JPH0651268B2 - 押し圧制御式研削装置 - Google Patents

押し圧制御式研削装置

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JPH0651268B2
JPH0651268B2 JP1280989A JP28098989A JPH0651268B2 JP H0651268 B2 JPH0651268 B2 JP H0651268B2 JP 1280989 A JP1280989 A JP 1280989A JP 28098989 A JP28098989 A JP 28098989A JP H0651268 B2 JPH0651268 B2 JP H0651268B2
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邦雄 柏木
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は押し圧制御式研削装置に関し、特に位置と力の
制御が行われる研削装置であって、研削工具の押し圧が
常に設定された所望値に制御される押し圧制御式研削装
置に関するものである。
〔従来の技術〕
従来、産業用ロボットでは位置と力を制御することによ
って多自由度作業機械に所定の作業を行わせる仮想コン
プライアンス制御方式が提案されている(特開昭62−
35915号公報等)。一般に、この制御方式を備える
作業機械では、そのアームのリスト部に力センサを配設
し、この力センサを介して作業用工具を取り付ける。そ
して、制御装置において工具の運動特性を決定する仮想
の質量、バネ定数、粘性減衰係数等の制御パラメータを
設定し、この設定値と、外部から供給される基準位置姿
勢指令、工具に加わる力情報、実際の工具の位置や姿勢
の情報などに基づき、工具の速度指令値を演算し、この
指令値が制御装置から駆動回路を経由して工具の駆動装
置に供給される。この結果、工具はワークの形状に倣っ
て移動し、研削作業を行う。仮想コンプライアンス制御
では、制御装置で指定される工具が移動すべき位置と実
際の工具の存在位置との偏差、及び制御パラメータとし
て設定されている仮想バネ定数によって、その偏差に応
じたバネ力を算出し、このバネ力をワークに対する工具
の押付け力として、工具に対し力目標指令値を与える。
このようにソフトウェアによって実現される上記制御方
式によって、研削作業を行う工具に、あたかも本当の機
械的バネ機構が付設されているかのような運動特性を与
えることができる。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来の仮想コンプライアンス制御に従って動作する研削
装置では、位置と力を制御することにより、ある程度工
具をワークに押付けながら研削加工を行うことができ
る。しかし、従来装置の制御方式によれば、ワークの仕
上げ位置に対して削り残し部分が生じる等の不具合が発
生し、削り取る量に対応した工具の押付け力の調整とい
うことに十分な配慮が行われていなかった。更に具体的
に述べれば、例えば、工具に対し押し圧を加える方向の
バネ定数が固定された値である場合には、研削作業が進
行し削り残し量が少なくなるに従って、仮想的に設定さ
れたバネ要素が実質的に伸びた状態になるので、工具の
押し圧が減少し、そのためワーク面に対し十分な研削を
行うことができず、削り残しが生じることになる。また
押し圧方向のバネ定数を変化することができる制御方式
を備えた研削装置では、押し圧方向のバネ定数が大きな
値に設定されており且つワーク面において削り取る量が
多い場合には研削装置にとって過負荷状態が発生し、反
対に押し圧方向のバネ定数が小さな値に設定されており
且つ同じくワーク面において削り取る量が少ない場合に
は負荷不足の状態になるという不具合が生じる。
本発明の目的は、位置と力のフィードバックループを備
え、位置と力による制御の下に研削作業が実行される研
削装置において、研削工具の押し圧を所望の値に維持し
つつ研削終了位置を正確に制御することができ、被研削
部を良好な精度で研削し正確な仕上げ面を形成すること
ができる押し圧制御式研削装置を提供することにある。
本発明に係る前記押し圧制御式研削装置で採用される位
置と力の制御方式は、同様な機能を有するその他の多自
由度作業機械に適用することができる。
〔課題を解決するための手段〕
本発明に係る押し圧制御式研削装置は、研削工具に加わ
