JPH06510564A - 取り外し可能なカソードを備えた回転マグネトロン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 取り外し可能なカソードを備えた回転マグネトロン及肌Ω麓量 本発明はマグネトロンスパッタリング装置に関し、特に、回転マグネトロンに関 する。

直流反応性スパッタリングは、例えば建築物や自動車の窓ガラスに対する温度制 御被膜の塗布の如き、商業的な広面積にわたる被膜形成のために頻繁に用いられ ている付着プロセスである。このプロセスでは、被覆されるべき物品は、バキュ ームロックによって互いに隔離された一連のインライン真空室を通過させられる 。このシステムは、連続インラインシステム又はガラスコーターとも呼ばれてい る。

各真空室内は、スパッタリングガスが部分減圧により約３ミリトリチエリの圧力 に維持されている。スパッタリングガスは、アルゴンのような不活性ガスと、酸 素の如き酸化物生成用の反応性ガスの少量との混合物からなる。各室は、約−２ ００ボルト〜−１０００ボルトの負電位に保たれたー又はそれ以上のカソード（ 陰極）を含んでいる。カソードは長尺な矩形状をしており、その長さは真空室の 幅にも及ぶ、カソードは、一般に０．１０ｍ−０，３０ｍの幅と、１ｍ以上の長 さを持つ、スパッタされるべき物質の層は、カソードの表面に施されている。

この表面層ないし表面物質は、ターゲット又はターゲット物質として知られてい る０反応性ガスは、ターゲット物質と共に化合物を適宜形成する。

スパッタリングガスからのイオンは、ターゲットに向けて加速され、ターゲット 物質の原子を叩き出す、即ち、スパッタする。今度はこれら原子が、ターゲット の下側を通ってガラスシートのような基材上に付着される。これらの原子は、ス パッタリングガス中の反応性ガスと基材上で反応し、薄膜を形成する。

建築用ガラスコーティングプロセスは、磁気強化平面マグネトロンの発達により 商業的に可能となった。平面マグネトロンは、閉じたループ形状に整えられ、か つ、ターゲットの背後の固定位置に配設されたマグネット列を有している。こう して、閉じたループ形状の磁場がターゲットの前方に形成される。この磁場によ って、放出された電子は当該磁場に捕らえられ、螺旋状に移動して行く、このこ とは、イオン化をより促進し、スパッタ率をより高める。ターゲットの過加熱を 防止するために、適当な水冷機器が配設されている。かかる平面マグネトロンは 、米国特許第４，１６６．０１８号に更に詳細に記述されている。

平面マグネトロンの欠点は、ターゲット物質が磁場内の狭い領域においてスパッ タだけをなされる点にある。このことは、あたかも競技場のトラックの如き形状 をしたスパッタ領域をターゲット上に作りあげる。このように、スパッタリング がなされるにつれて、競技トラック状の浸食域が生み出される。このことは、多 くの問題を引き起こす０例えば、　（１）局部において高温となることは、結局 において、カソードが作動可能な電力の供給を制限する。また、　（２）ターゲ ットが交換されるまでに、実際にはターゲット物質の僅か２５％程度が利用され るにすぎない。

平面マグネトロンに固有の幾つかの８８点を克服するために、回転マグネトロン （又はロータリーマグネトロン）が発達した８回転マグネトロンは、はぼ円筒状 のカソード及びターゲットを利用する。カソード及びターゲットは、スパッタリ ング領域を画する磁石の配列の周りを連続的に回転される０例えば、ターゲット の新品の部分は、冷却の問題を緩和し、より高い作動力を可能とするスパッタリ ング領域に対して絶えず提供される。カソードの回転はまた、浸食域がスパッタ リング領域によって覆われたカソードの全周から成り立つことを確実なものとす る。このことは、ターゲットの利用度を高める。かかる回転マグネトロンは、米 国特許第４，３５６，０７３号及び第４，４２２，９１６号に更に詳細に記述さ れており、それらの開示の全体は、参照によってここに組み込まれている。

