JPH0643973B2 - Ｘ線回折装置のゴニオメ−タの自動光軸調整装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、Ｘ線回折装置のゴニオメータの光軸を自動的
に調整する自動光軸調整装置に関する。

［従来の技術］ Ｘ線回折装置のゴニオメータの光軸調整には次に述べる
幾つかの段階がある。

(a) 検出器アームの回転角（２θ）をゼロにしたとき
に、発散スリットと、試料台の回転軸線（以下、試料軸
という）と、検出器アーム上にある受光スリットとが一
直線上に来るようにする調整。この調整はゴニオメータ
の製造段階で既に調整ずみのものである。

(b) ゴニオメータ光軸上にＸ線焦点が来るように、Ｘ
線焦点とゴニオメータとの相対的位置関係を定める調
整。この調整は、ゴニオメータ基台を微小回転させて、
Ｘ線検出器の出力が最大となるように調整される。

(c) ２θ＝ゼロの確認。この確認は次のように実施さ
れる。検出器アームを２θ＝ゼロの付近で微小回転させ
てピークプロファイルを求め、検出ピークの半価幅の中
点をゼロピークの位置とする。次に、このゼロピークの
位置と、検出器アーム台のゼロマークの位置とのずれ
が、所定の角度範囲内に治まっていることを確認する。
所定の角度範囲内に治まっていなければ、上述の(b) の
調整からやり直すことになる。

(d) 試料台の回転角（θ）＝ゼロの調整。この調整
は、試料台をθ＝ゼロの付近で微小回転させて、Ｘ線検
出器の出力が最大となるように調整される。その際、光
軸調整治具を試料台に取り付ける。この治具の基準平面
は、試料軸を含む平面内にあり、θ＝ゼロの付近で基準
平面は入射Ｘ線に平行となる。

以上の光軸調整のうち、本考案は、(b)(c)(d)の光軸調
整を自動化しようとするものである。従来は、(b) の調
整では、調整ねじなどを利用してゴニオメータ基台を手
動で微小回転させている。また、(c)(d)の調整では、２
θ回転モータとθ回転モータとを利用して、Ｘ線検出器
アーム台と試料台とをモータ駆動で回転させているが、
これらのモータに対しては調整作業者がその都度回転指
示を与えていた。

［発明が解決しようとする問題点］ 上述した従来の光軸調整では、次のような問題点があ
る。

ゴニオメータ基台の微小回転調整は、すべて手作業で行
う必要があり非常に手間が掛かる。２θ＝ゼロの確認と
θ＝ゼロの調整は、回転動作だけはモータ駆動である
が、Ｘ線強度を確認しながらモータに回転指示を与える
のはやはり調整作業者の仕事である。したがって、光軸
調整の間はＸ線回折装置に手がかかることに変わりはな
い。

そこで、このような光軸調整を自動化する要望が高まっ
てきており、本発明の目的は、このような要望を満たし
得る、Ｘ線回折装置のゴニオメータの自動光軸調整装置
を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ まず、ゴニオメータ基台を自動的に微小回転させる機構
が必要である。さらに、所定のプログラムに従って、ま
た、検出されたＸ線強度に応じて、３個のモータ（基台
回転モータ、２θ回転モータ、θ回転モータ）を独立に
回転させる必要があり、そのための制御装置も必要であ
る。そこで、本発明による、Ｘ線回折装置のゴニオメー
タの自動光軸調整装置は、 Ｘ線源に対して回転可能なゴニオメータ基台と、前記ゴ
ニオメータ基台に対して回転可能であってＸ線検出器が
取り付けられているＸ線検出器アーム台と、前記ゴニオ
メータ基台に対して回転可能な試料台とを有するＸ線回
折装置において、 (a) 基台回転モータと、 (b) ２θ回転モータと、 (c) θ回転モータと、 (d) 前記基台回転モータの回転を前記ゴニオメータ基
台に伝達する第１伝動機構と、 (e) 前記２θ回転モータの回転を前記Ｘ線検出器アー
ム台に伝達する第２伝動機構と、 (f) 前記θ回転モータの回転を前記試料台に伝達する
第３伝動機構と、 (g) 前記Ｘ線検出器の出力のピーク情報に基づいて、
前記基台回転モータと前記２θ回転モータと前記θ回転
モータとを独立に制御する制御装置と、 と有することを特徴とする。

