JPH0648849A - セラミックス複合材料 - Google Patents
セラミックス複合材料Info
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- JPH0648849A JPH0648849A JP4198388A JP19838892A JPH0648849A JP H0648849 A JPH0648849 A JP H0648849A JP 4198388 A JP4198388 A JP 4198388A JP 19838892 A JP19838892 A JP 19838892A JP H0648849 A JPH0648849 A JP H0648849A
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- JP
- Japan
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- sialon
- layer
- ceramic
- silicon nitride
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 窒化ケイ素とβ -サイアロンとの複合化に伴
う強度や高温特性等の低下を抑制し、それぞれの特性を
十分に発揮させることを可能にしたセラミックス複合材
料を提供する。 【構成】 窒化ケイ素セラミックス層１とβ- サイアロ
ンセラミックス層２とを具備するセラミックス複合材料
である。これら両セラミックス層間に、応力・組成緩和
層としてα- サイアロン層３を設ける。
う強度や高温特性等の低下を抑制し、それぞれの特性を
十分に発揮させることを可能にしたセラミックス複合材
料を提供する。 【構成】 窒化ケイ素セラミックス層１とβ- サイアロ
ンセラミックス層２とを具備するセラミックス複合材料
である。これら両セラミックス層間に、応力・組成緩和
層としてα- サイアロン層３を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、特に高温構造材料とし
て好適なセラミックス複合材料に関する。
て好適なセラミックス複合材料に関する。
【０００２】
【従来の技術】ファインセラミックス材料は、金属等の
従来材料にない種々の特性、例えば耐熱性や耐摩耗性等
に優れ、また軽量である等という特性を備えるため、各
種構造材料としての応用展開が行われている。
従来材料にない種々の特性、例えば耐熱性や耐摩耗性等
に優れ、また軽量である等という特性を備えるため、各
種構造材料としての応用展開が行われている。
【０００３】例えば、代表的な構造用セラミックス材料
として知られている窒化ケイ素焼結体は、優れた室温強
度を示し、破壊靭性値に優れる等の特徴を有することか
ら、ボールベアリングや自動車エンジン用ターボロータ
等として実用化されている。しかし、このような優れた
特徴は、窒化ケイ素焼結体に焼結助剤として加えた添加
物に強く依存しており、高温においては、焼結助剤によ
り形成された粒界相が軟化したり、あるいは酸化される
ため、窒化ケイ素の高温特性は必ずしも満足のいくもの
ではなかった。
として知られている窒化ケイ素焼結体は、優れた室温強
度を示し、破壊靭性値に優れる等の特徴を有することか
ら、ボールベアリングや自動車エンジン用ターボロータ
等として実用化されている。しかし、このような優れた
特徴は、窒化ケイ素焼結体に焼結助剤として加えた添加
物に強く依存しており、高温においては、焼結助剤によ
り形成された粒界相が軟化したり、あるいは酸化される
ため、窒化ケイ素の高温特性は必ずしも満足のいくもの
ではなかった。
【０００４】一方、β- サイアロンは、上記したような
粒界相がほとんど存在しないため、窒化ケイ素焼結体に
比べて高温での強度低下が少なく、かつ耐酸化特性に優
れる等といった優れた高温特性を有している。ただし、
強度の絶対値や破壊靭性値に関しては、β- サイアロン
より窒化ケイ素の方が優れている。
粒界相がほとんど存在しないため、窒化ケイ素焼結体に
比べて高温での強度低下が少なく、かつ耐酸化特性に優
れる等といった優れた高温特性を有している。ただし、
強度の絶対値や破壊靭性値に関しては、β- サイアロン
より窒化ケイ素の方が優れている。
【０００５】このように、窒化ケイ素およびβ- サイア
ロンは、それぞれ構造用材料として優れた特性を有する
半面、欠点も存在しており、単独での使用ではおのずと
限界が生じる。そこで、このような窒化ケイ素とβ- サ
イアロンの両者の長所を生かし、かつそれぞれの短所を
補いあうため、これらを複合化して用いることが試みら
れている。窒化ケイ素とβ- サイアロンの複合化方法と
しては、例えば粉末成形の段階で窒化ケイ素粉末とβ-
サイアロン粉末を順に加圧成形し、このような複合成形
体を焼結する等の方法が考えられている。
