JPH0652759B2 - セラミック基板等のための調節可能なキャリア装置 - Google Patents
セラミック基板等のための調節可能なキャリア装置Info
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- JPH0652759B2 JPH0652759B2 JP1158125A JP15812589A JPH0652759B2 JP H0652759 B2 JPH0652759 B2 JP H0652759B2 JP 1158125 A JP1158125 A JP 1158125A JP 15812589 A JP15812589 A JP 15812589A JP H0652759 B2 JPH0652759 B2 JP H0652759B2
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- adjustment member
- carrier device
- slot
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
- H10P72/13—Horizontal boat type carrier whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising rod-shaped elements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
- H10P72/15—Horizontal carrier comprising wall type elements whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising sidewalls
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
- H10P72/19—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers
- H10P72/1922—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers characterised by the construction of the closed carrier
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はセラミック基板、プリント配線基板、半導体ウ
ェハ、LCDパネルディスプレイのようなパネル状の構
造物を保管または蓄積するためのキャリアの分野に関す
るものであり、特に工具の使用なく様々なサイズの構造
物に適合する調節可能なキャリア構造に関するものであ
る。
ェハ、LCDパネルディスプレイのようなパネル状の構
造物を保管または蓄積するためのキャリアの分野に関す
るものであり、特に工具の使用なく様々なサイズの構造
物に適合する調節可能なキャリア構造に関するものであ
る。
[従来の技術] 様々なビジネスが、壊れやすいパネル状の構造物または
部品の取扱いおよび蓄積を必要とするが、取扱い中に破
損したり、削れたり、傷、その他のダメージの発生を伴
う。このような部品の例は回路用セラミック基板、半導
体ウェハ、液晶表示パネル等を含む。キャリア装置は運
搬または蓄積における部品の保護に有効である。しかし
ながら、多くの場合、製品は大きさの種類が2以上で得
られるので、2以上の種類の大きさのキャリア装置が得
られる大きさの部品を取り扱うため蓄積されるか、ある
いはキャリア構造が異なる部品サイズに適合されるよう
に調節可能であるかのいずれかが必要とされる。
部品の取扱いおよび蓄積を必要とするが、取扱い中に破
損したり、削れたり、傷、その他のダメージの発生を伴
う。このような部品の例は回路用セラミック基板、半導
体ウェハ、液晶表示パネル等を含む。キャリア装置は運
搬または蓄積における部品の保護に有効である。しかし
ながら、多くの場合、製品は大きさの種類が2以上で得
られるので、2以上の種類の大きさのキャリア装置が得
られる大きさの部品を取り扱うため蓄積されるか、ある
いはキャリア構造が異なる部品サイズに適合されるよう
に調節可能であるかのいずれかが必要とされる。
既知のキャリア装置は永久的な形状やサイズに調節され
るか、あるいは一方の形態から必要とされるもう一方へ
変えるための工具を要求する。調節可能なキャリアの例
は、市販されている(Flouroware of Chaska社,ミネソ
タ州)調節可能キャリアシリーズA135、PA83、
