JPH0647624A - 放電加工装置 - Google Patents
放電加工装置Info
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- JPH0647624A JPH0647624A JP20390792A JP20390792A JPH0647624A JP H0647624 A JPH0647624 A JP H0647624A JP 20390792 A JP20390792 A JP 20390792A JP 20390792 A JP20390792 A JP 20390792A JP H0647624 A JPH0647624 A JP H0647624A
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- fluid
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 加工条件により最適な電導度に調整された加
工液を加工間隙に迅速に供給可能な放電加工装置を提供
する。 【構成】 加工スラッジ６が除去された第２タンク８内
の加工液５を、荒加工時は制御手段１９が管路２２，２
５を介して加工間隙へ供給するように制御し、そのと
き、第２タンク８内の加工液５の電導度が、第１電導度
判別手段１５の設定レベル以上になると、制御手段１９
によりイオン交換手段１７ａを通した加工液を管路２３
ａ，２４を介して第２タンク８に戻しながら、加工液５
を加工間隙に供給する。また、仕上加工時は制御手段１
９がイオン交換手段１７ａを通した加工液５を管路２３
ａ，２５を介して加工間隙へ供給するよう制御する。
工液を加工間隙に迅速に供給可能な放電加工装置を提供
する。 【構成】 加工スラッジ６が除去された第２タンク８内
の加工液５を、荒加工時は制御手段１９が管路２２，２
５を介して加工間隙へ供給するように制御し、そのと
き、第２タンク８内の加工液５の電導度が、第１電導度
判別手段１５の設定レベル以上になると、制御手段１９
によりイオン交換手段１７ａを通した加工液を管路２３
ａ，２４を介して第２タンク８に戻しながら、加工液５
を加工間隙に供給する。また、仕上加工時は制御手段１
９がイオン交換手段１７ａを通した加工液５を管路２３
ａ，２５を介して加工間隙へ供給するよう制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、放電加工装置に関する
ものであり、特に、電極と被加工物で形成される加工間
隙に水もしくは水を主体とする加工液を循環供給しなが
ら放電加工を行う放電加工装置に関するものである。
ものであり、特に、電極と被加工物で形成される加工間
隙に水もしくは水を主体とする加工液を循環供給しなが
ら放電加工を行う放電加工装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の放電加工装置に関連する
ものとして、特開平３−２３９４１４号公報に掲載の技
術を挙げることができる。
ものとして、特開平３−２３９４１４号公報に掲載の技
術を挙げることができる。
【０００３】従来の水もしくは水を主体とする加工液を
使用して放電加工を行う放電加工装置においては、放電
加工を行っているときにその時間経過に応じて、放電加
工中に発生する加工スラッジの一部が加工液中でイオン
化したり、空気中の炭酸ガスを溶解してイオン化するた
め加工液の電導度が高くなる。一方、安定な放電加工を
行なうには、荒加工時と仕上加工時等の加工条件の変化
に応じて加工液の電導度が所定範囲内に維持される必要
がある。
使用して放電加工を行う放電加工装置においては、放電
加工を行っているときにその時間経過に応じて、放電加
工中に発生する加工スラッジの一部が加工液中でイオン
化したり、空気中の炭酸ガスを溶解してイオン化するた
め加工液の電導度が高くなる。一方、安定な放電加工を
行なうには、荒加工時と仕上加工時等の加工条件の変化
に応じて加工液の電導度が所定範囲内に維持される必要
がある。
【０００４】例えば、水を主体としその中に有機化合物
を混ぜた加工液を使用する放電加工装置では、高速且つ
高精度という二つの要請に応え得るものが必要とされて
おり、電極と被加工物の対向面積が７００〜１０００ｃ
ｍ2 のような大面積の場合、高速加工では１００ｇ／ｍ
ｉｎ、高精度加工では仕上面粗さが３０μＲｍａｘ以下
の加工も可能になってきている。
を混ぜた加工液を使用する放電加工装置では、高速且つ
高精度という二つの要請に応え得るものが必要とされて
おり、電極と被加工物の対向面積が７００〜１０００ｃ
ｍ2 のような大面積の場合、高速加工では１００ｇ／ｍ
ｉｎ、高精度加工では仕上面粗さが３０μＲｍａｘ以下
の加工も可能になってきている。
【０００５】このように広い範囲に亘って加工エネルギ
ーを変えるような加工では、加工液の電導度を調整する
ことにより、加工安定度、加工精度が大幅に異なってく
る。なぜならば、水もしくは水を主体とし、その中に有
機化合物を混ぜた加工液を用いる場合には、加工液が電
導性であるため、加工間隙のインピーダンスＲは、電極
と被加工物間の距離をｇ、電極と被加工物の対向面積を
Ｓ、加工液の電導度をρとするとき、Ｒ＝ｇ／（ρ・
Ｓ）の関係式が成立つ。つまり、加工間隙がせまい程、
対向面積が大きい程、また電導度が大きい程インピーダ
ンスは低下する。したがって、上記のような対向面積が
７００〜１０００ｃｍ2 の場合に、仕上加工を行おうと
すると、加工間隙が小さくなり、且つ対向面積も大きい
ので、加工間隙に加工電圧印加時には加工間隙のインピ
ーダンス低下によりオームの法則に基く電流が流れ無効
電流となる。このため、加工間隙への印加電圧が上昇せ
ず放電が不可能となるため、対向面積が大面積の場合に
は、加工液の電導度をイオン交換樹脂等で低下させる必
要がある。
ーを変えるような加工では、加工液の電導度を調整する
ことにより、加工安定度、加工精度が大幅に異なってく
る。なぜならば、水もしくは水を主体とし、その中に有
機化合物を混ぜた加工液を用いる場合には、加工液が電
導性であるため、加工間隙のインピーダンスＲは、電極
と被加工物間の距離をｇ、電極と被加工物の対向面積を
Ｓ、加工液の電導度をρとするとき、Ｒ＝ｇ／（ρ・
Ｓ）の関係式が成立つ。つまり、加工間隙がせまい程、
対向面積が大きい程、また電導度が大きい程インピーダ
ンスは低下する。したがって、上記のような対向面積が
７００〜１０００ｃｍ2 の場合に、仕上加工を行おうと
すると、加工間隙が小さくなり、且つ対向面積も大きい
ので、加工間隙に加工電圧印加時には加工間隙のインピ
ーダンス低下によりオームの法則に基く電流が流れ無効
電流となる。このため、加工間隙への印加電圧が上昇せ
ず放電が不可能となるため、対向面積が大面積の場合に
は、加工液の電導度をイオン交換樹脂等で低下させる必
要がある。
【０００６】したがって、所望の加工面粗さや加工面積
精度を得るには、加工の目的に応じて選定された加工条
件に応じて加工液の電導度を適宜調整する必要がある。
例えば、上記電極と被加工物の対向面積が７００〜１０
００ｃｍ2 で、仕上面粗さ３０μＲｍａｘ以下を目標に
する場合には、加工液の電導度は荒加工時で２から１０
μＳ／ｃｍ以下、仕上加工時で０．５から１μＳ／ｃｍ
以下であることが必要である。
精度を得るには、加工の目的に応じて選定された加工条
件に応じて加工液の電導度を適宜調整する必要がある。
例えば、上記電極と被加工物の対向面積が７００〜１０
００ｃｍ2 で、仕上面粗さ３０μＲｍａｘ以下を目標に
する場合には、加工液の電導度は荒加工時で２から１０
μＳ／ｃｍ以下、仕上加工時で０．５から１μＳ／ｃｍ
以下であることが必要である。
【０００７】また、前述したように水を主体とし、その
中に有機化合物を混ぜた加工液を使用する放電加工装置
は、最大加工速度１００ｇ／ｍｉｎを達成しており、加
工量が大きい放電加工に使用されている。しかし、短時
間で大量の加工スラッジを処理するために、フィルタエ
レメントに加工スラッジを付着させて加工液を濾過し、
フィルタが目詰まりしたら新しいフィルタに交換する方
法では、フィルタの交換頻度が多く、ランニングコスト
が高い。そのために、従来から前記フィルタによる濾過
工程の前にマグネット式フィルタによる濾過工程を入
れ、磁性体加工スラッジはマグネット式フィルタで除去
し、その他の加工スラッジはチューブ状の筒に珪素土を
プリコートしたフィルタエレメントで除去し、このフィ
ルタエレメントが目詰まりしたらプリコートした珪素土
ごと加工スラッジをフィルタ外部に排出し、再度チュー
ブ状の筒に新しい珪素土をプリコートし、加工液の濾過
を行う方法が採られている。
中に有機化合物を混ぜた加工液を使用する放電加工装置
は、最大加工速度１００ｇ／ｍｉｎを達成しており、加
工量が大きい放電加工に使用されている。しかし、短時
間で大量の加工スラッジを処理するために、フィルタエ
レメントに加工スラッジを付着させて加工液を濾過し、
フィルタが目詰まりしたら新しいフィルタに交換する方
法では、フィルタの交換頻度が多く、ランニングコスト
が高い。そのために、従来から前記フィルタによる濾過
工程の前にマグネット式フィルタによる濾過工程を入
れ、磁性体加工スラッジはマグネット式フィルタで除去
し、その他の加工スラッジはチューブ状の筒に珪素土を
プリコートしたフィルタエレメントで除去し、このフィ
ルタエレメントが目詰まりしたらプリコートした珪素土
ごと加工スラッジをフィルタ外部に排出し、再度チュー
ブ状の筒に新しい珪素土をプリコートし、加工液の濾過
を行う方法が採られている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記のような、従来の
水もしくは水を主体とする加工液を使用して放電加工を
行う放電加工装置では、前述したように加工条件を変更
する都度、あるいは所望の電導度が上昇する都度、加工
液タンク内の加工液の電導度を調整していた。したがっ
て、その時間がかかるだけでなく、イオン交換樹脂の消
耗が多大となり、調整時間の無駄とランニングコストの
増加を招いていた。
水もしくは水を主体とする加工液を使用して放電加工を
行う放電加工装置では、前述したように加工条件を変更
する都度、あるいは所望の電導度が上昇する都度、加工
液タンク内の加工液の電導度を調整していた。したがっ
て、その時間がかかるだけでなく、イオン交換樹脂の消
耗が多大となり、調整時間の無駄とランニングコストの
増加を招いていた。
【０００９】また、加工量が大きい放電加工を行うとき
は、前述したようなフィルタでは珪素土を補給するため
の作業時間が必要になり、ランニングコストが増大する
ばかりか、一次フィルタと二次フィルタで排出された加
工スラッジを別々に廃棄する作業が必要になり、その作
業性に問題があった。
は、前述したようなフィルタでは珪素土を補給するため