ロンは、それぞれ構造用材料として優れた特性を有する
半面、欠点も存在しており、単独での使用ではおのずと
限界が生じる。そこで、このような窒化ケイ素とβ- サ
イアロンの両者の長所を生かし、かつそれぞれの短所を
補いあうため、これらを複合化して用いることが試みら
れている。窒化ケイ素とβ- サイアロンの複合化方法と
しては、例えば粉末成形の段階で窒化ケイ素粉末とβ-
サイアロン粉末を順に加圧成形し、このような複合成形
体を焼結する等の方法が考えられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の窒化ケイ素とβ- サイアロンとの複合化
方法においては、粉末成形の段階から複合化しても、熱
膨張係数の差や焼結時における収縮率の差等に起因して
熱歪が発生し、残留応力により全体の強度レベルが低下
したり、さらには層間にクラックが生じて破壊に至る等
の問題があった。さらに、上述したような従来の窒化ケ
イ素とβ- サイアロンとの複合材料を長時間高温雰囲気
に晒すと、窒化ケイ素とβ- サイアロン間で組成元素の
固相拡散が生じ、クリープ特性等が劣化しやすいという
問題があった。
たような従来の窒化ケイ素とβ- サイアロンとの複合化
方法においては、粉末成形の段階から複合化しても、熱
膨張係数の差や焼結時における収縮率の差等に起因して
熱歪が発生し、残留応力により全体の強度レベルが低下
したり、さらには層間にクラックが生じて破壊に至る等
の問題があった。さらに、上述したような従来の窒化ケ
イ素とβ- サイアロンとの複合材料を長時間高温雰囲気
に晒すと、窒化ケイ素とβ- サイアロン間で組成元素の
固相拡散が生じ、クリープ特性等が劣化しやすいという
問題があった。
【０００７】本発明は、このような課題に対処するため
になされたもので、窒化ケイ素とβ-サイアロンとの複
合化に伴う強度や高温特性等の低下を抑制し、それぞれ
の特性を十分に発揮させることを可能にしたセラミック
ス複合材料を提供することを目的としている。
になされたもので、窒化ケイ素とβ-サイアロンとの複
合化に伴う強度や高温特性等の低下を抑制し、それぞれ
の特性を十分に発揮させることを可能にしたセラミック
ス複合材料を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のセラミックス複
合材料は、窒化ケイ素セラミックス層とβ- サイアロン
セラミックス層とを具備するセラミックス複合材料であ
って、前記両セラミックス層間にα- サイアロン層が設
けられていることを特徴としている。
合材料は、窒化ケイ素セラミックス層とβ- サイアロン
セラミックス層とを具備するセラミックス複合材料であ
って、前記両セラミックス層間にα- サイアロン層が設
けられていることを特徴としている。
【０００９】本発明における窒化ケイ素セラミックス層
は、希土類元素の酸化物、アルカリ土類元素の酸化物、
酸化アルミニウム等を焼結助剤成分として含む、通常の
Si3N 4 焼結層であり、またβ- サイアロンセラミック
ス層も同様に、Si6-z Alz Oz N8-z (0＜ z≦4.2)で表
されるβ- サイアロン相を主相とする焼結層である。そ
して、本発明においては、これら窒化ケイ素セラミック
ス層とβ- サイアロンセラミックス層の層間に、 Mx
(Si,Al)12 (O,N)16(Mは希土類元素やアルカリ土類元素
等を示し、 xは 0＜ x≦2)等で表されるα- サイアロン
層が設けられている。このα- サイアロン層は、窒化ケ
イ素セラミックス層とβ- サイアロンセラミックス層と
の応力・組成緩和層として機能するものであり、その厚
さは 5〜1000μm 程度とすることが好ましい。α- サイ
アロン層の厚さが 5μm 未満では、窒化ケイ素とβ- サ
イアロンとの熱膨張係数の差等による熱応力を十分に緩
和することができないと共に、両セラミックス層間での
固相拡散を十分に抑制することができない。また、α-
サイアロン層を厚さ1000μm を超えて形成しても、それ
以上の効果が得られないと共に、本来の複合特性を損う
おそれがある。
は、希土類元素の酸化物、アルカリ土類元素の酸化物、
酸化アルミニウム等を焼結助剤成分として含む、通常の
Si3N 4 焼結層であり、またβ- サイアロンセラミック
ス層も同様に、Si6-z Alz Oz N8-z (0＜ z≦4.2)で表
されるβ- サイアロン相を主相とする焼結層である。そ
して、本発明においては、これら窒化ケイ素セラミック
ス層とβ- サイアロンセラミックス層の層間に、 Mx
(Si,Al)12 (O,N)16(Mは希土類元素やアルカリ土類元素
等を示し、 xは 0＜ x≦2)等で表されるα- サイアロン
層が設けられている。このα- サイアロン層は、窒化ケ
イ素セラミックス層とβ- サイアロンセラミックス層と
の応力・組成緩和層として機能するものであり、その厚