このように、ゴニオメータ基台とＸ線検出器アーム台と
試料台とを、それぞれ別個にモータ駆動できるようにし
たことにより、光軸調整の自動化が可能になった。

光軸調整のためには、上述の三つの被駆動部分はいずれ
も精度良く微小回転させる必要があり、したがって、そ
のための三つのモータはこのような要求を満たすような
モータとする必要がある。好ましくは、これらのモータ
として、パルスモータを利用できる。

第１伝動機構としては、ウォーム・ウォームホイール伝
動機構など各種の機構を利用できるが、以下の実施例で
説明するように、偏心カム機構を利用するのが最適であ
る。第２伝動機構と第３伝動機構についても各種の伝動
機構を採用できるが、従来のゴニオメータと同様に、ウ
ォーム・ウォームホイール伝動機構をそのまま利用する
のが便利である。

上述の三つのモータを、所定のプログラムに従って制御
するには、マイクロコンピュータを利用するのが最適で
ある。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を次の順序で説明する。

イ．Ｘ線回折装置の全体構成 ロ．自動光軸調整装置の制御系 ハ．ゴニオメータ基台の回転駆動機構 ニ．光軸調整治具 ホ．自動光軸調整装置の動作手順 イ．Ｘ線回折装置の全体構成 第１図は本考案の一実施例を備えたＸ線回折装置の概略
平面図であり、第２図はその一部を断面にした正面図で
ある。フレーム１０には、ターゲット１２を有するＸ線
管１４が固定され、ターゲット１２上のＸ線焦点１６か
らＸ線が発生する。このＸ線管１４がＸ線回折装置のＸ
線源を構成している。Ｘ線管１４にはＸ線シャッター１
５が取り付けられている。

フレーム１０にはプレート１８が固定され、このプレー
ト１８の上に、回転可能なゴニオメータ基台２０が載っ
ている。ゴニオメータ基台２０の上には、さらに、これ
と相対回転可能な試料台２２および検出器アーム台２４
が載っている。検出器アーム台２４には検出器アーム２
６が固定され、検出器アーム２６にはＸ線検出器２８が
固定される。

発散スリット３０はゴニオメータ基台２０に固定され、
散乱防止スリット３２と受光スリット３４は検出器アー
ム２６に固定される。そして、検出器アーム２６の回転
角２θをゼロにしたときには、発散スリット３０、試料
軸３６、散乱防止スリット３２、受光スリット３４が一
直線３８の上に来るように光軸調整がなされている。試
料軸３６は、試料台２２の回転中心であり、検出器アー
ム台２４の回転中心とも一致する。

試料台２２は、パルスモータ（θ回転モータ）４０によ
って回転駆動される。すなわち、試料台２２にはウォー
ムホイール４２が固定され、パルスモータ４０の回転軸
には、ウォームホイール４２と噛み合うウォーム４４が
固定される。検出器アーム台２４も、ウォームホイール
４６とウォーム４８とを介してパルスモータ５０によっ
て回転駆動される。試料台２２と検出器アーム台２４
は、１対２の回転比で連動可能であり、かつ、それぞれ
の単独回転も可能である。自動光軸調整には単独回転を
利用する。パルスモータ４０と５０は五相パルスモータ
である。

ゴニオメータ基台２０を微小回転させる機構について
は、以下の「ハ．ゴニオメータ基台の回転駆動機構」の
項で詳しく説明する。

ロ．自動光軸調整装置の制御系 第３図は自動光軸調整装置の制御系を示す。Ｘ線検出器
２８には高圧電源５２が接続され、Ｘ線検出信号は増幅
器を経て波高分析器５４に入力される。所定の強度範囲
の信号は計数計５６でカウントされ、そのカウント値
は、制御装置５８の入力インターフェース６０に入力さ
れる。キーボード６２からは自動光軸調整の開始指令が
入力される。このキーボード６２は、自動光軸調整以外
にも、試料測定の際の各種データや作業指示を入力する
のにも使用されるものである。

