JPH0644785U - コンテナ置台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハカセットの搬送途中や保管中に、ある
いは待機中における密閉コンテナ内のウエハの汚染や酸
化膜の成長等を確実に防止することができるコンテナ置
台を提供することを目的とする。 【構成】 電子機器用の基板を収納して搬送するための
密閉コンテナ１用のコンテナ置台であって、上記密閉コ
ンテナの、蓋部材２０で閉蓋される開口の少なくとも開
口端部全周もしくは少なくとも当該開口端部全周と上記
蓋部材２０の外周部を受け、上記密閉コンテナ側から押
圧力を付与されるガスケット６１を有することを特徴と
する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、クリーンルームに用いられる可搬式密閉コンテナ等に用いて好適な コンテナ置台に関する。

【０００２】

【従来の技術】

例えば、半導体の製造は、内部雰囲気を清浄化したクリーンルーム内において 行なわれるが、クリーンルーム内での工程間搬送は、半導体ウエハへの塵埃の付 着を防ぐために当該半導体ウエハや液晶基板を収納したカセットを可搬式の密閉 コンテナに収納して行なう。

【０００３】 更に、近年、半導体ウエハの自然酸化による酸化膜の成長を防止するために、 上記密閉コンテナの内部雰囲気を窒素Ｎ₂ ガス等のウエハにとって不活性なガス で置換するようにしている。

【０００４】 この種の密閉コンテナの１例を図１３に示す。同図において、１０は可搬式の 密閉コンテナ（ＰＯＤ）１の本体、１１は本体１０の開口部１２の開口端に形成 された周突起、１３は開口部１２に形成されたフランジ、１４は把手である。２ ０は密閉コンテナの中空の底蓋であって、閉蓋状態で本体１の開口部１２内に突 出する台面部２１を有し、閉蓋状態でフランジ１３で覆われる本体受け面部２２ が台面部２１を取り巻いて形成されており、本体受け面部２２の上記周突起１１ が当たる部分にシール材２３が嵌着されている。２４はシール材２３を嵌着する 周溝である。この底蓋２０の台面部２１に半導体ウエハＷを収納したウエハカセ ッ２００を載置する。

【０００５】 この底蓋２０は、複数本のロックアーム２５をフランジ１３の内周面に形成さ れた係合孔１３Ａに係合して本体１０に保持される。ロックアーム２５は底蓋２ ０の外周壁から半径方向に進退駆動されるが、その駆動機構（施錠／解状機構） の１例を図１４に示す。同図において、３０は、密閉コンテナ１からカセットを 取り出したり収納したりする、例えば拡散炉や反応炉の装置、コンテナ保管庫等 内に設けられている昇降台を示している。

【０００６】 図１４において、ロックアーム２５は板状であって、で転動子２７ａを有し、 長手方向進退可能かつ傾倒可能に片持ち支持されている。２６はカム、２７は支 点部材、２８はばねである。カム軸２９は昇降台３０の上壁中央から蓋２０内に 伸び、昇降台３０上に底蓋２０が同心に載置された時にカム３１とスプライン係 合する。昇降台３０はカム軸２９を所定角度だけ回動するカム軸駆動機構３２を 内蔵しており、このカム軸駆動機構３２とカム軸２９は解錠／施錠機構を構成し ている。

【０００７】 図１５は、可搬式の密閉コンテナ（ＰＯＤ）の他の例を示したもので、底蓋２ ０は前記シール材２３を備えておらず、また、施錠／解状機構は、図１６に示す ような止め金方式である。図において、３３は引っ掛け孔３３ａを有する止め金 、３４はばね３５で付勢されたレバーである。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