さは 5〜1000μm 程度とすることが好ましい。α- サイ
アロン層の厚さが 5μm 未満では、窒化ケイ素とβ- サ
イアロンとの熱膨張係数の差等による熱応力を十分に緩
和することができないと共に、両セラミックス層間での
固相拡散を十分に抑制することができない。また、α-
サイアロン層を厚さ1000μm を超えて形成しても、それ
以上の効果が得られないと共に、本来の複合特性を損う
おそれがある。
【００１０】本発明のセラミックス複合材料は、例えば (a) 窒化ケイ素調合粉（焼結助剤成分等を含む）と、
β- サイアロンの原料粉末（Si3 N 4 - Al2 O 3 -AlN
系、Si3 N 4 -AlN-SiO2 系等によりβ- サイアロン組成
を満足させた混合粉末や、合成β- サイアロン粉末）と
が複層化されるように成形し、この複合成形体に第１の
熱処理を施して、両セラミックス層を焼結させた後、第
２の熱処理を施して両セラミックス層間にα- サイアロ
ン層を固相拡散により形成する。
β- サイアロンの原料粉末（Si3 N 4 - Al2 O 3 -AlN
系、Si3 N 4 -AlN-SiO2 系等によりβ- サイアロン組成
を満足させた混合粉末や、合成β- サイアロン粉末）と
が複層化されるように成形し、この複合成形体に第１の
熱処理を施して、両セラミックス層を焼結させた後、第
２の熱処理を施して両セラミックス層間にα- サイアロ
ン層を固相拡散により形成する。
【００１１】(b) 窒化ケイ素調合粉、α- サイアロン
の原料粉末（Si3 N 4 - Al2 O 3 -AlN-MO系、Si3 N 4 -
AlN-SiO2 -MO 系等によりα- サイアロン組成を満足さ
せた混合粉末や、合成α- サイアロン粉末）、およびβ
- サイアロンの原料粉末が順に積層されるように成形
し、この複合成形体を焼結させる。 等により製造することができる。
の原料粉末（Si3 N 4 - Al2 O 3 -AlN-MO系、Si3 N 4 -
AlN-SiO2 -MO 系等によりα- サイアロン組成を満足さ
せた混合粉末や、合成α- サイアロン粉末）、およびβ
- サイアロンの原料粉末が順に積層されるように成形
し、この複合成形体を焼結させる。 等により製造することができる。
【００１２】上記 (a)で示した方法において、第１の熱
処理はSi3 N 4 層およびβ- サイアロン層がそれぞれ十
分に焼結し得るような条件下で行う。例えば、不活性ガ
スの非加圧もしくは加圧雰囲気中にて、1600〜1900℃程
度の温度で熱処理を行う。また、固相拡散によりα- サ
イアロン層を形成する第２の熱処理は、両セラミックス
層の粒成長が起こらないような条件下で行う。例えば、
1500〜1800℃程度の温度で 1〜20時間程度熱処理し、成
分元素を固相拡散させてα- サイアロン層を形成する。
処理はSi3 N 4 層およびβ- サイアロン層がそれぞれ十
分に焼結し得るような条件下で行う。例えば、不活性ガ
スの非加圧もしくは加圧雰囲気中にて、1600〜1900℃程
度の温度で熱処理を行う。また、固相拡散によりα- サ
イアロン層を形成する第２の熱処理は、両セラミックス
層の粒成長が起こらないような条件下で行う。例えば、
1500〜1800℃程度の温度で 1〜20時間程度熱処理し、成
分元素を固相拡散させてα- サイアロン層を形成する。
【００１３】また、上記 (a)および (b)で示したいずれ
の方法においても、プレス成形法、スリップキャスト成
形法、射出成形法等の各種公知の成形法を適用すること
ができる。また、焼結に関しては、非加圧焼結や雰囲気
加圧焼結に限らず、例えばホットプレス法、熱間静水圧
焼結法（ＨＩＰ）等を適用することも可能である。
の方法においても、プレス成形法、スリップキャスト成
形法、射出成形法等の各種公知の成形法を適用すること
ができる。また、焼結に関しては、非加圧焼結や雰囲気
加圧焼結に限らず、例えばホットプレス法、熱間静水圧
焼結法（ＨＩＰ）等を適用することも可能である。
【００１４】なお、本発明のセラミックス複合材料は、
上記 (a)および (b)で示したように、粉末成形段階から
少なくとも窒化ケイ素とβ- サイアロンとを複層化する
ことを基本とするが、窒化ケイ素およびβ- サイアロン
を別々に焼結した後、これらのをろう付け接合や固相拡
散接合により接合することを必ずしも除くものではな
い。この場合、α- サイアロン層は少なくとも一方の表
面に予め形成しておいたり、あるいは接合後に固相拡散
させて形成すればよい。
上記 (a)および (b)で示したように、粉末成形段階から
少なくとも窒化ケイ素とβ- サイアロンとを複層化する
ことを基本とするが、窒化ケイ素およびβ- サイアロン
を別々に焼結した後、これらのをろう付け接合や固相拡
散接合により接合することを必ずしも除くものではな
