JPH064681U - 抵抗測定装置 - Google Patents

抵抗測定装置

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JPH064681U
JPH064681U JP5014192U JP5014192U JPH064681U JP H064681 U JPH064681 U JP H064681U JP 5014192 U JP5014192 U JP 5014192U JP 5014192 U JP5014192 U JP 5014192U JP H064681 U JPH064681 U JP H064681U
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resistor
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厚 水野
直人 神津
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ４端子法測定において、任意の測定電流にて
高精度の抵抗測定が行なえるようにする。 【構成】 それぞれ被測定抵抗体に接続される各々が一
対の電流供給端子１０ａ，１０ｂおよび電圧検出端子１
１ａ，１１ｂと、電流供給端子１０ａ，１０ｂ間に接続
される内部電流源１３と、電圧検出端子１１ａ，１１ｂ
間に接続される第１の電圧測定部１６と、外部電流源１
２を接続するための一対の外部電流入力端子１２ａ，１
２ｂと、内部電流源１３と外部電流源１２のいずれか一
方を電流供給端子１０ａ，１０ｂに対して接続するスイ
ッチ手段１４，１５と、外部電流入力端子１２ａ，１２
ｂおよび電流供給端子１０ａ，１０ｂ間の電流路に接続
された抵抗値が既知の抵抗体１７と、同抵抗体１７に生
ずる電圧降下を測定する第２の電圧測定部１８と、第１
の電圧測定部１６および第２の電圧測定部１８からの出
力信号に基づいて被測定抵抗体の抵抗値を演算する演算
手段２０とを備え、外部電流源を使用可能とする。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この考案は抵抗測定装置に関し、さらに詳しく言えば、外部電流源を使用可能 とした４端子法による抵抗測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図２には４端子法による抵抗測定装置の典型的な従来例が示されている。これ によると、同抵抗測定装置はそれぞれ被測定抵抗体Ｒｘに接続される各々が一対 の電流供給端子１ａ，１ｂおよび電圧検出端子２ａ，２ｂを備えている。
【０００３】 電流供給端子１ａ，１ｂ間には内部電流源３が接続されており、また、電圧検 出端子２ａ，２ｂ間には電圧測定部４が接続されている。
【０００４】 測定に際しては、内部電流源３より電流供給端子１ａ，１ｂを介して測定電流 Ｉを被測定抵抗体Ｒｘに供給し、その時に同被測定抵抗体Ｒｘに生ずる電圧Ｖを 電圧測定部４にて測定する。これにより、被測定抵抗体Ｒｘの抵抗値ＲはＶ／Ｉ より求められるが、この例では電圧測定部４から出力されるアナログ信号をＡ／ Ｄ変換回路５にてデジタル信号に変換してＣＲＴなどのディスプレイ６に表示す るようにしている。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】
