JPH0648080B2 - 処理ガス制御器 - Google Patents

処理ガス制御器

Info

Publication number
JPH0648080B2
JPH0648080B2 JP59503430A JP50343084A JPH0648080B2 JP H0648080 B2 JPH0648080 B2 JP H0648080B2 JP 59503430 A JP59503430 A JP 59503430A JP 50343084 A JP50343084 A JP 50343084A JP H0648080 B2 JPH0648080 B2 JP H0648080B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
inlet
main
process gas
controller
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP59503430A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS60502112A (ja
Inventor
ウイリアムズ，トツド・イー
デシユ，ステイーヴン・エム
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advanced Micro Devices Inc
Original Assignee
Advanced Micro Devices Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=24111674&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JPH0648080(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Advanced Micro Devices Inc filed Critical Advanced Micro Devices Inc
Publication of JPS60502112A publication Critical patent/JPS60502112A/ja
Publication of JPH0648080B2 publication Critical patent/JPH0648080B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
    • B08B9/02—Cleaning pipes or tubes or systems of pipes or tubes
    • B08B9/027—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages
    • B08B9/032—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages by the mechanical action of a moving fluid, e.g. by flushing
    • B08B9/0321—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages by the mechanical action of a moving fluid, e.g. by flushing using pressurised, pulsating or purging fluid
    • B08B9/0325—Control mechanisms therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
    • B08B9/02—Cleaning pipes or tubes or systems of pipes or tubes
    • B08B9/027—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages
    • B08B9/032—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages by the mechanical action of a moving fluid, e.g. by flushing
    • B08B9/0321—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages by the mechanical action of a moving fluid, e.g. by flushing using pressurised, pulsating or purging fluid
    • B08B9/0328—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages by the mechanical action of a moving fluid, e.g. by flushing using pressurised, pulsating or purging fluid by purging the pipe with a gas or a mixture of gas and liquid
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/02—Special adaptations of indicating, measuring, or monitoring equipment
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/04—Arrangement or mounting of valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0323—Valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0323—Valves
    • F17C2205/0329—Valves manually actuated
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0338—Pressure regulators
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2221/00—Handled fluid, in particular type of fluid
    • F17C2221/01—Pure fluids
    • F17C2221/014—Nitrogen
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2227/00—Transfer of fluids, i.e. method or means for transferring the fluid; Heat exchange with the fluid
    • F17C2227/04—Methods for emptying or filling
    • F17C2227/044—Methods for emptying or filling by purging
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
    • F17C2250/06—Controlling or regulating of parameters as output values
    • F17C2250/0605—Parameters
    • F17C2250/0636—Flow or movement of content
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2270/00—Applications
    • F17C2270/05—Applications for industrial use
    • F17C2270/0518—Semiconductors
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/4238—With cleaner, lubrication added to fluid or liquid sealing at valve interface
    • Y10T137/4245—Cleaning or steam sterilizing
    • Y10T137/4259—With separate material addition
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y10T137/86493—Multi-way valve unit
    • Y10T137/86501—Sequential distributor or collector type
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y10T137/86493—Multi-way valve unit
    • Y10T137/86509—Sequentially progressive opening or closing of plural ports
    • Y10T137/86517—With subsequent closing of first port
    • Y10T137/86533—Rotary
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y10T137/86493—Multi-way valve unit
    • Y10T137/86863—Rotary valve unit

