JPH0651604U - 運動伝達装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空雰囲気においても高温となる部材からの
放熱量が増大して温度上昇が抑制されることを目的とす
る。 【構成】 真空雰囲気の容器内で運動し高温となる部材
に容器内壁と対峙してフィンが設けられて放熱を行うよ
うに構成する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば往復動圧縮機、スクロール型真空ポンプなどに適用される運 動伝達装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

図５は往復動圧縮機などに使用されている従来の運動伝達装置の説明図である 。図において、本運動伝達装置は内部が数Torr以上の真空容器１内で回転運動を 往復運動に変換し、この真空雰囲気で使用される往復動圧縮機、スクロール型真 空ポンプなどに伝達するもので、回転軸３は軸受２で支持されている。回転軸３ の端部にはクランクアーム４が取付けられており、クランクアーム４にはリンク ５が図示しないころがり軸受を介して連結されている。図における符号１０は真 空容器１の蓋である。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上記のような従来の運動伝達装置において、真空容器１内では周囲ガスが非常 に低圧でしか存在せず冷却に十分な媒体が存在しないこと、また油が真空下で蒸 発して油散布などの冷却ができないことなどのために軸受の温度が１００℃を超 えることがあり、軸受潤滑用のグリースが劣化して頻繁にグリース交換を行う必 要がある。特に、半導体を扱う装置などにおいては非常に低圧ではあるが腐食性 ガスが使用され、この腐食性ガスに対して耐性のあるフッ素グリースを軸受に用 いる場合は、フッ素グリースは比重が大きいために発熱が多く、軸受の温度がか なり高くなる。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案に係る運動伝達装置は上記課題の解決を目的にしており、真空雰囲気の 容器内で運動し高温となる部材に上記容器内壁と対峙して設けられ放熱を行うフ ィンを備えた構成を特徴とする。

【０００５】

【作用】

即ち、本考案に係る運動伝達装置においては、真空雰囲気の容器内で運動し高 温となる部材に容器内壁と対峙してフィンが設けられて放熱を行うようになって おり、真空雰囲気においてもフィンを介して高温となる部材から容器内壁への放 熱量が増大して温度上昇が抑制される。

【０００６】

【実施例】

図１乃至図３は本考案の一実施例に係る運動伝達装置の説明図である。図にお いて、本実施例に係る運動伝達装置は往復動圧縮機などに使用されるもので、図 における符号１は内部が数Torr以上の真空容器、３は真空容器１内に軸受２を介 して支持されている回転軸である。回転軸３の端部にはクランクアーム４が取付 けられており、クランクアーム４にはリンク５が図示しないころがり軸受を介し て連結されている。このクランクアーム４とリンク５とを継ぐ部分に設けられて いるころがり軸受にはグリースが充填されており、リンク５の押え板６によって グリースが封入されている。

【０００７】 この押え板６はステンレス鋼製で表面には溝状に凸凹の加工を施したフィンが 刻設されており、取付ボルト７によってリンク５に取付けられている。また、フ ィン８はアルミ合金製で、取付ボルト７によって押え板６に真空容器１内壁に向 けて取付けられている。フィン８は放熱量を増すために捩って取付けられている 。これらのフィンを有する押え板６は、取付ボルト７によりリンク５に密着して 固定されている。図における符号１０は真空容器１の開口部を塞ぐ蓋である。

【０００８】 このように、ころがり軸受をリンク５に取付けている押え板６にフィンを設け 、さらに押え板６にフィン８を取付けたことにより、ころがり軸受の発熱はこれ らのフィンに伝熱され、これらのフィンから真空容器１内における数Torr以上の 真空雰囲気に輻射され、この真空雰囲気から真空容器１を経て外気に放熱される 。また、これらのフィンが回転するために僅かではあるが対流も生じ、放熱量が 大きくなる。このようにして、ころがり軸受からの放熱量が数倍に増大し、軸受 温度を従来のものに比べて２０〜３０％程度下げることができる。図３はこの放 熱効果を示しており、従来の運動伝達装置におけるころがり軸受の基準温度をＴ とすると本運動伝達装置では放熱効果が非常に高いことを示している。なお、本 運動伝達装置においては押え板６に凸凹状の形状を加工してフィンとし、また押 え板６に羽根状のフィン８を取付けているが、これらフィンの形状や材質等は特 にこのように限定されるものではない。また、本装置では押え板６にフィンを設 けているが、リンク５等にフィンを設けたり、フィン８を取付けたりすることも 可能である。