る少なくとも1軸の力を検出する力検出手段と、研削工
具の位置を検出する位置検出手段と、力検出手段と位置
検出手段のそれぞれで検出された力と位置のデータを用
いて研削工具の位置と力を制御する制御手段とを備え、
制御手段で設定される仮想バネ定数でワークに対する研
削工具の押し圧を決定する研削装置において、研削作業
上必要とされる押し圧を設定するための押し圧設定手段
と、ワークの仕上げ位置と位置検出手段が出力する研削
工具の位置データとに基づいて研削工具の移動方向の任
意の間隔ごとに研削偏差を求める研削偏差算出手段と、
押し圧設定手段の出力値と研削偏差算出手段の出力値に
基づき、押し圧が押し圧設定手段に設定された設定値と
なるように仮想バネ定数を算出し、この仮想バネ定数を
制御手段に設定するバネ定数演算設定手段とを備えるよ
うに構成される。
本発明による前記押し圧制御式研削装置は、研削偏差算
出手段で算出された研削偏差を取り込み、この算出され
た研削偏差と予め設定された偏差基準値とを比較して研
削作業を継続するか又は終了するかを判定する判定手段
を有することを特徴とする。
本発明による前記押し圧制御式研削装置は、力検出手段
の出力する力情報に基づいて研削作業を継続するか又は
終了するかを判定する判定手段を有することを特徴とす
る。
また本発明に係る押し圧制御式研削装置は、前記の各構
成において、研削偏差算出手段が平均化処理手段を含
み、この平均化処理手段で、特定の研削作業区間につい
て任意の間隔ごとに求められた複数の前記研削偏差の平
均値を求め、この平均値の研削偏差を前記研削偏差算出
手段の出力値としたことを特徴とする。
〔作用〕
本発明による押し圧制御式研削装置では、研削偏差算出
手段で被研削部の削り残りの量を求めその量に応じて仮
想バネ定数を求め、求められた新しい仮想バネ定数値を
制御手段に設定することにより、被研削部の削り残り量
が変化しても研削工具のワークに対する押し圧が所望の
一定押し圧となるように調整される。
また本発明による押し圧制御式研削装置では、研削偏差
と偏差基準値との比較により、又は力検出手段の出力す
る力情報により、研削作業を継続させるか否かを判定す
る判定手段を設けるため、研削作業の自動化を計ること
ができ、研削作業の能率及び仕上げ精度を高めることが
できる。
本発明による押し圧制御式研削装置では、平均化処理手
段で得られる研削偏差の平均値を用いて仮想バネ定数を
求め、特定の研削作業区間については所望の押し圧を発
生させる安定した値の仮想バネ定数を得ることができ
る。
〔実施例〕
以下に、本発明の実施例を添付図面に基づいて説明す
る。
第1図は本発明に係る押し圧制御方式研削装置の全体構
成を示す。第1図において、1は研削装置本体で、複数
の関節部を有するアーム2が支持基台3に取付けられ、
アーム2の各関節部の可動作用により、アーム先部は作
業上必要とされる位置に移動し、アーム全体の姿勢は作
業上必要な姿勢に変化する。アーム2の先部に位置する
リスト部4に6軸の力センサ5が取付けられ、更に力セ
ンサ5の先には、ワーク6に対して研削作業を行う手先
効果器である研削工具7が取付けられている。8はコン
トローラであり、このコントローラ8内にはコンピュー
タ等で構成される制御手段が内蔵され、予め定められた
位置と力の制御のための演算式を用いて且つ所定の手順
で研削装置本体1に対し位置・力制御を実行する機能を
有している。コントローラ8は、信号ライン9で研削装
置本体1に対し研削作業の動作を指令するための指令信
号を与え且つ研削装置本体1からモータ等の動作情報を
得ると共に、力センサ5から研削工具7に加わる力及び
モーメントに関する検出信号、すなわち力信号10を取
り込むように相互に電気的に接続されている。11は作
業者が所持し、必要に応じ適時に操作する操作器であ
り、テンキー及び各種の指令をコントローラ8に与える
ことのできる複数の操作スイッチが設けられている。操
作器11の各種の操作スイッチを作業者が操作すること
により、例えば作業動作の教示、作業条件の設定、更に
後述するように研削工具7の押し圧の設定、仕上げ位置
に対する研削偏差の基準値の設定等を行うことができ
る。
次に、第2図のブロック図に基づいてコントローラ8に
よって実現される本発明による制御機構の具体的構成に
ついて説明する。研削装置本体1に適用される本発明の
制御方式は、コントローラ8内に含まれるコンピュータ
等を利用してソフト的に又はその他のハード回路で実現
されるものであり、第2図は制御要素の構成が明確にな
るようにブロック図を示した。
第2図において、研削装置本体1の内部にはアーム2の
各関節部等を動かすための駆動モータ(図示せず)が複
数内蔵されている。これらの駆動モータにはその駆動量
を計測する角度計21が取り付けられており、この角度
計21によって各関節の軸角度データを得ることができ
る。
先ず位置・力制御演算系の構成から説明する。アーム先
端に配置された力センサ5から出力される力及びモーメ
ントの信号は力演算部22に送給され、この力演算部2
2で、センサ座標系から基準座標系(絶対座標系)に変
換すると共に研削工具7の重力分を差し引く重力補償を
行うことによりワークと研削工具7の接触点での力 を算出する。また前述の角度計21によって検出される
各軸の角度データは位置演算部23に送給され、位置演
算部23でこれらの角度データによって絶対座標系にお
ける研削工具7の位置と姿勢 が算出される。そして、この位置と姿勢 は、位置目標値設定部24で設定された位置の目標値 と、位置偏差演算部25で比較され、その位置偏差Δ が求められる。なお、位置目標値設定部24における位
置目標値の設定の仕方については後で詳しく説明する。
上記のように、力演算部22で得られた力 と位置偏差演算部25で得られた位置と姿勢に関する位
置偏差 はそれぞれ位置・力制御演算部26に入力される。
位置・力制御演算部26は、減算器27とバネ定数演算
部28と特性補償演算部29とから構成される。前記の
力演算部22の出力 は減算器27に与えられ、位置偏差演算部25で得られ
た位置偏差 はバネ定数演算部28に入力される。バネ定数演算部2
8では仮想バネ定数行列Kが設定されている。バネ定数
演算部28は、入力された位置偏差 に設定された仮想バネ定数行列Kを乗算することにより を算出する。本実施例においてバネ定数行列Kの各軸の
値は固定値ではなく、必要に応じて適切な値に変化せし
められる。ワーク6に対し研削工具7を押し付ける方向
の仮想バネ定数は、後述するようにバネ定数演算設定部
30によって演算される。バネ定数演算部28の出力 は減算器27に与えられる。減算器27では、 が計算され、この減算器27の計算結果は特性補償演算
部29に与えられる。特性補償演算部29ではコントロ
ーラゲインKcが設定されており、このKcによって入
力された が制御上の特性補償を受け、特性補償演算部29で速度
指令値 が算出される。このようにして位置・力制御演算部26
で求められた速度指令値 は駆動指令部31に供給され、この駆動指令部31で速
度指令値 は研削装置本体1の各駆動モータの駆動指令値 に変換される。変換された駆動指令値 は研削装置本体1の各駆動モータに供給され、この指令
値によってモータは動作する。
次にバネ定数演算部28のバネ定数行列Kの押し圧方向
のバネ定数値を変更する機能を有する前記バネ定数演算
設定部30について説明する。バネ定数演算設定部30
は、バネ定数演算部28で設定される研削工具による押
し圧方向の仮想バネ定数を逐次に演算し変更・設定する
制御系回路部分である。以下では、バネ定数演算設定部
30の構成とその構成による仮想バネ定数の演算の仕方
を説明する。
バネ定数演算設定部30では、研削装置本体1がワーク
6に対し研削工具7で押し圧を加えるとき、押し圧の方
向の仮想バネ定数を、ワーク6の研削加工仕上げ位置と
現在加工中のワーク6の研削位置との差(距離)、換言
すれは仕上げ位置に対する削り残し量に応じて変更する
ように構成したことに特徴がある。
32は押し圧設定部であり、この押し圧設定部32には
前記操作器11を作業者が操作することにより所望の押
し圧Fgrが設定される。この所望の押し圧Fgrとは、研
削装置本体1による研削作業において、研削工具7が最
大の能力を発揮できる押付け力、又はワーク6の材質等
に基づいて決定される最適な押付け力のことを意味す
る。この押し圧Fgrは研削作業中一定の値に保持され
る。押し圧設定部32に設定された押し圧Fgrはバネ定
数演算部33に与えられる。
一方、研削加工作業中において、位置演算部23で得ら
れた研削工具7の位置に関するデータは、位置抽出部3
4において任意の間隔、例えば所定の距離間隔で抽出さ
れる。位置抽出部34で抽出された研削工具7の位置デ
ータは仕上げ位置演算部35と研削偏差演算部36に供
給される。仕上げ位置演算部35は位置抽出部34で抽
出された研削工具の位置データに基づきワーク6の仕上
げ位置を演算する。この仕上げ位置については、作業開
始時に設定された仕上げ位置を用いても良い。また、そ
の既に設定されている仕上げ位置を用いて、それから補
間演算を適用して新たに仕上げ位置を算出するようにし
ても良い。そして、研削偏差演算部36は、位置抽出部
34で抽出された研削工具7の現在の研削位置と仕上げ
位置演算部35で得られた仕上げ位置に基づいて、押し
圧を加えている方向の研削偏差を算出し、これを次段の
記憶部37に送給して、ここに記憶する。上記の研削偏
差をΔhi(i=1,2,3・・・)と表す。この研削
偏差は前記の任意の距離間隔ごとに求められる。
38は平均化処理部であり、この平均化処理部38は、
一連の研削動作終了後、例えば指定された研削区間につ
き1回の研削動作が終了した後、前記の任意の距離間隔
ごとに演算され、且つ記憶部37に記憶された前記区間
におけるすべての研削偏差Δhiの値に基づいてそれら
の平均値Δhを求める。この場合の平均値の求め方とし
ては、例えば周知の算術平均が使用される。このように
して平均化処理部38で算出された特定の研削区間にお
ける研削偏差の平均値Δhは前記のバネ定数演算部33
と、後述する終了判定部39に与えられる。
バネ定数演算部33では、前記の所望の押し圧Fgrと平
均値Δhを用いて、研削工具7からワーク6に対して所
望の押し圧Fgrが加わるようにするためのバネ定数Kn
を算出する。この算出式は下記の通りである。
Kn=Fgr/Δh このようにして求められたバネ定数Knは仮想バネ定数
設定部40に設定され、更にその設定値は前記位置・力
制御演算部26のバネ定数演算部28に与えられ、これ
によってバネ定数演算部28の仮想バネ定数行列Kの押
し圧方向のバネ定数値が変更される。こうして所定の研
削区間について研削作業が終了するごとに、新しい所定
の区間の研削作業に関して押し圧方向のバネ定数が設定
される。
次に終了判定部39について説明する。終了判定部39
は研削作業を継続すべきか、終了すべきかを判定する機
能を有し、比較判定部41とこの比較判定部41に偏差
基準値Hを与える偏差基準値設定部42とから構成され
る。比較判定部41には平均化処理部38から研削偏差
の平均値Δhと偏差基準値設定部42から偏差基準値H
とが入力され、この2つの値が比較される。そして、比
較判定部41は、Δh≦Hである時には研削作業を終了
する指令を出力し、その反対にΔh>Hである時には研
削作業を継続する指令を出力する。研削終了の指令及び
研削作業継続の指令は次段の研削処理演算部43に送給
される。上記の偏差基準値設定部42で設定された偏差
基準値Hは、例えば仕上げ公差などの値である。
次いで研削処理演算部43は、比較判定部41から研削
作業終了という指令を受けると、研削作業を終了する制
御手順を実行し、一方研削作業を継続の指令を受ける
と、次の一連の研削動作のための作業経路の位置目標値
を演算し、この位置目標値を位置目標値設定部24に与
え、ここに設定する。
第3図に上記の構成・作用を有する押し圧制御系に基づ
く研削装置本体1の研削作業動作の一例を示す。第3図
において、2はアーム、5は力センサ、7は研削工具、
6はワークである。50はワーク6の表面に削り残った
被研削部であり、研削工具7は被研削部50を仕上げ位
置Cまで研削する作業を行う。研削工具7による研削区
間は教示された点A,Bの間の直線状の区間であり、研
削工具7について第3図中z軸方向(図中上下方向)が
押し圧方向となり、x軸方向が移動方向となっている。
またワーク6の表面Cが仕上げ位置であり、その上方位
置に研削作業を終了させるための偏差基準値Hが設定さ
れている。この偏差基準値Hは前記偏差基準値設定部4
2に設定されている。かかる状態において、研削工具7
はA点からB点に向かって被研削部50を研削し、その
研削が終了すると再びA点に戻って同じように研削動作
を繰り返す。A点からB点へ移動する1回の研削動作に
おいて、AB間の距離はΔlで細かく分割される。この
距離Δlは、位置抽出部34が研削工具7の位置を適当
な間隔で抽出するための前述した任意の間隔である。
第3図の状態は研削工具7が、A点からB点に向かって
研削作業を行いながら移動している状態を示している。
この研削作業における押し圧方向のバネ定数は、この直
前の研削作業で得られた値が設定されている。この研削
作業において、研削動作を行いながら、教示点Aから任
意の距離間隔Δlごとに研削偏差Δhiを求める。この
Δhiは、前記の位置抽出部34と仕上げ位置演算部3
5と研削偏差演算部36とによって求められる。求めら
れた研削偏差Δhiはそれぞれ記憶部37にストアされ
る。記憶部37には点Aから点Bまでの間に算出された
すべての研削偏差Δhiがストアされる。教示点Aから
教示点Bまでの研削作業が終了すると、記憶部37に記
憶された複数の研削偏差Δhi(i=1,2,3・・
・)に関して平均化処理部38によりそれらの平均値Δ
hを求める。この平均値Δhを用いてバネ定数演算部3
3は、次の研削作業工程において押し圧方向(z軸方
向)に押し圧Fgrを加える時に必要とされる仮想バネ定
数Knを算出する。算出された仮想バネ定数Knは仮想
バネ定数設定部40に与えられ、更にその設定値によっ
てバネ定数演算部28のバネ定数行列Kの押し圧方向の
バネ定数を変更する。一方、前記の研削偏差の平均値Δ
hは終了判定部39に送給され、その比較判定部41で
偏差基準値Hと比較され、前述した通り次の研削作業を
行うか否かが判定される。研削作業が継続される時には
所定の位置目標値が研削処理演算部43で求められ、こ
の目標値が位置目標値設定部24に設定される。この作
用に基づき通常の位置・力制御演算部26の機能によ
り、研削工具7は再び教示点Aの位置に戻り、教示点B
に向かって新たに設定されたバネ定数Knにより所望の
押し圧Fgrをワーク6に加えながら研削作業を開始す
る。この研削作業においても前述と同様に、バネ定数演
設定部30と終了判定部39において、研削偏差の平均
値の算出、この平均値に基づく押し圧方向の新たな仮想
バネ定数算出、及び研削作業を終了するべきか否かの判
定が行われる。こうして研削作業終了と判定されるま
で、繰り返し被研削部50は研削される。なお、研削作
業のための研削工具7の移動は、教示点AとBとの間を
往復させるものであっても良い。
次に第4図に基づいて本発明の第2実施例を説明する。
第4図は第2実施例の要部構成を示す。この実施例で
は、研削偏差の平均値Δhを求めず、任意の間隔ごとに
研削偏差演算部36で算出された研削偏差Δhiを基
に、その算出のつどバネ定数演算部33で仮想バネ定数
を算出するように構成される。従って、この実施例では
平均化処理部38が省略されており、且つ研削偏差演算
部36で求められた研削偏差Δhiの値は直接にバネ定
数演算部33と記憶部37に与えられる。バネ定数演算
部33に続くその後の制御処理については前記第1の実
施例の場合と同じである。記憶部37にストアされた各
研削偏差Δhiは一連の研削動作が終了した後、すべて
のΔhi(i=1,2,3・・・)に対し比較判定部4
1で終了判定がなされる。そのとき研削経路中において
1つでもH<Δhiの条件を満たせば、研削作業を継続
すべきであると判定される。これ以後の制御処理につい
ては前記第1実施例の場合と同じである。
本実施例の構成によれば、任意の距離間隔Δlごとに研
削偏差を計測し、これにより押し圧方向の仮想バネ定数
の変更及び設定を短い距離間隔で細かく行うことができ
る。それ故、本実施例では、ワーク6の仕上げ面が不規
則な面であり、研削偏差が不規則に変化するワークに対
して押し圧設定部32に設定された所望の押し圧を一様
に加えることができるという利点がある。
次に第5図に基づいて本発明の第3実施例を説明する。
第5図は第3実施例の要部構成を示す。この実施例で
は、研削作業の終了又は継続の判定を研削偏差を値で行
わず、力演算部22で得られる力情報に基づいて行うよ
うに構成される。研削作業において、研削工具7からワ
ーク6に与えられる押し圧に対抗するワーク6から得ら
れる反力は、力センサ5で検出され、力演算部22で絶
対座標系に変換される。この場合において、研削工具7
が仕上げ位置に到達すると、研削すべき量は0になり、
ワーク6から研削工具7に与えられる反力は発生しな
い。従って、力センサ5の検出する力を監視していれば
研削工具7が仕上げ位置に到達したか否かを判断するこ
とができる。そこで、力演算部22の出力する力 を入力する力抽出部60を設け、この力抽出部60にお
いて任意の間隔で力センサ5が検出する押し圧方向の力 を抽出し、この力 を力判定部61に供給する。力判定部61では、力基準
値設定部62から与えられる研削量が0の時の反力値0
を比較し、 が0を越える値であれば削り残しがあると判断し、研削
処理演算部43に研削作業を繰り返し継続の信号を送
る。
が0よりも小さい時には研削作業を終了する信号を研削