の作業時間が必要になり、ランニングコストが増大する
ばかりか、一次フィルタと二次フィルタで排出された加
工スラッジを別々に廃棄する作業が必要になり、その作
業性に問題があった。
【００１０】そこで、本発明は、放電加工における加工
条件に応じて、最適な電導度に調整された加工液を加工
間隙に迅速に供給し、電導度を調整するためのイオン交
換樹脂の無駄な消耗を抑制できる放電加工装置の提供を
課題とするものである。また、本発明は、大量に発生す
る加工スラジの処理にかかる費用及び時間を低減できる
放電加工装置の提供を課題とするものである。
条件に応じて、最適な電導度に調整された加工液を加工
間隙に迅速に供給し、電導度を調整するためのイオン交
換樹脂の無駄な消耗を抑制できる放電加工装置の提供を
課題とするものである。また、本発明は、大量に発生す
る加工スラジの処理にかかる費用及び時間を低減できる
放電加工装置の提供を課題とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明にかかる
放電加工装置は、電極と被加工物で形成される加工間隙
を含み、水もしくは水を主体とした加工液を溜めて放電
加工が行なわれる加工槽と、前記加工間隙で放電加工に
使用されて汚濁した加工液を受入れる第１タンクと、前
記第１タンク内の加工液を濾過するフィルタと、前記フ
ィルタによって濾過された加工液を受入れる第２タンク
と、前記第１タンク内の加工液と第２タンク内の加工液
が混合した加工液を受入れる第３タンクと、前記第３タ
ンク内の加工液を前記加工槽に供給する第１供給路と、
前記第２タンク内の加工液を前記加工間隙に供給する第
２供給路と、前記第２タンク内の加工液を脱イオン化す
るイオン交換手段と、前記脱イオン化された加工液を前
記加工間隙に供給する第３供給路と、前記脱イオン化さ
れた加工液を前記第２タンクに戻す返還路と、荒加工時
に前記第２タンク内の加工液の電導度が設定されたレベ
ル以上になったとき、及び設定されたレベル以下にある
ときに信号を出力する第１電導度判別手段と、前記第１
電導度判別手段の出力信号及び加工条件に応じて前記第
２タンク内の加工液の供給路を選択する制御手段と、前
記イオン交換手段で脱イオン化された加工液の電導度が
設定されたレベル以上に上昇したときに信号を出力する
第２電導度判別手段と、前記第２電導度判別手段の出力
信号によって加工液の電導度が設定されたレベル以上に
なったことを報知する表示手段とを具備するものであ
る。
放電加工装置は、電極と被加工物で形成される加工間隙
を含み、水もしくは水を主体とした加工液を溜めて放電
加工が行なわれる加工槽と、前記加工間隙で放電加工に
使用されて汚濁した加工液を受入れる第１タンクと、前
記第１タンク内の加工液を濾過するフィルタと、前記フ
ィルタによって濾過された加工液を受入れる第２タンク
と、前記第１タンク内の加工液と第２タンク内の加工液
が混合した加工液を受入れる第３タンクと、前記第３タ
ンク内の加工液を前記加工槽に供給する第１供給路と、
前記第２タンク内の加工液を前記加工間隙に供給する第
２供給路と、前記第２タンク内の加工液を脱イオン化す
るイオン交換手段と、前記脱イオン化された加工液を前
記加工間隙に供給する第３供給路と、前記脱イオン化さ
れた加工液を前記第２タンクに戻す返還路と、荒加工時
に前記第２タンク内の加工液の電導度が設定されたレベ
ル以上になったとき、及び設定されたレベル以下にある
ときに信号を出力する第１電導度判別手段と、前記第１
電導度判別手段の出力信号及び加工条件に応じて前記第
２タンク内の加工液の供給路を選択する制御手段と、前
記イオン交換手段で脱イオン化された加工液の電導度が
設定されたレベル以上に上昇したときに信号を出力する
第２電導度判別手段と、前記第２電導度判別手段の出力
信号によって加工液の電導度が設定されたレベル以上に
なったことを報知する表示手段とを具備するものであ
る。
【００１２】請求項２の発明にかかる放電加工装置は、
電極と被加工物で形成される加工間隙を含み、水もしく
は水を主体とした加工液を溜めて放電加工が行なわれる
加工槽と、前記加工間隙で放電加工に使用されて汚濁し
た加工液を受入れる第１タンクと、前記第１タンク内の
加工液を濾過するフィルタと、前記フィルタによって濾
過された加工液５を受入れる第２タンクと、前記第１タ
ンク内の加工液と第２タンク内の加工液が混合した加工
液を受入れる第３タンクと、前記第３タンク内の加工液
を前記加工槽に供給する第１供給路と、前記第２タンク
内の加工液を前記加工間隙に供給する第２供給路と、前
記第２タンク内の加工液を脱イオン化する並列に配設さ
れたイオン交換手段と、前記イオン交換手段の一方で脱
イオン化された加工液を前記加工間隙に供給する第３供
給路と、前記脱イオン化された加工液を前記第２タンク
に戻す返還路と、荒加工時に前記第２タンク内の加工液
の電導度が設定されたレベル以上になったとき、及び設
定されたレベル以下にあるときに信号を出力する第１電
導度判別手段と、前記イオン交換手段で脱イオン化され
た加工液の電導度が設定されたレベル以上に上昇したと
きに信号を出力する第２電導度判別手段と、前記第１電
導度判別手段の出力信号及び加工条件に応じて前記第２
タンク内の加工液の供給路を選択するとともに、前記第
２電導度判別手段の出力信号によって前記加工液が供給
されていた一方のイオン交換手段からもう一方のイオン
交換手段へ加工液の供給を変更する制御手段とを具備す
るものである。
電極と被加工物で形成される加工間隙を含み、水もしく
は水を主体とした加工液を溜めて放電加工が行なわれる
加工槽と、前記加工間隙で放電加工に使用されて汚濁し
た加工液を受入れる第１タンクと、前記第１タンク内の
加工液を濾過するフィルタと、前記フィルタによって濾
過された加工液５を受入れる第２タンクと、前記第１タ
ンク内の加工液と第２タンク内の加工液が混合した加工
液を受入れる第３タンクと、前記第３タンク内の加工液
を前記加工槽に供給する第１供給路と、前記第２タンク
内の加工液を前記加工間隙に供給する第２供給路と、前
記第２タンク内の加工液を脱イオン化する並列に配設さ
れたイオン交換手段と、前記イオン交換手段の一方で脱
イオン化された加工液を前記加工間隙に供給する第３供
給路と、前記脱イオン化された加工液を前記第２タンク
に戻す返還路と、荒加工時に前記第２タンク内の加工液
の電導度が設定されたレベル以上になったとき、及び設
定されたレベル以下にあるときに信号を出力する第１電
導度判別手段と、前記イオン交換手段で脱イオン化され
た加工液の電導度が設定されたレベル以上に上昇したと
きに信号を出力する第２電導度判別手段と、前記第１電
導度判別手段の出力信号及び加工条件に応じて前記第２
タンク内の加工液の供給路を選択するとともに、前記第
２電導度判別手段の出力信号によって前記加工液が供給
されていた一方のイオン交換手段からもう一方のイオン
交換手段へ加工液の供給を変更する制御手段とを具備す
るものである。
【００１３】請求項３の発明にかかる放電加工装置は、
電極と被加工物で形成される加工間隙を含み、水もしく
は水を主体とした加工液を溜めて放電加工が行なわれる
加工槽と、前記加工間隙で放電加工に使用されて汚濁し
た加工液を受入れる第１タンクと、前記第１タンク内に
配設され、底部が傾斜した第４タンクと、前記第４タン
クの最深部に連結されたマグネット式の一次フィルタ
と、前記第１タンク内の加工液を濾過する二次フィルタ
と、前記一次フィルタ及び二次フィルタで濾過された加
工スラッジを収納し、加工液と加工スラッジとを分離す
る三次フィルタと、前記一次フィルタ及び二次フィルタ
に付着した加工スラッジを前記三次フィルタへ供給する
供給手段と、前記二次フィルタで濾過された加工液を受
入れる第２タンクと、前記第１タンク内の加工液と第２
タンク内の加工液が混合した加工液を受入れる第３タン
クと、前記第３タンク内の加工液を前記加工槽に供給す
る第１供給路と、前記第２タンク内の加工液を前記加工
間隙に供給する第２供給路と、前記第２タンク内の加工
液を脱イオン化するイオン交換手段と、前記イオン交換
手段で脱イオン化された加工液を前記加工間隙に供給す
る第３供給路と、前記イオン交換手段で脱イオン化され
た加工液を前記第２タンクに戻す返還路と、荒加工時に
前記第２タンク内の加工液の電導度が設定されたレベル
以上になったとき、及び設定されたレベル以下にあると
きに信号を出力する第１電導度判別手段と、前記第１電
導度判別手段の出力信号及び加工条件に応じて前記第２
タンク内の加工液の供給路を選択する制御手段と、前記
イオン交換手段で脱イオン化された加工液の電導度が設
定されたレベル以上に上昇したときに信号を出力する第
２電導度判別手段と、前記第２電導度判別手段の出力信
号によって加工液の電導度が設定されたレベル以上にな
ったことを報知する表示手段とを具備するものである。
電極と被加工物で形成される加工間隙を含み、水もしく
は水を主体とした加工液を溜めて放電加工が行なわれる
加工槽と、前記加工間隙で放電加工に使用されて汚濁し
た加工液を受入れる第１タンクと、前記第１タンク内に
配設され、底部が傾斜した第４タンクと、前記第４タン
クの最深部に連結されたマグネット式の一次フィルタ
と、前記第１タンク内の加工液を濾過する二次フィルタ
と、前記一次フィルタ及び二次フィルタで濾過された加
工スラッジを収納し、加工液と加工スラッジとを分離す
る三次フィルタと、前記一次フィルタ及び二次フィルタ
に付着した加工スラッジを前記三次フィルタへ供給する
供給手段と、前記二次フィルタで濾過された加工液を受
入れる第２タンクと、前記第１タンク内の加工液と第２
タンク内の加工液が混合した加工液を受入れる第３タン
クと、前記第３タンク内の加工液を前記加工槽に供給す
る第１供給路と、前記第２タンク内の加工液を前記加工
間隙に供給する第２供給路と、前記第２タンク内の加工
液を脱イオン化するイオン交換手段と、前記イオン交換
手段で脱イオン化された加工液を前記加工間隙に供給す
る第３供給路と、前記イオン交換手段で脱イオン化され
た加工液を前記第２タンクに戻す返還路と、荒加工時に
前記第２タンク内の加工液の電導度が設定されたレベル
以上になったとき、及び設定されたレベル以下にあると
きに信号を出力する第１電導度判別手段と、前記第１電
導度判別手段の出力信号及び加工条件に応じて前記第２
タンク内の加工液の供給路を選択する制御手段と、前記
イオン交換手段で脱イオン化された加工液の電導度が設
定されたレベル以上に上昇したときに信号を出力する第
２電導度判別手段と、前記第２電導度判別手段の出力信
号によって加工液の電導度が設定されたレベル以上にな
ったことを報知する表示手段とを具備するものである。
【００１４】
【作用】請求項１の発明の放電加工装置においては、加
工条件によって必要な電導度に調整された加工液を電極
と被加工物で形成される加工間隙に供給できるように供
