JPH0644005B2 - 流速センサ - Google Patents
流速センサInfo
- Publication number
- JPH0644005B2 JPH0644005B2 JP1186092A JP18609289A JPH0644005B2 JP H0644005 B2 JPH0644005 B2 JP H0644005B2 JP 1186092 A JP1186092 A JP 1186092A JP 18609289 A JP18609289 A JP 18609289A JP H0644005 B2 JPH0644005 B2 JP H0644005B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow velocity
- velocity sensor
- sensor chip
- pin
- protrusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は流速センサに関し、特に流速センサチップの保
護に関するものである。
護に関するものである。
従来の流速センサを第３図に示す。同図において、１は
基板、２は流速センサチップ、３はワイアボンド、４は
スルーホールパッド、５はピン、６は被測定流体の流れ
る方向を示す矢印である。第３図において、基板１に流
速センサチップ２が接着されている。基板１にはスルー
ホールパッド４がつくられており、スルーホールパッド
４の裏側の面にピン５がろう付けによって立てられてい
る。流速センサチップ２はワイアボンド３によってスル
ーホールパッド４と電気的コンタクトがされている。
基板、２は流速センサチップ、３はワイアボンド、４は
スルーホールパッド、５はピン、６は被測定流体の流れ
る方向を示す矢印である。第３図において、基板１に流
速センサチップ２が接着されている。基板１にはスルー
ホールパッド４がつくられており、スルーホールパッド
４の裏側の面にピン５がろう付けによって立てられてい
る。流速センサチップ２はワイアボンド３によってスル
ーホールパッド４と電気的コンタクトがされている。
このように、従来の流速センサにおいては、センサを流
体にさらさなければならないため、流速センサチップ２
が露出しており、また、配線のためのワイアボンド３も
露出している。流速センサチップ２は感度を上げるため
微細加工され、非常に繊細にできており、また、ワイア
ボンド３も２０〜２５μφの細線でできている。
体にさらさなければならないため、流速センサチップ２
が露出しており、また、配線のためのワイアボンド３も
露出している。流速センサチップ２は感度を上げるため
微細加工され、非常に繊細にできており、また、ワイア
ボンド３も２０〜２５μφの細線でできている。
従来の流速センサは上述したような構成であるので、流
速センサの取扱い中に誤って流速センサチップ２の表面
に触れたり、流速センサを落としたりすると、流速セン
サが動作不良になるような破損をする可能性が大きかっ
た。
速センサの取扱い中に誤って流速センサチップ２の表面
に触れたり、流速センサを落としたりすると、流速セン
サが動作不良になるような破損をする可能性が大きかっ
た。
このような課題を解決するために本発明は、接続導体を
表面に有する基台に流速センサチップを装着し、接続導
体と流速センサチップのパッド部とを電気接続手段で接
続した流速センサにおいて、この電気接続手段の高さよ
りも基台からの高さが高くなる突起を、流速センサチッ
プ上に流線の上流側の領域以外の領域に少なくとも１個
配置するようにしたものである。
表面に有する基台に流速センサチップを装着し、接続導
体と流速センサチップのパッド部とを電気接続手段で接
続した流速センサにおいて、この電気接続手段の高さよ
りも基台からの高さが高くなる突起を、流速センサチッ
プ上に流線の上流側の領域以外の領域に少なくとも１個
配置するようにしたものである。
本発明による流速センサは、流速センサチップや電気接
続手段に触れにくく、また落としても破損しにくい。し
かも、流速センサとしての特性は損なわれない。
続手段に触れにくく、また落としても破損しにくい。し
かも、流速センサとしての特性は損なわれない。
第１図は本発明による流速センサの第１の実施例を示す
構成図である。第１図の実施例は、第３図において裏面
にろう付けされていたピン５をスルーホールを貫通して
表面に突出させてピン５′としたものである。ピン５′
の高さはワイアボンド３の高さよりも適宜高くなるよう
にする。こうすることで、このピン５′がバリアになっ
て、流速センサチップ２やワイアボンド３に触れにくく
なる。また、ピン５′があるため、流速センサを落とし
ても、ピン５′で保護され破損しにくい。ピン５′は流
れ方向６に平行に並ぶようにし、流速センサチップ２の
前面にはピン５′がないように配置すれば、流速の検出
には影響しない。
構成図である。第１図の実施例は、第３図において裏面
にろう付けされていたピン５をスルーホールを貫通して
表面に突出させてピン５′としたものである。ピン５′
の高さはワイアボンド３の高さよりも適宜高くなるよう
にする。こうすることで、このピン５′がバリアになっ
て、流速センサチップ２やワイアボンド３に触れにくく
なる。また、ピン５′があるため、流速センサを落とし
ても、ピン５′で保護され破損しにくい。ピン５′は流
れ方向６に平行に並ぶようにし、流速センサチップ２の
前面にはピン５′がないように配置すれば、流速の検出
には影響しない。
第２図はスルーホールを持たない通常の基板１′を用い
た第２の実施例である。
た第２の実施例である。
第２図の実施例は流速センサチップ２の両側についたて
７を設置し、流速センサチップ２に触れにくくなるよう
にしている。また、落としても破損しくにいことは第１
図の実施例と同様である。なお、５″はリードピンであ
る。
７を設置し、流速センサチップ２に触れにくくなるよう
にしている。また、落としても破損しくにいことは第１
図の実施例と同様である。なお、５″はリードピンであ
る。
以上説明したように本発明は、電気接続手段の高さより