前記したように、クリーンルーム内での工程間搬送は、半導体ウエハへの塵埃 の付着を防ぐために当該半導体ウエハや液晶基板を収納したカセットを図１５に 示すような可搬式の密閉コンテナに収納して行ない、また、半導体ウエハの自然 酸化による酸化膜の成長を防止するために、図１３に示すような可搬式の密閉コ ンテナに収納して行なうが、シール性が充分ではないので、密閉コンテナに収納 してウエハ保管庫等に保管している間に、密閉コンテナ内に塵埃が侵入してウエ ハを汚染したり、密閉コンテナ内の不活性ガス等がコンテナから逃散して不活性 ガス濃度が低下したりする恐れがある。

【０００９】 本考案はこの問題を解消するためになされたもので、搬送途中や保管中に、あ るいは待機中における密閉コンテナ内のウエハの汚染や酸化膜の成長等を確実に 防止することができるコンテナ置台を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

本考案は上記目的を達成するため、 請求項１では、電子機器用の基板を収納して搬送するための密閉コンテナ用の コンテナ置台であって、上記密閉コンテナの、蓋部材で閉蓋される少なくとも開 口の開口端部全周もしくは少なくとも当該開口端部全周と上記蓋部材の外周部を 受け、上記密閉コンテナ側から押圧力を付与されるガスケットを有する構成とし た。

【００１１】 請求項２では、ガスケットの内周面はテーパ面である構成とした。

【００１２】 請求項３では、ガスケットは、内周側に開口する断面コ字型の弾性拡径可能な 筒状壁を有する構成とした。

【００１３】 請求項４では、ガスケットは平板状の専用の台に固定される構成とした。

【００１４】 請求項５では、専用の台上には、コンテナ押えユニットが搭載されており、コ ンテナ押えユニットが密閉コンテナに押圧力を付与する構成とした。

【００１５】 請求項６では、ガスケットは、コンテナ搬送車の荷台に設けられている構成と した。

【００１６】 請求項７では、押圧力を付与する手段はコンテナ搬送車に搭載されている移載 ロボットであるようにした。

【００１７】 請求項８では、押圧力を付与する手段は、密閉コンテナの上壁に当接する当接 面の広い押圧部を有し、押圧力は当該押圧部に付与される構成とした。

【００１８】

【作用】

本考案では、コンテナ本体の開口と当該開口を閉鎖する蓋との間の隙間が、ガ スケットにより気密にシールされる。

【００１９】

【実施例】

以下、本考案の１実施例を図面を参照して説明する。

【００２０】 図１において、６０はコンテナ置台の平板状の台であって、その上面には、所 定幅を有する環状のガスケット６１が固着されている。また、台６０の、ガスケ ット６１より外側には、周方向に所定間隔を隔てて、複数個のコンテナ押えユニ ット７０が設けられている。このコンテナ押えユニット７０は、手動型のテコ式 のものであって、先端部に押圧杆７１を固定したＬ字形の部材７２と、当該部材 ７２をピン７３連結したハンドル７４と、当該部材７２をピン７５連結したレバ ー体７６と、レバー７７を備えている。レバー７７はその両端をピン７８、７９ でレバー体７６とハンドル７４とに連結されている。８０はユニット基台である 。なお、このコンテナ置台は、ウエハ保管庫の棚やクリーンルーム内のウエハ待 機位置等に配設する。

【００２１】 本実施例では、コンテナ押えユニット７０のハンドル７４を図に鎖線で示す位 置へ上方に回動しておいて、密閉コンテナ１を台６０上の環状のガスケット６１ の上に置く。この状態では、密閉コンテナ１のフランジ１３の端面の全周がガス ケット６１の上面の径方向幅中央部に係合する。このように密閉コンテナ１を置 いたのち、コンテナ押えユニット７０のハンドル７４を図に実線で示す板まで下 に下げる。ハンドル７４を下に下げると、押圧杆７１がフランジ１３上へ回動し 、当該フランジ１３に押圧力を作用するので、フランジ１３の端面の全周がガス ケット６１に圧接し、ガスケット６１と台６０およびフランジ１３が囲む空間Ａ を外部に対して気密に遮断する。

