解し、80℃で18時間
加熱撹拌する。この反応液を濃縮することで式(40)
の化合物4.5部(淡黄色油状物)を得た。
Synthesis Example 6 3-mercapto-1,2,4-triazole 1.01
Part, pentaerythritol tetraacrylate 3.52
And 0.005 parts of hydroquinone monomethyl ether are dissolved in 10 parts of methyl ethyl ketone, and the mixture is heated and stirred at 80 ° C. for 18 hours. By concentrating the reaction solution, the formula (40) is obtained.
4.5 parts of compound (pale yellow oily substance) was obtained.

【0049】合成例7 合成例6の3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール
1.01部を2.02部とする他は合成例6と同様にし
て式(38)の化合物5.2部(淡黄色粘稠固体)を得
た。
Synthesis Example 7 Compound 5.2 of formula (38) was prepared in the same manner as in Synthesis Example 6 except that 1.01 part of 3-mercapto-1,2,4-triazole in Synthesis Example 6 was changed to 2.02 part. Part (pale yellow viscous solid) was obtained.

【0050】合成例8 エチレングリコールビス(3−アミノプロピル)エーテ
ル10.6部、トリエチルアミン7.29部をアセトニ
トリル20部に溶解する。この溶液に氷冷下でアクリル
酸クロライド11.9部/アセトニトリル10部の溶液
を1時間かけて滴下する。更に室温で3時間撹拌した
後、氷水100部に反応液を注ぎ、クロロホルムで抽出
し、有機層を乾燥、濃縮する。得られた油状物をシリカ
ゲルカラムクロマトグラフィーで精製する事でエチレン
グリコールビス(3−アクリルアミドプロピル)エーテ
ル1.8部を得る。この化合物1.42部、1,2,4
−トリアゾール0.35部、ハイドロキノンモノメチル
エーテル0.004部をエタノール5部に溶解し、更に
ソディウムメトキシドのメタノール28%溶液0.09
6部を添加する。この溶液を75℃で18時間加熱撹拌
する。この反応液を濃縮し、ヘキサン可溶部、クロロホ
ルム不溶部を除去し、更に乾燥することで式(41)の
化合物1.4部(淡黄色〜橙色油状物)を得た。
Synthesis Example 8 10.6 parts of ethylene glycol bis (3-aminopropyl) ether and 7.29 parts of triethylamine are dissolved in 20 parts of acetonitrile. A solution of 11.9 parts of acrylic acid chloride / 10 parts of acetonitrile is added dropwise to this solution over 1 hour under ice cooling. After further stirring at room temperature for 3 hours, the reaction solution is poured into 100 parts of ice water and extracted with chloroform, and the organic layer is dried and concentrated. The resulting oily substance is purified by silica gel column chromatography to obtain 1.8 parts of ethylene glycol bis (3-acrylamidopropyl) ether. 1.42 parts of this compound 1,2,4
0.35 parts of triazole and 0.004 parts of hydroquinone monomethyl ether are dissolved in 5 parts of ethanol, and 0.09 solution of 28% methanol of sodium methoxide is added.
Add 6 parts. This solution is heated and stirred at 75 ° C. for 18 hours. The reaction solution was concentrated to remove the hexane-soluble portion and the chloroform-insoluble portion, and further dried to obtain 1.4 parts of the compound of the formula (41) (pale yellow to orange oily substance).

【0051】実施例1〜8、比較例1〜9 以下に示した素材を混合して均一な溶液を調製した。 ・メタクリル酸メチル/メタクリル酸/アクリル酸2−エチルヘキシル/メタク リル酸ベンジル共重合体(モル比=55/28/12/5,重量平均分子量 =79,000の35wt%溶液、溶媒はメチルエチルケトン/1−メトキ シ−2−プロパノール=2/1) 45部 ・ドデカプロピレングリコールジアクリレート 6.5部 ・テトラエチレングリコールジメタクリレート 1.5部 ・p−トルエンスルホンアミド 0.5部 ・4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン 0.05部 ・ベンゾフェノン 1.0部 ・2−(2’−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体(2 5wt%ジクロロメタン溶液) 2.0部 ・トリブロモメチルフェニルスルホン 0.1部 ・ロイコクリスタルバイオレット 0.1部 ・マラカイトグリーン 0.01部Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 9 The following materials were mixed to prepare a uniform solution. -Methyl methacrylate / methacrylic acid / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate copolymer (molar ratio = 55/28/12/5, 35 wt% solution of weight average molecular weight = 79,000, solvent is methyl ethyl ketone / 1 -Methoxy-2-propanol = 2/1) 45 parts-dodecapropylene glycol diacrylate 6.5 parts-tetraethylene glycol dimethacrylate 1.5 parts-p-toluene sulfonamide 0.5 parts-4,4'- Bis (diethylamino) benzophenone 0.05 part-Benzophenone 1.0 part 2- (2'-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer (25 wt% dichloromethane solution) 2.0 parts-Tribromomethylphenyl Sulfone 0.1 part ・ Leuco Crystal Violet 0.1 part ・Malachite Green 0.01 parts

【0052】このようにして得られた溶液に、本発明の
分子中に平均して少なくとも一つのエチレン性不飽和二
重結合および平均して少なくとも一つのトリアゾール環
を有する化合物、および比較例としてその他の化合物を
表−1に示した量だけ添加した。
In the solution thus obtained, a compound having an average of at least one ethylenically unsaturated double bond and an average of at least one triazole ring in the molecule of the present invention, and other compounds as comparative examples Was added in an amount shown in Table-1.

【0053】[0053]

【表1】 [Table 1]

【0054】更に撹拌・溶解させた後、各々の溶液を厚
さ20μmのポリエチレンテレフタレート仮支持体上に
塗布し、100℃で2分間乾燥して約40μm厚の感光
性樹脂塗布膜を有する感材を得た。この感材を清浄化し
た銅張積層板(銅厚35μ)上に105℃でそれぞれ2
枚ずつ積層した。1枚は遮光して23℃65%RHの温
湿度下に4日間静置した。残った1枚は、15分後に以
下に述べる特性を有する2種類のネガ原稿を介して、5
kw超高圧水銀灯(オーク社(株)製HMW−532
D)を用いて、種々の露光量で露光した。
After further stirring and dissolving, each solution was applied onto a polyethylene terephthalate temporary support having a thickness of 20 μm, dried at 100 ° C. for 2 minutes, and a photosensitive material having a photosensitive resin coating film having a thickness of about 40 μm. Got This sensitive material was placed on a cleaned copper clad laminate (copper thickness: 35μ) at 105 ° C for 2
They were stacked one by one. One sheet was shielded from light and allowed to stand for 4 days at a temperature and humidity of 23 ° C. and 65% RH. The remaining one sheet, after 15 minutes, was passed through two types of negative originals having the characteristics described below,
kW Super high pressure mercury lamp (HMW-532 manufactured by Oak Co., Ltd.)
D) was used for exposure at various exposure doses.

【0055】・チャートA:ライン幅/スペース幅(L
/S)=1/3、ライン幅=30μm〜100μm(1
0μステップ、各幅のラインは5本ずつある) ・チャートB:富士ステップガイドP(濃度の段差は
0.15)
Chart A: line width / space width (L
/ S) = 1/3, line width = 30 μm to 100 μm (1
0 μ step, 5 lines of each width) ・ Chart B: Fuji Step Guide P (0.15 steps in density)

【0056】(1)露光直後の性能評価 露光15分後、1%炭酸ナトリウム水溶液(30℃)で
40秒間スプレー現像したのち、20℃の水で40秒間
水洗した。このようにして得られたA、B両原稿による
レジストパターンを目視、および光学顕微鏡で観察し
た。評価は以下のように行った。
(1) Performance Evaluation Immediately After Exposure After 15 minutes of exposure, spray development was carried out for 40 seconds with a 1% sodium carbonate aqueous solution (30 ° C.), followed by washing with water at 20 ° C. for 40 seconds. The resist patterns of the A and B originals thus obtained were observed visually and with an optical microscope. The evaluation was performed as follows.

【0057】<感度>100mj/cm2 で露光したと
きに得られたチャートBのパターンにおけるクリアー段
数を感度とした。この方法では、段数が大きいほど感度
が高いことがわかる。
<Sensitivity> The number of clear steps in the pattern of chart B obtained when exposure was performed at 100 mj / cm 2 was taken as the sensitivity. In this method, it can be seen that the larger the number of stages, the higher the sensitivity.

【0058】<密着性>8段クリアー露光量の得られる
露光量で露光して得られたチャートAのパターンを観察
し、5本のラインが全てよれたり剥がれたりせずに残っ
ている最も細い線のライン幅を、密着性として記録し
た。この方法では、ライン幅が小さいほど密着性が高い
ことがわかる。
<Adhesiveness> The pattern of chart A obtained by exposing with an exposure amount of 8 steps clear exposure amount was observed, and all 5 lines remained the most thin line without being twisted or peeled off. The line width of the line was recorded as the adhesion. In this method, it can be seen that the smaller the line width, the higher the adhesion.

【0059】<エッチング性>赤変と粒状固形物の観察
を行ったのち、同サンプルを以下の条件でエッチング処
理した。得られたサンプルの非画像部に銅が残っていな
いものが良い。 ・液組成:塩化銅二水和物400g/l、35%塩酸1
00g/l ・液温45℃、スプレー圧2.0kg/cm2 ・エッチング時間2.0分 ・水洗時間2.0分
<Etching property> After observing red discoloration and solid particles, the sample was subjected to etching treatment under the following conditions. It is preferable that no copper remains in the non-image area of the obtained sample.・ Liquid composition: Copper chloride dihydrate 400 g / l, 35% hydrochloric acid 1
00g / l ・ Liquid temperature 45 ° C, Spray pressure 2.0kg / cm 2・ Etching time 2.0 minutes ・ Washing time 2.0 minutes

【0060】<メッキ性>ライン幅/スペース幅(L/
S)=1/1、ライン幅=100μmの原稿を用いて前
述と同様に露光、現像を行い、対応するパターンを得
た。これを脱脂(PC−455メルテックス社製;25
%、40℃、3分)した後、水洗(1分)、過硫酸アン
モニウム水溶液(12%、30℃、40秒)で処理、水
洗(1分)、10%硫酸洗浄し硫酸銅メッキを行った。
2%苛性ソーダ水溶液(50℃)でレジストを剥離した
後、得られた銅メッキパターンの形状を顕微鏡で観察
し、銅メッキのレジスト下部へのもぐり込みの有無(レ
ジストが存在した部分に銅メッキが付着していないか)
を総合的に評価した。もぐり込みの無いものが良い。
又、得られた銅メッキパターンにマイラーテープを貼り
つけて急速にひきはがし、剥離テストを行った。
<Plating property> Line width / Space width (L /
S) = 1/1 and line width = 100 μm were used to perform exposure and development in the same manner as described above to obtain a corresponding pattern. This is degreased (PC-455 Meltex; 25;
%, 40 ° C., 3 minutes), followed by washing with water (1 minute), treatment with an ammonium persulfate aqueous solution (12%, 30 ° C., 40 seconds), washing with water (1 minute), 10% sulfuric acid, and copper sulfate plating. .
After removing the resist with a 2% aqueous solution of caustic soda (50 ° C.), the shape of the obtained copper plating pattern is observed with a microscope to determine whether or not the copper plating has penetrated into the lower part of the resist (the area where the resist was Is it not attached?)
Was evaluated comprehensively. It is better that there is no entanglement.
Further, a Mylar tape was attached to the obtained copper plating pattern, which was rapidly peeled off and a peeling test was conducted.

【0061】(2)積層後の性能評価 積層した後、遮光して23℃65%RHの温湿度下に4
日間静置したサンプルを前述同様に処理した。このサン
プルについて以下の評価を行った。 <感度>前述同様。 <赤変>チャートAを用いて露光・現像して得られたパ
ターンの非画像部の色を目視観察した。赤褐色化が進行
していないものほど良い。 以上の評価結果を表−2に示した。
(2) Evaluation of performance after lamination After lamination, light is shielded and the temperature is 4 ° C. at 23 ° C. and 65% RH.
The sample that had been allowed to stand for a day was treated as described above. The following evaluation was performed on this sample. <Sensitivity> Same as above. <Red Discoloration> Using Chart A, the color of the non-image area of the pattern obtained by exposure and development was visually observed. The better that the reddish brown color has not progressed, the better. The above evaluation results are shown in Table-2.

【0062】[0062]

【表2】 [Table 2]

【0063】[0063]

【発明の効果】表−2に示したように、本発明の化合物
を添加した光重合性組成物は、銅張積層板に積層したの
ちに経時させても、(1)赤変がなく、(2)感度の低
下が無いことがわかる。更に、銅張積層板に積層させた
直後の評価において、(3)エッチング性が良好、
(4)メッキ性が良好、(5)感度が高く、(6)レジ
ストパターンの密着性が良好である点においても従来公
知の組成物より優れていることは明らかである。
As shown in Table 2, the photopolymerizable composition to which the compound of the present invention is added does not show (1) red discoloration even when it is aged after being laminated on a copper clad laminate, (2) It can be seen that there is no decrease in sensitivity. Furthermore, in the evaluation immediately after being laminated on the copper clad laminate, (3) good etching property,
It is clear that the composition is superior to the conventionally known compositions in that (4) the plating property is good, (5) the sensitivity is high, and (6) the adhesion of the resist pattern is good.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H05K 3/00 F 6921−4E ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Office reference number FI technical display location H05K 3/00 F 6921-4E

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (1)カルボキシル基含有高分子結合
剤、(2)分子中に平均して少なくとも一つのエチレン
性不飽和二重結合および平均して少なくとも一つのトリ
アゾール環を有する化合物、(3)前記(2)以外の光
重合可能なモノマー、及び(4)光重合開始剤系とを含
有することを特徴とするアルカリ性水溶液で現像可能な
光重合性組成物。
1. (1) A carboxyl group-containing polymer binder, (2) a compound having on average at least one ethylenically unsaturated double bond and on average at least one triazole ring, (3) ) A photopolymerizable composition developable with an alkaline aqueous solution, which comprises a photopolymerizable monomer other than the above (2) and (4) a photopolymerization initiator system.
【請求項2】 請求項1において、該カルボキシル基含
有高分子結合剤の重量平均分子量が4〜8.5万である
ことを特徴とする光重合性組成物。
2. The photopolymerizable composition according to claim 1, wherein the carboxyl group-containing polymer binder has a weight average molecular weight of 40 to 85,000.
【請求項3】 請求項2において、該カルボキシル基含
有高分子結合剤がメタクリル酸、メタクリル酸メチル、
メタクリル酸ベンジルおよびアクリル酸−2−エチルヘ
キシル共重合体であることを特徴とする光重合性組成
物。
3. The polymer binder according to claim 2, wherein the carboxyl group-containing polymer binder is methacrylic acid, methyl methacrylate,
A photopolymerizable composition, which is a copolymer of benzyl methacrylate and 2-ethylhexyl acrylate.
【請求項4】 請求項1、請求項2、または請求項3に
おいて、該光重合開始剤系がロフィン2量体を含有する
ことを特徴とする光重合組成物。
4. The photopolymerizable composition according to claim 1, 2, or 3, wherein the photopolymerization initiator system contains a lophine dimer.
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