PA85を含む。この様な装置は幾つかのナットをゆる
め、部品の位置を調節して、ナットを再び締めることに
よって調節される。さらに、これらの装置はスクリュー
ドライバやナットドライバのような工具による様々な部
品の組み立てを必要とする。これらの装置の構成部品は
別々になり、分解されたならダメージ受けたり、なくす
ことも起こり得る。
るか、あるいは一方の形態から必要とされるもう一方へ
変えるための工具を要求する。調節可能なキャリアの例
は、市販されている(Flouroware of Chaska社,ミネソ
タ州)調節可能キャリアシリーズA135、PA83、
PA85を含む。この様な装置は幾つかのナットをゆる
め、部品の位置を調節して、ナットを再び締めることに
よって調節される。さらに、これらの装置はスクリュー
ドライバやナットドライバのような工具による様々な部
品の組み立てを必要とする。これらの装置の構成部品は
別々になり、分解されたならダメージ受けたり、なくす
ことも起こり得る。
[発明の解決すべき課題] 組み立てやサイズの調整に工具を使用するという従来の
調節可能なキャリア装置の要求は大きな不利を伴うもの
である。貯蔵室の環境において、高度な機械化されたパ
ッケージ装置は実際的ではない。製品の処理および貯蔵
に当る人は、しばしばキャリアの組立ておよび調節に必
要な工具の使用に熟練していない。さらに、このような
組み立ておよび調節処理は時間を消費する。
調節可能なキャリア装置の要求は大きな不利を伴うもの
である。貯蔵室の環境において、高度な機械化されたパ
ッケージ装置は実際的ではない。製品の処理および貯蔵
に当る人は、しばしばキャリアの組立ておよび調節に必
要な工具の使用に熟練していない。さらに、このような
組み立ておよび調節処理は時間を消費する。
それゆえ、工具の使用なく様々な製品サイズを適合でき
るように調節が可能なパネル状基板等のためにキャリア
装置を設けることは当技術において大きな利点であり、
様々なサイズのキャリアを蓄積する必要性をかなり減少
できる。
るように調節が可能なパネル状基板等のためにキャリア
装置を設けることは当技術において大きな利点であり、
様々なサイズのキャリアを蓄積する必要性をかなり減少
できる。
[課題解決のための手段] 本発明によると、キャリア装置はあらかじめ決められた
部品位置にパネル状の部品を運ぶために設けられ、それ
は異なるサイズの部品に適応するように連続するサイズ
の範囲に渡って調節可能である。この装置はここに形成
された複数の整列されたスロットを有する細長い側部プ
レート部材を含む。各スロットの幅はスロット中に部品
の縁部を受けるような大きさにされる。その好ましい形
態の装置はここで定められた複数の整列された円周スロ
ットを有する半円筒形調節部材を含む。円周スロットの
幅はそこに部品の縁部を受けるようなサイズにされる。
調節部材の端部から延在する第1および第2の整列され
たピボットピン部材はその中心軸からオフセットする。
この装置は更に一対の対向する端部プレート部材によっ
て形成されたピボットヨークを含み、それは偏心ピボッ
トを設けるようにピボットピン部材を中心とする回転の
ため調節部材を取り付けるための手段を与える。調節部
材中の各円周スロットは側部プレートにおいて対応する
スロットと整列され、特定の部品蓄積位置を定める。調
節部材は偏心ピボット上でピボットされ、各円周スロッ
トと対応する側部プレートスロットの間の距離は特定の
部品のサイズに適合できるように変えられる。更に、偏
心ピボット軸からの複数の距離で側部プレートを取外し
可能に固定し、キャリア装置の調節可能な範囲を増加さ
せる方法が提供される。したがって、キャリア装置は調
節部材の回転によって簡単に異なるサイズの部品を保管
するように、工具の使用を伴わず、またキャリア装置の
分割をせずに調節できる。
部品位置にパネル状の部品を運ぶために設けられ、それ
は異なるサイズの部品に適応するように連続するサイズ
の範囲に渡って調節可能である。この装置はここに形成
された複数の整列されたスロットを有する細長い側部プ
レート部材を含む。各スロットの幅はスロット中に部品
の縁部を受けるような大きさにされる。その好ましい形
態の装置はここで定められた複数の整列された円周スロ
ットを有する半円筒形調節部材を含む。円周スロットの
幅はそこに部品の縁部を受けるようなサイズにされる。
調節部材の端部から延在する第1および第2の整列され
たピボットピン部材はその中心軸からオフセットする。
この装置は更に一対の対向する端部プレート部材によっ
て形成されたピボットヨークを含み、それは偏心ピボッ
トを設けるようにピボットピン部材を中心とする回転の