い。この場合、α- サイアロン層は少なくとも一方の表
面に予め形成しておいたり、あるいは接合後に固相拡散
させて形成すればよい。
【００１５】
【作用】本発明のセラミックス複合材料においては、窒
化ケイ素セラミックス層とβ-サイアロンセラミックス
層との層間にα- サイアロン層が設けられている。ここ
で、α- サイアロンは、窒化ケイ素とβ- サイアロンの
中間的な熱膨張係数を有するため、両セラミックス層の
熱膨張係数の差に起因する残留応力は、α- サイアロン
層により緩和されて、良好な複合状態が得られる。ま
た、熱応力による層間クラックの発生も抑制される。こ
れらによって、複合材料の強度レベルの低下が防止でき
るため、窒化ケイ素セラミックス層およびβ- サイアロ
ンセラミックス層がそれぞれ本来有する特性を併せ持
つ、健全なセラミックス複合材料が得られる。また、高
温で保持した場合においても、α- サイアロン層が両セ
ラミックス層の組成緩和層として機能するため、両セラ
ミックス層間での拡散が極めて遅くなり、クリープ等の
高温変形抵抗力が高くなる。
化ケイ素セラミックス層とβ-サイアロンセラミックス
層との層間にα- サイアロン層が設けられている。ここ
で、α- サイアロンは、窒化ケイ素とβ- サイアロンの
中間的な熱膨張係数を有するため、両セラミックス層の
熱膨張係数の差に起因する残留応力は、α- サイアロン
層により緩和されて、良好な複合状態が得られる。ま
た、熱応力による層間クラックの発生も抑制される。こ
れらによって、複合材料の強度レベルの低下が防止でき
るため、窒化ケイ素セラミックス層およびβ- サイアロ
ンセラミックス層がそれぞれ本来有する特性を併せ持
つ、健全なセラミックス複合材料が得られる。また、高
温で保持した場合においても、α- サイアロン層が両セ
ラミックス層の組成緩和層として機能するため、両セラ
ミックス層間での拡散が極めて遅くなり、クリープ等の
高温変形抵抗力が高くなる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明を実施例によって説明する。
【００１７】実施例１ まず、Si3 N 4 、Al2 O 3 および AlNの各粉末を、Si5
Al1 O1 N7 (z=1) の組成を満足するように混合し、β
- サイアロンの原料粉末を調製した。一方、Si3 N 4 粉
末に、 Y2 O 3 を 5重量% およびAl2 O 3 を 4重量% 添
加混合し、Si3N4 調合粉末を調製した。
Al1 O1 N7 (z=1) の組成を満足するように混合し、β
- サイアロンの原料粉末を調製した。一方、Si3 N 4 粉
末に、 Y2 O 3 を 5重量% およびAl2 O 3 を 4重量% 添
加混合し、Si3N4 調合粉末を調製した。
【００１８】次に、上記β- サイアロン原料粉末および
Si3 N 4 調合粉末を順にプレス型内に充填した後、加圧
してβ- サイアロンとSi3 N 4 の 2層成形体を作製し
た。次いで、この 2層成形体を N2 雰囲気中にて1800℃
× 2時間の条件で焼成し、複合焼結体を作製した。この
後、この複合焼結体に対して N2 雰囲気中にて1750℃×
2時間の条件で熱処理を施した。
Si3 N 4 調合粉末を順にプレス型内に充填した後、加圧
してβ- サイアロンとSi3 N 4 の 2層成形体を作製し
た。次いで、この 2層成形体を N2 雰囲気中にて1800℃
× 2時間の条件で焼成し、複合焼結体を作製した。この
後、この複合焼結体に対して N2 雰囲気中にて1750℃×
2時間の条件で熱処理を施した。
【００１９】このようにして得たセラミックス複合材料
の結晶相をＸ線回折により同定したところ、図１に示す
ように、Si3 N 4 セラミックス層１とβ- サイアロンセ
ラミックス層２との間に、α- サイアロン層３が形成さ
れていることを確認した。また、このα- サイアロン層
３は、約20μm の厚さで連続して形成されていた。
の結晶相をＸ線回折により同定したところ、図１に示す
ように、Si3 N 4 セラミックス層１とβ- サイアロンセ
ラミックス層２との間に、α- サイアロン層３が形成さ
れていることを確認した。また、このα- サイアロン層
３は、約20μm の厚さで連続して形成されていた。
【００２０】また、上記セラミックス複合材料の特性を
以下のようにして評価した。まず、β- サイアロンセラ
ミックス層２のみが酸化されるように配置し、1400℃×
100時間の条件で耐酸化試験を行ったところ、β- サイ
アロンセラミックス層２はほとんど酸化されず、かつ裏
側のSi3 N 4 セラミックス層１には全く変化がなかっ
た。また、図２に示すように、Si3 N 4 セラミックス層
１が下側となるように 3点曲げ治具上に配置し、β- サ
イアロンセラミックス層２側から荷重を加えて、3点曲
げ試験を室温にて行ったところ、1000MPa と高強度を示
