JPH0652233B2 - 超微粒子測定装置 - Google Patents
超微粒子測定装置Info
- Publication number
- JPH0652233B2 JPH0652233B2 JP60183487A JP18348785A JPH0652233B2 JP H0652233 B2 JPH0652233 B2 JP H0652233B2 JP 60183487 A JP60183487 A JP 60183487A JP 18348785 A JP18348785 A JP 18348785A JP H0652233 B2 JPH0652233 B2 JP H0652233B2
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- JP
- Japan
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- gas
- corona
- electrode
- particle
- burst
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- Measurement Of Radiation (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は，ガス中に浮遊する粒径0.1ミクロン以下の
超微粒子の個数濃度と粒径分布を測定するための装置で
ある。
超微粒子の個数濃度と粒径分布を測定するための装置で
ある。
従来のこの種の分離装置は，粒子に電荷を与えたのち直
流電界中を流通せしめ，その電気的移動度の差を粒子電
荷による微少電流を測定することによって検出する型式
のエアロゾル電気的移動度分析装置が用いられている。
流電界中を流通せしめ，その電気的移動度の差を粒子電
荷による微少電流を測定することによって検出する型式
のエアロゾル電気的移動度分析装置が用いられている。
上記型式の電気的移動度分析装置では，粒径が0.1ミク
ロン以下と極度に小さく，且つその個数濃度が低い場
合，粒子電荷による電流値が極めて小さくなって，誤差
の増大をさけられず，逐には測定自体が不可能となる。
ロン以下と極度に小さく，且つその個数濃度が低い場
合，粒子電荷による電流値が極めて小さくなって，誤差
の増大をさけられず，逐には測定自体が不可能となる。
この発明は，それ自体公知である電気的移動度分析装置
において微少電流計による粒子電荷検出の代わりに負電
荷をもたせた粒子が正コロナ電極に到来する度に生ずる
バースト・コロナのパルスを検出することにより粒子検
出を行う。
において微少電流計による粒子電荷検出の代わりに負電
荷をもたせた粒子が正コロナ電極に到来する度に生ずる
バースト・コロナのパルスを検出することにより粒子検
出を行う。
すなわち，本発明はガス中に浮遊する超微粒子に負コロ
ナ放電，ラヂオアイソトープ等を利用して，粒子１個毎
に電荷素量ｅ〔Ｃ〕の負電荷を与えるための「粒子予備
荷電部」と，同心円筒電極，平行平板電極等の平行電極
系と，その両電極間に可変直流電圧ｖ〔Ｖ〕を印加する
ための可変直流電源から成る「粒子分離部」と，該平行
電極系の一端より清浄キャリヤガスを供給してこれを両
電極間に層流状に他端へと流通せしめるためのガス吸引
口，ガス除塵用フィルター，ポンプ等より成る「キャリ
ヤガス流通系」を有し，更に該粒子予備荷電部の出口よ
り負帯電超微粒子を浮遊せしめたガスを一定の流量で該
平行電極系上流側の負電極附近に一様に供給するため帯
電超微粒子供給口と供給管路より成る所の「連結部」
と，該平行電極系下流側の正電極附近より一様に流通ガ
スの一部（以下抽出ガスと呼ぶ）とともにその場所に到
達せる帯電超微粒子を抽出するための帯電超微粒子抽出
口と，吸引管路，吸引ポンプ等より成る「抽出ガス吸引
系」を有し，更に該吸引管路に介入して設けられた，針
状，管状，線状，ナイフ刃状，円筒刃状等の放電極およ
び，これと絶縁の上対向配設せる板状，金網状，円筒状
等の放向電極より成るコロナ電極系と，その両電極間に
放電極が正となる如くコロナ開始電圧直前の電圧を印加
するための直流電源と，該放電極より発生するバースト
・コロナをその際，該コロナ電極系に流れるパルス電流
又は発光により検出計数するためのバースト・コロナ計
数器より成る「負帯電超微粒子計数部」から成る超微粒