回転マグネトロンは、回転を可能とする軸受けと５　ドライブシャフト、電気導 管及び冷却導管のためのバキュームシールとを必要とする。バキュームシール及 びロータリーウォーターシールは、ドライブシャフトの周り、及び、コーテイン グ室と周辺環境との間に展開する導管顕の周りをシールするために使用されてき た。しかしながら、そのようなシールは、高温・高負荷の条件下において漏れを 増大させる傾向がある。マグネトロンを回転させるために様々な配設方法、シー ル方法及び駆動方法が、米国特許第４，４４３，３１８号、第４．４４５，９９ ７号及び第４，４６６．８７７号に記述されており、それらの開示の全体もまた 参照によってここに組み込まれている。これらの特許は、コーテイング室内に水 平に配設され１両端部で支持された回転マグネトロンについて述べている。

しかしながら、片持ちマウントによって一端部だけでマグネトロンを支持するこ とが、時として好ましいことがある。しかし、片持ちマウント方式は、最も大き な負荷を軸受けに与える１片持ちマウントされたロータリーマグネトロンの各種 事例が、アメリカ真空学会の第３２回国際シンポジウムの議事録「回転可能なマ グネトロンの設計上の進歩と応用」、第４巻Ｎｏ、３．バート１．第３８８〜３ ９２頁（１９８６年）に与えられている。そのテキストの全体は、参照によって ここに組み込まれている。

仮に、軸受は及びシールがコーテイング室内に配置されるならば、そうでない場 合にカソード長を与えるであろう空間が使用される。更に、もしカソードが両端 部で支持されるならば、一端部だけでカソードが支持された場合よりも大きな室 空間が使われる。どちらの場合においても、カソードの有用なスパッタリング領 域がコーテイング室の幅全体を占めることができないために、回転マグネトロン の効率は低下する。このように、狭い基材だけがコートされ得るので、処理量が 低下する。

片持ちマウントされたマグネトロンは通常、ドライブシャフトを含む軸受はハウ ジングと、回転バキュームシールと、前記ドライブシャフトに沿って間隔を隔て て設けられた少なくとも二つの軸受けであってその一方がシャフトシールとして 機能する軸受けとを含んでいる。この軸受は装置は通常、支えるべき負荷に対す る要請から、嵩高でありしかも重たい、また、その装置の各軸受は間の隔離長を 増すことによって片持ちによるテコの効果を最大にしているため、当該軸受は装 置はカソード長に比較して相対的に長くなっている。

一般に、軸受は装置の大部分は、ドライブシャフトの一部、並びに、水用及び電 気用の導管だけをコーテイング室の外に残したまま、室側壁の開口を通してコー テイング室内に配設されている。このことは、空間が軸受は装置によって占めら れるという結果をもたらす、さもなくば、当該空間は、もっと長いカソードによ って占められる得るものである。

カソード本体を軸受アセンブリの結合（ｉｎｔｅ（ｒａｌ）部品であるエンドプ ラグに溶接することにより、カソードは軸受アセンブリに永久的に取り付けられ ている。

例えばターゲットが腐食した場合等において、カソードがコーテイング室から取 り外される時、カソードを含む軸受アセンブリ全体を取り外さなければならない 。

軸受アセンブリはコーテイング室の上部カバーから取り外されるが、これはカソ ードの自由端と隣接する室の端部壁との間に隙間が存在しなければならないとい うことを意味する。この隙間は軸受アセンブリ及び、駆動・流体連結部を室の側 壁の装着口から自由に取り外すために必要であり、軸受アセンブリは室から取り 出せるようになっている。この隙間はその他に、より長いカソードを収容するた めの空間として使用されることもある。

軸受アセンブリは通常、コーテイング室から引き上げるために高架クレーンが必 要なほどの重量を有している。クレーンを使用することはカソードを修理あるい は交換するために必要な時間を増加させる。インラインコーティングシステムは １５はどのマグネトロンを有しており、その時には１つ以上のマグネトロンを取 り外さなければならない６通例、その作業には１台の高架クレーンだけが使用可 能である。従って、カソードの取り外し及び交換操作は連続して行わなければな らない、このため、それらの操作に必要な時間は長くなり、生産のための時間を 失う結果となる。

前記状況を鑑みて、本発明の第１の目的は、コーテイング室から軸受アセンブリ を取り外すことなくカソードを取り外し可能なカンチレバー装着型の回転マグネ トロンを提供することである。

本発明の第２の目的は、はとんどの軸受アセンブリがコーテイング室の外側に配 置され、より長いカソードの使用が可能な、カンチレバー装着型の回転マグネト ロンを提供することである。