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Valve Housings (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Fluid-Driven Valves (AREA)
  • Pipeline Systems (AREA)
  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 多くの製造工程では、種々の形式の処理ガスを使用装置
に供給することが必要である。処理ガスは、通常、高圧
力シリンダに保存されていて、圧力調整器を通して装置
に供給される。
製造中に処理ガスシリンダ、調整器および処理ガスライ
ンを装置から遮断することがしばしば必要である。これ
は処理ガスシリンダまたは圧力調整器を交換しなければ
ならない場合に必要となる。この必要が生じたとき、種
々のラインは排気され、窒素のごとき清浄ガスで清浄さ
れる。これを行なうため、しばしば清浄ガス源ならびに
処理ガス源、圧力調整器、ベントおよび装置の間に種々
のバルブが施される。しかしながら、多数存在するバル
ブ、ライン、および部品のために操作者が誤ったときに
誤ったバルブを開いたり、閉じたりするという機会が実
際に生じる。そのようなミスは操作者やまわりの者を有
毒または可燃性のガスに曝すことになったり、高価な処
理ガスのシリンダを不純にしたりすることになる。
発明の開示 この発明は、処理ガスシリンダまたは調整器を交換する
ときに操作者が安全に処理ガスシステムを排気したり清
浄したりできるようにした工程ガス制御器を提供する。
処理ガス制御器は、処理ガスを装置に供給するために清
浄ガス源と処理ガス源に連結される。この制御器は、主
ガスラインまたは処理ガスラインに沿って圧力調整器を
有する。主ガスラインは処理ガス源に連結された主入口
と装置に連結した主出口を有する。
清浄ガス源を主入口から選択的に遮断するために清浄ガ
スバルブが使用される。装置のバルブが圧力調整器と主
出口の間の主ガスラインに沿って配置される。主入口と
圧力調整器の間の主ガスラインに沿って遮断バルブが配
置される。圧力調整器と装置バルブの間の主ガスライン
に沿った点と低圧力ベントの間に、低圧力ベントバルブ
が流動体結合している。主入口と遮断バルブの間の主ガ
スラインに沿う点と高圧力ベントとを、高圧力ベントバ
ルブが流動体結合している。
処理ガスを装置に供給したり、バルブ、処理ガス源およ
び装置に連結した種々のラインから処理ガスを排気し、
清浄ガス源からの清浄ガス、典型的には窒素を使って清
浄したりするのに種々のバルブが操作される。排気およ
び清浄は、処理ガス源または圧力調整器を変えたとき、
通常生じる。
これら種々のバルブは手動で操作できるが、使用者によ
って選択された動作位置に応じてすべてのバルブを開成
したり制御するのに新規なバルブ制御器が使用される。
バルブ制御器は処理ガスを装置に対して適当に供給し、
処理ガスを排気し、そして清浄ガスでシステムを清浄す
るのに７つの異なったバルブ作動組合わせを与える。バ
ルブ作動組合わせの１つではすべてのバルブを閉じる
が、これは排気と清浄処理を最適になすため２回行なう
ことができる。したがって、好ましくはバルブ制御器は
全部で８つの動作位置を有するようにする。
前記バルブ制御器は、好ましくは、圧搾空気を選択的に
種々のバルブにそれらを駆動するように与える空気装置
である。バルブ制御器は多数の通路を有するプログラム
部材を備えており、その通路の各々はバルブの１つに連
結している。前記通路はプログラムポートを介してプロ
グラム部材のプログラム面に連結している。
バルブ選択部材がプログラム面に横たわるとともに圧搾
空気源に結合された入口通路を有する。バルブ選択部材
は入口通路がプログラムポートの種々のセットに整列す
るように可動となっている。そのように整列したとき圧
搾空気源は入口通路に整列したプログラムポートを通し
て入口通路、バルブ通路、そして対応するバルブに圧搾
空気を供給し、しかしてバルブは開く。
この発明の第１の特徴は、排気と清浄処理の間、不適当
な順序で続くバルブの危険を除去するバルブ制御器の構
造である。バルブ制御器は、電気駆動バルブに関係する
危険を除去するため好ましくは空気的駆動のバルブを操
作する空気装置である。
この発明の他の特徴や利点は添付図面に関連して好まし
い実施例を詳細に述べる以下の記載から明らかになろ