ため調節部材を取り付けるための手段を与える。調節部
材中の各円周スロットは側部プレートにおいて対応する
スロットと整列され、特定の部品蓄積位置を定める。調
節部材は偏心ピボット上でピボットされ、各円周スロッ
トと対応する側部プレートスロットの間の距離は特定の
部品のサイズに適合できるように変えられる。更に、偏
心ピボット軸からの複数の距離で側部プレートを取外し
可能に固定し、キャリア装置の調節可能な範囲を増加さ
せる方法が提供される。したがって、キャリア装置は調
節部材の回転によって簡単に異なるサイズの部品を保管
するように、工具の使用を伴わず、またキャリア装置の
分割をせずに調節できる。
[実施例] 本発明のこれらおよびその他の特徴および利点を添付図
面に説明されるように、以下の実施例の詳細な説明から
さらに明らかにする。
面に説明されるように、以下の実施例の詳細な説明から
さらに明らかにする。
第1図は本発明を実施する調節可能なキャリア装置10の
第1の実施例の斜視図である。装置10は全体的にキャリ
ア構造20と対をなす移動可能なカバー15を具備する。構
造20は偏平底部プレート部材22を具備し、さらに直立し
た端部プレート部材24および26と横の側部プレート部材
30が固定されている。部材22,24,26および30はボック
ス状の構造を形成し、所望されるならボックス状の構造
の開いたままの側部を閉じるため側部プレート部材30と
対向する第2の側部プレート部材(図示されていない)
を具備することもできる。
第1の実施例の斜視図である。装置10は全体的にキャリ
ア構造20と対をなす移動可能なカバー15を具備する。構
造20は偏平底部プレート部材22を具備し、さらに直立し
た端部プレート部材24および26と横の側部プレート部材
30が固定されている。部材22,24,26および30はボック
ス状の構造を形成し、所望されるならボックス状の構造
の開いたままの側部を閉じるため側部プレート部材30と
対向する第2の側部プレート部材(図示されていない)
を具備することもできる。
カバー15の縁部に形成されたタブ(図示されていない)
は端部および側部プレート部材に形成されたスロット21
に受けられ、取外し可能に保護位置にカバーを固定す
る。
は端部および側部プレート部材に形成されたスロット21
に受けられ、取外し可能に保護位置にカバーを固定す
る。
側部部材30は複数の整列されたスロット32を形成され、
それは底部プレート部材22に対して実質的に垂直に延在
している。
それは底部プレート部材22に対して実質的に垂直に延在
している。
構造20は更に半円筒形調節部材36を具備し、それは各端
部35および37から延在しているピボットピン40を有し、
このピン40は各端部プレート部材24および26において形
成された開口42に結合している。したがって、端部プレ
ート部材24および26はピボット軸43上に調節部材36を回
動可能で取り付けるためのヨークを形成する。ピン40は
部材36の中心軸39からオフセットされ、そのため調節部
材36は偏心的に回動する。
部35および37から延在しているピボットピン40を有し、
このピン40は各端部プレート部材24および26において形
成された開口42に結合している。したがって、端部プレ
ート部材24および26はピボット軸43上に調節部材36を回
動可能で取り付けるためのヨークを形成する。ピン40は
部材36の中心軸39からオフセットされ、そのため調節部
材36は偏心的に回動する。
調節部材36はさらに複数のスロットまたは溝38を具備
し、それはその表面に円周方向に形成されている。調節
可能な部材36のピボット軸43は側部プレート部材30に平
行であり、スロット38の各々は側部部材30に形成された
スロット32の各々と整列される。スロット32および38の
整列は、調節部材36が調節部材36の外周と側部プレート
部材30との間の間隔に置ける位置に調節に影響するよう
にヨーク軸43を中心に回動にされるときにも維持され
る。
し、それはその表面に円周方向に形成されている。調節
可能な部材36のピボット軸43は側部プレート部材30に平
行であり、スロット38の各々は側部部材30に形成された
スロット32の各々と整列される。スロット32および38の
整列は、調節部材36が調節部材36の外周と側部プレート
部材30との間の間隔に置ける位置に調節に影響するよう
にヨーク軸43を中心に回動にされるときにも維持され
る。
本実施例におけるスロット32および38は三角状の断面形
状を有しており、装置10に保管される部品の幅寸法にお
ける柔軟性を更に与える。
状を有しており、装置10に保管される部品の幅寸法にお