制御装置５８は、ＣＰＵ６４、ＲＯＭ６６、ＲＡＭ６
８、入力インターフェース６０、出力インターフェース
７０を含む。なお、パルスモータのためのモータドライ
バ７２，７４，７６も制御装置５８に含めることにす
る。ＲＯＭ６６には、自動光軸調整のためのプログラム
が格納されている。ＣＰＵ６４からの指令は、出力イン
ターフェース７０を介して、モータドライバ７２，７
４，７６、ＣＲＴディスプレイ７８、Ｘ線シャッター電
磁ソレノイド８０に送られる。モータドライバ７２，７
４，７６からの出力パルス信号は、３個のパルスモー
タ、すなわち基台回転モータ８２、２θ回転モータ５
０、θ回転モータ４０にそれぞれ送られる。

ハ．ゴニオメータ基台の回転駆動機構 第１図において、プレート１８には粗調整ブロック８４
が載っている。この粗調整ブロック８４は、プレート１
８に対して相対移動でき、一対の粗調整ねじ８６，８８
によって第１図の左右方向に移動させることができる。
すなわち、左の粗調整ねじ８６をゆるめて、右の粗調整
ねじ８８を締め付ければ、粗調整ブロック８４は左に移
動し、逆の操作をすれば粗調整ブロック８４は右に移動
する。粗調整ブロック８４にはまた、粗調整ブロック８
４を固定するためのロツクねじ９０，９２が取り付けら
れている。

粗調整ブロック８４にはパルスモータ（基台回転モー
タ）８２が固定される。このパルスモータ８２は、五相
パルスモータであって、１パルス当たり０．７２゜だけ
回転でき、５００パルスで一回転する。第４図に拡大し
て示すように、パルスモータ８２の出力軸９４には偏心
カム９６が固定される。なお、第２図では粗調整ブロッ
ク８４の図示を省略してある。偏心カム９６は円形輪郭
９８を有し、円形輪郭９８の中心と回転中心とは距離ε
だけ偏心している。輪郭を円形にしたのは、精度の良い
機械加工が容易だからである。また、出力軸９４を偏心
カム９６に固定するための軸穴も、機械加工は容易であ
る。

ゴニオメータ基台２０にはカム従動子１００が固定され
る。カム従動子１００には溝１０２が形成され、この溝
１０２の対向壁面１０４，１０６は、偏心カム９６の円
形輪郭９８と接触する。このような溝１０２も、精度良
く機械加工できる。溝１０２の幅は、偏心カム９６の円
形輪郭９８の直径とほとんど同じであるが、厳密には、
円形輪郭９８の直径よりわずかに広くなっている。偏心
カム９６の円形輪郭９８も、カム従動子１００の溝１０
２も、精度良く機械加工できるので、これらの間の隙間
はほとんどなくすことができる。

この実施例では、パルスモータ８２の出力軸の中心から
試料軸３６までの距離Ｌ（第１図参照）は２２０ｍｍに
設定されている。また、偏心カム９６の偏心量ε（第４
図参照）は０．８ｍｍに設定されている。

次に、この駆動機構の動作を説明する。第１図におい
て、まず、予備調整として、粗調整ブロック８４の調整
をしておく。粗調整ねじ８６，８８を手動で操作して、
粗調整ブロック８４を左右にわずかに移動させて、ゴニ
オメータ基台２０の大まかな回転位置を決めておく。粗
調整ブロック８４を移動させれば、パルスモータ８２と
偏心カム９６とカム従動子１００とを介して、ゴニオメ
ータ基台２０を回転させることができる。検出器２８の
Ｘ線強度を参考にしながら、このような大まかな調整は
簡単にできる。大まかな調整が済んだら、ロツクねじ９
０，９２を締め付けて粗調整ブロック８４をプレート１
８に固定する。なお、このような大まかな調整は、たび
たび実施する必要はなく、通常の光軸調整では、後述の
自動光軸調整作業だけ実施すれば済む。