４端子法によると測定用導線の影響を殆ど受けることがないため、精度の高い 測定が行なえる。しかしながら、内部電源３から被測定抵抗体Ｒｘに供給される 測定電流が例えば１００ｍＡもしくは１０ｍＡなどに固定されており、任意の測 定電流にて測定することができないという問題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この考案は上記従来の事情に鑑みなされたもので、その構成上の特徴は、それ ぞれ被測定抵抗体に接続される各々が一対の電流供給端子および電圧検出端子と 、上記電流供給端子間に接続される内部電流源と、上記電圧検出端子間に接続さ れる第１の電圧測定部とを備え、４端子法にて上記被測定抵抗体の抵抗値を測定 する抵抗測定装置において、外部電流源を接続するための一対の外部電流入力端 子と、上記内部電流源と上記外部電流入力端子のいずれか一方を上記電流供給端 子に対して接続するスイッチ手段と、上記外部電流入力端子および上記電流供給 端子間の電流路に接続された抵抗値が既知の抵抗体と、同抵抗体に生ずる電圧降 下を測定する第２の電圧測定部と、上記第１の電圧測定部および上記第２の電圧 測定部からの出力信号に基づいて上記被測定抵抗体の抵抗値を演算する演算手段 とを備え、外部電流源を使用可能としたことにある。
【０００７】 この場合、上記演算手段は上記第１および第２の電圧測定部から出力されるア ナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換回路を含むＣＰＵからなること が好ましい。
【０００８】
【作用】
内部電流源を使用する場合は先に説明した従来例と同じであるが、外部電流源 を使用する場合にはスイッチ手段を切り換えて外部電流入力端子を電流供給端子 に接続する。
【０００９】 ここで、外部電流源より電流供給端子を介して被測定抵抗体に供給される測定 電流をＩ１とし、電圧検出端子を介して第１の電圧測定部にて測定される被測定 抵抗体の電圧降下をＶ１とする。また、抵抗体の既知抵抗値をＲａとし、電流Ｉ １ が流れることにより同抵抗体に電圧降下Ｖａが生じ、これが第２の電圧測定部 にて測定されると、測定電流Ｉ１はＶａ／Ｒａから求められることになる。
【００１０】 したがって、被測定抵抗体の抵抗値はＶ１／Ｉ１＝Ｖ１／（Ｖａ／Ｒａ）なる 式により求められる。
【００１１】
【実施例】
以下、図１を参照しながらこの考案の一実施例について説明する。これによる と、この抵抗測定装置はそれぞれ被測定抵抗体Ｒｘに接続される各々が一対の電 流供給端子１０ａ，１０ｂおよび電圧検出端子１１ａ，１１ｂのほかに、外部電 流源１２を接続するための外部電流入力端子１２ａ，１２ｂを備えている。
【００１２】 また、この装置は先に説明の従来例と同様に内部電流源１３を有しているが、 この場合、外部電流源１２と内部電流源１３はスイッチ１４，１５により電流供 給端子１０ａ，１０ｂに対して選択的に接続される。
【００１３】 すなわち、各スイッチ１４，１５ともに、外部電流源１２側に接続される接点 Ａと、内部電流源１３側に接続される接点Ｂとを備え、電流供給端子１０ａ，１ ０ｂ側に接続される切換片Ｃによってそのいずれかが選択されるようになってい る。
【００１４】 電圧検出端子１１ａ，１１ｂ間には第１の電圧測定部１６が接続されている。 また、外部電流入力端子１２ａ，１２ｂおよび電流供給端子１０ａ，１０ｂ間の 電流路には抵抗値が既知である抵抗体１７が接続されている。
【００１５】 この実施例では、抵抗体１７は外部電流入力端子１２ｂと電流供給端子１０ｂ との間の電流路に挿入されている。また、この抵抗体１７の両端には同抵抗体１ ７に生ずる電圧降下を測定する第２の電圧測定部１８が接続されている。
【００１６】 この実施例において、第１および第２の電圧測定部１６，１８から出力される アナログ信号はＡ／Ｄ変換回路１９にて交互にデジタル信号に変換された後、演 算手段としてのＣＰＵ（中央演算処理ユニット）２０に供給される。
【００１７】 内部電流源１３を使用する場合には、スイッチ１４，１５の各切換片Ｃをそれ ぞれ接点Ｂ側に切り換える。これにより、既知電流Ｉ０が被測定抵抗体Ｒｘに供 給されるとともに、その電圧降下Ｖ０が第１の電圧測定部１６にて検出される。 ＣＰＵ２０はＶ０／Ｉ０なる演算を行ない、その結果を被測定抵抗体Ｒｘの抵抗 値としてディスプレイ２１に表示する。