う。
図面の簡単な説明 第１図はこの発明に従って構成された処理ガス制御器の
回路図である。
第２図は第１図のバルブ制御器の分解等大図である。
第３図は第２図のベースディスクの第２図に示されない
側の等大図である。
第４図は線４−４に沿って切断した第２図の組合わせバ
ルブ制御器の断面図である。
発明を実施するための最良の形態 第１図を参照すると、処理ガス制御器２はバルブアセン
ブリ６に作動に結合されたバルブ制御器４を含むことが
わかる。アセンブリ６は以下に述べる種々のバルブと、
処理ガス源１０から主入口１２を通して主または処理ガ
スライン１４に沿って主出口１６の外で装置１８に至る
処理ガスの流れを制御する圧力調整器８を含む。清浄ガ
ス源２０が清浄ガス入口２２でバルブアセンブリ６に流
動体結合している。
この発明は次の順序で論述することにする。まず、バル
ブアセンブリ６について記述し、それからバルブ制御器
４の構造と動作を論述し、最後に操作者による処理ガス
制御器２の使用を述べる。
第１に、清浄ガスバルブ２４が清浄ガス入口２２と主入
口１２の間の清浄ガスライン２６に沿って配置される。
第２に、装置のバルブ２８が主ライン１４に沿って主出
口１６と圧力調整器８の間に配置される。第３に、遮断
バルブ３０が圧力調整器８と主入口１２の間に取付けら
れる。第４に、低圧力ベント（排気）バルブ３２が低圧
力ベントライン３４に沿って低圧力ベント３６と、主ラ
イン１４に沿った圧力調整器８と装置バルブ２８間の点
３８との間に配置される。第５に、高圧力ベントバルブ
４０が高圧力ベント４４と、主ライン１４に沿った遮断
バルブ３０と主入口１２間の点４６との間に置かれる。
バルブ２４，２８，３０，３２，４０はすべて通常は閉
じていて空気により作動するバルブであり、以下に一層
詳しく述べるように、バルブアセンブリ６内での工程の
流れや清浄ガスの流れを制御するために使用される。バ
ルブ２４，２８，３０，３２，４０を作動するバルブ制
御器４はライン５０を通して圧搾空気源４８に流動体結
合されている。
さて第２図ないし第４図に戻り、バルブ制御器４の物理
的な構成がより詳細に示されている。制御器４は、プロ
グラムディスク５２と入口ディスク５４を有し、プログ
ラムディスク５２は数個のねじ６０によって互いに固定
されたベース５６とカバー５８を有する。ベース５６は
外面６４に形成された５個の円形で同心状のバルブ通路
６２ａ〜６２ｅを有する。この最外端ないし最内端通路
６２ａ〜６２ｅはそれぞれ第１ないし第５バルブ２４，
２８，３２，３２，４２駆動ライン６６〜７０によって
流動体結合している。しかして、最外端の通路６２ａを
圧搾すると、第１バルブ２４がライン６６等を通して駆
動される。
入口ディスク５４は結合部材７６によってプログラム部
材５２のプログラム面７４に対して回転可能に取付けら
れる内面７２を有する。面７２，７４は双方とも非常に
平坦であり、互いに合致する。部材７６はディスク５
２，５４内の相補的な穴を通過する中空ボルト７８と、
キャップ５８の外面８２に隣接したナット８０と、ディ
スク５４の外面８６とボルト７８のヘッド８８との間に
捕獲されたワッシャ８４とからなる。一連のベント（排
気）孔９０はディスク５４の内面７２に隣接して形成さ
れた放射方向に延びる入口通路９４で中空ボルト７８の
内側に流動体結合する。それゆえに、圧搾空気が源４８
からライン５０を通して内側９２に、そしてベント孔９
０を通して入口通路９４に供給される。
プログラムディスク５２のベース５６は種々のプログラ
ム通路６２をベース５６のプログラム面７４に連結する
多くのプログラムポート９６を有する。ボール節動アセ
ンブリ１００がディスク５４内に据付けられており、こ
れは矢印１０５で表わすように通路９４がベース５６の
ラベル１〜８で示す８つの回転位置の１つに整列したと
きベース５６の表面の窪み１０２に嵌まる。入口ディス
ク５４を部材７６で規定される軸９８のまわりに回転さ
せることによって通路９４内の圧搾空気が１またはそれ
以上のプログラムポート９６を通過でき、これらの協働
するバルブ通路６２内に入る。余剰の空気漏れはＯリン
グ１０７，１０９によって制御される。
第２図に見られるように、１，３，４，６，７，８で表
わされる回転位置で１個ないし３個のポート９６を有す
る６セットの放射方向に整列したプログラムポート９６
がある。ディスク５４の回転方向に依存して圧搾空気が
１もしくはそれ以上のバルブ２４，２８，３０，３２，