給路を設け、加工条件及び必要な電導度を判別する電導
度判別手段からの信号によって供給路を適宜選択するも
のであるから、加工に応じた電導度の最適な加工液が加
工間隙に迅速に供給でき、これにより荒加工から仕上加
工までの加工が迅速に行なわれ、イオン交換樹脂の無駄
な消耗を避けることができる。
工条件によって必要な電導度に調整された加工液を電極
と被加工物で形成される加工間隙に供給できるように供
給路を設け、加工条件及び必要な電導度を判別する電導
度判別手段からの信号によって供給路を適宜選択するも
のであるから、加工に応じた電導度の最適な加工液が加
工間隙に迅速に供給でき、これにより荒加工から仕上加
工までの加工が迅速に行なわれ、イオン交換樹脂の無駄
な消耗を避けることができる。
【００１５】請求項２の発明の放電加工装置において
は、電極と被加工物で形成される加工間隙に加工液を供
給する供給路に、加工液を脱イオン化するイオン交換手
段を並列に設け、加工液のイオン交換には一方のイオン
交換手段のみ働かせ、このイオン交換手段の脱イオン化
性能が低下した場合には、もう一方のイオン交換手段に
切換えて加工液のイオン交換を行なうものであるから、
寿命になったイオン交換樹脂の交換作業のために加工を
中断する必要がない。
は、電極と被加工物で形成される加工間隙に加工液を供
給する供給路に、加工液を脱イオン化するイオン交換手
段を並列に設け、加工液のイオン交換には一方のイオン
交換手段のみ働かせ、このイオン交換手段の脱イオン化
性能が低下した場合には、もう一方のイオン交換手段に
切換えて加工液のイオン交換を行なうものであるから、
寿命になったイオン交換樹脂の交換作業のために加工を
中断する必要がない。
【００１６】請求項３の発明の放電加工装置において
は、放電加工によって発生した加工スラッジを一次フィ
ルタから三次フィルタに分けて加工液から除去するもの
であるから、各フィルタにかかる負担は軽くなり、且つ
二次フィルタは珪素土によるプリコート等をする必要が
なく、フィルタエレメントが加工スラッジで目詰まりし
てもフィルタエレメントと加工スラッジの分離ができ、
しかも、一次フィルタと二次フィルタで除去された加工
スラッジは最終的に三次フィルタに集められる。
は、放電加工によって発生した加工スラッジを一次フィ
ルタから三次フィルタに分けて加工液から除去するもの
であるから、各フィルタにかかる負担は軽くなり、且つ
二次フィルタは珪素土によるプリコート等をする必要が
なく、フィルタエレメントが加工スラッジで目詰まりし
てもフィルタエレメントと加工スラッジの分離ができ、
しかも、一次フィルタと二次フィルタで除去された加工
スラッジは最終的に三次フィルタに集められる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の各実施例について説明をす
る。 〈第一実施例〉図１は本発明の第一実施例である放電加
工装置の全体構成を示す説明図である。図において、１
は電極、２は被加工物、３は被加工物２が載置される定
盤、４は電極１と被加工物２で形成される加工間隙を含
み、加工液５を溜めて放電加工が行なわれる加工槽、６
は電極１と被加工物２で形成される加工間隙で放電加工
が行われるとき発生する加工スラッジ、７は加工槽４か
ら加工スラッジ６を含んだ加工液５を受入れるための第
１タンク、８は第１タンク７内の加工液５を濾過した後
に受入れるための第２タンク、９は第１タンク７と第２
タンク８との間に位置し、第１タンク７内の加工液５と
第２タンク８内の加工液５が混合した加工液５を受入れ
る第３タンク、１０〜１３は加工液５を強制的に流すポ
ンプ、１４は前記第１タンク７内の加工液５を濾過する
フィルタである。１５は第２タンク８内の加工液５の電
導度を検出し、設定レベル以上になると信号を出力する
第１電導度判別手段、１６は加工間隙に供給される加工
液５の電導度を検出し、設定されたレベル以上になると
信号を出力する第２電導度判別手段、１７ａ，１７ｂは
第２タンク８内の加工液５をイオン交換樹脂によって脱
イオン化するイオン交換手段、１８は荒加工から仕上加
工までの加工に応じて加工条件を設定する加工条件設定
手段、１９は第１電導度判別手段１５、第２電導度判別
手段１６、及び加工条件設定手段１８からの信号を受け
て、加工液５の供給路を適宜選択する制御手段である。
２０ａ〜２０ｇは制御手段１９からの信号により開閉す
る電磁弁等の制御弁、２１〜２７ｂは各々加工液５が流
れる管路であり、２１は第３タンク９内の加工液５を加
工槽４へ供給する管路、２２は第２タンク８内の加工液
５を加工間隙へ供給する管路、２３ａ，２３ｂはイオン
交換手段１７ａ，あるいはイオン交換手段１７ｂで電導
度を低下させた加工液５を流す管路、２４は電導度を低
下させた加工液５を管路２３ａ、あるいは管路２３ｂを
通って第２タンク８へ戻す管路、２５は管路２２，２３
ａ，２３ｂに接続されて加工液５を加工間隙へ供給する
管路、２６は加工槽４から加工液５を第１タンク７に供
給する管路、２７ａは第１タンク７とフィルタ１４とを
接続する管路、２７ｂはフィルタ１４と第２タンク８と
を接続する管路である。２８ａ〜２８ｄは加工液５の逆
流を防止する逆止弁、２９は第２電導度判別手段１６か
ら出力された信号を受けて、イオン交換手段１７ａ，１
７ｂ内のイオン交換樹脂の寿命を報知する表示手段であ
る。なお、上記の各制御弁２０ａ〜２０ｇの開閉動作、
及びポンプ１０〜１３の運転、停止動作は制御手段１９
からの信号によって制御され、これらの制御状態に応じ
て加工液５は管路２１〜２７ｂを流れる。
る。 〈第一実施例〉図１は本発明の第一実施例である放電加
工装置の全体構成を示す説明図である。図において、１
は電極、２は被加工物、３は被加工物２が載置される定
盤、４は電極１と被加工物２で形成される加工間隙を含
み、加工液５を溜めて放電加工が行なわれる加工槽、６
は電極１と被加工物２で形成される加工間隙で放電加工
が行われるとき発生する加工スラッジ、７は加工槽４か
ら加工スラッジ６を含んだ加工液５を受入れるための第
１タンク、８は第１タンク７内の加工液５を濾過した後
に受入れるための第２タンク、９は第１タンク７と第２
タンク８との間に位置し、第１タンク７内の加工液５と
第２タンク８内の加工液５が混合した加工液５を受入れ
る第３タンク、１０〜１３は加工液５を強制的に流すポ
ンプ、１４は前記第１タンク７内の加工液５を濾過する
フィルタである。１５は第２タンク８内の加工液５の電
導度を検出し、設定レベル以上になると信号を出力する
第１電導度判別手段、１６は加工間隙に供給される加工
液５の電導度を検出し、設定されたレベル以上になると
信号を出力する第２電導度判別手段、１７ａ，１７ｂは
第２タンク８内の加工液５をイオン交換樹脂によって脱
イオン化するイオン交換手段、１８は荒加工から仕上加
工までの加工に応じて加工条件を設定する加工条件設定
手段、１９は第１電導度判別手段１５、第２電導度判別
手段１６、及び加工条件設定手段１８からの信号を受け
て、加工液５の供給路を適宜選択する制御手段である。
２０ａ〜２０ｇは制御手段１９からの信号により開閉す
る電磁弁等の制御弁、２１〜２７ｂは各々加工液５が流
れる管路であり、２１は第３タンク９内の加工液５を加
工槽４へ供給する管路、２２は第２タンク８内の加工液
５を加工間隙へ供給する管路、２３ａ，２３ｂはイオン
交換手段１７ａ，あるいはイオン交換手段１７ｂで電導
度を低下させた加工液５を流す管路、２４は電導度を低
下させた加工液５を管路２３ａ、あるいは管路２３ｂを
通って第２タンク８へ戻す管路、２５は管路２２，２３
ａ，２３ｂに接続されて加工液５を加工間隙へ供給する
管路、２６は加工槽４から加工液５を第１タンク７に供
給する管路、２７ａは第１タンク７とフィルタ１４とを
接続する管路、２７ｂはフィルタ１４と第２タンク８と
を接続する管路である。２８ａ〜２８ｄは加工液５の逆
流を防止する逆止弁、２９は第２電導度判別手段１６か
ら出力された信号を受けて、イオン交換手段１７ａ，１
７ｂ内のイオン交換樹脂の寿命を報知する表示手段であ
る。なお、上記の各制御弁２０ａ〜２０ｇの開閉動作、
及びポンプ１０〜１３の運転、停止動作は制御手段１９
からの信号によって制御され、これらの制御状態に応じ
て加工液５は管路２１〜２７ｂを流れる。
【００１８】次に、上記構成の放電加工装置の動作につ
いて説明する。加工槽４内の所定の位置に電極１と被加
工物２をセッティングし、荒加工条件を設定すると、加
工条件設定手段１８から出力される信号を受けて、制御
弁２０ｂ〜２０ｅを閉じ、ポンプ１２を運転させるよう
に制御手段１９から信号が出力される。その後、第２タ
ンク９内の加工液５をポンプ１０で汲上げ、管路２１か
ら制御弁２０ａを介して加工槽４へ供給し、加工槽４内
に加工液５を充満させる。加工液充満完了後、加工を開
始すると第２タンク８内の加工液５をポンプ１２で汲上
げ、管路２２，２５から制御弁２０ｆを介して加工間隙
に供給する。この管路２５の途中にある制御弁２０ｆは
加工間隙に供給する加工液５の液圧を設定するための弁
である。加工間隙に供給された加工液５は放電加工によ
って発生した加工スラッジ６を含んで、加工間隙から排
出される。そして、加工スラッジ６を含んだ加工液５は
制御弁２０ｇを介して管路２６から第１タンク７へ戻さ
れる。第１タンク７内の加工液５はポンプ１１により管
路２７ａを通りフィルタ１４へ供給され、加工スラッジ
６を除去して管路２７ｂから第２タンク８へ戻される。
いて説明する。加工槽４内の所定の位置に電極１と被加
工物２をセッティングし、荒加工条件を設定すると、加
工条件設定手段１８から出力される信号を受けて、制御
弁２０ｂ〜２０ｅを閉じ、ポンプ１２を運転させるよう
に制御手段１９から信号が出力される。その後、第２タ
ンク９内の加工液５をポンプ１０で汲上げ、管路２１か
ら制御弁２０ａを介して加工槽４へ供給し、加工槽４内
に加工液５を充満させる。加工液充満完了後、加工を開
始すると第２タンク８内の加工液５をポンプ１２で汲上
げ、管路２２，２５から制御弁２０ｆを介して加工間隙
に供給する。この管路２５の途中にある制御弁２０ｆは
加工間隙に供給する加工液５の液圧を設定するための弁
である。加工間隙に供給された加工液５は放電加工によ
って発生した加工スラッジ６を含んで、加工間隙から排
出される。そして、加工スラッジ６を含んだ加工液５は
制御弁２０ｇを介して管路２６から第１タンク７へ戻さ
れる。第１タンク７内の加工液５はポンプ１１により管
路２７ａを通りフィルタ１４へ供給され、加工スラッジ
６を除去して管路２７ｂから第２タンク８へ戻される。
【００１９】しかし、放電加工が進むにつれて、加工ス
ラッジ６の一部がイオン化したものの濃度が次第に増加
し、加工液５の電導度が上昇する。そのために、第２タ
ンク８内の加工液５の電導度が設定した電導度以上にな
ったとき、第１電導度判別手段１５が信号を制御手段１
９へ出力し、制御手段１９はその信号を受けて、制御弁