ける柔軟性を更に与える。
開口42中のピン40の取り付けは比較的固いことが好まし
く、そのため調節可能な部材36の位置はそれが所望され
た位置まで回転された後にその位置に維持される。この
比較的固い固定は、部品が装置10へ導かれた後、調節可
能な部材36が自由には回転させず、それによってそれら
の保管された位置から部品を移動させることができる。
く、そのため調節可能な部材36の位置はそれが所望され
た位置まで回転された後にその位置に維持される。この
比較的固い固定は、部品が装置10へ導かれた後、調節可
能な部材36が自由には回転させず、それによってそれら
の保管された位置から部品を移動させることができる。
第2図を参照すると、端部プレート部材におけるピボッ
トピン上に緊張または摩擦を与えるための手段が示され
ている。くの字形部分45Aを有する傾斜スロット45が端
部プレート部材26に形成される。スロットの端部45Bは
端部プレート部材26中に形成されたピボットピン開口の
外周と接線で交差する。ピアノ線のような硬直したワイ
ヤ46がスロット中に設けられ、ピボットピン41中に形成
された溝47中に受けられる。ワイヤ46はピボットピン41
に対して張力あるいはスプリング力を与え、端部プレー
ト部材26中に形成されるピボットピン開口を定める壁に
それを押す。同様の張力ワイヤ整列が端部プレート部材
24およびピボットピン40に対して設けられる。
トピン上に緊張または摩擦を与えるための手段が示され
ている。くの字形部分45Aを有する傾斜スロット45が端
部プレート部材26に形成される。スロットの端部45Bは
端部プレート部材26中に形成されたピボットピン開口の
外周と接線で交差する。ピアノ線のような硬直したワイ
ヤ46がスロット中に設けられ、ピボットピン41中に形成
された溝47中に受けられる。ワイヤ46はピボットピン41
に対して張力あるいはスプリング力を与え、端部プレー
ト部材26中に形成されるピボットピン開口を定める壁に
それを押す。同様の張力ワイヤ整列が端部プレート部材
24およびピボットピン40に対して設けられる。
ピボットピン張力手段は、調節部材36が重力などに対し
てセットされた角度位置を維持しすることを確実にす
る。張力手段はまたピボットピンおよび端部部材を含む
材料の摩耗および温度係数を補償する。後者の効果は熱
い溶液洗浄での適用において発生する。小さい直径を有
するピボットピン開口中へピボットピンを固定するよう
に押込む公称膨脹ピン直径のスプリットピンとしてピボ
ットピンを製造するようなその他の方法が使用されるこ
とが可能である。
てセットされた角度位置を維持しすることを確実にす
る。張力手段はまたピボットピンおよび端部部材を含む
材料の摩耗および温度係数を補償する。後者の効果は熱
い溶液洗浄での適用において発生する。小さい直径を有
するピボットピン開口中へピボットピンを固定するよう
に押込む公称膨脹ピン直径のスプリットピンとしてピボ
ットピンを製造するようなその他の方法が使用されるこ
とが可能である。
構造10を使用するため、すなわち部品12(第2図参照)
のような方形パネル上の部品に対して、部品は側部プレ
ート部材30のスロット32中に一方の縁部が挿入されて構
造20中に配置される。調節部材36は部品の反対側が対応
するスロット38中に噛み合うまで側部部材30へ回転され
る。典型的に各構造20が少なくとも20個の個々の部品
を維持するように設計される。
のような方形パネル上の部品に対して、部品は側部プレ
ート部材30のスロット32中に一方の縁部が挿入されて構
造20中に配置される。調節部材36は部品の反対側が対応
するスロット38中に噛み合うまで側部部材30へ回転され
る。典型的に各構造20が少なくとも20個の個々の部品
を維持するように設計される。
例えば、装置10が薄いセラミック偏平方形基板を取り扱
うため使用されると仮定する。スロットは中心間で、.
16インチであり、.12インチの典型的な幅寸法を有し、
スロットを定める材料の厚さは.04インチである。調節
部材36の直径の相対寸法および側部プレート部材30から
のピボット開口の間隔は、寸法X(第2図)が調節部材
36を回転させることによって約.75ないし1.5インチ連
続的に変化されるように選択される。したがって、この
例では、構造10は基板を適用し、その寸法Xが工具また
は構造10の分解を必要とせずに.75ないし1.5インチ変
化する。この例における部材30および36はV形のスロッ
トを有する。これらのV形スロットは基板その他の公称
厚さ寸法以上および以下の材料の厚さを受入れることが
できる。
うため使用されると仮定する。スロットは中心間で、.