し、いわゆる窒化ケイ素焼結体と同等の特性を示した。
以下のようにして評価した。まず、β- サイアロンセラ
ミックス層２のみが酸化されるように配置し、1400℃×
100時間の条件で耐酸化試験を行ったところ、β- サイ
アロンセラミックス層２はほとんど酸化されず、かつ裏
側のSi3 N 4 セラミックス層１には全く変化がなかっ
た。また、図２に示すように、Si3 N 4 セラミックス層
１が下側となるように 3点曲げ治具上に配置し、β- サ
イアロンセラミックス層２側から荷重を加えて、3点曲
げ試験を室温にて行ったところ、1000MPa と高強度を示
し、いわゆる窒化ケイ素焼結体と同等の特性を示した。
【００２１】実施例２ 実施例１で用意したβ- サイアロン原料粉末とSi3 N 4
調合粉末、および合成α- サイアロン粉末(Y1 (Si,Al)
12 (O,N)16）を用いて、β- サイアロン／α-サイアロ
ン／Si3 N 4 の 3層構造となるように成形体を作製し
た。次いで、この3層成形体を N2 雰囲気中にて1800℃
× 2時間の条件で焼成し、セラミックス複合材料を得
た。
調合粉末、および合成α- サイアロン粉末(Y1 (Si,Al)
12 (O,N)16）を用いて、β- サイアロン／α-サイアロ
ン／Si3 N 4 の 3層構造となるように成形体を作製し
た。次いで、この3層成形体を N2 雰囲気中にて1800℃
× 2時間の条件で焼成し、セラミックス複合材料を得
た。
【００２２】このようにして得たセラミックス複合材料
を実施例１と同様に解析・評価したところ、実施例１と
同様に、β- サイアロン層／α- サイアロン層／Si3 N
4 層の 3層構造を有していることを確認した。また、α
- サイアロン層は約 500μmの厚さで連続して形成され
ていた。
を実施例１と同様に解析・評価したところ、実施例１と
同様に、β- サイアロン層／α- サイアロン層／Si3 N
4 層の 3層構造を有していることを確認した。また、α
- サイアロン層は約 500μmの厚さで連続して形成され
ていた。
【００２３】また、上記セラミックス複合材料の特性
を、実施例１と同様に測定したところ、耐酸化試験では
0.05mg/cm2 しかβ- サイアロン層は酸化されず、また
3点曲げ試験では950MPaと高強度を示した。
を、実施例１と同様に測定したところ、耐酸化試験では
0.05mg/cm2 しかβ- サイアロン層は酸化されず、また
3点曲げ試験では950MPaと高強度を示した。
【００２４】比較例１ 実施例１で用意したβ- サイアロン原料粉末とSi3 N 4
調合粉末とを用いて、β- サイアロン／Si3 N 4 の 2層
成形体を作製した後、 N2 雰囲気中にて1800℃× 0.2時
間の条件で焼成して複合焼結体を得た。この複合焼結体
を実施例１と同様に解析・評価したところ、β- サイア
ロン層とSi3 N 4 層の 2層のみで、界面にα- サイアロ
ン層は生成されていなかった。この複合焼結体の 3点曲
げ強度を実施例１と同様に測定したところ、620MPaと強
度劣化を起こしていた。これは、β- サイアロン層とSi
3 N 4 層との界面に熱応力により微細なクラックが発生
していたためと考えられる。
調合粉末とを用いて、β- サイアロン／Si3 N 4 の 2層
成形体を作製した後、 N2 雰囲気中にて1800℃× 0.2時
間の条件で焼成して複合焼結体を得た。この複合焼結体
を実施例１と同様に解析・評価したところ、β- サイア
ロン層とSi3 N 4 層の 2層のみで、界面にα- サイアロ
ン層は生成されていなかった。この複合焼結体の 3点曲
げ強度を実施例１と同様に測定したところ、620MPaと強
度劣化を起こしていた。これは、β- サイアロン層とSi
3 N 4 層との界面に熱応力により微細なクラックが発生
していたためと考えられる。
【００２５】このように、各実施例によるセラミックス
複合材料では、β- サイアロン層とSi3 N 4 層との層間
にα- サイアロン層を生成しているため、熱応力による
強度低下を抑制することができ、よってSi3 N 4 が本来
有する強度を安定して得ることができる。これにより、
耐熱・耐酸化特性に優れると共に、高強度を有するセラ
ミックス複合材料を再現性よく提供することが可能とな
る。
複合材料では、β- サイアロン層とSi3 N 4 層との層間
にα- サイアロン層を生成しているため、熱応力による
強度低下を抑制することができ、よってSi3 N 4 が本来
有する強度を安定して得ることができる。これにより、
耐熱・耐酸化特性に優れると共に、高強度を有するセラ
ミックス複合材料を再現性よく提供することが可能とな
る。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、α
- サイアロン層を応力・組成緩和層として、β- サイア