２０ｂ，２０ｃを開き、ポンプ１３を運転させるように
信号を出力する。これにより、第２タンク８内の加工液
５はポンプ１３によって汲上げられ、制御弁２０ｃを介
してイオン交換手段１７ａへ供給される。イオン交換手
段１７ａへ供給された加工液５はイオン交換手段１７ａ
内のイオン交換樹脂によりイオンが取除かれ、管路２３
ａ，２４から制御弁２０ｂを介して第２タンク８へ戻さ
れる。このイオン交換手段１７ａによるイオン除去速度
がイオン発生速度よりも大きければ、この加工液循環を
続けることにより加工液５の電導度は、その後第１電導
度判別手段１５の設定したレベル以下となり、第１電導
度判別手段１５から設定したレベル以下になったことを
知らせる信号を制御手段１９へ出力する。この信号を受
けて制御手段１９は、制御弁２０ｂ，２０ｃを閉じ、ポ
ンプ１３を停止させ、上記の加工液循環動作を停止す
る。こうして、イオン交換手段１７ａ，１７ｂが使用さ
れる状態を制限する。
ラッジ６の一部がイオン化したものの濃度が次第に増加
し、加工液５の電導度が上昇する。そのために、第２タ
ンク８内の加工液５の電導度が設定した電導度以上にな
ったとき、第１電導度判別手段１５が信号を制御手段１
９へ出力し、制御手段１９はその信号を受けて、制御弁
２０ｂ，２０ｃを開き、ポンプ１３を運転させるように
信号を出力する。これにより、第２タンク８内の加工液
５はポンプ１３によって汲上げられ、制御弁２０ｃを介
してイオン交換手段１７ａへ供給される。イオン交換手
段１７ａへ供給された加工液５はイオン交換手段１７ａ
内のイオン交換樹脂によりイオンが取除かれ、管路２３
ａ，２４から制御弁２０ｂを介して第２タンク８へ戻さ
れる。このイオン交換手段１７ａによるイオン除去速度
がイオン発生速度よりも大きければ、この加工液循環を
続けることにより加工液５の電導度は、その後第１電導
度判別手段１５の設定したレベル以下となり、第１電導
度判別手段１５から設定したレベル以下になったことを
知らせる信号を制御手段１９へ出力する。この信号を受
けて制御手段１９は、制御弁２０ｂ，２０ｃを閉じ、ポ
ンプ１３を停止させ、上記の加工液循環動作を停止す
る。こうして、イオン交換手段１７ａ，１７ｂが使用さ
れる状態を制限する。
【００２０】また、イオン交換手段１７ａ内のイオン交
換樹脂は加工液５の電導度を低下させるために使用され
ると次第に消耗が進むので、管路２３ａを通ってきた加
工液５でも電導度が第２電導度判別手段１６で設定した
レベル以上になるときがくる。そのとき、第２電導判別
手段１６が設定レベル以上の電導度を検出すると、制御
手段１９へ信号を出力し、制御手段１９は制御弁２０ｃ
を閉じ、制御弁２０ｄを開いて、ポンプ１３によって汲
上げられた加工液５をイオン交換手段１７ａから他のイ
オン交換手段１７ｂに変更して供給する。そして、イオ
ン交換手段１７ｂから管路２３ｂを通ってきた加工液５
の電導度が第２電導判別手段１６の設定したレベル以下
であれば、そのまま管路２４を通り、制御弁２０ｂを介
して第２タンク８に戻され、第２タンク８内の加工液５
の電導度が第１電導度判別手段１５の設定したレベル以
下になるまで上記加工液循環が続けられる。この際、第
２電導度判別手段１６からの信号は表示手段２９にも出
力され、この信号を受取った表示手段１９はイオン交換
手段１７ａ内のイオン交換樹脂に寿命がきたことを表示
する。したがって、作業オペレータはこの表示を見て、
イオン交換手段１７ｂ内のイオン交換樹脂が加工液５の
電導度を低下させるのに使用されている間に、イオン交
換手段１７ａ内のイオン交換樹脂を新品に取換えること
ができる。
換樹脂は加工液５の電導度を低下させるために使用され
ると次第に消耗が進むので、管路２３ａを通ってきた加
工液５でも電導度が第２電導度判別手段１６で設定した
レベル以上になるときがくる。そのとき、第２電導判別
手段１６が設定レベル以上の電導度を検出すると、制御
手段１９へ信号を出力し、制御手段１９は制御弁２０ｃ
を閉じ、制御弁２０ｄを開いて、ポンプ１３によって汲
上げられた加工液５をイオン交換手段１７ａから他のイ
オン交換手段１７ｂに変更して供給する。そして、イオ
ン交換手段１７ｂから管路２３ｂを通ってきた加工液５
の電導度が第２電導判別手段１６の設定したレベル以下
であれば、そのまま管路２４を通り、制御弁２０ｂを介
して第２タンク８に戻され、第２タンク８内の加工液５
の電導度が第１電導度判別手段１５の設定したレベル以
下になるまで上記加工液循環が続けられる。この際、第
２電導度判別手段１６からの信号は表示手段２９にも出
力され、この信号を受取った表示手段１９はイオン交換
手段１７ａ内のイオン交換樹脂に寿命がきたことを表示
する。したがって、作業オペレータはこの表示を見て、
イオン交換手段１７ｂ内のイオン交換樹脂が加工液５の
電導度を低下させるのに使用されている間に、イオン交
換手段１７ａ内のイオン交換樹脂を新品に取換えること
ができる。
【００２１】なお、荒加工中は、加工間隙に供給される
加工液５の電導度の上昇が加工に与える影響が少ないの
で、第２タンク８内の加工液５の電導度が所望の電導度
になるまで上記のような加工液５の循環を続けて、第２
タンク８内の加工液５を管路２２，２５を通して加工間
隙に供給し、荒加工を続けることができる。
加工液５の電導度の上昇が加工に与える影響が少ないの
で、第２タンク８内の加工液５の電導度が所望の電導度
になるまで上記のような加工液５の循環を続けて、第２
タンク８内の加工液５を管路２２，２５を通して加工間
隙に供給し、荒加工を続けることができる。
【００２２】また、荒加工終了後、仕上加工に移ったと
きは、加工条件設定手段１８から制御手段１９へ信号が
出力され、制御手段１９は制御弁２０ｃ，２０ｅを開
き、ポンプ１２の運転を停止させ、ポンプ１３を運転さ
せるように信号を出力する。この信号を受けて、ポンプ
１３を用いて汲上げられた第２タンク８内の加工液５
は、イオン交換手段１７ａに制御弁２０ｃを介して供給
され、イオン交換手段１７ａによって脱イオン化し電導
度を低下させた加工液５は管路２３ａ，２５を通って、
直接加工間隙に供給され、仕上加工が進行する。このと
き、加工間隙に供給される加工液５の電導度は、電極１
と被加工物２の対向面積にもよるが、１μＳ／ｃｍ以下
であればよい。加工間隙に供給された加工液５は放電加
工によって発生した加工スラッジ６を含んで、加工間隙
から排出される。そして、加工スラッジ６を含んだ加工
液５は制御弁２０ｇを介して管路２６から第１タンク７
へ戻される。第１タンク７内の加工液５はポンプ１１に
より管路２７を通してフィルタ１４へ供給され、加工ス
ラッジ６を除去し、第２タンク８へ戻される。
きは、加工条件設定手段１８から制御手段１９へ信号が
出力され、制御手段１９は制御弁２０ｃ，２０ｅを開
き、ポンプ１２の運転を停止させ、ポンプ１３を運転さ
せるように信号を出力する。この信号を受けて、ポンプ
１３を用いて汲上げられた第２タンク８内の加工液５
は、イオン交換手段１７ａに制御弁２０ｃを介して供給
され、イオン交換手段１７ａによって脱イオン化し電導
度を低下させた加工液５は管路２３ａ，２５を通って、
直接加工間隙に供給され、仕上加工が進行する。このと
き、加工間隙に供給される加工液５の電導度は、電極１
と被加工物２の対向面積にもよるが、１μＳ／ｃｍ以下
であればよい。加工間隙に供給された加工液５は放電加
工によって発生した加工スラッジ６を含んで、加工間隙
から排出される。そして、加工スラッジ６を含んだ加工
液５は制御弁２０ｇを介して管路２６から第１タンク７
へ戻される。第１タンク７内の加工液５はポンプ１１に
より管路２７を通してフィルタ１４へ供給され、加工ス
ラッジ６を除去し、第２タンク８へ戻される。
【００２３】しかし、先に説明したように、イオン交換
手段１７ａ内のイオン交換樹脂は加工液５の電導度を低
下させるために使用されていると次第に消耗が進み、管
路２３ａを通ってきた加工液５でもその電導度が第２電
導度判別手段１６の設定したレベル以上になるときがく
る。そのときには、第２電導度判別手段１６から信号が
制御手段１９へ出力され、その信号を受け取った制御手
段１９は制御弁２０ｃを閉じ、制御弁２０ｄを開くよう
に信号を出力し、加工間隙に供給される加工液５はもう
一方のイオン交換手段１７ｂに供給される。イオン交換
手段１７ｂから管路２３ｂを通ってきた加工液５の電導
度が第２電導度判別手段１６の設定レベル以下であれ
ば、そのまま制御弁２０ｅを介して管路２５を通り、加
工間隙に供給される。この際、第２電導度判別手段１６
からの信号は表示手段２９にも出力され、信号を受取っ
た表示手段２９はイオン交換手段１７ａ内のイオン交換
樹脂に寿命がきたことを表示する。したがって、作業オ
ペレータはこの表示を見て、イオン交換手段１７ｂ内の
イオン交換樹脂が加工液５の電導度を低下させるのに使
用されている間に、イオン交換手段１７ａ内のイオン交
換樹脂を新品と取換えることができる。
手段１７ａ内のイオン交換樹脂は加工液５の電導度を低
下させるために使用されていると次第に消耗が進み、管
路２３ａを通ってきた加工液５でもその電導度が第２電
導度判別手段１６の設定したレベル以上になるときがく
る。そのときには、第２電導度判別手段１６から信号が
制御手段１９へ出力され、その信号を受け取った制御手
段１９は制御弁２０ｃを閉じ、制御弁２０ｄを開くよう
に信号を出力し、加工間隙に供給される加工液５はもう
一方のイオン交換手段１７ｂに供給される。イオン交換
手段１７ｂから管路２３ｂを通ってきた加工液５の電導
度が第２電導度判別手段１６の設定レベル以下であれ
ば、そのまま制御弁２０ｅを介して管路２５を通り、加
工間隙に供給される。この際、第２電導度判別手段１６
からの信号は表示手段２９にも出力され、信号を受取っ
た表示手段２９はイオン交換手段１７ａ内のイオン交換
樹脂に寿命がきたことを表示する。したがって、作業オ
ペレータはこの表示を見て、イオン交換手段１７ｂ内の
イオン交換樹脂が加工液５の電導度を低下させるのに使
用されている間に、イオン交換手段１７ａ内のイオン交
換樹脂を新品と取換えることができる。
【００２４】このように、本実施例の放電加工装置は、
電極１と被加工物２で形成される加工間隙を含み、水も
しくは水を主体とした加工液５を溜めて放電加工が行な
われる加工槽４と、前記加工間隙で放電加工に使用され
て汚濁した加工液５を制御弁２０ｇを介し管路２６を通
して受入れる第１タンク７と、前記第１タンク７内の加
工液５を管路２７ａを通してポンプ１１で汲上げて濾過
するフィルタ１４と、前記フィルタ１４によって濾過さ
れた加工液５を管路２７ｂを通して受入れる第２タンク
８と、前記第１タンク７と第２タンク８との間に位置
し、前記第１タンク７内の加工液５と第２タンク８内の
加工液５が混合した加工液５を受入れる第３タンク９
と、前記第３タンク９内の加工液５をポンプ１０で汲上