処理演算部43に送る。その他の構成・作用について
は、位置に基づく終了判定部39を除いて第2図に示さ
れた実施例と同じである。なお、力基準値設定部62で
設定される反力値は、その他に例えばワークの仕上げ交
差内で生ずる反力の値とすることもできる。
上記実施例では研削装置に本発明に係る押し圧制御方式
を適用した例を設定したが、被加工部の残量が変化して
も押し圧を所望の一定値にすべく仮想バネ定数を変化さ
せる制御方式は、研削装置に類似するその他の多自由度
作業機械に適用することができるのは勿論である。
〔発明の効果〕
以上の説明で明らかなように、本発明によれば次のよう
な効果を奏する。
位置・力制御部を有する研削装置において、押し圧設定
部とバネ定数演算設定部を備え、研削残量が少なくなっ
ても、所望の押し圧が得られるように研削偏差から仮想
バネ定数を求めるように構成したため、研削残量の大小
にかかわらず一定の押し圧で研削作業を行うことができ
る。
また研削作業が進み研削残量が減少するに従って仮想バ
ネ定数が増加していくため、最終的に位置制御と同等の
剛性を得ることができ、研削作業の能率と仕上げ精度を
高めることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明が適用される研削装置の構成図、第2図
は押し圧制御装置の具体的構成を示したブロック構成
図、第3図は研削作業の状態を示す作業説明図、第4図
は押し圧制御装置の他の変更実施例を示す要部ブロック
構成図、第5図は押し圧制御装置の他の変更実施例を示
す要部ブロック構成図である。 〔符号の説明〕 1……研削装置本体 2……アーム 5……力センサ 6……ワーク 7……研削工具 8……コントローラ 11……操作器 22……力演算部 23……位置演算部 24……位置目標値設定部 26……位置・力制御演算部 28……バネ定数演算部 30……バネ定数演算設定部 32……押し圧設定部 33……バネ定数演算部 36……研削偏差演算部 38……平均化処理部 39……終了判定部 60……力抽出部

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】研削工具に加わる少なくとも1軸の力を検
    出する力検出手段と、前記研削工具の位置を検出する位
    置検出手段と、前記力検出手段と前記位置検出手段のそ
    れぞれで検出された力と位置のデータを用いて前記研削
    工具の位置と力を制御する制御手段とを備え、前記制御
    手段で設定される仮想バネ定数でワークに対する研削工
    具の押し圧を決定する研削装置において、 研削作業上必要とされる押し圧を設定するための押し圧
    設定手段と、前記ワークの仕上げ位置と前記位置検出手
    段が出力する前記研削工具の位置データとに基づいて前
    記研削工具の移動方向の任意の間隔ごとに研削偏差を求
    める研削偏差算出手段と、前記押し圧設定手段の出力値
    と前記研削偏差算出手段の出力値に基づき、前記押し圧
    が前記押し圧設定手段に設定された設定値となるように
    前記仮想バネ定数を算出し、この仮想バネ定数を前記制
    御手段に設定するバネ定数演算設定手段とを備えること
    を特徴とする押し圧制御式研削装置。
  2. 【請求項2】請求項1記載の押し圧制御式研削装置にお
    いて、前記研削偏差算出手段で算出された研削偏差を取
    り込み、この算出された研削偏差と予め設定された偏差
    基準値とを比較して研削作業を継続するか又は終了する
    かを判定する判定手段を設けたことを特徴とする押し圧
    制御式研削装置。
  3. 【請求項3】請求項1記載の押し圧制御式研削装置にお
    いて、前記力検出手段の出力する力情報に基づいて研削
    作業を継続するか又は終了するかを判定する判定手段を
    設けたことを特徴とする押し圧制御式研削装置。
  4. 【請求項4】請求項1乃至3のいずれかに記載の押し圧
    制御式研削装置において、前記研削偏差算出手段は平均
    化処理手段を含み、この平均化処理手段で、特定の研削
    作業区間について任意の間隔ごとに求められた複数の前
    記研削偏差の平均値を求め、この平均値の研削偏差を前
    記研削偏差算出手段の出力値としたことを特徴とする押
    し圧制御式研削装置。
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