【０００９】 従来の運動伝達装置においては、真空容器内では周囲ガスが非常に低圧でしか 存在せず冷却に十分な媒体が存在しないこと、また油が真空下で蒸発して油散布 などの冷却ができないことなどのために軸受の温度が１００℃を超えることがあ り、軸受潤滑用のグリースが劣化して頻繁にグリース交換を行う必要がある。特 に、半導体を扱う装置などにおいては非常に低圧ではあるが腐食性ガスが使用さ れ、この腐食性ガスに対して耐性のあるフッ素グリースを軸受に用いる場合は、 フッ素グリースは比重が大きいために発熱が多く、軸受の温度がかなり高くなる が、本運動伝達装置においてはころがり軸受を取付けている押え板６にフィンを 刻設して放熱効果を高めるとともに、押え板６に密着し真空容器１内壁に向けて フィン８を設け輻射による放熱効果を高め、またリンク５の運動に伴ってころが り軸受から数Torr以上の真空容器１内へ対流による放熱量を高めており、ころが り軸受の温度上昇が抑制されてグリース交換の時期を従来の数倍に延ばすことが できる。

【００１０】 図４は本考案の他の実施例に係る運動伝達装置の説明図である。図において、 本実施例に係る運動伝達装置はスクロール型真空ポンプなどに使用されるもので 、スクロール１１とスクロール１２とが数Torr以上の真空雰囲気内で互いに向き 合って回転するとともに、スクロール１１の中心とスクロール１２の中心とは互 いに少し偏心して設けられている。なお、このスクロール型真空ポンプにおいて はスクロール１２の中心が偏心して設けられており、この場合はスクロール１２ がクランク的運動をする。スクロール１１，１２は噛み合い位置が回転に伴って 移動して行くが、中心部の方が断面積が小さい。このため、スクロール１１，１ ２内のガスはスクロール１１，１２の外周部から中心部へ圧縮されながら移動し てスクロール１１，１２の中心部に集められ、高圧となったガスがポンプ出口か ら排出される。このような圧縮過程でガスが高温となってスクロール１１，１２ も加熱されるが、スクロール１１，１２の外面にフィン１３，１４が設けられて おり、スクロール１１，１２はこのフィン１３，１４により放熱面積が広くなっ ているので、輻射および対流による放熱量が増して冷却されるなど、上記の実施 例に係る運動伝達装置と同様の作用効果を得ることができる。

【００１１】

【考案の効果】

本考案に係る運動伝達装置は前記のように構成されており、高温となる部材の 温度上昇が抑制されるので部材の寿命が延長される。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１（ａ）は本考案の一実施例に係る運動伝達
装置の断面図、同図（ｂ）は同図（ａ）におけるｂ−ｂ
矢視図である。

【図２】図２（ａ）はそのフィンの正面図、同図（ｂ）
は同図（ａ）におけるｂ−ｂ断面図である。

【図３】図３はその作用説明図である。

【図４】図４は本考案の他の実施例に係るスクロール型
真空ポンプの断面図である。

【図５】図５（ａ）は従来の運動伝達装置の断面図、同
図（ｂ）は同図（ａ）におけるｂ−ｂ矢視図である。

【符号の説明】

１ 真空容器 ２ 軸受 ３ 回転軸 ４ クランクアーム ５ リンク ６ 押え板 ７ 取付ボルト ８ フィン １０ 蓋 １１ スクロール １２ スクロール １３ フィン １４ フィン

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空雰囲気の容器内で運動し高温となる
   部材に上記容器内壁と対峙して設けられ放熱を行うフィ
   ンを備えたことを特徴とする運動伝達装置。