も基台からの高さが高くなる突起を、流速センサチップ
上に流線の上流側の領域以外の領域に少なくとも１個配
置したことにより、流速センサチップや電気接続手段に
触れ難くなり、また落としても、突起が保護機能を有す
るので、上記流速センサチップや電気接続手段の破損を
防止できる効果がある。また、突起は被測定流体の流れ
を乱さないように取り付けたことにより、流速センサの
特性を損なわない効果がある。
も基台からの高さが高くなる突起を、流速センサチップ
上に流線の上流側の領域以外の領域に少なくとも１個配
置したことにより、流速センサチップや電気接続手段に
触れ難くなり、また落としても、突起が保護機能を有す
るので、上記流速センサチップや電気接続手段の破損を
防止できる効果がある。また、突起は被測定流体の流れ
を乱さないように取り付けたことにより、流速センサの
特性を損なわない効果がある。
第１図〜第２図は本発明による流速センサの第１の実施
例〜第２の実施例を示す構成図、第３図は従来の流速セ
ンサを示す構成図である。 １，１′……基板、２……流速センサチップ、３……ワ
イアボンド、４……スルーホールパッド、５，５′，
５″……ピン。
例〜第２の実施例を示す構成図、第３図は従来の流速セ
ンサを示す構成図である。 １，１′……基板、２……流速センサチップ、３……ワ
イアボンド、４……スルーホールパッド、５，５′，
５″……ピン。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安部 健 神奈川県川崎市高津区梶ケ谷２―11―２ (72)発明者 岡林 誠 大阪府大阪市中央区平野町４―１―２ 大 阪瓦斯株式会社内 (72)発明者 早川 秀樹 大阪府大阪市中央区平野町４―１―２ 大 阪瓦斯株式会社内 (72)発明者 安田 弘一 愛知県豊田市若林西町北間57 (72)発明者 青島 滋 神奈川県藤沢市川名１丁目12番２号 山武 ハネウエル株式会社藤沢工場内 (72)発明者 上運天 昭司 神奈川県藤沢市川名１丁目12番２号 山武 ハネウエル株式会社藤沢工場内 (72)発明者 落合 耕一 神奈川県藤沢市川名１丁目12番２号 山武 ハネウエル株式会社藤沢工場内
Claims (2)
- 【請求項１】接続導体を表面に有する基台に流速センサ
チップを装着し、前記接続導体と前記流速センサチップ
のパッド部とを電気接続手段で接続した流速センサにお
いて、 前記電気接続手段の高さよりも基台からの高さが高くな
る突起を、前記流速センサチップ上に流線の上流側の領
域以外の領域に少なくとも１個配置したことを特徴とす
る流速センサ。 - 【請求項２】請求項１において、前記突起が板であり、
前記板の長手方向が前記流速センサチップ上の流線に平
行になるように前記板を前記流速センサチップの両側に
配置したことを特徴とする流速センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1186092A JPH0644005B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 流速センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1186092A JPH0644005B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 流速センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353170A JPH0353170A (ja) | 1991-03-07 |
| JPH0644005B2 true JPH0644005B2 (ja) | 1994-06-08 |
Family
ID=16182229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1186092A Expired - Lifetime JPH0644005B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 流速センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0644005B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5434873A (en) * | 1977-08-24 | 1979-03-14 | Toyoda Chuo Kenkyusho Kk | Sensor for thermoelectric anemometer |
| JPS6047989B2 (ja) * | 1979-11-30 | 1985-10-24 | 株式会社豊田中央研究所 | 熱電式風速計用検出体 |
| US4829818A (en) * | 1983-12-27 | 1989-05-16 | Honeywell Inc. | Flow sensor housing |
| JPS6396563A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-27 | Shizuoka Seiki Co Ltd | 風速センサ |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP1186092A patent/JPH0644005B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0353170A (ja) | 1991-03-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
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| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100608 Year of fee payment: 16 |
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