JPH0651006Y2 - ガスレ−ザ−発振器 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、ガスレーザー発振器、特にレーザー管の構造
の改良に関するものである。

（従来技術及びその問題点） レーザー光は、その強い指向性や高エネルギー密度の特
性を利用して、各種材料の切断、加工または溶接等に用
いられており、レーザー光の発生装置の一つにガスレー
ザー発振器がある。通常このタイプの発振器は、レーザ
ー管内での放電により励起されるようになっており、放
電に必要な高電圧がレーザー管の電極に加えられるた
め、絶縁対策上、電極や電極の端子と端部に設けられた
ミラーヘッドとの間には充分な距離をとるようになって
いる。

第３図は従来の軸流型炭酸ガスレーザー発振器１の要部
を示すもので、レーザー管２は円筒状のジャケット2aと
ジャケット2aの内部に一体的に形成されたプラズマ管2b
とからなり、電極３の近辺には電極端子3aを支持する電
極端子管４が突設されている。レーザー管２は基台５の
支持体5aによって支持されており、レーザー管２の端部
にはレーザー管２とは別個にインバー６により支持され
たミラーマウント８が気密に設けられている。そして、
ミラー９はミラーフランジ10に固定され、このミラーフ
ランジ10はミラーマウント８に取付けられているととも
に、ベローズ11によって気密性が保たれており、これら
によってミラーヘッド７が構成されている。

この従来の軸流型炭酸ガスレーザー発振器１では、高電
圧により充電された電極３または電極端子3aとミラーヘ
ッド７との間の漏電を防ぐために、これらの間には充分
な距離を設けておかなくてはならず、そのためにレーザ
ー管２の長さ、ひいてはレーザー発振器１の全長が不必
要に長くなってしまうという問題があった。

（問題点を解決するための手段） 本考案は、上述の問題を解決するためになされたもの
で、その技術的手段は、絶縁材料よりなる筒状のレーザ
ー管12の端部に導体であるミラーヘッドが取付られてな
るガスレーザー発振器であって、前記レーザー管には、
その内部に設けられ高電圧が印加される電極に接続する
電極端子を支持するための絶縁体の電極端子管が該電極
の近辺において突設されており、前記絶縁材料よりなる
レーザー管の前記電極とミラーヘッドとは、その外周面
および内周面が波状に形成された絶縁体の波状筒部によ
ってのみ連結されており、電極端子管は少なくともその
外周面が波状に形成されていることを特徴とするもので
ある。

（実施例） 以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図において、レーザー管12は、円筒状のジャケット
12aとジャケット12aの内部に一体的に形成されたプラズ
マ管12bとからなっている。レーザー管12は、石英や硬
質ガラスなどの高強度で熱膨脹率の小さいガラス、また
はセラミックスなど、絶縁材料によってできており、ジ
ャケット12aは直径および肉厚を適当に大きくして機械
的強度を向上させてある。プラズマ管12bには、円筒状
の電極13が嵌入しており、電極13に接続する電極端子14
がジャケット12aより突設された電極端子管15により気
密に支持され、その先端にリード線14aが接続されるよ
うになっている。そして、レーザー管12の端部はジャケ
ット12aと一体的に形成されたフランジ部16となってお
り、このフランジ部にはミラーヘッド17がボルトにより
取付けられている。

さて、ジャケット12aの端部、電極端子管15とフランジ
部16との間は、ジャケット12aが蛇腹状に形成されてそ
の外周面および内周面がともに波状の波状筒部18となっ
ており、これによって電極13とフランジ部16の端面との
距離に比して、電極13および電極端子14からフランジ部
16の端面に至る外周面および内周面に沿う各沿面距離が
長くなり、絶縁性が著しく向上している。

また、電極端子管15も、波状筒部18と同様な波状部19が
設けられており、これによって電極端子14から他の部材
に至る沿面距離が長くなり、この部分の絶縁性がさらに
向上している。

なお、ミラーヘッド17は、ミラーマウント20、ミラーマ
ウント20の穴20aに円筒部21aが嵌入するとともにミラー
マウント20にほぼ平行に対向して設けられたミラーフラ
ンジ21、およびミラーフランジ21にミラー押え22aによ
って取付けられたミラー22などよりなっている。ミラー
マウント20とミラーフランジ21とは、一点において鋼球
23によりピボット状に互に当接しているとともに、この
鋼球23を中心にして互に直角方向位置に設けられた２組
の引張ばね24及びマイクロメータ25によって保持されて
おり、各マイクロメータ25を調整することによってミラ
ー22の軸芯方向を正確に調整できるようになっている。

第２図は他の実施例を示すもので、レーザー管12に設け
られた波状筒部18の端部がコバール等の金属よりなる円
筒管26に溶着しており、円筒管26は金属よりなるフラン
ジ部27と溶接により一体となってこれにミラーヘッド17
が取付けられている。

上述の実施例によると、電極13および電極端子14とミラ
ーヘッド17との間の沿面距離が長くなり、これによって
ジャケット12aの外周面および内周面を伝う短絡が防止
されるとともに、ジャケット12aのこの部分の長さを短
くすることができ、レーザー発振器の小型化が図れるこ
ととなる。

また、ミラーフランジ21やミラーマウント20がレーザー
管12により直接的に支持されているため、従来のような
インバーやインバー支持構造が不要となり、それだけ構
造が簡単となって製作が容易となるとともに、インバー
とレーザー管の熱膨脹率の相異によるレーザー管の損傷
や出力の変動が防止されることとなる。

上述の実施例において、波状筒部18の形状は種々の形状
とすることができ、また、波状部19は筒状でなくてもよ
い。ミラーヘッド17の構造やレーザー管12とミラーマウ
ント20との取付け構造、その他の各部の構造は適宜変更
することができる。

（考案の効果） 本考案によると、電極または電極端子からミラーヘッド
に至る沿面距離が長くなり絶縁性が向上するとともに、
レーザー管の長さを短くすることができ、レーザー発振
器の全長を短くし小型化することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のガスレーザー発振器の実施例を示す断
面図、第２図は他の実施例を示す断面図、第３図は従来
のガスレーザー発振器を示す断面図である。 12……レーザー管、13……電極、14……電極端子、15…
…電極端子管、16,27……フランジ部、17……ミラーヘ
ッド、18……波状筒部、19……波状部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 山本 省吾 兵庫県尼崎市常光寺西ノ町１丁目21番地 大阪富士工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭46−1625（ＪＰ，Ａ) 実開 昭52−65898（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭46−830（ＪＰ，Ｙ１) 実公 昭51−43439（ＪＰ，Ｙ２)

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】絶縁材料よりなる筒状のレーザー管の端部
   に導体であるミラーヘッドが取付られてなるガスレーザ
   ー発振器であって、前記レーザー管には、その内部に設
   けられ高電圧が印加される電極に接続する電極端子を支
   持するための絶縁体の電極端子管が該電極の近辺におい
   て突設されており、前記絶縁材料よりなるレーザー管の
   前記電極とミラーヘッドとは、その外周面および内周面
   が波状に形成された絶縁体の波状筒部によってのみ連結
   されており、電極端子管は少なくともその外周面が波状
   に形成されていることを特徴とするガスレーザー発振
   器。
2. 【請求項２】前記ミラーヘッドは、前記レーザー管の端
   部に設けられたフランジ部にボルトにより取付けられて
   なる実用新案登録請求の範囲第１項記載のガスレーザー
   発振器。