16インチであり、.12インチの典型的な幅寸法を有し、
スロットを定める材料の厚さは.04インチである。調節
部材36の直径の相対寸法および側部プレート部材30から
のピボット開口の間隔は、寸法X(第2図)が調節部材
36を回転させることによって約.75ないし1.5インチ連
続的に変化されるように選択される。したがって、この
例では、構造10は基板を適用し、その寸法Xが工具また
は構造10の分解を必要とせずに.75ないし1.5インチ変
化する。この例における部材30および36はV形のスロッ
トを有する。これらのV形スロットは基板その他の公称
厚さ寸法以上および以下の材料の厚さを受入れることが
できる。
第3図および第4図に示された第2の実施例において、
構造20Aは半円筒形調節部材36Aのピボット軸43Aに対
して側部プレート部材30Aの位置を調節するための手段
が設けられていることを除いて第1図および第2図の構
造20と同一である。この手段は各端部プレート部材24A
および26A中に形成される複数の垂直整列されたスロッ
ト27を含み、移動可能な側部部材30Aの端部で定められ
た舌状素子31を整合する。したがって、側部プレート部
材30Aの位置は所望された組のスロット27中に舌状素子
31を挿入することによって部材36Aのピボット軸43Aに
関して調節される。これは第1図および第2図の実施例
より大きく、サイズの範囲を調節するための調節の更な
る範囲を与える。
構造20Aは半円筒形調節部材36Aのピボット軸43Aに対
して側部プレート部材30Aの位置を調節するための手段
が設けられていることを除いて第1図および第2図の構
造20と同一である。この手段は各端部プレート部材24A
および26A中に形成される複数の垂直整列されたスロッ
ト27を含み、移動可能な側部部材30Aの端部で定められ
た舌状素子31を整合する。したがって、側部プレート部
材30Aの位置は所望された組のスロット27中に舌状素子
31を挿入することによって部材36Aのピボット軸43Aに
関して調節される。これは第1図および第2図の実施例
より大きく、サイズの範囲を調節するための調節の更な
る範囲を与える。
キャリア装置素子はポリプロピレンのようなプラスチッ
ク材料から構成されることが望ましく、注入モールディ
ング製造に適切である。装置がより高い温度または溶媒
にさらされるような適用のため、この装置はポリテトラ
フロロエチレンから製造される。この装置のための1つ
の可能な適用は、それらが溶媒槽において洗浄されると
き部品を搬送する場合であり、材料がより高い温度に耐
えられ、このような適用のための溶媒溶液に影響されな
いものでなければならない。
ク材料から構成されることが望ましく、注入モールディ
ング製造に適切である。装置がより高い温度または溶媒
にさらされるような適用のため、この装置はポリテトラ
フロロエチレンから製造される。この装置のための1つ
の可能な適用は、それらが溶媒槽において洗浄されると
き部品を搬送する場合であり、材料がより高い温度に耐
えられ、このような適用のための溶媒溶液に影響されな
いものでなければならない。
第5図および第6図を参照すると、本発明の第3の実施
例が開示されている。この実施例は幾分異なるヨーク整
列を除いて、第1図および第2図の実施例と同様であ
る。ここで、調節部材36Bはピン40Bによって端部プレ
ート24Bおよび26Bへ固定され、それはタブ50によって
端部プレート24Bおよび26Bの各々に形成された自動的
に締付けるヨーク開口52において受けられる。端部部材
24Bおよび26Bはタブ50によって形成された曲線領域51
と結合してピンのためのピボット開口を定める半円形領
域54を形成するような様式である。弾性プラスチック材
料から形成された端部部材24Bおよび26Bによって、タ
ブ50の表面51はスナップ固定においてピボット開口中に
ピンを固定するようにピン40Bおよび41Bと弾力的に結
合する。このタイプのピボット結合は、使用によりピボ
ット部材が摩耗しても調節部材のスムースな動作を確立
する。
例が開示されている。この実施例は幾分異なるヨーク整
列を除いて、第1図および第2図の実施例と同様であ
る。ここで、調節部材36Bはピン40Bによって端部プレ
ート24Bおよび26Bへ固定され、それはタブ50によって
端部プレート24Bおよび26Bの各々に形成された自動的
に締付けるヨーク開口52において受けられる。端部部材
24Bおよび26Bはタブ50によって形成された曲線領域51
と結合してピンのためのピボット開口を定める半円形領
域54を形成するような様式である。弾性プラスチック材
料から形成された端部部材24Bおよび26Bによって、タ
ブ50の表面51はスナップ固定においてピボット開口中に
ピンを固定するようにピン40Bおよび41Bと弾力的に結
合する。このタイプのピボット結合は、使用によりピボ
ット部材が摩耗しても調節部材のスムースな動作を確立
する。
上述されたキャリア装置はセラミック基板、半導体ウェ
ハ、LCDパネルディスプレイのようなもろいパネル構
造のための適切な保護を与える。この様な装置が部品の
多数のサイズおよび形状に結合するように調節可能であ