ロンセラミックス層と窒化ケイ素セラミックス層との層
間に設けているため、複合化に伴う強度や高温特性等の
低下を抑制することが可能となり、よってそれぞれの特
性を十分に発揮させることが可能なセラミックス複合材
料を再現性よく提供することが可能となる。本発明によ
れば、特に高温構造材料として好適なセラミックス複合
材料を提供することができる。
- サイアロン層を応力・組成緩和層として、β- サイア
ロンセラミックス層と窒化ケイ素セラミックス層との層
間に設けているため、複合化に伴う強度や高温特性等の
低下を抑制することが可能となり、よってそれぞれの特
性を十分に発揮させることが可能なセラミックス複合材
料を再現性よく提供することが可能となる。本発明によ
れば、特に高温構造材料として好適なセラミックス複合
材料を提供することができる。
【図１】本発明の一実施例によるセラミックス複合材料
の構造を模式的に示す断面図である。
の構造を模式的に示す断面図である。
【図２】本発明の実施例において実施した 3点曲げ試験
における配置状態を示す図である。
における配置状態を示す図である。
１……Si3 N 4 セラミックス層 ２……β- サイアロンセラミックス層 ３……α- サイアロン層
Claims (1)
- 【請求項１】 窒化ケイ素セラミックス層とβ- サイア
ロンセラミックス層とを具備するセラミックス複合材料
であって、前記両セラミックス層間にα- サイアロン層
が設けられていることを特徴とするセラミックス複合材
料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4198388A JPH0648849A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | セラミックス複合材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4198388A JPH0648849A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | セラミックス複合材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0648849A true JPH0648849A (ja) | 1994-02-22 |
Family
ID=16390301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4198388A Withdrawn JPH0648849A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | セラミックス複合材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648849A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2423957A (en) * | 2005-03-10 | 2006-09-13 | Future Technology | Ceramic bonding process |
| CN106322996A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-11 | 浙江大学宁波理工学院 | 单风机多风道精炼炉 |
| CN106382820A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-08 | 浙江大学宁波理工学院 | 一种单风机多风道精炼炉 |
-
1992
- 1992-07-24 JP JP4198388A patent/JPH0648849A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2423957A (en) * | 2005-03-10 | 2006-09-13 | Future Technology | Ceramic bonding process |
| GB2423957B (en) * | 2005-03-10 | 2007-03-14 | Future Technology | Ceramic bonding processes |
| CN106322996A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-11 | 浙江大学宁波理工学院 | 单风机多风道精炼炉 |
| CN106382820A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-08 | 浙江大学宁波理工学院 | 一种单风机多风道精炼炉 |
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