【００１８】 外部電流源１２を使用する場合には、スイッチ１４，１５の各切換片Ｃをそれ ぞれ接点Ａ側に切り換える。これにより、外部電流源１２から被測定抵抗体Ｒｘ に電流Ｉ１が供給され、第１の電圧測定部１６にてその電圧降下Ｖ１が測定され る。また、第２の電圧測定部１８においては、電流Ｉ１が流れることにより抵抗 値Ｒａの抵抗体１７に生ずる電圧降下Ｖａが検出される。
【００１９】 この電圧Ｖ１およびＶａはＡ／Ｄ変換回路１９にて交互にデジタル信号に変換 された後、ＣＰＵ２０に供給される。これを受けてＣＰＵ２０は、Ｖ１／（Ｖａ ／Ｒａ）なる演算を行ない、その結果を被測定抵抗体Ｒｘの抵抗値としてディス プレイ２１に表示する。
【００２０】 上記実施例では第１および第２の電圧測定部１６，１８の出力をＡ／Ｄ変換し た後、抵抗値を算出しているが、場合によってはアナログのまま抵抗値を算出す るようにしても良い。
【００２１】
【考案の効果】
以上説明したように、この考案によれば、それぞれ被測定抵抗体に接続される 各々が一対の電流供給端子１０ａ，１０ｂおよび電圧検出端子１１ａ，１１ｂと 、電流供給端子１０ａ，１０ｂ間に接続される内部電流源１３と、電圧検出端子 １１ａ，１１ｂ間に接続される第１の電圧測定部１６と、外部電流源１２を接続 するための一対の外部電流入力端子１２ａ，１２ｂと、内部電流源１３と外部電 流源１２のいずれか一方を電流供給端子１０ａ，１０ｂに対して接続するスイッ チ手段１４，１５と、外部電流入力端子１２ａ，１２ｂおよび電流供給端子１０ ａ，１０ｂ間の電流路に接続された抵抗値が既知の抵抗体１７と、同抵抗体１７ に生ずる電圧降下を測定する第２の電圧測定部１８と、第１の電圧測定部１６お よび第２の電圧測定部１８からの出力信号に基づいて被測定抵抗体の抵抗値を演 算する演算手段２０とを備え、外部電流源を使用可能としたことにより、任意の 電流を被測定抵抗体に供給してその抵抗値を高精度に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この考案の一実施例に係る抵抗測定装置の回路
図
【図２】従来例を示した概略的な回路図。
【符号の説明】
１０ａ，１０ｂ 電流供給端子 １１ａ，１１ｂ 電圧検出端子 １２ 外部電流源 １２ａ，１２ｂ 外部電流入力端子 １３ 内部電源 １４，１５ スイッチ １６，１８ 電圧測定部 １９ Ａ／Ｄ変換回路 ２０ ＣＰＵ

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 それぞれ被測定抵抗体に接続される各々
    が一対の電流供給端子および電圧検出端子と、上記電流
    供給端子間に接続される内部電流源と、上記電圧検出端
    子間に接続される第１の電圧測定部とを備え、４端子法
    にて上記被測定抵抗体の抵抗値を測定する抵抗測定装置
    において、外部電流源を接続するための一対の外部電流
    入力端子と、上記内部電流源と上記外部電流入力端子の
    いずれか一方を上記電流供給端子に対して接続するスイ
    ッチ手段と、上記外部電流入力端子および上記電流供給
    端子間の電流路に接続された抵抗値が既知の抵抗体と、
    同抵抗体に生ずる電圧降下を測定する第２の電圧測定部
    と、上記第１の電圧測定部および上記第２の電圧測定部
    からの出力信号に基づいて上記被測定抵抗体の抵抗値を
    演算する演算手段とを備え、外部電流源を使用可能とし
    たことを特徴とする抵抗測定装置。
  2. 【請求項２】 上記演算手段は上記第１および第２の電
    圧測定部から出力されるアナログ信号をデジタル信号に
    変換するＡ／Ｄ変換回路を含むＣＰＵからなることを特
    徴とする請求項１に記載の抵抗測定装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008198832A (ja) * 2007-02-14 2008-08-28 Nec Electronics Corp 素子特性測定回路及び半導体装置

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