子測定装置である。
ナ放電，ラヂオアイソトープ等を利用して，粒子１個毎
に電荷素量ｅ〔Ｃ〕の負電荷を与えるための「粒子予備
荷電部」と，同心円筒電極，平行平板電極等の平行電極
系と，その両電極間に可変直流電圧ｖ〔Ｖ〕を印加する
ための可変直流電源から成る「粒子分離部」と，該平行
電極系の一端より清浄キャリヤガスを供給してこれを両
電極間に層流状に他端へと流通せしめるためのガス吸引
口，ガス除塵用フィルター，ポンプ等より成る「キャリ
ヤガス流通系」を有し，更に該粒子予備荷電部の出口よ
り負帯電超微粒子を浮遊せしめたガスを一定の流量で該
平行電極系上流側の負電極附近に一様に供給するため帯
電超微粒子供給口と供給管路より成る所の「連結部」
と，該平行電極系下流側の正電極附近より一様に流通ガ
スの一部（以下抽出ガスと呼ぶ）とともにその場所に到
達せる帯電超微粒子を抽出するための帯電超微粒子抽出
口と，吸引管路，吸引ポンプ等より成る「抽出ガス吸引
系」を有し，更に該吸引管路に介入して設けられた，針
状，管状，線状，ナイフ刃状，円筒刃状等の放電極およ
び，これと絶縁の上対向配設せる板状，金網状，円筒状
等の放向電極より成るコロナ電極系と，その両電極間に
放電極が正となる如くコロナ開始電圧直前の電圧を印加
するための直流電源と，該放電極より発生するバースト
・コロナをその際，該コロナ電極系に流れるパルス電流
又は発光により検出計数するためのバースト・コロナ計
数器より成る「負帯電超微粒子計数部」から成る超微粒
子測定装置である。
前記粒子荷電部から連結部を経て，粒子分離部の上流側
負電極附近に供給された負電荷ｅ〔Ｃ〕を有する超微粒
子は、クーロン力により正電極に向って平均速度 で移動する。但し，＝V/d＝正負電極間の平均電界速
度〔V/m〕，ｄ＝電極間距離〔ｍ〕，η＝ガス粘度〔Ns/
m2〕，ａ＝粒子半径〔ｍ〕，Cm＝１＋2.514（λ／2a）
＋0.8（λ／ａ）×exp〔−0.55(2a／λ）〕，λ＝ガス
分子の平均自由行程で， は粒子半経ａと印加電圧Ｖの関数となる。すなわち， いま電極間のキャリヤガスの平均流通速度をVg〔ｍ／
ｓ〕，帯電超微粒子の供給口と抽出口間の距離をＬ
〔ｍ〕とすると，下記条件を満足する粒子半径ａ〔ｍ〕
の粒子のみが上記抽出口より検出ガスと共に抽出され負
帯電超微粒子計数部のコロナ電極系に導入される。
負電極附近に供給された負電荷ｅ〔Ｃ〕を有する超微粒
子は、クーロン力により正電極に向って平均速度 で移動する。但し，＝V/d＝正負電極間の平均電界速
度〔V/m〕，ｄ＝電極間距離〔ｍ〕，η＝ガス粘度〔Ns/
m2〕，ａ＝粒子半径〔ｍ〕，Cm＝１＋2.514（λ／2a）
＋0.8（λ／ａ）×exp〔−0.55(2a／λ）〕，λ＝ガス
分子の平均自由行程で， は粒子半経ａと印加電圧Ｖの関数となる。すなわち， いま電極間のキャリヤガスの平均流通速度をVg〔ｍ／
ｓ〕，帯電超微粒子の供給口と抽出口間の距離をＬ
〔ｍ〕とすると，下記条件を満足する粒子半径ａ〔ｍ〕
の粒子のみが上記抽出口より検出ガスと共に抽出され負
帯電超微粒子計数部のコロナ電極系に導入される。
こ負帯電超微粒子は、直ちにクーロン力によって正の放
電極近傍に到達し，その場所の強力な電界によって電子
を離脱放出，この電子が放電極に向って走行中に衝突電
離による電子崩れを発生して大きなパルス電流および発
光を伴う正のバースト・コロナを生ずる。したがって，
このパルス電流又は発光を上記バースト・コロナ計数器
で一定時間検出計数することによって，所定の粒子半径
ａの粒子の個数濃度 が測定でき，更に印加電圧Ｖを変えることにより，種々
のａに対する個数濃度，さらには粒経分布を測定するこ
とが可能となる。この場合，バースト・コロナは１個の
超微粒子到来毎に１個宛発生するから，如何にその個数
濃度が小さく，またその粒径が小さくても正確に と粒径分布を測定することが可能となるのである。
電極近傍に到達し，その場所の強力な電界によって電子
を離脱放出，この電子が放電極に向って走行中に衝突電
離による電子崩れを発生して大きなパルス電流および発
光を伴う正のバースト・コロナを生ずる。したがって，
このパルス電流又は発光を上記バースト・コロナ計数器
で一定時間検出計数することによって，所定の粒子半径
ａの粒子の個数濃度 が測定でき，更に印加電圧Ｖを変えることにより，種々
のａに対する個数濃度，さらには粒経分布を測定するこ