本発明の第３の目的は、軸受アセンブリから迅速に、しかも容易に取り外しが可 能なカソードを提供するすることである。

本発明のその他の目的及び利点は以下に述べられており、ある程度はその記述か ら明らかになるか、あるいは発明の莫施により知ることができる。その他の発明 の目的及び利点は、特許請求の範囲で指摘された組み合わせ及び手段によって理 解され、また得ることができる。

及旦Ｑ概！ 軸端部が撤退室内に延びるように、軸受ハウジングと該軸受ハウジング内に回動 可能に装着された駆動軸とを備えた回転マグネトロン、ハウジングの内側部を室 から隔離して、軸受ハウジングと駆動軸を密封するための真空封止手段が設けら れている。室内において駆動軸の端部に脱着可能に丈ソードを取り付ける手段が 提供されており、軸受ハウジングを残したままカソードを取り外すことができる 。

本発明では、コーテイング室から軸受アセンブリを取り外すことなくカソードを 迅速に交換及び取り外し可能である。さらに、はとんどの軸受アセンブリがコー テイング室の外部に配置されるように、そのアセンブリは真空室に装着されてい る。このため、より長いカソードを使用でき、マグネトロンの操作効率を向上す ることができる。

置厘Ω版更 随伴する図面は明細書の一部を構成し、その図面により本発明の実施例を図示し 、上記した概要及び下記に述べる好適な実施例の詳細な説明とともに、発明の詳 細な説明する。

図１は回転マグネトロン及びコーテイング室を示す略体部分断面図である。

図２は図１の２−２線におけるた略体端面図である。

図３は図１における装置の一部を示す拡大略体図である。

ｔ　の　を 本発明は実施例によって詳細に説明されている０図１〜図３に示されるように、 軸受アセンブリあるいは装着ユニット１０は、溶接部１６によってフランジ１４ が取り付けられた軸受ハウジングから構成されている（図３）、軸受ハウジング １２はガス抜き室、即ちコーテイング室４２の側壁２０に配設されたフランジ１ ８に装着されている。連続する８本のボルト２２及びワッシャ２３によりハウジ ング１２のフランジ１４は別のフランジ１８に締め付は固定されている（図２及 び図３）、装着ユニット１０は絶縁リング２４及び絶縁ブツシュ２６によりフラ ンジ１８に対して電気的に絶縁されている。０リング２８．３０はフランジ１４ とフランジ１８との真空密閉性を保つために設けられている。

中空の駆動軸３２は、組み合わせ軸受３５の玉軸受３４．３６　（図３）によっ て、ざらに把持ユニット３８内に装着された玉軸受３４．３６によって軸受ハウ ジング１２内に支持されている０組み合わせ軸受はハウジンフグ１２内において ユニット３８にて挟持されている。全ての軸受において内側レースは、軸受ナツ ト１２ｏによって軸３２上に設けられた段部３１に押圧されて挟持されている。

回転真空シール４０は、ハウジング１２の内側部分をコーテイング室４２から隔 離するように、駆動軸３２と軸受ハウジング１２との間の真空シールのために使 用されている１回転シールは磁性流体シールが好ましい、既知のごとく、磁性流 体シールは搬送流体中に磁性体の超微粒子を含んだコロイド懸濁液を有したもの である。磁性流体シールはフエーロフルイディック・コーポレーション（Ｆｅｒ ｒｏｆｌｕｉｄｉｃ　Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）　、　０３０６１　−’−Ｌ− ヨーク、ナシュ乙すイモン・ストリート４０　（４０５ｉａｏｎ　５ｔｒｅｅｔ 、　Ｎａ５ｈｕａ、　Ｎｅｗ　Ｙｏｒｋ　０３０６１）のものが好ましい。

特にモデル番号５Ｃ−３０００−Ｃのシールが好ましい、その他の種類のシール を軸に使用してもよい。

カソード装着フランジ４６はナツト４８によって駆動軸３２に挟持されている。

カソード装着フランジ４６はキー３２によって駆動軸３２上における回転が防止 されており、ざらに０リング５０によって駆動軸に対する真空シールがなされて いる。

また、冷却流体移送管または通路５２は、駆動軸３２内を回転しないように、冷 却流体注入ユニット５３内の手段（図示しない）によって支持されている。駆動 軸３２は交互に、冷却流体流出ユニット５４内に回動可能に支持されている。

両ユニット５３．５４はボルト５６によって相互に挟持されており、アーム５８ （図２では、わかりやすいように省いである）によって回転しないようになって いる。カソード用の冷却流体は流入ポート１４０から注入ユニット５４に給送さ れ、流出ユニット５４からポート１４２を介して排出される。