【００２２】 従って、密閉コンテナ１の本体１０と底蓋２０との間のシール性が不完全であ っても、本体１０内への塵埃等の侵入を完全に遮断することが可能となる。

【００２３】 図２は、図１３の密閉コンテナ１を台６０上の環状のガスケット６１上に載せ た状態を示している。この例では、密閉コンテナ１のフランジ１３の端面の全周 と底蓋２０の下面外周端縁部とがガスケット６１の上面に圧接し、フランジ１３ の内周面と底蓋２０の外周面とが作る環状の隙間Ｇの開口端をガスケット６１が 気密にシールすることになる。

【００２４】 なお、例えば、移載ロボットを搭載したコンテナ搬送用無人車の荷台にガスケ ット６１を設け、移載ロボットのアームで上記押圧力を与えるようにすれば、台 ６０やコンテナ押えユニット７０は不要となる。

【００２５】 図３および図４は、コンテナ押えユニット７０として自動型のものを用いた場 合を示している。このコンテナ押えユニット７０は、制御ユニット８１内の図５ に示すモータ８２の回動力を減速機８３を介して伝達されるレバー８４を利用し ており、密閉コンテナ１が台６０のガスケット６１上に載置されたことを知らせ るコンテナ載置検知信号を受けると制御器８５がモータ８２を例えば所定角度だ け正転させ、レバー８４をフランジ１３え回動させ、位置センサ８５からの信号 により所定量回動したことを検知すると当該回動を停止させる。

【００２６】 図６は、コンテナ押えユニット７０として他の自動型のものを用いた場合を示 している。このコンテナ押えユニット７０は、レバーを用いる点では図３および 図４のものと同じであるが、本実施例では、レバー９１で本体１の上壁を上から 押さえるようにしてある。このレバー９１の、本体１上壁に係合する押圧部９３ はＴ字状として本体１上壁に加わる押圧力が局部的にではなく分散して加わるよ うにし、この押圧力はレバー本体９２からコイルばね９４を介してを伝達される 構成となっている。制御ユニット９５は前記ータ制御ユニット８１と同じように レバー９１を駆動する。

【００２７】 押圧部９３はＴ字状とし、コイルばね９４を用いているのは、本体１は、通常 、薄い合成樹脂製であるので、本体１の上壁の変形を防止するためである。

【００２８】 図７は、コンテナ押えユニット７０として更に他の自動型のものを用いた場合 を示している。このコンテナ押えユニット７０は、鉛直方向のねじ杆９６と、一 端側でこのねじ杆９６に螺合する押圧杆９７と当該押圧杆９７の他方端部に連結 されたＴ字状の押圧部９８を有し、押圧力は押圧杆９７からコイルばね９４を介 して押圧部９８に伝達される構成となっている。なお、ねじ杆９６を回転駆動す る駆動源や制御部、また、ねじ杆９６の上下動をガイドするガイド体は図示を省 いてある。

【００２９】 図８は、ガスケットの他の例を示したものである。ガスケット１００は、図９ に拡大して示すように、ガスケット６１と同じような形状のガスケット本体１０ １と、このガスケット本体１０１の外周面から上にコ字型に伸びる筒状壁１０２ を有し、筒状壁１０２の上端には内側に屈曲した折れ部１０３が形成されている 。

【００３０】 この構成では、筒状壁１０２は弾性拡径可能な厚さに形成されており、ガスケ ット１００に置かれる本体１のフランジ１３がこの筒状壁１０２を弾性拡径しつ つガスケット本体１０１上に置かれ、筒状壁１０２の屈曲した部分の外面がフラ ンジ１３の外周面に気密に圧接することになる。