次に、パルスモータ８２の回転角αと、ゴニオメータ基
台２０の回転角βとの関係を、第５図を参照して説明し
ておく。

今、偏心カム９６が第５図の実線で示す状態にあるとき
を基準位置とし、この状態の回転角をゼロと定めること
にする。パルスモータが時計回りに角度αだけ回転する
と、偏心カム９６も同じ角度だけ回転する。このとき、
カム従動子１００は距離ｄだけ左に移動し、その移動距
離は、 ｄ＝ε・ｓｉｎα (1) となる。カム従動子１００はゴニオメータ基台に固定さ
れているので、ゴニオメータ基台２０は角度βだけ回転
し、その回転角は近似的に、 β＝ｓｉｎ^-1（ｄ／Ｌ） (2) となる。

パルスモータは、１パルス当たり０．７２゜（Δα）だ
け回転するので、上述の(1)(2)式から、１パルス当たり
のゴニオメータ基台の回転角（Δβ）が求まる。ただ
し、一定のΔαに対しても、距離ｄの変化量Δｄは、偏
心カムの位置に依存して変化することになる。たとえば
α＝０゜の付近ではΔｄは大きく、α＝９０゜の付近で
はΔｄは小さい。今、Δｄの平均的な値Δｄ_ａｖを考え
ることにする。パルスモータを半回転させるには２５０
パルスを必要とし、このとき、カム従動子は２ε＝１．
６ｍｍだけ移動する。したがって、カム従動子は、パル
スモータに１パルス供給される毎に、 Δｄ_ａｖ＝１．６／２５０＝０．００６４ｍｍ だけ平均的に移動することになる。このときのゴニオメ
ータ基台の回転角は、上述の(2) 式において、Ｌ＝２２
０ｍｍとして、 Δβ_ａｖ＝０．００１６７゜ となる。

このようにして求めた、１パルス当たりのゴニオメータ
基台の平均回転角Δβ_ａｖを用いて、ゴニオメータの回
転調整に関連する数値を以下の第１表に示す。

この表で、合格角度差とは、この範囲内であればどの位
置にゴニオメータ基台があっても光軸調整が正しく行わ
れたとみなされる角度範囲のことをいう。この駆動機構
では、パルスモータの最小動作は、合格角度差の６分の
１であり、十分な調整精度を有することがわかる。ピー
ク半価幅とは、回転調整を実施するときに現れるゼロピ
ークの標準的な半価幅である。

第６図は、この駆動機構の動作を図示したものである。
第６図（ａ）は、カム従動子の移動量ｄをパルスモータ
の回転角α（偏心カムの回転角も同じ）の関数として表
したものであり、上述の(1) 式の通り、正弦関数となっ
ている。

第６図（ｂ）は、データムスイッチのタイムチャートで
ある。データムスイッチは、パルスモータの回転の基準
位置を定める役割を果たし、パルスモータが１回転する
間に、特定の位置で１回だけＯＮする。このＯＮの位置
を、パルスモータ回転角α＝ゼロと定めている。すなわ
ち、パルスモータが１回転する毎にパルスモータの回転
角はゼロに戻ることになる。実際は、パルスモータの回
転角は、パルスモータに供給するパルス数を制御装置で
カウントして測定されており、データムスイッチがＯＮ
になると、このカウント数がゼロにリセットされる。

ニ．光軸調整治具 第７ａ図および第７ｂ図は、自動光軸調整作業に使用さ
れる光軸調整治具の二つの状態を示す。第７ａ図におい
て、この治具１０８は試料台に取り付けられるもので、
その片面には、幅２ｍｍの細長い二つの基準平面１１
０，１１２が形成され、その間１１４は、基準平面１１
０，１１２よりも０．５ｍｍだけ低くなっている。この
治具１０８を試料台に取り付けるには、基準平面１１
０，１１２の下半分を試料台の基準面に当接させればよ
く、このとき、二つの基準平面１１０，１１２は、試料
軸を含む平面内に位置決めされるようになっている。