図３に示すように、冷却流体移送管５２は駆動軸３２の一端３２ａとほぼ同一軸 線上に端部５２ａを備えている。前記端部５２ａ内はやや大径状に形成され、そ の内壁には溝６０が形成されている。後述するように、端部５２ａはカソード６ ４内に支持される流体移送管７９の内端７９ａと係合している。管、即ち導管を 介して冷却流体はカソードに搬送される。

カソード６４は、外端６８（図２）においてキャップ（図示略）にて密封されて た管体６６により構成されている。厚手のフランジ部７２を備えた装着プラグ７ ０は管体６６の内端を溶接７４（図３）により密封している。フランジ７２、ひ いてはカソード６４は６個のボルト７６によりフランジ４６に対して着脱可能に 取付けられている。フランジ４６及び７２間における真空は、フランジ４６の溝 ７７内に配置された０リング７８により保たれる。カソード６４の寸法について 述べると、長さはほぼ３フイート、直径は６インチである。

流体移送管７９は、カソード６４内では第１のベアリング８０（通常は非金属材 料にてスリーブ状に形成されている）により、またカソード６４の外端では第２ のベアリング（図示略）にて回動可能に支持されている。前記ベアリング８０は プラグ７０のインサート８２（図３）内に装着され、保持リング８６及びクリツ ブ９０によって位置決めされている。流体移送管７９は内端部７９ａの外径が、 別の流体移送管５２の端部５２ａ内に挿入され得るように縮径されている。管７ ９は図示しないビンと溝との保合によって管５２にキー着され、管７９が管５２ 内で回動することが防止されている。このように、カソード６４が流体移送管７ ９の周囲を回転する間は流体移送管７９は満足な状態で保持される。

棒磁石９２はクランプ９４を介して流体移送管７９により支持されている。電力 は把持ユニット３８内の導線９６及びブラシの接触（図示時）によりカソードに 送られる。ブラシは駆動軸３２に接触している。

暗部遮蔽部９８はボルト１００によりフランジに取付けられている。暗部遮蔽部 はフランジ４６及び装着プラグ７ｏを包囲している。暗部遮蔽部９８には流体冷 却溝１０２が設けられている。冷却流体は環状孔１０４（図３）を介して溝１０ ２に対して導入及び除去される。保合孔及び密封部（図示時）、さらには真空フ ィードスルー１０６（図２）はフランジ１８内に配置されている。暗部遮蔽部９ ８のための冷却流体は導入導管、即ちポート１４４を介して遮蔽部に送られ、排 出導管、即ちボート１４６を介して遮蔽部から排出される（図２参照）。

暗部遮蔽部１０８はカン−ドロ４の外端部６８にも取付られ、カソードに対して 電気的に遮断されている。なお、暗部遮蔽部９８，１０８の冷却及び遮蔽は本発 明とは直接に関係はないため、これ以上の詳細についての説明を省略する。

カソード６４はモータ１１０によって回転駆動される。駆動力はギヤボックス１ １２及び軸１１３を介してプーリ１１４に伝達される。ベルト１１６によって駆 動力はプーリ１１８に伝達される。なお、プーリ１１８は駆動軸にキー着され、 ナツト１２０によって同駆動軸に止者されている。前記モータ１１０はブラケッ ト１２２により軸受ハウジング１２に対して直接に取付けられている。駆動軸の 延長部分１２４及びその内部にある流体移送管の延長部分（図示時）冷却流体注 入ユニット５３及び冷却流体流出ユニット５４を、流体移送管５２及び駆動軸３ ２を介してカソードに連通させる。

上記からも明らかなように、軸受アッセンブリ１０の大部分はコーテイング室４ ２外に配置されているため、カソード６４の長さを増加させることが可能になる 。

コーティングされるべき基質は、スピンドルに装着したローラ１２８によりコー テイング室４２を経て搬送される。スピンドルは、コーテイング室の油か面３４ に取り付けたベアリング１３２にて支持されている。

コーテイング室の起部はカバー１３６によって封止されている。より詳述するな らば、カバー１３６はコーテイング室の側壁２０．２１に対して真空封止されて いる６例えば、保全点検時等にカソード６４が離脱されるとき、カバー１３６も 離脱される。