り、必要なタイプが減少し、様々なサイズの必要性が減
少あるいは実際に除去される。部品のより良い保護によ
って、取扱い中に壊れたり、割れたり、傷がつくなどの
ダメージのための損失が実質的に減少される。
ハ、LCDパネルディスプレイのようなもろいパネル構
造のための適切な保護を与える。この様な装置が部品の
多数のサイズおよび形状に結合するように調節可能であ
り、必要なタイプが減少し、様々なサイズの必要性が減
少あるいは実際に除去される。部品のより良い保護によ
って、取扱い中に壊れたり、割れたり、傷がつくなどの
ダメージのための損失が実質的に減少される。
上述された実施例が本発明の原理の適用を表す可能な特
定の実施例の幾つかを単に説明しただけであることが理
解される。その他の変更が本発明の技術的範囲から外れ
ることなく当業者によってこれらの原理にしたがって用
意に工夫されても良い。例えば、調節部材36中のスロッ
ト38は幾つかの適用には必要ではなく、底部プレート22
において形成されたスロットによってあるいはスロット
32を深くすることによって置換されても良い。さらに、
調節部材36の形は半円筒形に制限されるものではなく、
半円形以外の他の断面、例えば半楕円または半水滴形で
あっても良い。同じ効果が非対称的な断面形状を有する
ことを除いて同軸上に取り付けられた他の断面形の部材
を回転することによって達成される。
定の実施例の幾つかを単に説明しただけであることが理
解される。その他の変更が本発明の技術的範囲から外れ
ることなく当業者によってこれらの原理にしたがって用
意に工夫されても良い。例えば、調節部材36中のスロッ
ト38は幾つかの適用には必要ではなく、底部プレート22
において形成されたスロットによってあるいはスロット
32を深くすることによって置換されても良い。さらに、
調節部材36の形は半円筒形に制限されるものではなく、
半円形以外の他の断面、例えば半楕円または半水滴形で
あっても良い。同じ効果が非対称的な断面形状を有する
ことを除いて同軸上に取り付けられた他の断面形の部材
を回転することによって達成される。
第1図は本発明を実施する調節可能なキャリア装置の第
1の実施例の斜視図である。 第2図は第1図のライン2−2に沿って得られた第1図
の実施例の断面図である。 第3図は本発明を実施する調節可能なキャリア装置の第
2の実施例の頂部から見た図である。 第4図は側部壁位置の調節を示す第3図の実施例の部分
的な分解図である。 第5図および第6図は本発明を実施する調節可能なキャ
リアの第3の実施例の頂部および端部から見た図であ
る。 10…調節可能なキャリア装置、22…偏平底部プレート部
材、24、26…端部プレート部材、30…側部プレート部
材、32,45…スロット、36…調節部材、38…溝、41…ピ
ボットピン、42…開口、43…ピボット軸、46…ワイヤ。
1の実施例の斜視図である。 第2図は第1図のライン2−2に沿って得られた第1図
の実施例の断面図である。 第3図は本発明を実施する調節可能なキャリア装置の第
2の実施例の頂部から見た図である。 第4図は側部壁位置の調節を示す第3図の実施例の部分
的な分解図である。 第5図および第6図は本発明を実施する調節可能なキャ
リアの第3の実施例の頂部および端部から見た図であ
る。 10…調節可能なキャリア装置、22…偏平底部プレート部
材、24、26…端部プレート部材、30…側部プレート部
材、32,45…スロット、36…調節部材、38…溝、41…ピ
ボットピン、42…開口、43…ピボット軸、46…ワイヤ。
Claims (10)
- 【請求項1】予め決められた部品位置において板状部品
を取り扱い、種々のサイズの部品に適合するために連続
するサイズ範囲にわたって調節可能であるキャリア装置
において、 そこに形成された複数の整列されたスロットを有し、各
スロットの幅がスロット中に部品の縁部を受けるのに十
分な大きさである細長い側部部材と、 この側部部材から間隔を隔てて配置され、湾曲した外周
表面を有し、両端部から突出する第1および第2のピボ
ットピン部材を備えている細長い調節部材と、 前記細長い側部部材と接続されて側部部材と共に箱状構
造を形成しているいる底部部材および第1および第2の
端部部材とを具備し、 前記第1および第2の端部部材は前記細長い調節部材の
第1および第2のピボットピン部材をそれぞれ受けるピ
ボット開口を備え、これらピボット開口の中心軸である
ピボット軸を中心に回転するように前記細長い調節部材
が取付けられ、 前記細長い調節部材の前記ピボット軸を中心とする回転
により前記調節部材と前記側部部材との間の間隔を調節
できるように前記調節部材の前記ピボット軸からその外
周表面までの距離がピボット軸を中心とする角度に応じ
て変化されていることを特徴とする板状部品のキャリア
装置。 - 【請求項2】前記調節部材がさらに前記湾曲した外周表
面において形成された複数のスロットを具備し、前記ス
ロットの各々が前記側部部材中に形成された前記スロッ
トに対応して整列され、前記調節部材および前記側部部
材中の前記各スロットが部品を保持するための調節可能
なラックを形成し、前記スロット間の距離が前記調節部