【００３１】 ガスケット６１は、図１２に示すように、内周面をテーパ面６１Ａとしてもよ い。このようにすれば、必要な上記押圧力は小さくて済む。

【００３２】 図９および図１０は本考案の他の例を示したもので、台６０上に設けるガスケ ット１０３を平板状とした点において、上記図１および図２の実施例と異なる。

【００３３】

【考案の効果】 本考案は以上説明した通り、密閉コンテナの、蓋部材で閉蓋される開口の開口 端部全周もしくは当該開口端部全周と蓋部材外周部を受け、上記密閉コンテナ側 から押圧力を付与されるガスケットを有する構成としたので、搬送車や保管庫、 あるいは待機中位置に設ければ、搬送中や保管中、あるいは待機中における密閉 コンテナ内のウエハの汚染や酸化膜の成長等を確実に防止することができる利点 がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す縦断面図である。

【図２】本考案の他の実施例を示す縦断面図である。

【図３】本考案の他の実施例を示す縦断面図である。

【図４】本考案の他の実施例を示す縦断面図である。

【図５】上記図４の実施例における制御ユニットの１例
を示す図である。

【図６】本考案の他の実施例を示す縦断面図である。

【図７】本考案の他の実施例を示す縦断面図である。

【図８】本考案の他の実施例を示す縦断面図である。

【図９】上記図８の実施例におけるガスケットの拡大断
面図である。

【図１０】本考案の他の実施例を示す縦断面図である。

【図１１】本考案の他の実施例を示す縦断面図である。

【図１２】本考案におけるガスケットの他の例を示す図
だある。

【図１３】従来の可搬式密閉コンテナを示す断面図であ
る。

【図１４】図１３の例の一部拡大断面図である。

【図１５】従来の可搬式密閉コンテナの他の例を示す断
面図である。

【図１６】図１５の例の一部拡大断面図である。

【符号の説明】

１ 可搬式密閉コンテナ １０ 密閉コンテナの本体 １３ フランジ ２０ 密閉コンテナの底蓋 ６０ 台 ６１ ガスケット ６１ａ テーパ面 ７０ コンテナ押圧ユニット ９３、９８ 押圧部 ９４ コイルばね １００ ガスケット １０１ ガスケット本体 １０２ 筒状壁

フロントページの続き (72)考案者 森田 日也 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)考案者 河野 等 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内

Claims (8)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子機器用の基板を収納して搬送するた
   めの密閉コンテナ用のコンテナ置台であって、上記密閉
   コンテナの、蓋部材で閉蓋される開口の少なくとも開口
   端部全周もしくは少なくとも当該開口端部全周と上記蓋
   部材の外周部を受け、上記密閉コンテナ側から押圧力を
   付与されるガスケットを有することを特徴とするコンテ
   ナ置台。
2. 【請求項２】 ガスケットの内周面はテーパ面であるこ
   とを特徴とする請求項１記載のコンテナ置台。
3. 【請求項３】 ガスケットは、内周側に開口する断面コ
   字型の弾性拡径可能な筒状壁を有することを特徴とする
   請求項１記載のコンテナ置台。
4. 【請求項４】 ガスケットは平板状の専用の台に固定さ
   れていることを特徴とする請求項１記載のコンテナ置
   台。
5. 【請求項５】 専用の台上には、コンテナ押えユニット
   が搭載されており、コンテナ押えユニットが密閉コンテ
   ナに押圧力を付与することを特徴とする請求項４記載の
   コンテナ置台。
6. 【請求項６】 ガスケットは、コンテナ搬送車の荷台に
   設けられていることを特徴とする請求項１記載のコンテ
   ナ置台。
7. 【請求項７】 押圧力を付与する手段はコンテナ搬送車
   に搭載されている移載ロボットであることを特徴とする
   請求項６記載のコンテナ置台。
8. 【請求項８】 押圧力を付与する手段は、密閉コンテナ
   の上壁に当接する当接面の広い押圧部を有し、押圧力は
   当該押圧部に付与されることを特徴とする請求項５また
   は７記載のコンテナ置台。