この治具１０８には貫通穴１１６が形成される。この貫
通穴１１６は、基準平面１１０，１１２に対して垂直な
方向に貫通している。貫通穴１１６の、貫通方向に垂直
な断面寸法は、１２ｍｍ×２０ｍｍである。貫通穴１１
６の断面寸法は、発散スリットからやって来るＸ線１１
８を何の障害もなく通過させ得るだけの大きさとなって
いる。第７ａ図は、ゴニオメータ基台の位置調整と２θ
＝ゼロの調整をする場合の、治具１０８の状態を示す。
第７ｂ図はθ＝ゼロの調整をする場合の治具１０８の状
態を示す。

ホ．自動光軸調整装置の動作手順 以下、第８図から第１２図までのフローチャートを参照
して自動光軸調整装置の動作を説明する。

第８図は自動光軸調整作業の前後の手順を示す。自動光
軸調整作業に入る前には、まず、スリット系および試料
台に光軸調整用の部品を取り付ける（ステップ１２
０）。すなわち、発散スリットボックスには、開き幅
０．０５ｍｍの発散スリットを取り付け、散乱防止スリ
ットボックスには、アルミニウム製の吸収板を取り付
け、受光スリットボックスには、開き幅０．１５ｍｍの
受光スリットを取り付ける。試料台には上述の光軸調整
治具１０８を取り付ける。ここまでは、作業者が手動で
行う。次に、キーボードから自動光軸調整の指示を与え
ると、所定のプログラムに従って自動光軸調整作業が実
施される（ステップ１２２）。自動光軸調整作業が終了
したら、作業者は、スリット系および試料台に回折測定
用の部品を取り付ける（ステップ１２４）。すなわち、
発散スリットボックスには、開き角１゜の発散スリット
を取り付け、散乱防止スリットボックスには、開き角１
゜の散乱防止スリットを妃り付け、受光スリットボック
スには、開き幅０．３ｍｍの受光スリットを取り付け
る。試料台には試料板を取り付ける。

第９図は自動光軸調整手順の概要を示す。まず、θ回転
モータを早送りして試料台をθ＝−９０゜の位置にする
（ステップ１２６）。こうすると、入射Ｘ線は光軸調整
治具の貫通穴を通過することになる。次に、Ｘ線管を２
０ｋＶ，５ｍＡの条件で作動させる（ステップ１２
８）。そして、Ｘ線シャッターを開く（ステップ１３
０）。それから、ゴニオメータ基台位置の調整（ステッ
プ１３２）、２θ＝ゼロの確認（ステップ１３４）、θ
＝ゼロの調整（ステップ１３６）を順に実施する。最後
に、Ｘ線シャッターを閉じて（ステップ１３８）、光軸
調整が終了する。

第１０ａ図から第１０ｃ図まではゴニオメータ基台位置
の調整の手順を詳細に示す。まず、２θ＝−３゜〜＋３
゜の範囲で、Ｘ線強度を測定しながら検出器アーム台を
スキャンする（ステップ１４０）。そのとき、２θの値
とＸ線強度を記憶する（ステップ１４２）。次に、上述
のスキャンの範囲内にピークがあるか判定する（ステッ
プ１４４）。ピークがないときは、ＣＲＴディスプレイ
にエラーメッセージを表示して（ステップ１４６）、自
動光軸調整を中止する。ピークがあれば、そのピークが
２θ＝±０．１８゜の範囲内にあるか判定する（ステッ
プ１４８）。この範囲は、上述の第１表に示したよう
に、ゴニオメータ基台の最大動作範囲内に設定されてい
る。この範囲内にピークが無ければＣＲＴディスプレイ
にエラーメッセージを表示して（ステップ１５０）、自
動光軸調整を中止する。ピークがこの範囲内にあれば、
ピーク１５１の半価幅δの２分の１を計算し記憶する
（ステップ１５２）。次に、ピークの位置がプラス側か
マイナス側かを判定する（ステップ１５４）。マイナス
側のピーク１５３のときは、そのまま第１０ｂ図の手順
に進む。プラス側のピーク１５５のときは、α＝２７０
゜となるように偏心カムを早送りする（ステップ１５
６）。なお、偏心カムは最初はα＝０゜の位置に設定さ
れている。α＝２７０゜にするには、パルスモータ８２
（第４図）に３７５パルスを供給すれば良い。このよう
にすると、第５図において、カム従動子１００は最も右
側に来た状態となり、プラス側のピーク１５５はマイナ
ス側に移動する。このように、ゴニオメータ基台を調整
するときは、ピークが常にマイナス側からゼロに近付い
ていくようにし、光軸調整の再現性を高めている。