材の回転によって連続的に変化できる請求項1記載のキ
ャリア装置。 - 【請求項3】予め決められた部品位置に部品を支持し、
異なるサイズの部品に適合するように連続するサイズ範
囲にわたって調節可能であるキャリア装置において、 そこに形成された複数の整列されたスロットを有し、各
スロットの幅がスロット中に部品の縁部を受けるのに十
分の大きさである細長い側部プレート部材と、 偏心した回転軸を有する半円筒形調節部材であって、複
数の整列された円周スロットを備え、両端部からそれぞ
れ延び出ている第1および第2の整列したピボットピン
部材を具備し、それらピボットピン部材が半円筒形調節
部材の前記偏心した回転の回転軸を構成している半円筒
形調節部材と、 前記調節部材の偏心運動を行なわせるために偏心した回
転軸である前記ピボットピン部材を中心に回転するよう
に前記半円筒形調節部材を取付ける手段とを具備し、 前記半円筒形調節部材中の各円周スロットが前記部品位
置の1つを形成するように前記側部プレート部材におけ
る前記スロットのそれぞれと整列され、 前記半円筒形調節部材が前記偏心したピボットピン部材
を中心に回動されるとき、前記各円周スロットと前記側
部プレートスロットとの間の距離が異なるサイズの部品
に対して調節されるように変化されることを特徴とする
キャリア装置。 - 【請求項4】前記細長い側部プレート部材と接続されて
側部プレート部材と共に箱状構造を形成している底部プ
レート部材および第1および第2の端部プレート部材を
具備し、 前記第1および第2の端部プレート部材が共同して前記
半円筒形調節部材の取付け手段を構成するヨークを形成
している請求項3記載のキャリア装置。 - 【請求項5】前記端部プレート部材の各々が前記ピボッ
トピンの対応したものを受けるため定められたピボット
開口を具備する請求項4記載のキャリア装置。 - 【請求項6】前記半円筒形調節部材に関して複数の選択
された位置に前記側部プレート部材を固定してキャリア
装置の調節範囲を増加させる側部プレート部材の固定手
段を具備している請求項4記載のキャリア装置。 - 【請求項7】前記側部プレート部材の固定手段が前記端
部プレートの各々において形成された複数の整列して配
置されたスロットを具備し、第1および第2の舌状部材
が前記端部プレート部材に形成されたスロットの選択さ
れたものに結合するために前記側部プレートの両端部か
ら突出して形成され、それらの舌状部材が対応する組の
前記端部プレートのスロット中に選択的に移動可能に挿
入され、ピボット軸に関して所望された位置に前記プレ
ートを固定するために前記調節部材のピボット軸から等
距離に配置されている請求項6記載のキャリア装置。 - 【請求項8】前記調節部材および前記側部プレート部材
がポリエチレンまたはポリテトラフロロエチレンからな
る請求項3記載の装置。 - 【請求項9】配置された部品上に適合させるため移動可
能な保護カバーを具備する請求項3記載のキャリア装
置。 - 【請求項10】前記調節部材を取りつけるための手段が
さらに重力に対して回転位置に調節部材を維持するため
前記ピボットピンに対して張力を与えるための手段を具
備する請求項3記載のキャリア装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US208,443 | 1988-06-20 | ||
| US07/208,443 US4858764A (en) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | Adjustable carrier device for ceramic substrates and the like |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0284753A JPH0284753A (ja) | 1990-03-26 |
| JPH0652759B2 true JPH0652759B2 (ja) | 1994-07-06 |
Family
ID=22774631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1158125A Expired - Lifetime JPH0652759B2 (ja) | 1988-06-20 | 1989-06-20 | セラミック基板等のための調節可能なキャリア装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4858764A (ja) |
| JP (1) | JPH0652759B2 (ja) |
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1989
- 1989-06-20 JP JP1158125A patent/JPH0652759B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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