４０に供給される。２個の位置、すなわち第２図の２お
よび５の位置は、プログラムポート９６を有しない。デ
ィスク５４の通路９４がこれらの２個の位置のいずれか
に整列したとき、いずれのバルブにも空気が与えられ
ず、すべてのバルブは閉じたままになる。すべてのバル
ブが閉じた状態となる２位置を有する理由は、この発明
の使用について以下に述べるとき明らかとなるであろ
う。
次の表はバルブ選択ディスク５４が８個の回転動作位置
に方位したとき、どのバルブが閉じてどのバルブが開く
かを示す。
この表で「Ｃ」はバルブが閉じることを示し、「Ｏ」は
バルブが開くことを示す。しかして、バルブは協働する
バルブ通路６２に入口通路９４からプログラムポート９
６を通して圧搾空気が与えられたときに開く。
使用時に、処理ガスは第２、第３バルブ２８，３０を開
き、第１、第４、第５バルブ２４，３２，４０を閉じる
ことによって処理ガス源１０から装置１８に供給され
る。第１の動作位置はこれらの要求を充足するので、操
作者は標準動作の間、ディスク５４を位置１にセットす
る。
処理ガス源１０は普通、シリンダ１０４から主入口１２
への処理ガスを制御する標準手動バルブ１０６を有する
高圧シリンダ１０４である。処理ガス源１０を取替えた
い場合には、まず手動バルブ１０６が閉じられる。それ
から、バルブ選択ディスク５４が第１の動作位置から第
２、第３の動作位置で短時間止まって第４の動作位置ま
で動く。第２の動作位置はすべてのバルブを閉じ、第３
の動作位置はガスがバルブアセンブリ６からベント３
６、４４を通して逃げるのを許容する。第４の動作位置
は清浄源２０からの清浄ガス、典型的には窒素を清浄ガ
ス入口２２と第３バルブ３０の間の主ガスライン１４を
通して導入する。それから、操作者は清浄ガスでシステ
ムの圧搾と低下を許す第３と第４の動作位置間で選択デ
ィスクを前後に操作する。少なくとも、これは１０回行
なうのがよい。
それから、入口ディスク５４はもう１度すべてのバルブ
を閉じる第２の動作位置に戻される。このとき、新しい
処理ガス源をライン１０８に取付けることができる。こ
の処置はライン１０８が開いているときにバルブ１０６
または入口１２を連結するライン１０８に工程ガスの動
きがないということを確実にする。工程ガス源１０を取
替えた後、どのような進入酸素をも除去するために操作
者が第３と第４の動作位置間を前後に循環させる前記清
浄処置が繰返される。その後、選択ディスク５４が第１
の動作位置に戻される。これが行なわれた後、シリンダ
１０４に取付けられた手動バルブ１０６を開ける。
調整器８を変更するのには操作者は第１位置から第４位
置へ動かし、そして第３、第４位置の間を前後するとい
う上述の処置を行なう。清浄を行なうために操作者はす
べてのバルブが再び閉じる第５位置に進める。その後、
圧力調整器を取替える。次に、調整器８の完全な清浄を
確実にするためにバルブ選択ディスク５４は第６と第７
の動作位置間を交互に少なくとも１０回動かされる。清
浄の後、入口ディスク５４は第５動作位置に再設定され
る。その後、通常の使用を行なうため入口ディスク５４
を第１の動作位置に戻すことができる。もし、主ガスラ
イン１４とこのラインに沿った種々の部品を清浄したい
場合には、上述した容器の交換や調整器の交換の清浄処
理を最初に行なう。それから、窒素が清浄ガス源２０か
ら主ライン１４を通って主出口１６の外に流れるように
入口ディスク５４を第８の動作位置に置く。
動作位置のうち或る位置は次のステップへの手順におい
て入口ディスク５４をいずれの方向に回しても問題がな
いようになっていることがわかる。しかしながら、第１
と第８の動作位置間では直接行けないようにするため
に、放射方向杭１１４が矢印１０５の近くに設けられて
いて、この杭が第１と第８の動作位置の間のベース５６
の表面に設けられた軸方向に延びるストップ１１６と係
合する。
次の請求の範囲に定められているこの発明の要旨から逸
脱することなしに前記の開示例に修正や変更を行なうこ
とが可能である。たとえば、バルブ制御器４は選択ディ
スク５４が回転するディスクフォーマットに示される。
バルブ通路６２が真直ぐなものであって、入口通路９４
が直線路に沿って動く部材で定められるような形状も採
用可能である。また、プログラム部材や選択部材は円筒
状であってもよい。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 米国特許3319531（ＵＳ，Ａ)