次に、第１０ｂ図で、２θ＝（Ｏ＋δ／２）゜となるよ
うに、検出器アーム台を早送りする（ステップ１５
８）。そして、偏心カムをゆっくりスキャンする（ステ
ップ１６０）。すると、マイナス側のピーク１５３はゆ
っくりとプラス側へ移動することになり、２θ＝（Ｏ＋
δ／２）゜の位置で観測していると、Ｘ線強度が徐々に
大きくなってくる。そして、Ｘ線強度が、これまで観測
された最大強度すなわちピーク高さｈ、の４０％に達し
たか判定する（ステップ１６２）。達しない場合は偏心
カムの回転を続ける。４０％に達したら、偏心カムを停
止する（ステップ１６４）。その時点で、検出器アーム
台を移動させて、２θ＝（Ｏ＋δ／２）゜の位置でのＸ
線強度Ｉ_ｐと、２θ＝（Ｏ−δ／２）゜の位置でのＸ線
強度Ｉ_ｍとを観測して記憶する（ステップ１６６）。次
に、Ｉ_ｐとＩ_ｍとの差が十分小さいことを確認する。す
なわち、（｜Ｉ_ｐ−Ｉ_ｍ｜）／（Ｉ_ｐ＋Ｉ_ｍ）≦０．０
５を判定する（ステップ１６８）。差が十分小さけれ
ば、ゴニオメータ基台の位置調整が完了したことにな
り、２θ＝ゼロの確認（ステップ１３４）に進む。その
際、ゴニオメータ基台２０を電磁ロックでプレート１８
に固定する。Ｉ_ｐとＩ_ｍとの差が十分小さくなければ、
第１０図ｃに移って、Ｉ_ｍがＩ_ｐより大きいか判定する
（ステップ１７０）。ピークはマイナス側から近付いて
いるので、通常は、Ｉ_ｍはＩ_ｐより大きく、そのとき
は、偏心カムを１パルス分だけ微小回転させる（ステッ
プ１７２）。すると、ピークはわずかにプラス側に移動
し、この状態で、もう一度、第１０図ｂのステップ１６
６に戻る。なお、光軸調整作業中にＸ線源の強度が変化
するようなときは、ステップ１７０の判定は必ずしもＹ
ＥＳにならない。すなわち、最大強度測定時のＸ線源の
強度と比べて、ステップ１６２の測定の際のＸ線源の強
度の方が小さくなっていると、Ｉ_ｐの方がＩ_ｍより大き
くなることがある。このときは、偏心カムを４８８パル
ス分だけ回転させてやる（ステップ１７４）。すなわ
ち、５００−４８８＝１２パルス分だけ、ピークをマイ
ナス側に戻してやったことになる。そして、再度、ステ
ップ１６６からやり直す。いずれにしても、最終的には
ステップ１６８の判定がＹＥＳとなって、ゴニオメータ
基台の調整が完了する。

次に、第１１図に移って、２θ＝ゼロの確認を行う。ま
ず、２θ＝−０．１２゜〜＋０．１２゜の範囲で、Ｘ線
強度を測定しながら検出器アーム台をスキャンする（ス
テップ１７６）。そのとき記憶されたピーク・プロファ
イルから、ピーク位置を決定し、これを記憶する（ステ
ップ１７８）。このピーク位置のところが２θ＝ゼロの
位置である。したがって、次に検出器アーム台を回転さ
せて、２θをピーク位置のところにもってくる（ステッ
プ１８０）。これで、検出器アーム台は正確に２θ＝ゼ
ロの位置に設定された。そして、θ＝ゼロの調整（ステ
ップ１３６）に移る。