げ管路２１を通し制御弁２０ａを介して前記加工槽４に
供給する第１供給路と、前記第２タンク８内の加工液５
をポンプ１２で汲上げ管路２２，２５を通し制御弁２０
ｆを介して前記加工間隙に供給する第２供給路と、前記
第２タンク８内の加工液５を脱イオン化するイオン交換
手段１７ａ，１７ｂと、前記イオン交換手段１７ａ，１
７ｂのイオン交換樹脂によって脱イオン化された加工液
５を管路２３ａ，２３ｂから制御弁２０ｅを経て管路２
５を通し制御弁２０ｆを介して前記加工間隙に供給する
第３供給路と、前記イオン交換手段１７ａ，１７ｂのイ
オン交換樹脂によって脱イオン化された加工液５を管路
２３ａ，２３ｂ，２４を通し前記第２タンク８に戻す返
還路と、荒加工時に前記第２タンク８内の加工液５の電
導度が設定されたレベル以上になったとき、及び設定さ
れたレベル以下にあるときに所定の信号を制御手段１９
に出力する第１電導度判別手段１５と、前記第１電導度
判別手段１５の出力信号及び加工条件設定手段１８から
の加工条件に応じて前記第２タンク８内の加工液５の供
給路を選択する制御手段１９と、前記イオン交換手段１
７ａ，１７ｂによって脱イオン化された加工液５の電導
度が設定されたレベル以上に上昇したときに信号を制御
手段１９に出力する第２電導度判別手段１６と、前記第
２電導度判別手段１６の出力信号によって加工液５の電
導度が設定されたレベル以上になったことを報知する表
示手段２９とを備えている。
電極１と被加工物２で形成される加工間隙を含み、水も
しくは水を主体とした加工液５を溜めて放電加工が行な
われる加工槽４と、前記加工間隙で放電加工に使用され
て汚濁した加工液５を制御弁２０ｇを介し管路２６を通
して受入れる第１タンク７と、前記第１タンク７内の加
工液５を管路２７ａを通してポンプ１１で汲上げて濾過
するフィルタ１４と、前記フィルタ１４によって濾過さ
れた加工液５を管路２７ｂを通して受入れる第２タンク
８と、前記第１タンク７と第２タンク８との間に位置
し、前記第１タンク７内の加工液５と第２タンク８内の
加工液５が混合した加工液５を受入れる第３タンク９
と、前記第３タンク９内の加工液５をポンプ１０で汲上
げ管路２１を通し制御弁２０ａを介して前記加工槽４に
供給する第１供給路と、前記第２タンク８内の加工液５
をポンプ１２で汲上げ管路２２，２５を通し制御弁２０
ｆを介して前記加工間隙に供給する第２供給路と、前記
第２タンク８内の加工液５を脱イオン化するイオン交換
手段１７ａ，１７ｂと、前記イオン交換手段１７ａ，１
７ｂのイオン交換樹脂によって脱イオン化された加工液
５を管路２３ａ，２３ｂから制御弁２０ｅを経て管路２
５を通し制御弁２０ｆを介して前記加工間隙に供給する
第３供給路と、前記イオン交換手段１７ａ，１７ｂのイ
オン交換樹脂によって脱イオン化された加工液５を管路
２３ａ，２３ｂ，２４を通し前記第２タンク８に戻す返
還路と、荒加工時に前記第２タンク８内の加工液５の電
導度が設定されたレベル以上になったとき、及び設定さ
れたレベル以下にあるときに所定の信号を制御手段１９
に出力する第１電導度判別手段１５と、前記第１電導度
判別手段１５の出力信号及び加工条件設定手段１８から
の加工条件に応じて前記第２タンク８内の加工液５の供
給路を選択する制御手段１９と、前記イオン交換手段１
７ａ，１７ｂによって脱イオン化された加工液５の電導
度が設定されたレベル以上に上昇したときに信号を制御
手段１９に出力する第２電導度判別手段１６と、前記第
２電導度判別手段１６の出力信号によって加工液５の電
導度が設定されたレベル以上になったことを報知する表
示手段２９とを備えている。
【００２５】即ち、本実施例の放電加工装置は、加工条
件によって必要な電導度に調整された加工液５を電極１
と被加工物２で形成される加工間隙に供給できるように
供給路を設け、加工条件及び必要な電導度を判別する電
導度判別手段からの信号によって供給路を適宜選択する
ものである。
件によって必要な電導度に調整された加工液５を電極１
と被加工物２で形成される加工間隙に供給できるように
供給路を設け、加工条件及び必要な電導度を判別する電
導度判別手段からの信号によって供給路を適宜選択する
ものである。
【００２６】したがって、加工に応じた最適な電導度の
加工液が加工間隙に迅速に供給でき、これにより荒加工
から仕上加工までの加工が迅速に行なわれ、イオン交換
樹脂の無駄な消耗を避けることができる。このため、加
工条件の変更、あるいは加工液の電導度の上昇に応じ
て、加工液の電導度は自動的に調整され加工間隙に供給
されるので、作業性及び経済性が向上する。
加工液が加工間隙に迅速に供給でき、これにより荒加工
から仕上加工までの加工が迅速に行なわれ、イオン交換
樹脂の無駄な消耗を避けることができる。このため、加
工条件の変更、あるいは加工液の電導度の上昇に応じ
て、加工液の電導度は自動的に調整され加工間隙に供給
されるので、作業性及び経済性が向上する。
【００２７】しかも、本実施例の放電加工装置では、第
２タンク８内の加工液５を脱イオン化するイオン交換手
段１７ａ，１７ｂは並列に配設され、前記イオン交換手
段１７ａ，１７ｂの一方で加工液５を脱イオン化し、第
１電導度判別手段１５の出力信号及び加工条件に応じて
前記第２タンク８内の加工液５の供給路を選択して、第
２タンク８に戻したり加工間隙に供給するとともに、第
２電導度判別手段１６の出力信号によって前記加工液５
が供給されていた一方のイオン交換手段からもう一方の
イオン交換手段へ加工液５の供給を変更する。
２タンク８内の加工液５を脱イオン化するイオン交換手
段１７ａ，１７ｂは並列に配設され、前記イオン交換手
段１７ａ，１７ｂの一方で加工液５を脱イオン化し、第
１電導度判別手段１５の出力信号及び加工条件に応じて
前記第２タンク８内の加工液５の供給路を選択して、第
２タンク８に戻したり加工間隙に供給するとともに、第
２電導度判別手段１６の出力信号によって前記加工液５
が供給されていた一方のイオン交換手段からもう一方の
イオン交換手段へ加工液５の供給を変更する。
【００２８】即ち、本実施例の放電加工装置は、電極と
被加工物で形成される加工間隙に加工液を供給する供給
路に、加工液を脱イオン化するイオン交換手段を並列に
設けて、加工液のイオン交換には一方のイオン交換手段
のみ働かせ、このイオン交換手段の脱イオン化性能が低
下した場合には、もう一方のイオン交換手段に切換えて
加工液のイオン交換を行なうものである。
被加工物で形成される加工間隙に加工液を供給する供給
路に、加工液を脱イオン化するイオン交換手段を並列に
設けて、加工液のイオン交換には一方のイオン交換手段
のみ働かせ、このイオン交換手段の脱イオン化性能が低
下した場合には、もう一方のイオン交換手段に切換えて
加工液のイオン交換を行なうものである。
【００２９】したがって、寿命になったイオン交換樹脂
の交換作業のために加工を中断する必要がないので、イ
オン交換樹脂の交換作業に要する時間は加工時間に影響
しない。
の交換作業のために加工を中断する必要がないので、イ
オン交換樹脂の交換作業に要する時間は加工時間に影響
しない。
【００３０】〈第二実施例〉図２は本発明の第二実施例
である放電加工装置の要部構成を示す説明図であり、図
３は図２の二次フィルタの動作を示す斜視図である。図
中、第一実施例と同一符号及び記号は第一実施例の構成
部分と同一または相当する構成部分を示す。なお、図２
では図１で示した加工槽４、第２タンク８、第３タンク
９、及びその加工液５の循環系は省略されている。
である放電加工装置の要部構成を示す説明図であり、図
３は図２の二次フィルタの動作を示す斜視図である。図
中、第一実施例と同一符号及び記号は第一実施例の構成
部分と同一または相当する構成部分を示す。なお、図２
では図１で示した加工槽４、第２タンク８、第３タンク
９、及びその加工液５の循環系は省略されている。
【００３１】図２において、５０は第１タンク７内に配
設され、加工スラッジ６を含んだ加工液５を受取る第４
タンクであり、この第４タンク５０の底部は傾斜してい
る。５１は第４タンク５０の最新部に連結されたマグネ
ット式フィルタからなる一次フィルタであり、１４ａは
マグネット式フィルタを一次フィルタ５１とすると、一
次フィルタ５１で除去できなかった加工スラッジ６を取
除く二次フィルタである。５２はモータ、５３は一次フ
ィルタ５１の内面に設けられたマグネット、５４はモー
タ５２によって回転するスクリュ、５５は第４タンク５
０と一次フィルタ５１とを連結する管路、５６は磁性体
加工スラッジが除去された加工液５を一次フィルタ５１
から第１タンク７へ排出する管路である。５７は一次フ
ィルタ５１と二次フィルタ１４ａで除去された加工スラ
ッジ６を収納し、加工液５と加工スラッジ６とを分離す
る三次フィルタ、５８は三次フィルタ５７に取付けられ
た濾紙、５９は加工スラッジ６が濾紙５８に溜った廃棄
用の加工スラッジである。６０は一次フィルタ５１から
三次フィルタ５７へ磁性体加工スラッジを排出するため
の管路、６１は二次フィルタ１４ａの底部に接続された
管路である。６５は二次フィルタ１４ａの下部、６６は
二次フィルタ１４ａの上部であり、６７は二次フィルタ
１４ａ内に装着されているフィルタエレメントである。
６８は二次フィルタ１４ａに加工液５を供給するときの
圧力が設定したレベル以上になると信号を出力する圧力
判別手段、６９は圧力判別手段６８からの信号を受けて
各制御弁８０ａ〜８０ｅの開閉を制御する制御手段、７
０ａ，７０ｂは二次フィルタ１４ａに加圧空気を供給す
る加圧空気源である。なお、その他の構成は上記第一実
施例で説明した図１と同様である。
設され、加工スラッジ６を含んだ加工液５を受取る第４
タンクであり、この第４タンク５０の底部は傾斜してい
る。５１は第４タンク５０の最新部に連結されたマグネ
ット式フィルタからなる一次フィルタであり、１４ａは
マグネット式フィルタを一次フィルタ５１とすると、一
次フィルタ５１で除去できなかった加工スラッジ６を取
除く二次フィルタである。５２はモータ、５３は一次フ
ィルタ５１の内面に設けられたマグネット、５４はモー
タ５２によって回転するスクリュ、５５は第４タンク５
０と一次フィルタ５１とを連結する管路、５６は磁性体
加工スラッジが除去された加工液５を一次フィルタ５１
から第１タンク７へ排出する管路である。５７は一次フ
ィルタ５１と二次フィルタ１４ａで除去された加工スラ
ッジ６を収納し、加工液５と加工スラッジ６とを分離す
る三次フィルタ、５８は三次フィルタ５７に取付けられ
た濾紙、５９は加工スラッジ６が濾紙５８に溜った廃棄
用の加工スラッジである。６０は一次フィルタ５１から
三次フィルタ５７へ磁性体加工スラッジを排出するため
の管路、６１は二次フィルタ１４ａの底部に接続された
管路である。６５は二次フィルタ１４ａの下部、６６は
二次フィルタ１４ａの上部であり、６７は二次フィルタ
１４ａ内に装着されているフィルタエレメントである。
６８は二次フィルタ１４ａに加工液５を供給するときの
圧力が設定したレベル以上になると信号を出力する圧力
判別手段、６９は圧力判別手段６８からの信号を受けて
各制御弁８０ａ〜８０ｅの開閉を制御する制御手段、７
０ａ，７０ｂは二次フィルタ１４ａに加圧空気を供給す
る加圧空気源である。なお、その他の構成は上記第一実
施例で説明した図１と同様である。
【００３２】次に、上記構成の放電加工装置の動作につ
いて説明する。加工中、加工間隙で発生した加工スラッ
ジ６を含む加工液５は管路２６を通り第１タンク７内に
設けられた第４タンク５０へ排出される。第４タンク５
０へ入った加工液５は管路５５から一次フィルタ５１の
マグネット式フィルタへ供給される。第４タンク５０の
底部は傾斜しており、管路５５は第４タンク５０の傾斜
した底部の最深部に連結されているので、第４タンク５
０へ入った加工液５の中に含まれる加工スラッジ６は第
４タンク５０の底部に沈澱することなく一次フィルタ５
１のマグネット式フィルタへ供給される。このマグネッ
ト式フィルタに入った加工液５に含まれる加工スラッジ
６のうち、磁性体加工スラッジはマグネット式フィルタ
の内面に設けられたマグネット５３の表面に一旦付着す
るが、スクリュー５４をモータ５２で回転させて、マグ
ネット式フィルタの内面上部へ移動させる。マグネット
式フィルタの内面上部に移動した磁性体加工スラッジは
管路６０の位置にきたところでマグネット式フィルタ内
面から離れ、管路６０を通って三次フィルタ５７へ排出
される。三次フィルタ５７は金網状の箱であり、その中
に袋状の濾紙５８が入れてある。
いて説明する。加工中、加工間隙で発生した加工スラッ
ジ６を含む加工液５は管路２６を通り第１タンク７内に
設けられた第４タンク５０へ排出される。第４タンク５
０へ入った加工液５は管路５５から一次フィルタ５１の
マグネット式フィルタへ供給される。第４タンク５０の
底部は傾斜しており、管路５５は第４タンク５０の傾斜
した底部の最深部に連結されているので、第４タンク５
０へ入った加工液５の中に含まれる加工スラッジ６は第
４タンク５０の底部に沈澱することなく一次フィルタ５
１のマグネット式フィルタへ供給される。このマグネッ
ト式フィルタに入った加工液５に含まれる加工スラッジ
６のうち、磁性体加工スラッジはマグネット式フィルタ
の内面に設けられたマグネット５３の表面に一旦付着す
るが、スクリュー５４をモータ５２で回転させて、マグ
ネット式フィルタの内面上部へ移動させる。マグネット
式フィルタの内面上部に移動した磁性体加工スラッジは
管路６０の位置にきたところでマグネット式フィルタ内
面から離れ、管路６０を通って三次フィルタ５７へ排出
される。三次フィルタ５７は金網状の箱であり、その中
に袋状の濾紙５８が入れてある。
【００３３】次に、磁性体加工スラッジが除去された加
工液５はマグネット式フィルタから管路５６を通って第
１タンク７に排出される。第１タンク７に排出された加
工液５はポンプ１１で汲上げられ、管路２７ａを通って
二次フィルタ１４ａへ供給される。二次フィルタ１４ａ
の下部６５に入った加工液５はフィルタエレメント６７
によって濾過され、加工液５に含まれる磁性体加工スラ
ッジ以外の加工スラッジ６はフィルタエレメント６７に
付着する。加工スラッジ６が除去された加工液５はフィ
ルタエレメント６７の内部を通って二次フィルタ１４ａ
の上部６６へ出る。このフィルタエレメト６７は図３に
示すような構造となっている。
工液５はマグネット式フィルタから管路５６を通って第
１タンク７に排出される。第１タンク７に排出された加
工液５はポンプ１１で汲上げられ、管路２７ａを通って
二次フィルタ１４ａへ供給される。二次フィルタ１４ａ
の下部６５に入った加工液５はフィルタエレメント６７
によって濾過され、加工液５に含まれる磁性体加工スラ
ッジ以外の加工スラッジ６はフィルタエレメント６７に
付着する。加工スラッジ６が除去された加工液５はフィ
ルタエレメント６７の内部を通って二次フィルタ１４ａ
の上部６６へ出る。このフィルタエレメト６７は図３に
示すような構造となっている。
【００３４】図３は図２の二次フィルタの動作を示す斜
視図である。図３において、１００は積層ペーパフィル
タであり、１０１は加工スラッジを含んだ加工液、１０
２は加工スラッジが除去された加工液である。つまり、
二次フィルタ１４ａのフィルタエレメント６７はペーパ
ーウェハーを積層したものであり、その濾過精度は１μ
である。
視図である。図３において、１００は積層ペーパフィル
タであり、１０１は加工スラッジを含んだ加工液、１０
２は加工スラッジが除去された加工液である。つまり、
二次フィルタ１４ａのフィルタエレメント６７はペーパ
ーウェハーを積層したものであり、その濾過精度は１μ
である。
【００３５】二次フィルタ１４ａの上部６６に出た加工
スラッジ６が除去された加工液５は、制御弁８０ａを介
して管路２７ｂを通って第２タンク８へ供給される。し
かし、二次フィルタ１４ａで濾過を続けていくとフィル
タエレメント６７は加工スラッジ６によって目詰まり状
態になり、第２タンク８へ供給される加工スラッジ６が
除去された加工液５の濾過流量が次第に減ってくる。ま
た、フィルタエレメント６７が目詰り状態になると、ポ
ンプ１１により二次フィルタ１４ａへ供給される加工液
５の供給圧力も上昇する。そこで、上記濾過流量の減少
が問題にならない程度のときの上記供給圧力を設定レベ
ルとした圧力判別手段６８を管路２７ａの途中に設け
て、供給圧力が設定されたレベル以上になったときに、
圧力判別手段６８から制御手段６９へ信号を出力する。
信号を受け取った制御手段６９はポンプ１１の運転を停
止させ、制御弁８０ａを閉じ、制御弁８０ｂ，８０ｃを
開く。これにより、加圧空気源７０ａから圧縮空気が制
御弁８０ｂを介して二次フィルタ１４ａの下部６５に供
給され、二次フィルタ１４ａの下部６５に溜まっていた
加工液５は管路６１を通って制御弁８０ｃを介して第１
タンク７へ排出される。そして、二次フィルタ１４ａの
下部６５内から加工液５が排出されたところで制御弁８
０ｂ，８０ｃを閉じ、この後に制御弁８０ｅ，８０ｄを
開く。これにより、加圧空気源７０ｂから圧縮空気が制
御弁８０ｅを介して二次フィルタ１４ａの上部６６に供
給され、二次フィルタ１４ａの上部６６に溜まっていた
加工液５をフィルタエレメント６７の内部から外部表面
へ押し出す。するとフィルタエメント６７の表面に付着
していた加工スラッジ６はフィルタエレメント６７の内
部から外部表面に押し出された加工液５によって取除か
れ、加工スラッジ６が濃縮された加工液５となって管路
６１を通って制御弁８０ｄを介して三次フィルタ５７の
袋状の濾紙５８へ排出される。加工スラッジ６が濃縮さ
れた加工液５は袋状の濾紙５８により、加工スラッジ６
は濾紙５８内に残り、加工液５だけが濾紙５８を抜けて
第１タンク７に戻される。こうして、フィルタエレメン
ト６７の表面に付着した加工スラッジ６が取除いた後、
制御弁８０ｅ，８０ｄを閉じ、制御弁８０ａを開き、ポ
ンプ１１の運転を開始させ第１タンク７内の加工液５の
濾過を再開する。
スラッジ６が除去された加工液５は、制御弁８０ａを介
して管路２７ｂを通って第２タンク８へ供給される。し
かし、二次フィルタ１４ａで濾過を続けていくとフィル
タエレメント６７は加工スラッジ６によって目詰まり状
態になり、第２タンク８へ供給される加工スラッジ６が
除去された加工液５の濾過流量が次第に減ってくる。ま
た、フィルタエレメント６７が目詰り状態になると、ポ
ンプ１１により二次フィルタ１４ａへ供給される加工液
５の供給圧力も上昇する。そこで、上記濾過流量の減少
が問題にならない程度のときの上記供給圧力を設定レベ
ルとした圧力判別手段６８を管路２７ａの途中に設け
て、供給圧力が設定されたレベル以上になったときに、
圧力判別手段６８から制御手段６９へ信号を出力する。
信号を受け取った制御手段６９はポンプ１１の運転を停
止させ、制御弁８０ａを閉じ、制御弁８０ｂ，８０ｃを
開く。これにより、加圧空気源７０ａから圧縮空気が制
御弁８０ｂを介して二次フィルタ１４ａの下部６５に供
給され、二次フィルタ１４ａの下部６５に溜まっていた
加工液５は管路６１を通って制御弁８０ｃを介して第１
タンク７へ排出される。そして、二次フィルタ１４ａの
下部６５内から加工液５が排出されたところで制御弁８
０ｂ，８０ｃを閉じ、この後に制御弁８０ｅ，８０ｄを
開く。これにより、加圧空気源７０ｂから圧縮空気が制
御弁８０ｅを介して二次フィルタ１４ａの上部６６に供
給され、二次フィルタ１４ａの上部６６に溜まっていた
加工液５をフィルタエレメント６７の内部から外部表面
へ押し出す。するとフィルタエメント６７の表面に付着
していた加工スラッジ６はフィルタエレメント６７の内
部から外部表面に押し出された加工液５によって取除か
れ、加工スラッジ６が濃縮された加工液５となって管路
６１を通って制御弁８０ｄを介して三次フィルタ５７の
袋状の濾紙５８へ排出される。加工スラッジ６が濃縮さ
れた加工液５は袋状の濾紙５８により、加工スラッジ６
は濾紙５８内に残り、加工液５だけが濾紙５８を抜けて
第１タンク７に戻される。こうして、フィルタエレメン
ト６７の表面に付着した加工スラッジ６が取除いた後、
制御弁８０ｅ，８０ｄを閉じ、制御弁８０ａを開き、ポ
ンプ１１の運転を開始させ第１タンク７内の加工液５の
濾過を再開する。
【００３６】上記の一連の動作により、加工スラッジ６
は全て三次フィルタ５７に集められるので、最終的な加
工スラッジ５９の廃棄作業は、三次フィルタ５７の袋状
の濾紙５８ごと廃棄すればよい。
は全て三次フィルタ５７に集められるので、最終的な加
工スラッジ５９の廃棄作業は、三次フィルタ５７の袋状
の濾紙５８ごと廃棄すればよい。
【００３７】このように、本実施例の放電加工装置は、
電極１と被加工物２で形成される加工間隙を含み、水も
しくは水を主体とした加工液５を溜めて放電加工が行な
われる加工槽４と、前記加工間隙で放電加工に使用され
て汚濁した加工液５を制御弁２０ｇを介し管路２６を通
して受入れる第１タンク７と、前記第１タンク７内に配
設され、底部が傾斜した第４タンク５０と、前記第４タ
ンク５０の最深部に管路５５で連結されたマグネット式
フィルタである一次フィルタ５１と、前記第１タンク７
内の加工液５を管路２７ａを通してポンプ１１で汲上げ
て濾過する積層ペーパフィルタからなるフィルタエレメ
ント６７を装着した二次フィルタ１４ａと、前記一次フ
ィルタ５１及び二次フィルタ１４ａで濾過された加工ス
ラッジ６を収納し、加工液５と加工スラッジ６とを濾紙
５８によって分離する三次フィルタ５７と、前記一次フ
ィルタ５１及び二次フィルタ１４ａに付着した加工スラ
ッジ６を前記三次フィルタ５７へ供給する圧力判別手段
６８、制御手段６９、加圧空気源７０ａ，７０ｂ、制御
弁８０ａ〜８０ｅ、モータ５２、スクリュ５４からなる
供給手段と、前記二次フィルタ１４ａで濾過された加工