カソードの離脱を促進するために、対カソード冷却流体供給及び排出システムは 導入ポート１４０及び排出１４２から遮断される。同じく、対暗部遮蔽部冷却流 体供給及び排出システムも導入ポート１４０及び排出１４２から遮断される（図 ２）、そして、冷却流体は導入ポート１４０，１４４を経て圧縮ガスを吹き付け ることにより暗部遮蔽部９８及びカン−ドロ４から排出される。

暗部遮蔽部９８はフランジ１８から、ボルト１００を外すことにより取り外され る。遮蔽部はカソード本体から取り外されるために、同カソード本体に沿って摺 動可能になっている。このあと、カソード６４はボルト７６を外すことにより、 フランジ４６から取り外される。暗部遮蔽部及びカソードは上方に移動され、カ バー１３６が外された開口を通して、コーテイング室外に運ばれる。この上方移 動動作中に、管７９は管５２から抜かれる。このように、軸受ハウジング１２と 、同ハウジング１２に内蔵される真空シール４０、導管５２及び駆動軸３２等の 部材が所定位置に留まっている間に、カソード本体及び同本体に内蔵される他の 部材はコーテイング室から取り外される。

カソードを離脱差せた後、装着シール７８はなお溝７７内に保持されている。

そして、冷却流体管路接続シール６２も溝６０内に保持されている。同様に、孔 １０４及びフランジ１８の保合孔（図示時）のためのＯリングシール′１４９は 溝１５０（図３参照）により所定位置に保持されている。

上記からも明らかなように、カソードの交換や、カソードを点検後に再度装着す る作業は比較的迅速かつ簡単に行われ得る。上記のタイプのカソードは冷却流体 が除去され、かつ取付フランジ４６から外された状態において、その重量は約１ ５０ポンドである。従って、カソードをコーテイング室から取外すには、平均的 な力を有する人間が２人で簡単な吊り具を使用することにより行われる。この際 に、オーバーヘッドクレーンを使用する必要はない、加えて、複数のカソードの 取り外し及び再設置を同時に行うことができ、労働力に応じた個数のカソードを 扱うことが可能である。このマグネトロン・スパッタリング・システムのメンテ ナンスに要する時間は著しく短縮され、これに対応して生産に携わる時間が増加 される。

以上、本発明の一実施例を説明した。なお、本発明は上記した実施例に拘束され るものではない０本発明の技術的範囲は添付した請求の範囲に従って解釈される ものとする。

■　ψ　ロ　■ 采　＆　９　３　〜　口　〜 ＦＩＧ、−２ ＦＩＧ、−３ 国際調査報告 フロントページの続き （７２）発明者　バンパーストーン、ジェフリーアメリカ合衆国　４９４２４　 ミシガン州　ホーランド　ジェイムズ　ストリート

Claims (28)