第１２図は、θ＝ゼロの調整手順を示す。まず、試料台
を、現在の位置（θ＝−９０゜）から＋１０゜まで、早
送りで回転させ、ピークの予備測定を行う（ステップ１
８２）。次に、観測されたピーク位置の付近で、すなわ
ちθ＝（ピーク位置±０．０２゜）の範囲で、試料台を
ゆっくりスキヤンする（ステップ１８４）。そして、ピ
ーク位置を決定しこれを記憶する（ステップ１８６）。
このピーク位置がθ＝ゼロの位置となる。これで、θ＝
ゼロの調整が完了し、第９図のステップ１３８に戻る。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明は、ゴニオメータ基台とＸ線
検出器アーム台と試料台とをそれぞれ、基台回転モータ
と２θ回転モータとθ回転モータとによって駆動し、こ
れらのモータを制御装置によって独立に制御できるよう
にしたので、ゴニオメータの光軸調整を自動化できる効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を備えるＸ線回折装置の概略
平面図、 第２図はその一部を断面にした正面図、 第３図は本発明の一実施例の制御系のブロック図、 第４図はこの実施例で使用するゴニオメータ基台駆動機
構の要部の斜視図、 第５図はこの駆動機構の動作説明図、 第６図はこの駆動機構の動作線図、 第７ａ図と第７ｂ図はこの実施例で使用する光軸調整治
具の二つの使用状態を示す斜視図、 第８図は自動光軸調整作業の前後の手順を示すフローチ
ャート、 第９図は自動光軸調整の概略手順を示すフローチャー
ト、 第１０ａ図から第１０ｃ図まではゴニオメータ基台の位
置調整手順を示すフローチャート、 第１１図は２θ＝ゼロの確認手順を示すフローチャー
ト、 第１２図はθ＝ゼロの調整手順を示すフローチャートで
ある。 １４……Ｘ線管 ２０……ゴニオメータ基台 ２２……試料台 ２４……Ｘ線検出器アーム台 ２８……Ｘ線検出器 ４０……θ回転モータ ４２，４６……ウォームホイール ４４，４８……ウォーム ５０……２θ回転モータ ５８……制御装置 ９６……偏心カム １００……カム従動子

フロントページの続き (72)発明者 平島 修 東京都昭島市松原町３―９―12 理学電機 株式会社拝島工場内 (72)発明者 大沢 登 東京都昭島市松原町３―９―12 理学電機 株式会社拝島工場内 (72)発明者 浅野 繁松 東京都昭島市松原町３―９―12 理学電機 株式会社拝島工場内 (72)発明者 川崎 浩 東京都昭島市松原町３―９―12 理学電機 株式会社拝島工場内 (72)発明者 坂田 政隆 東京都昭島市松原町３―９―12 理学電機 株式会社拝島工場内 (72)発明者 吉沢 和幸 東京都昭島市松原町３―９―12 理学電機 株式会社拝島工場内 (56)参考文献 特開 平１−127940（ＪＰ，Ａ) 特開 昭47−45987（ＪＰ，Ａ) 特公 昭52−41075（ＪＰ，Ｂ２)

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】Ｘ線源に対して回転可能なゴニオメータ基
   台と、前記ゴニオメータ基台に対して回転可能であって
   Ｘ線検出器が取り付けられているＸ線検出器アーム台
   と、前記ゴニオメータ基台に対して回転可能な試料台と
   を有するＸ線回折装置において、 (a) 基台回転モータと、 (b) ２θ回転モータと、 (c) θ回転モータと、 (d) 前記基台回転モータの回転を前記ゴニオメータ基
   台に伝達する第１伝動機構と、 (e) 前記２θ回転モータの回転を前記Ｘ線検出器アー
   ム台に伝達する第２伝動機構と、 (f) 前記θ回転モータの回転を前記試料台に伝達する
   第３伝動機構と、 (g) 前記Ｘ線検出器の出力のピーク情報に基づいて、
   前記基台回転モータと前記２θ回転モータと前記θ回転
   モータとを独立に制御する制御装置と、 と有することを特徴とする、ゴニオメータの自動光軸調
   整装置。