液５を管路２７ｂ及び制御弁８０ａを通して受入れる第
２タンク８と、前記第１タンク７と第２タンク８との間
に位置し、前記第１タンク７内の加工液５と第２タンク
８内の加工液５が混合した加工液５を受入れる第３タン
ク９と、前記第３タンク９内の加工液５をポンプ１０で
汲上げ管路２１を通し制御弁２０ａを介して前記加工槽
４に供給する第１供給路と、前記第２タンク８内の加工
液５をポンプ１２で汲上げ管路２２，２５を通し制御弁
２０ｆを介して前記加工間隙に供給する第２供給路と、
前記第２タンク８内の加工液５を脱イオン化するイオン
交換手段１７ａ，１７ｂと、前記イオン交換手段１７
ａ，１７ｂのイオン交換樹脂によって脱イオン化された
加工液５を管路２３ａ，２３ｂから制御弁２０ｅを経て
管路２５を通し制御弁２０ｆを介して前記加工間隙に供
給する第３供給路と、前記イオン交換手段１７ａ，１７
ｂのイオン交換樹脂によって脱イオン化された加工液５
を管路２３ａ，２３ｂ，２４を通し前記第２タンク８に
戻す返還路と、荒加工時に前記第２タンク８内の加工液
５の電導度が設定されたレベル以上になったとき、及び
設定されたレベル以下にあるときに所定の信号を制御手
段１９に出力する第１電導度判別手段１５と、前記第１
電導度判別手段１５の出力信号及び加工条件設定手段１
８からの加工条件に応じて前記第２タンク８内の加工液
５の供給路を選択する制御手段１９と、前記イオン交換
手段１７ａ，１７ｂによって脱イオン化された加工液５
の電導度が設定されたレベル以上に上昇したときに信号
を制御手段１９に出力する第２電導度判別手段１６と、
前記第２電導度判別手段１６の出力信号によって加工液
５の電導度が設定されたレベル以上になったことを報知
する表示手段２９とを備えている。
電極１と被加工物２で形成される加工間隙を含み、水も
しくは水を主体とした加工液５を溜めて放電加工が行な
われる加工槽４と、前記加工間隙で放電加工に使用され
て汚濁した加工液５を制御弁２０ｇを介し管路２６を通
して受入れる第１タンク７と、前記第１タンク７内に配
設され、底部が傾斜した第４タンク５０と、前記第４タ
ンク５０の最深部に管路５５で連結されたマグネット式
フィルタである一次フィルタ５１と、前記第１タンク７
内の加工液５を管路２７ａを通してポンプ１１で汲上げ
て濾過する積層ペーパフィルタからなるフィルタエレメ
ント６７を装着した二次フィルタ１４ａと、前記一次フ
ィルタ５１及び二次フィルタ１４ａで濾過された加工ス
ラッジ６を収納し、加工液５と加工スラッジ６とを濾紙
５８によって分離する三次フィルタ５７と、前記一次フ
ィルタ５１及び二次フィルタ１４ａに付着した加工スラ
ッジ６を前記三次フィルタ５７へ供給する圧力判別手段
６８、制御手段６９、加圧空気源７０ａ，７０ｂ、制御
弁８０ａ〜８０ｅ、モータ５２、スクリュ５４からなる
供給手段と、前記二次フィルタ１４ａで濾過された加工
液５を管路２７ｂ及び制御弁８０ａを通して受入れる第
２タンク８と、前記第１タンク７と第２タンク８との間
に位置し、前記第１タンク７内の加工液５と第２タンク
８内の加工液５が混合した加工液５を受入れる第３タン
ク９と、前記第３タンク９内の加工液５をポンプ１０で
汲上げ管路２１を通し制御弁２０ａを介して前記加工槽
４に供給する第１供給路と、前記第２タンク８内の加工
液５をポンプ１２で汲上げ管路２２，２５を通し制御弁
２０ｆを介して前記加工間隙に供給する第２供給路と、
前記第２タンク８内の加工液５を脱イオン化するイオン
交換手段１７ａ，１７ｂと、前記イオン交換手段１７
ａ，１７ｂのイオン交換樹脂によって脱イオン化された
加工液５を管路２３ａ，２３ｂから制御弁２０ｅを経て
管路２５を通し制御弁２０ｆを介して前記加工間隙に供
給する第３供給路と、前記イオン交換手段１７ａ，１７
ｂのイオン交換樹脂によって脱イオン化された加工液５
を管路２３ａ，２３ｂ，２４を通し前記第２タンク８に
戻す返還路と、荒加工時に前記第２タンク８内の加工液
５の電導度が設定されたレベル以上になったとき、及び
設定されたレベル以下にあるときに所定の信号を制御手
段１９に出力する第１電導度判別手段１５と、前記第１
電導度判別手段１５の出力信号及び加工条件設定手段１
８からの加工条件に応じて前記第２タンク８内の加工液
５の供給路を選択する制御手段１９と、前記イオン交換
手段１７ａ，１７ｂによって脱イオン化された加工液５
の電導度が設定されたレベル以上に上昇したときに信号
を制御手段１９に出力する第２電導度判別手段１６と、
前記第２電導度判別手段１６の出力信号によって加工液
５の電導度が設定されたレベル以上になったことを報知
する表示手段２９とを備えている。
【００３８】即ち、本実施例の放電加工装置は、上記第
一実施例の放電加工装置の第１タンク７内に第４タンク
５０を設けるとともに一次乃至三次フィルタ５１，１４
ａ，５７を設け、放電加工によって発生した加工スラッ
ジ６を一次フィルタ５１から三次フィルタ５７に分けて
加工液５から除去するものである。
一実施例の放電加工装置の第１タンク７内に第４タンク
５０を設けるとともに一次乃至三次フィルタ５１，１４
ａ，５７を設け、放電加工によって発生した加工スラッ
ジ６を一次フィルタ５１から三次フィルタ５７に分けて
加工液５から除去するものである。
【００３９】したがって、上記第一実施例と同様に、加
工に応じた最適な電導度の加工液が加工間隙に迅速に供
給でき、これにより荒加工から仕上加工までの加工が迅
速に行なわれ、イオン交換樹脂の無駄な消耗を避けるこ
とができる。このため、加工条件の変更、あるいは加工
液の電導度の上昇に応じて、加工液の電導度は自動的に
調整され加工間隙に供給されるので、作業性及び経済性
が向上する。しかも、各フィルタ５１，１４ａ，５７に
かかる負担は軽くなり、且つ二次フィルタ１４ａは珪素
土によるプリコート等をする必要がなく、フィルタエレ
メント６７が加工スラッジ６で目詰まりしてもフィルタ
エレメント６７と加工スラッジ６の分離ができるので、
一次フィルタ５１と二次フィルタ１４ａにかかるランニ
ングコストを低減できる。また、一次フィルタ５１と二
次フィルタ１４ａで除去された加工スラッジ６は三次フ
ィルタ５７に集められるので、加工スラッジ６の最終的
な廃棄処理にかかる作業負担を軽減できる。
工に応じた最適な電導度の加工液が加工間隙に迅速に供
給でき、これにより荒加工から仕上加工までの加工が迅
速に行なわれ、イオン交換樹脂の無駄な消耗を避けるこ
とができる。このため、加工条件の変更、あるいは加工
液の電導度の上昇に応じて、加工液の電導度は自動的に
調整され加工間隙に供給されるので、作業性及び経済性
が向上する。しかも、各フィルタ５１，１４ａ，５７に
かかる負担は軽くなり、且つ二次フィルタ１４ａは珪素
土によるプリコート等をする必要がなく、フィルタエレ
メント６７が加工スラッジ６で目詰まりしてもフィルタ
エレメント６７と加工スラッジ６の分離ができるので、
一次フィルタ５１と二次フィルタ１４ａにかかるランニ
ングコストを低減できる。また、一次フィルタ５１と二
次フィルタ１４ａで除去された加工スラッジ６は三次フ
ィルタ５７に集められるので、加工スラッジ６の最終的
な廃棄処理にかかる作業負担を軽減できる。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明の
放電加工装置は、加工槽と、第１乃至第３タンクと、フ
ィルタと、第１乃至第３供給路と、イオン交換手段と、
返還路と、第１及び第２電導度判別手段と、制御手段
と、表示手段とを備え、加工条件によって必要な電導度
に調整された加工液を電極と被加工物で形成される加工
間隙に供給できるように供給路を設け、加工条件及び必
要な電導度を判別する電導度判別手段からの信号によっ
て供給路を適宜選択することにより、加工に応じた電導
度の最適な加工液が加工間隙に迅速に供給でき、これに
より荒加工から仕上加工までの加工が迅速に行なわれ、
イオン交換樹脂の無駄な消耗を避けることができるの
で、作業性及び経済性が向上する。
放電加工装置は、加工槽と、第１乃至第３タンクと、フ
ィルタと、第１乃至第３供給路と、イオン交換手段と、
返還路と、第１及び第２電導度判別手段と、制御手段
と、表示手段とを備え、加工条件によって必要な電導度
に調整された加工液を電極と被加工物で形成される加工
間隙に供給できるように供給路を設け、加工条件及び必
要な電導度を判別する電導度判別手段からの信号によっ
て供給路を適宜選択することにより、加工に応じた電導
度の最適な加工液が加工間隙に迅速に供給でき、これに
より荒加工から仕上加工までの加工が迅速に行なわれ、
イオン交換樹脂の無駄な消耗を避けることができるの
で、作業性及び経済性が向上する。
【００４１】請求項２の発明の放電加工装置は、加工槽
と、第１乃至第３タンクと、フィルタと、第１乃至第３
供給路と、イオン交換手段と、返還路と、第１及び第２
電導度判別手段と、制御手段とを備え、電極と被加工物
で形成される加工間隙に加工液を供給する供給路に、加
工液を脱イオン化するイオン交換手段を並列に設け、加
工液のイオン交換には一方のイオン交換手段のみ働か
せ、このイオン交換手段の脱イオン化性能が低下した場
合には、もう一方のイオン交換手段に切換えて加工液の
イオン交換を行なうことにより、寿命になったイオン交
換樹脂の交換作業のために加工を中断する必要がないの
で、イオン交換樹脂の交換作業に要する時間は加工時間
に影響しない。
と、第１乃至第３タンクと、フィルタと、第１乃至第３
供給路と、イオン交換手段と、返還路と、第１及び第２
電導度判別手段と、制御手段とを備え、電極と被加工物
で形成される加工間隙に加工液を供給する供給路に、加
工液を脱イオン化するイオン交換手段を並列に設け、加
工液のイオン交換には一方のイオン交換手段のみ働か
せ、このイオン交換手段の脱イオン化性能が低下した場
合には、もう一方のイオン交換手段に切換えて加工液の
イオン交換を行なうことにより、寿命になったイオン交
換樹脂の交換作業のために加工を中断する必要がないの
で、イオン交換樹脂の交換作業に要する時間は加工時間
に影響しない。
【００４２】請求項３の発明の放電加工装置は、加工槽
と、第１乃至第４タンクと、一次乃至三次フィルタと、
供給手段と、第１乃至第３供給路と、イオン交換手段
と、返還路と、第１及び第２電導度判別手段と、制御手
段と、表示手段とを備え、放電加工によって発生した加
工スラッジを一次フィルタから三次フィルタに分けて加
工液から除去することにより、各フィルタにかかる負担
は軽くなり、且つ二次フィルタは珪素土によるプリコー
ト等をする必要がなく、フィルタエレメントが加工スラ
ッジで目詰まりしてもフィルタエレメントと加工スラッ
ジの分離ができるので、一次フィルタと二次フィルタに
かかるランニングコストを低減でき、しかも、一次フィ
ルタと二次フィルタで除去された加工スラッジは三次フ
ィルタに集められるので、加工スラッジの最終的な廃棄
処理にかかる作業負担を軽減できる。
と、第１乃至第４タンクと、一次乃至三次フィルタと、
供給手段と、第１乃至第３供給路と、イオン交換手段
と、返還路と、第１及び第２電導度判別手段と、制御手
段と、表示手段とを備え、放電加工によって発生した加
工スラッジを一次フィルタから三次フィルタに分けて加
工液から除去することにより、各フィルタにかかる負担
は軽くなり、且つ二次フィルタは珪素土によるプリコー
ト等をする必要がなく、フィルタエレメントが加工スラ
ッジで目詰まりしてもフィルタエレメントと加工スラッ
ジの分離ができるので、一次フィルタと二次フィルタに
かかるランニングコストを低減でき、しかも、一次フィ
ルタと二次フィルタで除去された加工スラッジは三次フ
ィルタに集められるので、加工スラッジの最終的な廃棄
処理にかかる作業負担を軽減できる。
【図１】図１は本発明の第一実施例である放電加工装置
の全体構成を示す説明図である。
の全体構成を示す説明図である。
【図２】図２は本発明の第二実施例である放電加工装置
の要部構成を示す説明図である。
の要部構成を示す説明図である。
【図３】図３は図２の二次フィルタの動作を示す斜視図
である。
である。
１ 電極 ２ 被加工物 ４ 加工槽 ５ 加工液 ６ 加工スラッジ ７ 第１タンク ８ 第２タンク ９ 第３タンク １０〜１３ ポンプ １４ フィルタ １５ 第１電導度判別手段 １６ 第２電導度判別手段 １７ａ，１７ｂ イオン交換手段 １８ 加工条件設定手段 １９ 制御手段 ２０ａ〜２０ｇ，８０ａ〜８０ｅ 制御弁 ２１〜２７ｂ，５５，５６，６０，６１ 管路 ２８ａ〜２８ｄ 逆止弁 ２９ 表示手段 １４ａ 二次フィルタ ５０ 第４タンク ５１ 一次フィルタ ５７ 三次フィルタ ５８ 濾紙 ６７ フィルタエレメント ６８ 圧力判別手段 ６９ 制御手段 ７０ａ，７０ｂ 加圧空気源
Claims (3)
- 【請求項１】 電極と被加工物で形成される加工間隙を
含み、水もしくは水を主体とした加工液を溜めて放電加
工が行なわれる加工槽と、 前記加工間隙で放電加工に使用されて汚濁した加工液を
受入れる第１タンクと、 前記第１タンク内の加工液を濾過するフィルタと、 前記フィルタによって濾過された加工液を受入れる第２
タンクと、 前記第１タンク内の加工液と第２タンク内の加工液が混
合した加工液を受入れる第３タンクと、 前記第３タンク内の加工液を前記加工槽に供給する第１
供給路と、 前記第２タンク内の加工液を前記加工間隙に供給する第
２供給路と、 前記第２タンク内の加工液を脱イオン化するイオン交換
手段と、 前記脱イオン化された加工液を前記加工間隙に供給する
第３供給路と、 前記脱イオン化された加工液を前記第２タンクに戻す返
還路と、 荒加工時に前記第２タンク内の加工液の電導度が設定さ
れたレベル以上になったとき、及び設定されたレベル以
下にあるときに信号を出力する第１電導度判別手段と、 前記第１電導度判別手段の出力信号及び加工条件に応じ
て前記第２タンク内の加工液の供給路を選択する制御手
段と、 前記イオン交換手段で脱イオン化された加工液の電導度
が設定されたレベル以上に上昇したときに信号を出力す
る第２電導度判別手段と、 前記第２電導度判別手段の出力信号によって加工液の電
導度が設定されたレベル以上になったことを報知する表
示手段とを具備することを特徴とする放電加工装置。 - 【請求項２】 電極と被加工物で形成される加工間隙を
含み、水もしくは水を主体とした加工液を溜めて放電加
工が行なわれる加工槽と、 前記加工間隙で放電加工に使用されて汚濁した加工液を
受入れる第１タンクと、 前記第１タンク内の加工液を濾過するフィルタと、 前記フィルタによって濾過された加工液を受入れる第２
タンクと、 前記第１タンク内の加工液と第２タンク内の加工液が混
合した加工液を受入れる第３タンクと、 前記第３タンク内の加工液を前記加工槽に供給する第１
供給路と、 前記第２タンク内の加工液を前記加工間隙に供給する第
２供給路と、 前記第２タンク内の加工液を脱イオン化する並列に配設
されたイオン交換手段と、 前記イオン交換手段の一方で脱イオン化された加工液を
前記加工間隙に供給する第３供給路と、 前記脱イオン化された加工液を前記第２タンクに戻す返
還路と、 荒加工時に前記第２タンク内の加工液の電導度が設定さ
れたレベル以上になったとき、及び設定されたレベル以
下にあるときに信号を出力する第１電導度判別手段と、 前記イオン交換手段で脱イオン化された加工液の電導度
が設定されたレベル以上に上昇したときに信号を出力す
る第２電導度判別手段と、 前記第１電導度判別手段の出力信号及び加工条件に応じ
て前記第２タンク内の加工液の供給路を選択するととも
に、前記第２電導度判別手段の出力信号によって前記加
工液が供給されていた一方のイオン交換手段からもう一
方のイオン交換手段へ加工液の供給を変更する制御手段
とを具備することを特徴とする放電加工装置。 - 【請求項３】 電極と被加工物で形成される加工間隙を
含み、水もしくは水を主体とした加工液を溜めて放電加
工が行なわれる加工槽と、 前記加工間隙で放電加工に使用されて汚濁した加工液を
受入れる第１タンクと、 前記第１タンク内に配設され、底部が傾斜した第４タン
クと、 前記第４タンクの最深部に連結されたマグネット式の一
次フィルタと、 前記第１タンク内の加工液を濾過する二次フィルタと、 前記一次フィルタ及び二次フィルタで濾過された加工ス
ラッジを収納し、加工液と加工スラッジとを分離する三
次フィルタと、 前記一次フィルタ及び二次フィルタに付着した加工スラ
ッジを前記三次フィルタへ供給する供給手段と、 前記二次フィルタで濾過された加工液を受入れる第２タ
ンクと、 前記第１タンク内の加工液と第２タンク内の加工液が混
合した加工液を受入れる第３タンクと、 前記第３タンク内の加工液を前記加工槽に供給する第１
供給路と、 前記第２タンク内の加工液を前記加工間隙に供給する第
２供給路と、 前記第２タンク内の加工液を脱イオン化するイオン交換
手段と、 前記イオン交換手段で脱イオン化された加工液を前記加
工間隙に供給する第３供給路と、 前記イオン交換手段で脱イオン化された加工液を前記第
２タンクに戻す返還路と、 荒加工時に前記第２タンク内の加工液の電導度が設定さ
れたレベル以上になったとき、及び設定されたレベル以
下にあるときに信号を出力する第１電導度判別手段と、 前記第１電導度判別手段の出力信号及び加工条件に応じ
て前記第２タンク内の加工液の供給路を選択する制御手
段と、 前記イオン交換手段で脱イオン化された加工液の電導度
が設定されたレベル以上に上昇したときに信号を出力す
る第２電導度判別手段と、 前記第２電導度判別手段の出力信号によって加工液の電
導度が設定されたレベル以上になったことを報知する表
示手段とを具備することを特徴とする放電加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20390792A JPH0647624A (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | 放電加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20390792A JPH0647624A (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | 放電加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0647624A true JPH0647624A (ja) | 1994-02-22 |
Family
ID=16481677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20390792A Pending JPH0647624A (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | 放電加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0647624A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8101683B2 (en) | 2009-05-29 | 2012-01-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Addition-curable silicone emulsion composition |
| JP6599046B1 (ja) * | 2018-08-07 | 2019-10-30 | 三菱電機株式会社 | 放電加工装置および放電加工方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57205027A (en) * | 1981-06-15 | 1982-12-16 | Amada Co Ltd | Working liquid supplier for wire cut discharge machining machine |
| JPH0215826B2 (ja) * | 1981-03-26 | 1990-04-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | |
| JP3100026B2 (ja) * | 1995-03-07 | 2000-10-16 | 株式会社日立製作所 | 搬送機構 |
-
1992
- 1992-07-30 JP JP20390792A patent/JPH0647624A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0215826B2 (ja) * | 1981-03-26 | 1990-04-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | |
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| US8101683B2 (en) | 2009-05-29 | 2012-01-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Addition-curable silicone emulsion composition |
| JP6599046B1 (ja) * | 2018-08-07 | 2019-10-30 | 三菱電機株式会社 | 放電加工装置および放電加工方法 |
| WO2020031251A1 (ja) * | 2018-08-07 | 2020-02-13 | 三菱電機株式会社 | 放電加工装置および放電加工方法 |
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