【特許請求の範囲】
1. １．軸受ハウジングと、 前記軸受ハウジングに回転可能に装着され、真空にすることが可能な室の中まで 延びる端部を備えた駆動軸と、 前記駆動軸を前記軸受ハウジングに対してシールし、その内部を前記室から隔離 する真空シール手段と、 前記室中まで延びる駆動軸の端部にカソードを取り外し可能に装着し、前記軸受 ハウジングが所定位置に留まっている間に前記室から前記カソードを取り外すた めの手段と を備えた回転可能なマグネトロン装置。
2. ２．前記駆動軸は中空でかつ少なくとも一端が開放されている請求項１に記載の 装置。
3. ３．前記カソードに対して冷却流体を流出入させる手段をさらに含む請求項２に 記載の装置。
4. ４．前記流体冷却手段は、前記駆動軸を通るように延びるとともに、その内部に 支持された第一の導管と、前記カソード中まで延びるとともに、その内部に装着 された第二の導管とを含み、前記第二の導管は前記第一の導管と連通するように 前記第一の導管に取り外し可能に装着され、かつ前記第二の導管は前記第一の導 管が駆動軸内に留まっている間に前記カソードから取り外し可能である請求項３ に記載の装置。
5. ５．前記第二のカソードによって前記カソード内に支持された磁石アレイをさら に含む請求項４に記載の装置。
6. ６．前記第二の導管は前記第一の導管への装着を容易にするため、その一端に外 径が縮小された部分を有する請求項４に記載の装置。
7. ７．前記第一の導管を第二の導管に対してシールするシール手段をさらに含む請 求項６に記載の装置。
8. ８．前記第二の導管は前記カソードの一端のプラグによって支持され、前記カソ ードが前記第二の導管の周りに回転し得る請求項７に記載の装置。
9. ９．前記取り外し可能に装着する手段は前記カソードを前記駆動軸に取り外し可 能に固定するための装着部材を含み、その部材は前記カソードの一端に形成され ている請求項１または４に記載の装置。
10. １０．前記装着部材は前駆駆動軸に固着されたフランジに取り外し可能に固定さ れている請求項９に記載の装置。
11. １１．前記装着部材は前記カソードの前記一端に設けたプラグを含み、前記プラ グは前記フランジに取り外し可能に固定可能なフランジ部分を含む請求項１０に 記載の装置。
12. １２．前記フランジ部分と前記フランジとの間には真空シールを形成するための 装着用シールを含む請求項１１に記載の装置。
13. １３．前記装着用シールは少なくとも２つの真空シールを含み、それらは前記フ ランジにおいて対応する溝に配設されている請求項１２に記載の装置。
14. １４．前記取り外し可能に装着する手段を取り囲むとともに、それに取り外し可 能に固定された暗色空間シールド（ｄａｒｋ　ｓｐａｃｅ　ｓｈｉｅｌｄ）をさ らに含む請求項９に記載の装置。
15. １５．前記軸受ハウジングは前記室の側壁に装着されている請求項１に記載の装 置。
16. １６．回転するマグネトロンを使用して基材に薄膜をスパッタリングする装置で あって、 真空にすることが可能なコーティング室と、前記コーティング室の側壁に装着さ れたカンチレバー装着ユニットと、前記装着ユニットは軸受ハウジングを含むこ とと、前記マグネトロンを回転するために前記軸受ハウジングに装着された駆動 軸と、前記軸受ハウジングの内部の少なくとも一部分を前記コーティング室から 隔離するための真空シール手段と、 前記コーティング室の内部において前記駆動軸の一端に前記マグネトロンのカソ ード本体を取り外し可能に装着し、それにより前記カソード本体を前記駆動軸か ら取り外し可能にするとともに前記コーティング室から取り外し可能にする手段 と、 前記マグネトロンを通過した基材を搬送する手段とを備えた装置。
17. １７．前記取り外し可能に装着する手段は、前記カソード本体を前記駆動軸に取 り外し可能に固定するために、前記カソード本体の一端に形成された装着部材を 含む請求項１６に記載の装置。
18. １８．前記装着手段は前記駆動軸に固定されたフランジに取り外し可能に固定さ れている請求項１７に記載の装置。
19. １９．前記装着手段は前記カソード本体の一端に設けたプラグを含み、前記プラ グは前記フランジに取り外し可能に固定されるフランジ部分を含む請求項１８に 記載の装置。
20. ２０．前記フランジ部分と前記フランジとの間には真空シールを形成するための 装着用シールを含む請求項１９に記載の装置。
21. ２１．前記装着用シールは少なくとも２つの真空シールを含み、それらは前記フ ランジにおいて対応する溝に配設されている請求項２０に記載の装置。
22. ２２．前記プラグ及び前記フランジを取り囲む暗色空間シールド（ｄａｒｋ　ｓ ｐａｃｅ　ｓｈｉｅｌｄ）をさらに含む請求項１９に記載の装置。
23. ２３．前記駆動軸は中空でかつ少なくとも一端が開放されている請求項１９に記 載の装置。
24. ２４．前記カソード本体に対して冷却流体を流出入させる手段をさらに含む請求 項２３に記載の装置。
25. ２５．前記流体冷却手段は、前記駆動軸を通るように延びるとともに、その内部 に支持された第一の導管と、前記カソード本体中まで延びるとともに、その内部 に装着された第二の導通とを含み、前記第二の導管は前記第一の導管と連通する ように前記第一の導管に取り外し可能に装着され、かつ前記第二の導管は前記第 一の導管が駆動軸内に留まっている間に前記カソード本体から取り外し可能であ る請求項２４に記載の装置。
26. ２６．前記第二の導管は前記プラグによって支持され、前記カソード本体が前記 第二の導管の周りに回転し得る請求項２５に記載の装置。
27. ２７．前記第二の導管は前記第一の導管への装着を容易にするため、その一端に 外径が縮小された部分を有する請求項２５に記載の装置。
28. ２８．前記第二の導管に前記第一の導管を堅牢に固定するための真空シール手段 をさらに含む請求項２７に記載の装置。