とが可能となる。この場合，バースト・コロナは１個の
超微粒子到来毎に１個宛発生するから，如何にその個数
濃度が小さく，またその粒径が小さくても正確に と粒径分布を測定することが可能となるのである。
本発明の特徴を実施例および図面により説明すると，第
１図において，１は粒子分離部で，接地せる外部円筒２
と絶縁３を介してこれより絶縁支持せる内部円筒４より
成る同心円筒状の平行電極系５と，両電極間に４を２に
対して正とする如き極性をもって可変直流電圧Ｖを印加
する所の可変直流電源６より成る。７，８はそれぞれ外
部円筒２の上下端を密閉する円板で、７と内部円筒４の
半径状頂部９の中間位置に７と平行に外部円筒２の内部
を上下に支切る整流用多孔板10がある。その上部空間11
の側壁に清浄キャリヤガス入口12があり，空気取入口13
を有する除塵用高性能フィルター14に連結されている。
半球状頂部９のつけ根の位置に対向する外部円筒２の内
壁に帯電超微粒子供給口としての円環状スリット15があ
り，その外周に円還状の導入室15′がある。内部円筒４
はその下方部に帯電超微粒子抽出口としての円還状スリ
ット16があり，更にその下方に延長部17を有してその中
に負帯電超微粒子計数部18を内蔵している。またスリッ
ト16と円板８の中間位置に、内外円筒４，２の間の間隙
を上下に支切る整流用多孔板19があり，その下部空間20
の側壁にキャリヤガス出口21があり，ガス流量計22，弁
23を介して吸引ポンプ24に連結されている。25は入口2
6，出口供給管27を供えた粒子予備荷電部で，27は15′
を介して円還状スリット15に連結されている。28は内部
円筒４のスリット16から上の部分29を支持する支柱で，
16から下の部分30への抽出ガスの流通をさまたげない。
負帯電超微粒子計数部18は内部円筒下方部30内にガス流
をさえぎる如く，かつ円筒軸と直交して絶縁物31により
支持配設された中央部分にガス流通用金網32を有する所
の金属円板対向電極33と，これと対向してその下方に絶
縁碍管35により支持されて円筒軸上に配設さた放電極34
と、30の下端を密閉する金属円板36と34の間に挿入さ
れ，放電極に正のコロナ開始電圧直前の直流電圧を印加
するための可変直流電源37と，上記円板対向電極33に接
続された内蔵電源を有するバースト・コロナ電流測定用
の電流計38，その出力パルス信号を光信号としてパルス
計数器39に供給するための光ファイバー40，放電極尖端
41のバースト・パルスに伴う発光を光電子倍増管42上に
集光するための凹面鏡43，42の出力を38に供給するため
の導体44より成る。45は碍管35を支持する金属隔壁，46
はその上方の支切整流用多孔板で45，46の間の空間47の
側壁に抽出ガス出口48があり，ガス流量計49，弁50を介
して吸引ポンプ51に連結されている。いま吸引ポンプ2
4，51を作動させ，それぞれの吸引ガス流量を調節し
て，内外円筒電極４，２間の間隙52を下方に流れる清浄
キャリヤガスが層流状に所定平均流速Vg〔ｍ／ｓ〕をも
って流れる如くし，かつスリット15より供給される負帯
電超微粒子を浮遊せるガスの供給量が上記層流を乱さな
い程度の低い値とし，かつスリット16からのガス抽出流
量がこの供給量とほぼ見合うものになる如く設定する。
この時，印加電圧Ｖに対して，式(1)，(2)を満足する粒
子半径ａ〔ｍ〕を有する所の負電荷−ｅ〔Ｃ〕を有する
超微粒子が点線53に沿って間隙52の内部を運動の上スリ
ット16より下方内部円筒30内に入り，金網32を通過して
クーロン力により放電極34の尖端41へと移動し，その結
果，すでに述べた機構により粒子１個毎に１つのバース
ト・コロナを発生する。これに伴うパルス電流を38，40
を介してパルス計数器39に供給するとともに，その発光
を43，42，44を介して39に供給し，その一方又は両者の
パルス信号を一定時間積算計数する。54はコンピュータ
ーで39の積算計数値，流量計22の指示出力（入口26から
の吸引ガス流と一定の比例関係にある），可変直流電源
６の電圧計55の指示出力をそれぞれ導線56，57，58を介
して供給することにより，超微粒子の各粒径毎の絶対個
数濃度と粒径分布を計録計59に記録する。
１図において，１は粒子分離部で，接地せる外部円筒２
と絶縁３を介してこれより絶縁支持せる内部円筒４より
成る同心円筒状の平行電極系５と，両電極間に４を２に