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】装置に処理ガスを供給する処理ガス源と清
    浄ガス源に連結される形式の処理ガス制御器であって、 前記処理ガス源に流動体結合された主入口と前記装置に
    流動体結合した主出口とを有する主ガスラインと、 前記清浄ガス源と前記主入口との間に配置された第１バ
    ルブと、 前記主ガスラインに沿って配置され前記装置に前記処理
    ガスを調整された圧力で供給する圧力調整器と、 前記主出口と前記調整器との間の前記主ガスラインに沿
    って配置された第２バルブと、 前記調整器と前記主入口との間の前記主ガスラインに沿
    って配置された第３バルブと、 前記調整器と前記第２バルブとの間の前記主ガスライン
    に流動体結合された第４バルブ入口と、第１排気領域に
    流動体結合された第４バルブ出口とを有する第４バルブ
    と、 前記主入口と前記第３バルブとの間の前記主ガスライン
    に流動体結合された第５バルブ入口と、第２排気領域に
    流動体結合された第５バルブ出口とを有する第５バルブ
    と、 複数の使用者選択位置を備えるとともに複数の前記第１
    ないし第５バルブに連結したバルブ制御器とからなり、
    前記第１ないし第５バルブは処理ガスを装置から遮断し
    てガスを前記第１排気領域と第２排気領域に排気すると
    ともに、前記清浄ガス源からのガスで前記主ガスライン
    を清浄するように動作し、前記バルブ制御器は使用者に
    よって選択された動作位置に応じて前記複数のバルブの
    開成と閉成を制御するように整列されかつ適合されてい
    る処理ガス制御器。
  2. 【請求項２】さらに、前記第１バルブが配置される清浄
    ガスラインを有する、請求の範囲第１項に記載の処理ガ
    ス制御器。
  3. 【請求項３】さらに、前記第４、第５バルブがそれぞれ
    配置される第１、第２排気ラインを有する、請求の範囲
    第１項に記載の処理ガス制御器。
  4. 【請求項４】前記バルブ制御器は少なくとも８個の動作
    位置を有し、かつ前記バルブ制御器は前記第１ないし第
    ５バルブを次のように制御する、請求の範囲第１項に記
    載の処理ガス制御器。 ここで、Ｃはバルブが閉じることを、Ｏはバルブが開く
    ことを示す。
  5. 【請求項５】前記バルブ制御器は流動体圧力デバイスで
    あって、かつ前記複数のバルブに流動体結合した通路を
    有するとともに外面に沿って選択された位置で前記通路
    に流動体結合した流動体通路ポートを有するプログラム
    部材と、 前記プログラム部材の外面に摺動的に噛み合う形状の内
    面を有する入口部材とからなり、前記入口部材は前記内
    面に形成された入口通路を含み、前記入口通路は前記バ
    ルブ制御器が前記動作位置の少なくとも１個に位置した
    とき前記流動体通路ポートの少なくとも１個に流動体的
    に連通するように適合されており、それによって前記入
    口通路を前記複数のバルブの１個またはそれ以上と選択
    的に流動体結合し、前記１個またはそれ以上のバルブを
    駆動する、請求の範囲第１項に記載の処理ガス制御器。
  6. 【請求項６】前記プログラム部材はディスク形状であ
    る、請求の範囲第５項に記載の処理ガス制御器。
  7. 【請求項７】前記通路は同心状である、請求の範囲第６
    項に記載の処理ガス制御器。
  8. 【請求項８】前記外面は平坦であり、また前記通路は前
    記プログラム部材に形成された円形同心状溝であって、
    該溝は共通軸を有する、請求の範囲第６項に記載の処理
    ガス制御器。
  9. 【請求項９】前記プログラム部材はベース部材とカバー
    部材とからなり、前記ベース部材は前記平坦な外面を有
    し、前記ベース部材とカバー部材はそれらの間での相対
    運動を阻止するため互いに固定されている、請求の範囲
    第８項に記載の処理ガス制御器。
  10. 【請求項１０】前記プログラム部材と前記入口部材は平
    坦なディスクであり、前記流動体通路ポートは共通軸に
    平行に整列され、前記入口通路は前記共通軸を横切るよ
    うに整列されている、請求の範囲第８項に記載の処理ガ
    ス制御器。
JP59503430A 1983-09-06 1984-09-06 処理ガス制御器 Expired - Fee Related JPH0648080B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/529,898 US4554942A (en) 1983-09-06 1983-09-06 Process gas controller
US529898 1983-09-06
PCT/US1984/001426 WO1985001095A1 (en) 1983-09-06 1984-09-06 Process gas controller

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60502112A JPS60502112A (ja) 1985-12-05
JPH0648080B2 true JPH0648080B2 (ja) 1994-06-22

Family

ID=24111674

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59503430A Expired - Fee Related JPH0648080B2 (ja) 1983-09-06 1984-09-06 処理ガス制御器

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4554942A (ja)
EP (1) EP0155299B1 (ja)
JP (1) JPH0648080B2 (ja)
DE (1) DE3481212D1 (ja)
WO (1) WO1985001095A1 (ja)

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3768870D1 (de) * 1986-07-07 1991-05-02 Thomas Kurt Fraenninge Verfahren und geraet zur reinigung der rohrleitungen einer badeanlage.
JP2602880B2 (ja) * 1988-03-05 1997-04-23 忠弘 大見 シリンダーキャビネット配管装置
DE8810259U1 (de) * 1988-08-12 1988-11-17 Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt Spülblock
US4936348A (en) * 1989-07-18 1990-06-26 Memtec America Corporation Rotary diverter valve having flat valve interfaces
US5220517A (en) * 1990-08-31 1993-06-15 Sci Systems, Inc. Process gas distribution system and method with supervisory control
US5163292A (en) * 1991-04-19 1992-11-17 Holleyman John E Simplified fluid pressure operated engine
US5226565A (en) * 1991-10-07 1993-07-13 The Dow Chemical Company Cleaning attachment for nozzles
US5449294A (en) * 1993-03-26 1995-09-12 Texas Instruments Incorporated Multiple valve assembly and process
EP0619450A1 (en) * 1993-04-09 1994-10-12 The Boc Group, Inc. Zero Dead-Leg Gas Cabinet
JP2813856B2 (ja) * 1993-11-29 1998-10-22 日本エア・リキード株式会社 シリンダ付ガス供給装置
US5603228A (en) * 1995-10-13 1997-02-18 Barthold; Scott Automatic blow-out system for snowmaking machine water hoses
US5878767A (en) * 1996-12-13 1999-03-09 Novus International, Inc. Fluid transfer system
US6536460B1 (en) * 1997-03-21 2003-03-25 Advanced Micro Devices, Inc. Process line purge system and method
US6142169A (en) * 1997-03-28 2000-11-07 Tetra Laval Holdings & Finance, Sa Sterile tank venting system for a filling machine
US7013916B1 (en) 1997-11-14 2006-03-21 Air Products And Chemicals, Inc. Sub-atmospheric gas delivery method and apparatus
GB9724168D0 (en) * 1997-11-14 1998-01-14 Air Prod & Chem Gas control device and method of supplying gas
US20010052355A1 (en) * 1999-02-08 2001-12-20 Herb Hoenisch Multi-container pressure washer
US6345642B1 (en) * 1999-02-19 2002-02-12 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for removing processing liquid from a processing liquid path
EP1177995A4 (en) * 1999-04-30 2003-04-02 Kawasaki Heavy Ind Ltd DEVICE FOR FEEDING POWDERED OR GRAINED MATERIALS IN A CLOSED SYSTEM
US6237857B1 (en) 1999-08-11 2001-05-29 Caterpillar Inc. Three-way actuation control of a hydraulically actuated fuel injector
US6378509B1 (en) 2000-06-13 2002-04-30 Caterpillar Inc. Exhaust gas recirculation system having multifunction valve
JP4187599B2 (ja) * 2003-07-03 2008-11-26 東京エレクトロン株式会社 減圧処理装置及び減圧処理方法並びに圧力調整バルブ
US20060201508A1 (en) * 2004-08-30 2006-09-14 Forsyth David E Self contained breathing apparatus combined duration factor for breathing systems
US7497216B2 (en) * 2004-08-30 2009-03-03 Forsyth David E Self contained breathing apparatus modular control system
US7377291B2 (en) * 2005-12-28 2008-05-27 Serveron Corporation Multiport rotary valve
KR20090034374A (ko) * 2006-08-04 2009-04-07 보르그워너 인코퍼레이티드 배기 브리딩 시스템용 다기능 밸브
USD606628S1 (en) * 2007-03-27 2009-12-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Gas controller
US9157535B2 (en) 2012-11-30 2015-10-13 Fluor Technologies Corporation Positive isolation through isolation of air supply to pneumatic valves
WO2014084862A1 (en) * 2012-11-30 2014-06-05 Fluor Technologies Corporation Positive isolation through isolation of air supply to pneumatic valves
US9168571B2 (en) * 2013-03-07 2015-10-27 Globalfoundries Inc. Apparatus and method for controlled access to pressurized fluid lines and to exhausted lines
EP2930407B1 (de) * 2014-04-10 2017-01-25 Linde Aktiengesellschaft Ventilanordnung
US9664384B2 (en) 2014-04-10 2017-05-30 Linde Aktiengesellschaft Valve arrangement
JP6911546B2 (ja) * 2017-06-06 2021-07-28 栗田工業株式会社 希薄薬液製造装置
DE102024119655B3 (de) * 2024-07-10 2026-01-08 Dilo Armaturen Und Anlagen Gmbh Mobiles Servicegerät und Verfahren zum Spülen für Wasserstoffsysteme