対して正とする如き極性をもって可変直流電圧Ｖを印加
する所の可変直流電源６より成る。７，８はそれぞれ外
部円筒２の上下端を密閉する円板で、７と内部円筒４の
半径状頂部９の中間位置に７と平行に外部円筒２の内部
を上下に支切る整流用多孔板10がある。その上部空間11
の側壁に清浄キャリヤガス入口12があり，空気取入口13
を有する除塵用高性能フィルター14に連結されている。
半球状頂部９のつけ根の位置に対向する外部円筒２の内
壁に帯電超微粒子供給口としての円環状スリット15があ
り，その外周に円還状の導入室15′がある。内部円筒４
はその下方部に帯電超微粒子抽出口としての円還状スリ
ット16があり，更にその下方に延長部17を有してその中
に負帯電超微粒子計数部18を内蔵している。またスリッ
ト16と円板８の中間位置に、内外円筒４，２の間の間隙
を上下に支切る整流用多孔板19があり，その下部空間20
の側壁にキャリヤガス出口21があり，ガス流量計22，弁
23を介して吸引ポンプ24に連結されている。25は入口2
6，出口供給管27を供えた粒子予備荷電部で，27は15′
を介して円還状スリット15に連結されている。28は内部
円筒４のスリット16から上の部分29を支持する支柱で，
16から下の部分30への抽出ガスの流通をさまたげない。
負帯電超微粒子計数部18は内部円筒下方部30内にガス流
をさえぎる如く，かつ円筒軸と直交して絶縁物31により
支持配設された中央部分にガス流通用金網32を有する所
の金属円板対向電極33と，これと対向してその下方に絶
縁碍管35により支持されて円筒軸上に配設さた放電極34
と、30の下端を密閉する金属円板36と34の間に挿入さ
れ，放電極に正のコロナ開始電圧直前の直流電圧を印加
するための可変直流電源37と，上記円板対向電極33に接
続された内蔵電源を有するバースト・コロナ電流測定用
の電流計38，その出力パルス信号を光信号としてパルス
計数器39に供給するための光ファイバー40，放電極尖端
41のバースト・パルスに伴う発光を光電子倍増管42上に
集光するための凹面鏡43，42の出力を38に供給するため
の導体44より成る。45は碍管35を支持する金属隔壁，46
はその上方の支切整流用多孔板で45，46の間の空間47の
側壁に抽出ガス出口48があり，ガス流量計49，弁50を介
して吸引ポンプ51に連結されている。いま吸引ポンプ2
4，51を作動させ，それぞれの吸引ガス流量を調節し
て，内外円筒電極４，２間の間隙52を下方に流れる清浄
キャリヤガスが層流状に所定平均流速Vg〔ｍ／ｓ〕をも
って流れる如くし，かつスリット15より供給される負帯
電超微粒子を浮遊せるガスの供給量が上記層流を乱さな
い程度の低い値とし，かつスリット16からのガス抽出流
量がこの供給量とほぼ見合うものになる如く設定する。
この時，印加電圧Ｖに対して，式(1)，(2)を満足する粒
子半径ａ〔ｍ〕を有する所の負電荷−ｅ〔Ｃ〕を有する
超微粒子が点線53に沿って間隙52の内部を運動の上スリ
ット16より下方内部円筒30内に入り，金網32を通過して
クーロン力により放電極34の尖端41へと移動し，その結
果，すでに述べた機構により粒子１個毎に１つのバース
ト・コロナを発生する。これに伴うパルス電流を38，40
を介してパルス計数器39に供給するとともに，その発光
を43，42，44を介して39に供給し，その一方又は両者の
パルス信号を一定時間積算計数する。54はコンピュータ
ーで39の積算計数値，流量計22の指示出力（入口26から
の吸引ガス流と一定の比例関係にある），可変直流電源
６の電圧計55の指示出力をそれぞれ導線56，57，58を介
して供給することにより，超微粒子の各粒径毎の絶対個
数濃度と粒径分布を計録計59に記録する。
第２図，第３図，第４図はそれぞれ負帯電超微粒子計数
部のコロナ電極系の異る構成様態を示す図である。
部のコロナ電極系の異る構成様態を示す図である。
第２図において60は円錐状の抽出ガス通路で，その内部
に円筒状金網対向電極61が絶縁物62，63を介して半球状
及び円筒状のガード電極64，65を具備して配設され，そ
の中心軸上に絶縁物66，碍管67に支持された線状放電線
68がある。図における37より46までの要素の名稱と機能
は，第１図における同一番号のそれと同じである。この
コロナ電極系では，負帯電超微粒子が金網61を通って一
様に分散しつつ線状放電極に向って対稱に進行し，流入
部位によるミスカウントの可能性が少くなる。
に円筒状金網対向電極61が絶縁物62，63を介して半球状
及び円筒状のガード電極64，65を具備して配設され，そ
の中心軸上に絶縁物66，碍管67に支持された線状放電線
68がある。図における37より46までの要素の名稱と機能
は，第１図における同一番号のそれと同じである。この
コロナ電極系では，負帯電超微粒子が金網61を通って一
様に分散しつつ線状放電極に向って対稱に進行し，流入
部位によるミスカウントの可能性が少くなる。
第３図は接地せる針状放電極69の尖端70部に，それを同
心状にとりまく漏計状ガイド71のしぼられた下端72から
抽出負帯電超微粒子を供給する方式のもので，この場
合，対向電極73は周辺部に多数のガス排出用小孔74を有
するとともに，絶縁物75を介して気密に支持された内室
76の床位置に固定された上，電流計38を介して直流電源
75により73に負の直流電圧が接地函体77に対して印加さ
れている。77は接地された外室，78は抽出ガス出口であ
る。この方式の特徴は，バースト・コロナに伴う放電極
からの正イオン放出により後続負帯電超微粒子が正に荷
電され，ミスカウントすることがないので，粒子個数濃
度の高い場合に好適である。
心状にとりまく漏計状ガイド71のしぼられた下端72から
抽出負帯電超微粒子を供給する方式のもので，この場
合，対向電極73は周辺部に多数のガス排出用小孔74を有
するとともに，絶縁物75を介して気密に支持された内室
76の床位置に固定された上，電流計38を介して直流電源
75により73に負の直流電圧が接地函体77に対して印加さ
れている。77は接地された外室，78は抽出ガス出口であ
る。この方式の特徴は，バースト・コロナに伴う放電極
からの正イオン放出により後続負帯電超微粒子が正に荷
電され，ミスカウントすることがないので，粒子個数濃
度の高い場合に好適である。
第４図はコロナ放電極79を鋭くとがった円筒刃状とし，
その中心部に同心的に半球状のガスのガイド80を設け
て，円還状スリット81より79近傍に負帯電超微粒子を供
給する様にしたもので，第３図の例において抽出ガス流
路の端部面積を大きくし，抽出ガス流量の増大を容易な
らしめたものである。図におけるその他の要素は，第３
図における同一番号のそれと同じである。また79の直径
を小さくし管状刃型放電極としてもよい。
その中心部に同心的に半球状のガスのガイド80を設け
て，円還状スリット81より79近傍に負帯電超微粒子を供
給する様にしたもので，第３図の例において抽出ガス流
路の端部面積を大きくし，抽出ガス流量の増大を容易な
らしめたものである。図におけるその他の要素は，第３
図における同一番号のそれと同じである。また79の直径
を小さくし管状刃型放電極としてもよい。
本発明は上記のような構成とすることにより，粒径がナ
イメーター領域の超微粒子の個数濃度と粒経分布を個数
濃度の大小に拘わらず，極めて正確に測定することを可
能ならしめる。
イメーター領域の超微粒子の個数濃度と粒経分布を個数
濃度の大小に拘わらず，極めて正確に測定することを可
能ならしめる。
第１図は本発明の実施例の縦断面図，第２図，第３図，
第４図はそれぞれその負帯電超微粒子計数部のコロナ電
極系の異る構成様態を示す縦断面図である。 １……粒子分離部 ２……外部円筒電極 ４……内部円筒電極 ５……平行電極系 ６……可変直流電源 13，26……ガス吸引口 14……ガス除塵用フィルター 15……供給口 16……抽出口 18……負帯電超微粒子計数部 22，49……ガス流量計 24，51……吸引ポンプ 25……粒子予備荷電部 32……金網 33……状対向電極 37，75……直流電源 38……電流計 39……パルス計数器 41，69……針状放電極 42……光電子倍増管 61……円筒状金網対向電極 68……線状放電極 71，80……ガスガイド 73……板状対向電極 79……円筒刃状放電極
第４図はそれぞれその負帯電超微粒子計数部のコロナ電
極系の異る構成様態を示す縦断面図である。 １……粒子分離部 ２……外部円筒電極 ４……内部円筒電極 ５……平行電極系 ６……可変直流電源 13，26……ガス吸引口 14……ガス除塵用フィルター 15……供給口 16……抽出口 18……負帯電超微粒子計数部 22，49……ガス流量計 24，51……吸引ポンプ 25……粒子予備荷電部 32……金網 33……状対向電極 37，75……直流電源 38……電流計 39……パルス計数器 41，69……針状放電極 42……光電子倍増管 61……円筒状金網対向電極 68……線状放電極 71，80……ガスガイド 73……板状対向電極 79……円筒刃状放電極
Claims (3)
- 【請求項１】ガス中に浮遊する超微粒子に負電荷を与え
るためのガス吸引口26と，ガス出口を備えた粒子予備荷
電部25と，間隙52にガス通路を形成する平行電極系５，
その両電極間に可変直流電圧を印加するための可変直流
電源６より成る粒子分離部１と，該平行電極系の一端か
ら清浄キャリヤガスを供給してこれを上記間隙52に層流
状に他端へと流通せしめるためのガス吸引口13，ガス除
塵用フィルター14，ポンプ24より成るキャリヤガス流通
系を有し，更に該粒子予備荷電部25のガス出口より負帯
電超微粒子を浮遊せしめたガスを，該平行電極系５の上
流側の負電極附近に供給するための供給口15と供給管路
27を備えた連結部と，該平行電極系５の下流側の正電極
附近より流通ガスの一部を到達負帯電超微粒子とともに
抽出するための抽出口16と，抽出ガスの吸引管路，吸引
ポンプ51より成る抽出ガス吸引系を有し，更に該吸引管
路に介入して抽出負帯電超微粒子を検出計数するための
負帯電超微粒子計数部18を有する所のエアロゾル電気的
移動度分析装置において，該負帯電超微粒子計数部18が
放電極34と，これと絶縁対向せる対向電極とより成るコ
ロナ電極系と，その両電極間に放電極34を正とする如き
極性をもってコロナ開始電圧直前の電圧を印加するため
の直流電源37と，該放電極より発生せるバースト・コロ
ナを検出計数するためのバースト・コロナ計数器より成
ることを特徴とする所の超微粒子測定装置。 - 【請求項２】バースト・コロナ計数器が，該コロナ電極
系と該直流電源37より成る回路に介入してバースト・コ
ロナ発生時に流れる電流パルスを検出するための電流計
38と，これに接続せるパルス計数器39より成ることを特
徴とする所の，特許請求の範囲１に記載の超微粒子測定
装置。 - 【請求項３】バースト・コロナ計数器が該放電極34の尖
端41にバースト・コロナ発生時に生ずる発光を検出する
ための光検出器42とこれに接続せるパルス計数器39より
成ることを特徴とする所の，特許請求の範囲１に記載の
超微粒子測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60183487A JPH0652233B2 (ja) | 1985-08-21 | 1985-08-21 | 超微粒子測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60183487A JPH0652233B2 (ja) | 1985-08-21 | 1985-08-21 | 超微粒子測定装置 |
Publications (2)
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| JPS6243540A JPS6243540A (ja) | 1987-02-25 |
| JPH0652233B2 true JPH0652233B2 (ja) | 1994-07-06 |
Family
ID=16136671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60183487A Expired - Lifetime JPH0652233B2 (ja) | 1985-08-21 | 1985-08-21 | 超微粒子測定装置 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JPH0652233B2 (ja) |
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1985
- 1985-08-21 JP JP60183487A patent/JPH0652233B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPS6243540A (ja) | 1987-02-25 |
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