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3319531A (en) * 1965-08-02 1967-05-16 Lawrence M Sanders Integrating valve

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1602647A (en) * 1925-11-07 1926-10-12 Carr George Worthington Master valve
US2706532A (en) * 1953-03-26 1955-04-19 Adsorption Res Corp Fluid treating apparatus
US2979963A (en) * 1957-12-17 1961-04-18 Borg Warner Hydraulic clutch control
US2924207A (en) * 1958-03-31 1960-02-09 Frederick W Hottenroth Combination metering chamber and fuel distributing valve
GB1041514A (en) * 1964-04-28 1966-09-07 Distillers Co Yeast Ltd Improvements in or relating to fluid sampling valves
US3422848A (en) * 1966-06-09 1969-01-21 Universal Oil Prod Co Multiport rotary disc valve with liner protection means
US3494175A (en) * 1968-09-05 1970-02-10 Us Navy Pressure commutator mode switch
US3674205A (en) * 1971-05-14 1972-07-04 Champion Spark Plug Co Multiple color paint spray system
US3837360A (en) * 1972-09-20 1974-09-24 Caterpillar Tractor Co Fluidic selector valve
CA964553A (en) * 1972-10-26 1975-03-18 Joseph J. Bushee Rotary valve structure
FR2257534A1 (ja) * 1974-01-11 1975-08-08 Siepem
US4065982A (en) * 1976-04-05 1978-01-03 Wenger Gerald W Transmission gear shift control
US4169486A (en) * 1977-05-06 1979-10-02 Gray William M Gas supply system with purge means
US4219049A (en) * 1978-07-31 1980-08-26 Michael Skelly Multiple flow selection valve
US4383547A (en) * 1981-03-27 1983-05-17 Valin Corporation Purging apparatus

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3319531A (en) * 1965-08-02 1967-05-16 Lawrence M Sanders Integrating valve

Also Published As

Publication number Publication date
JPS60502112A (ja) 1985-12-05
EP0155299A1 (en) 1985-09-25
WO1985001095A1 (en) 1985-03-14
EP0155299A4 (en) 1986-11-06
EP0155299B1 (en) 1990-01-31
US4554942A (en) 1985-11-26
DE3481212D1 (de) 1990-03-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0648080B2 (ja) 処理ガス制御器
US6354327B1 (en) Automatic position-control valve assembly
JP4906961B2 (ja) ターボブロアー用ブローオフバルブ
US4768543A (en) Valve for a gas vessel
CA2138338C (en) Air motor with offset front and rear exhausts
US5891217A (en) Process and apparatus for gas separation
US6143056A (en) Rotary valve for two bed vacuum pressure swing absorption system
US4589476A (en) Air ventilation and filtration apparatus
US6554698B2 (en) Fan one way air valve
US7854794B2 (en) Rotary valve element for twin bed alternative treatment systems
JP2007507670A (ja) コンダクタンスの制御が改良された弁組立体
US4848393A (en) Fault tolerant fluid flow apparatus
US3948286A (en) Rotary valve for an oxygen generator
EP1230503B1 (en) Switching device for optionally passing a flow of medium through a first or second treatment member
US4672203A (en) Two stage valve for use in pressure converter
KR20000035549A (ko) 회전 밸브
US6207447B1 (en) Damper and blower unit providing reversible aeration for composting
EP0896178A2 (en) Solenoid operated pneumatic valve
US5273073A (en) Control valve for a particulate blender
US6644420B2 (en) Compressed air tool
JPH105520A (ja) フィルタ装置及びこれを備えた圧力空気供給システム
JPH05322054A (ja) ケ―ジ弁
GB2277572A (en) Valve assembly
JPH0712715Y2 (ja) 送吸気切替え装置
CN223762677U (zh) 一种可分区吸附的切割工作台机构

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees