JPH0654242B2 - 位置検出装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明な位置検出装置に関し、特に平面状の螺旋コイ
ルを用いた誘導型の位置検出装置に関する。

［従来の技術］ 位相シフト型の直線位置検出装置としては、本出願人に
より出願された実開昭５８−１３６７１８号公報に開示
されたものが従来から知られている。この直線位置検出
装置は、直線変位方向に所定の間隔で配置された複数の
１次コイルと、該１次コイルに対応して設けられた２次
コイルと、前記１次及び２次コイル内に挿入され次方向
に直線移動可能な複数個のコアから成るコア部とから構
成されている。前記１次コイルの夫々を位相のずれた複
数の基準交流信号によって個別に励磁し、前記コア部の
直線位置に応じて位相シフトされた出力交流信号を２次
コイルに生じせしめるようにしたものである。このよう
に従来の位相シフト型直線位置検出装置では、１次、２
次コイルとは別途にコア部を設ける必要があった。

一方、従来から第１０図に例示するようなインダクトシ
ンを用いた直線位置検出装置も知られており、これは前
述した位相シフト型直線位置検出装置のようなコア部を
必要としない構成になっている。測定すべき全域にわた
って所定の長さ毎に９０度の角度で導線を折り曲げた１
次コイルから成るスケールＳＣＬと、所定の長さ毎に９
０度の角度で折り曲げた２つの２次コイルから成るスラ
イダＳＬＤとを具えたものである。上述のような２つの
導体を平行に接近させ、スケールＳＣＬ（１次コイル）
側に交流電圧を印加すると電磁誘導作用によりスライダ
ＳＬＤ（２次コイル）側に両者の相対的位置に応じた電
圧が誘起される。前記誘起電圧の大小は、スケールとス
ライダ間の電磁結合度によって、すなわちスケールとス
ライダとの相対的な位置関係に応じて変化する。この誘
起電圧のレベルを検出して、直線位置の検出を行うもの
である。

［発明が解決しようとする問題点］ 前者の位相シフト型直線位置検出装置は、位相シフト方
式によって精度の良いアブソリュート位置検出を行うこ
とができるという利点を有するが、１次及び２次コイル
部にたいして相対的に変化するコア部をけなければなら
ないため、構造上の制約により、取付け可能な場所に制
限があるという問題点があった。例えば、リニアガイド
に取付けようとする場合、ガイド棒がコア部の形状に適
した丸棒形状等であれば、該ガイド棒を適宜加工してコ
ア部として兼務させることも可能であるが、そうであっ
ても、加工手間がかかり、構造が複雑にもなるという問
題点がある。また、リニアガイドでは、ガイド手段は丸
棒よりはレール状のものが多く、そのような場合は、コ
ア部を如何なる形状にして如何なる手段で取付けるの
か、ということが問題となり、適用が困難であった。

一方、後者のインダクトシンにおいては、コア部が存在
しないため上述のような取付け上の問題は生じないが、
電圧検出方式であるため、温度変化等周辺環境変化の影
響を受けやすく、高精度が期待できないという問題点が
あった。また、１次コイル（スケール）及び２次コイル
（スライダ）は単に導線を所定の長さ毎に９０度の角度
で折り曲げただけであるため電磁誘導作用が弱く、従っ
て検出信号の出力電圧が低く、この点でも高精度が期待
できないという問題点があった。

この発明は上述の点に鑑みてなされたもので、コア部を
省略して構造を簡素化すと共に検出精度をより一層向上
させることができるようにした位相シフト型の位置検出
装置を提供しようとするものである。

［問題を解決するための手段］ この発明に係る位置検出装置は、所定の第１の間隔で配
列された少なくとも２つの１次コイルから成る１次コイ
ル手段と、 前記１次コイルの配列間隔よりも小さい所定の第２の間
隔で交互に極性が逆になるように直列接続された少なく
とも４つの２次コイルから成る２次コイル手段とを具備
し、 前記１次コイル手段及び２次コイル手段における各コイ
ルは平面状の螺旋コイルから成り、 検出対象位置の変位に応じて前記１次コイル手段を２次
コイル手段に対して相対的に変位させ、 前記１次コイルを互いに位相のずれた交流信号を用いて
それぞれ励磁することにより、前記１次コイル手段と前
記２次コイル手段との相対位置に応じて位相シフトされ
た出力信号を前記２次コイル手段に誘起せしめるように
したものである。

［作用］ １次コイル手段が２次コイル手段に対して相対的に変位
することにより、そこにおける１次コイルと２次コイル
の磁気結合度が検出対象位置に応じて変化する。１次コ
イルの配列間隔と２次コイルの配列間隔が異なってお
り、１次コイルが互いに位相のずれた複数の交流信号を
用いて励磁されるので、１次コイル手段と２次コイル手
段の相対位置に応じて位相シフトされた出力信号が２次
コイル側に生じる。この２次出力信号における位相シフ
ト量が検出対象位置に対応している。

本発明の装置は、１次コイル手段と２次コイル手段の相
対的位置に応じた出力を生じるものであるため。従来の
ようなコイル部に対して相対的に変位するコア部は省略
されている。従って、構造が簡単であると共に製造コス
トも下げることができる。

また、各コイルは平面上の螺旋コイルからなるものであ
るため、電磁誘導作用が強く、検出精度を極めて高くす
ることができる。しかも、平面状コイルであることによ
って、１次コイル手段及び２次コイル手段の全体的構造
を夫々平板状にすることができ、嵩張らずに、コンパク
トな、極めて簡略化された形状にすることができる。従
って、従来、位相シフト型位置検出装置を取付けること
が困難であった場所にも容易に本発明の位置検出装置を
取付けることができる。

［実施例］ 以下、添付図面を参照してこの発明の実施例を詳細に説
明しよう。

第１図は本発明に係る位置検出装置の一実施例を示す原
理図であり、この位置検出装置は１次コイルアレイ１０
と２次コイルアレイ１１とを具えている。１次コイルア
レイ１０は２つの１次コイルＡ，Ｂを所定の間隔で配列
してなるものである。２次コイルアレイ１１は検出対象
範囲全域にわたって複数（ｎ個）の２次コイルＳ１〜Ｓ
ｎを所定の間隔で配列してなるものである。各コイル
Ａ，Ｂ，Ｓ１〜Ｓｎは角形に巻かれた平面状の螺旋コイ
ルである。各コイルの横幅をほぼＰ／２（但しＰは任意
の数）とすると、２次コイルＳ１〜Ｓｎは、隣接するコ
イルの中心間距離をＰ／２として、互いに密接して配列
されている。これに対して、１次コイルＡ，Ｂは、中心
間距離を３Ｐ／４として、隣同志でＰ／４のすきまを空
けて配列されている。

２つの１次コイルＡ，Ｂは、夫々位相のずれた交流信
号、例えばＡが sinωｔ，Ｂが cosωｔ，によって励磁
される。また、各２次コイルＳ１〜Ｓｎは交互に極性が
逆になるように直列接続されている。第２図は、第１図
における１次コイルＡ，Ｂ及び２次コイルＳ１〜Ｓｎの
回路図を示すものであり、同図においては２次出力交流
信号Ｙの基準交流信号 sinωｔまたは cosωｔに対する
位相ずれφを測定するための位相差測定回路１もあわせ
て示されている。

１次コイルアレイ１０と２次コイルアレイ１１は相対的
に変位可能に構成されており、検出対象位置に応じてそ
の相対的位置が変化するように、検出対象物の動きが一
方のコイルアレイ１０または１１に伝達される。仮り
に、コイル数の少ない１次コイルアレイ１０を可動体に
取付けるとすると、２次コイルアレイ１１は静止体に取
付ける。そして、１次コイルアレイ１０が可動体と共に
動くことにより、２次コイルアレイ１１に対する１次コ
イルアレイ１０の位置が変化し、このアレイ１０，１１
間の相対位置は静止体に対する可動体の位置に対応す
る。従って１次コイルアレイ１０と２次コイルアレイ１
１の相対位置に応じた位置検出信号を２次コイルＳ１〜
Ｓｎの出力に基づき得ることにより、静止体に対する可
動体の位置を検出することができる。

１次コイルアレイ１０に対する２次コイルアレイ１１の
位置の検出原理は次の通りである。

上述したコイル配置によって、２次コイルアレイ１１に
対する１次コイルアレイ１０の任意の位置において、隣
接する２つの２次コイルが１つの１次コイルの磁束の影
響を受ける。例えば、第１図の状態では、２次コイルＳ
１，Ｓ２が１次コイルＡの影響を受け、２次コイルＳ
２，Ｓ３が１次コイルＢの影響を受ける。各１次コイル
に対応する隣接する２つの２次コイルは、１次コイルア
レイ１０が２次コイルアレイ１１の全域にわたってスラ
イド変位してゆく過程で、順次切り替わる。また、隣接
する２つの２次コイルに対する１次コイルの結合度は、
１次コイルの変位に応じて差動的に変化する。すなわ
ち、一方の２次コイルの磁気回路のリラクタンスが増せ
ば（パーミアンスが減れば）、他方のリラクタンスが減
る（パーミアンスが増す）関係である。この差動的な結
合度の変化は、隣接する２つの２次コイルの横幅Ｐ／２
を合せた距離Ｐを１サイクルとして繰返し生じる。

一方、２次コイルの配列間隔に対する１次コイルの配列
間隔のずれにより、一方の１次コイルＡに対応する２つ
の２次コイルの差動的なリラクタンス変化の位相と他方
の１次コイルＢに対応する２つの２次コイルの差動的な
リラクタンス変化の位相との間にずれが生じる。この例
の場合、２次コイルの配列間隔に対する１次コイルの配
列間隔のずれはＰ／４であり、上述のリラクタンス変化
は距離Ｐを１サイクルとしているので、１次コイルＡと
Ｂとの間の上述のリラクタンス変化の位相のずれは、π
／２（９０度）である。

このことから、１次コイルＡに対応する一方の２次コイ
ル（例えばＳ１）の磁気回路のパーミアンス変化の関数
を cosφと表現すると、他方の２次コイル（例えばＳ
２）の磁気回路のパーミアンス変化の関数を−cos φと
表現することができる。また、他方の１次コイルＢに対
応する一方の２次コイル（例えばＳ３）の磁気回路のパ
ーミアンス変化の関数を sinφと表現すると、他方の２
次コイル（例えばＳ２）の磁気回路のパーミアンス変化
の関数を−sin φと表現することができる。ここで、φ
＝２πｘ／Ｐであり、ｘは、２次コイルアレイ１１に対
する１次コイルアレイ１０の現在位置を示す独立変数で
ある。

ここにおいて、１次コイルＡを正弦信号sin ωｔで励磁
し、１次コイルＢを余弦信号 cosωｔで励磁しているの
で、 １次コイルＡに対応する一方の２次コイル（例えばＳ
１）に誘導される信号は、 sin ωｔ cosφ …(1)， １次コイルＡに対応する他方の２次コイル（例えばＳ
２）に誘導される信号は、 −sin ωｔ cosφ …(2)， １次コイルＢに対応する一方の２次コイル（例えばＳ
３）に誘導される信号は、 cos ωｔ sinφ …(3)， １次コイルＢに対応する他方の２次コイル（例えばＳ
２）に誘導される信号は、 −cos ωｔ sinφ …(4)， で夫々表わすことができる。

また、隣接する２次コイルは互いに逆極性であるため、
各２次コイルＳ１〜Ｓｎを交互に逆相に直列接続して得
られる２次出力信号Ｙは、次のような略式で表現するこ
とができる。

Ｙ＝sin ωｔ cosφ−（−sin ωｔ cosφ） ＋cos ωｔ sinφ−（−cos ωｔ sinφ） ＝２sin （ωｔ＋φ） 上記式で便宜的に「２」と示された係数を諸種の条件に
応じて定まる定数Ｋで置換すると、 Ｙ＝Ｋsin （ωｔ＋φ） …(5) と表わすことができる。ここで、φは前述のとおり２次
コイルアレイ１１に対する１次コイルアレイ１０の現在
位置ｘに比例しているので、出力信号Ｙの基準交流信号
sinωｔまたは cosωｔに対する位相ずれφを測定する
ことにより、検出対象位置ｘをアブソリュート値にて検
出することができる。ただし、位相シフト量φが全角２
πのとき位置ｘは距離Ｐに相当するので、距離Ｐの範囲
内でのアブソリュート位置を検出することができるので
ある。

上述の関係は、どの２次コイルＳ１〜Ｓｎが１次コイル
Ａ，Ｂに対応していても成立する。すなわち、出力信号
Ｙの位相シフト量φは、距離ｍＰにわたる検出対象範囲
全域において０〜２πの変化をｍサイクル繰り返す。こ
のような変位ｘに対する出力信号Ｙの位相シフト量φの
変化を例示したもが第３図である。この点について少し
詳しく述べると、例えば、２次コイルＳ１にて成立した
上記式(1)は次のサイクルでは同相の２次コイルＳ３に
おいて成立し、２次コイルＳ２にて成立した上記式(2)
及び(4)は次のサイクルでは同相の２次コイルＳ４にお
いて成立し、２次コイルＳ３にて成立した上記式(3)は
次のサイクルでは同相の２次コイルＳ５において成立す
る、というように、上記式(1)〜(4)のパーミアンス変化
の関数は、当該関数の１サイクル毎に１つおきに同極性
の２次コイルに順次切り替わりながら、距離ｍＰにわた
る検出対象範囲全域において連続的に成立するのであ
る。

２次出力信号Ｙにおける位相シフト量φの測定は、適宜
の位相差測定回路１２（第２図）によってディジタル的
に又はアナログ的に行うことができる。例えば、前述の
実開昭５８−１３６７１８号明細書中に示されたような
ディジタルカンウント方式の位相差測定回路を用いて、
位相シフト量φを示すディジタルデータＤφを得るよう
にすることもできるし、その他適宜の位相差測定回路を
用いてもよい。

第１図は原理図であるため、図示の簡単化のために、１
次コイルアレイ１０と２次コイルアレイ１１は横並びに
並んでいるように示されているが、実際は両コイルアレ
イ１０，１１が平行に重なりあうように近接した配置で
あるほうが磁気結合度が高まるので好ましい。第４図
は、その状態を略示する斜視図である。１次コイルアレ
イ１０において、１次コイルＡ，Ｂは所定のベース部材
１３上に固定的に配列されている。また、２次コイルア
レイ１１において、２次コイルＳ１〜Ｓｎは所定のベー
ス部材１４上に固定的に配列されている。ベース部材１
３，１４上への平面状螺旋コイル配線の形成は、プリン
ト配線技術やシートコイル作成技術で知られた適宜の技
術を用いて行うことができる。また、シートコイルで知
られているように、ベース部材は硬い材質である必要は
なく、柔軟な材質であってもよい。

１次コイルアレイ１０と２次コイルアレイ１１の配列は
第１図に示したものに限らず、次に述べるように、種々
に変更可能である。

第５図の実施例では、１次コイルアレイ１０ａが複数の
１次コイルＡ１，Ｂ１〜Ａｎ，Ｂｎを検出対象範囲全域
にわたって所定の間隔で配列してなるものであり、２次
コイルアレイ１１ａが４個の２次コイルＳ１〜Ｓ４を所
定の間隔で配列してなるものである。１次コイルアレイ
１０ａにおいては、正弦信号sin ωｔによって励磁され
る１つの１次コイル（Ａ相コイルという）と余弦信号co
s ωｔによって励磁される１つの１次コイル（Ｂ相コイ
ルという）によって１対の１次コイルが構成されてい
る。１対の１次コイルにおけるＡ相コイルとＢ相コイル
（例えばＡ１とＢ１あるいはＡ２とＢ２など）の中間距
離は第１図と同様に３Ｐ／４であり、隣同志でＰ／４の
すきまが空いている。各１次コイル対の配列ピッチは２
Ｐである。２次コイルアレイ１１ａにおける２次コイル
Ｓ１〜Ｓ４の配列間隔は第１図と同様であり、また、同
様に隣接する２次コイルが逆極性となるように各２次コ
イルが直列接続されている。この例の場合も、２次出力
信号Ｙにおける位相シフト量φの１サイクルの変化（０
〜２π）は、各１次コイル対の配列ピッチである距離Ｐ
の変位に対応して生じる。第１図及び第５図の実施例で
は、隣接する２次コイルが逆極性となるように各２次コ
イルが直列接続されており、かつ隣接する２次コイルの
位置に対するリラクタンス変化の関数は逆相となってい
る。これにより、誘導電圧のレベルが差動的に増強され
て、精度の良い検出を行うことができるようになる。

上記各実施例で、距離Ｐを１サイクルとするアブソリュ
ート位置検出を行うので、原点からの変位量がＰを越え
た場合は、正確なアブソリュート位置は判らない。距離
Ｐを越える正確なアブソリュート位置を知るには、現在
位置を示す検出データ（位相シフト量φ）が原点から数
えて何サイクル目の距離Ｐにおける位置を示しているか
を検出すればよい。そのために、現在位置を示す検出デ
ータが原点から数えて何サイクル目の距離Ｐにおける位
置を示しているのかを検出する適宜の手段を併設すれば
よい。そのような手段としては、出力信号Ｙの位相シフ
ト量φが原点から数えて何回２πを越えたかをカウント
するようにしてもよいし、また、特開昭５９−７９１１
４号公報に示されたように１サイクルのピッチが僅かに
異なる複数の位置検出装置を設けて各検出装置の検出位
置データを演算処理することにより原点から数えたサイ
クル数をもアブソリュートで検出するようにしてもよ
い。後者のようにする場合、例えば、第６図に略示する
ように、１サイクルのピッチＰ１，Ｐ２が異なる複数系
列の１次コイルアレイ１０−１，１０−２と２次コイル
アレイ１１−１，１１−２とを設ければよい。

第６図において、１次コイルアレイ１０−１は２次コイ
ルアレイ１１−１に対応し、１次コイルアレイ１０−２
は２次コイルアレイ１１−２に対応している。２次コイ
ルアレイ１１−１，１１−２は共通のベース部材１５に
設けられ、１次コイルアレイ１０−１，１０−２も共通
のベース部材（図示せず）に設けられ、２次コイルアレ
イ１１−１，１１−２に対して１次コイルアレイ１０−
１，１０−２が相対的に変位する。対応する１次コイル
アレイと２次コイルアレイの配置関係（つまり１０−１
と１１−１の配置関係及び１０−２と１１−２の配置関
係）は第１図に示したものと夫々同様であり、Ａ−１，
Ａ−２は正弦信号sin ωｔによって励磁される１次コイ
ル、Ｂ−１，Ｂ−２は余弦信号cos ωｔによって励磁さ
れる１次コイル、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，…，Ｓ１′，Ｓ
２′，Ｓ３′，…は交互に逆極性の２次コイル、であ
る。また、この各系列の１次コイルアレイ及び２次コイ
ルアレイの配列は第５図に示したような変更が夫々可能
である。

両系列間ではコイル配列のピッチ（つまり１サイクルの
位相変化に対応する距離Ｐ）が夫々幾分異なっている。
このピッチ（つまり１サイクルの位相変化に対応する距
離Ｐ）を、一方の系列１０−１，１１−１についてはＰ
１で示し、他方の系列１０−２，１１−２についてはＰ
２で示す。一方の系列１０−１，１１−１の出力信号Ｙ
１に基づき検出される位置データの現在値をＤ１とし、
他方の系列１０−２，１１−２の出力信号Ｙ２に基づき
検出される位置データの現在値をＤ２とする。上記特開
昭５９７９１１４号公報に示されたように、両位置デー
タの現在値の差Ｄ１−Ｄ２をＰ１，Ｐ２の比及び１サイ
クル当りの位置データの分割数Ｎに応じた定数で除する
ことにより、現在位置における位置データＤ１のアブソ
リュートなサイクル数Ｃｘを求めることができる。この
アブソリュートサイクル数Ｃｘと位置データＤ１とを組
合せることにより、広範囲にわたる絶対位置を高精度で
検出した位置データを得ることができる。

１次コイルアレイと２次コイルアレイの系列数は２に限
らず、それ以上であってもよい。

第７図及び第８図は本発明み係る位置検出装置をリニア
ガイドＬＭＧの直線位置検出装置として適用した実施例
を示すもので、第７図は正面図、第８図は可動部１６を
一部切り欠いた側面図である。リニアガイドＬＭＧは、
周知のようにガイドレール１７とこのガイドレール１７
に沿って直線変位可能な可動部１６とを有する。このガ
イドレール１７の所定の側面に沿って２次コイルアレイ
１１が設けられており、可動部１６の内側における前記
２次コイルアレイ１１に対応する箇所に１次コイルアレ
イ１０が設けられている。１次及び２次コイルアレイ１
０、１１の構成は、例えば第１図に示したものと同様で
あり、同様に動作する。また、この１次コイルアレイ１
０及び２次コイルアレイ１１の構成は、第５図又は第６
図に示された実施例のような構成であってもよい。

可動部１６及びガイドレール１７に対する１次及び２次
コイルアレイ１０、１１の取付けは、例えば、第４図に
示したようにシート状のベース部材１３、１４上に１次
及び２次コイルアレイ１０、１１を形成したものを用い
ることによって容易に行うことができる。すなわち、こ
れらの１次及び２次コイル１０、１１を形成したシート
状ベース部材１３、１４を単にガイドレール１７と可動
部１６の所定の側面に貼付るだけでよいのである。

このように本発明の位置検出装置は、平面上の１次コイ
ルアレイ１０及び２次コイルアレイ１１のみから成って
おり、格別のコア部を必要としていないため、既成のリ
ニアガイドにも構造的な改造なしに容易に取付けること
ができる。また、リニアガイドに限らず、コア部の存在
により位相シフト型位置検出装置の取付けが従来困難で
あった装置の箇所にも、本発明による位置検出装置を容
易に取付けることができる。

この発明に係る位置検出装置は１次元（直線）のみばか
りでなく２次元（平面）の位置検出装置として構成する
こともできる。第９図はその実施例を示すものである。
２次コイルベース１８上において複数の２次コイルＳ１
〜Ｓｎを行列状に設け、この２次コイルベース１８に対
して２次元的に平行移動可能な１次コイルアレイ（図示
せず）を設けることによって、２次元位置を検出するこ
とができるようにすることが可能である。

上記実施例においては、正弦信号と余弦信号のように９
０゜の位相差を持つ２相の基準交流信号によって各１次
コイルを励磁しており、この場合は一般的には、１次コ
イルアレイにおけるコイル配列間隔と２次コイルアレイ
におけるコイル配列間隔との差が、１±Ｐ／４（ただし
ｉは任意の整数）となるようにコイル配列を設定すれば
よい。また、１次コイルを励磁する基準交流信号は２相
に限らず３相その他の多相信号であってもよく、その場
合は、１次コイルアレイと２次コイルアレイの夫々のコ
イル配列間隔の差は１次交流信号間の位相ずれに応じて
設定すればよい。

尚、各コイルの形状は、角形に限定されず螺旋状であれ
ば円形でも他のものでもよい。

また、本発明を回転位置検出装置として適用することも
可能である。その場合は、回転円周に沿って１次コイル
アレイ又は２次コイルアレイを設ければよい。

［発明の効果］ 以上の通り、この発明に係る位置検出装置によれば、１
次コイル手段と２次コイル手段の相対的位置に応じた出
力を生じるものであるため、従来のようなコイル部に対
して相対的に変位するコア部は省略されており、従っ
て、構造が簡単であると共に製造コストも下げることが
できるという効果を奏する。

また、各コイルは平面上の螺旋コイルからなるものであ
るため、電磁誘電作用が強く、検出精度を極めて高くす
ることができるという効果を奏する。しかも、平面状コ
イルであることによって、１次コイル手段及び２次コイ
ル手段の全体的構造を夫々平板状にすることができるた
め、嵩張らずに、コンパクトな、極めて簡略化された形
状にすることができる。従って、従来、位相シフト型位
置検出装置を取付けることが困難であった場所にも容易
に本発明の位置検出装置を取付けることができる、など
の種々の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る位置検出装置の一実施例を示す
原理図、 第２図は同実施例におけるコイルの結線例を示す回路
図、 第３図は同実施例における２次出力信号の位相ずれ量と
検出位置との関係を例示するグラフ、 第４図は同実施例における１次コイルアレイと２次コイ
ルアレイの相互の配置の一例を示す斜視図、 第５図及び第６図はこの発明に係る位置検出装置の別の
実施例を夫々示す原理図、 第７図はこの発明をリニアガイドの位置検出装置として
適用した一実施例を示す正面図、 第８図は同実施例におけるリニアガイドの側面図、 第９図は本発明におけるコイル配列の別の実施例を略示
する平面図、 第１０図は従来の直線位置検出装置の一例を示す図、で
ある。 １０……１次コイルアレイ、１１……２次コイルアレ
イ、Ａ、Ｂ……１次コイル、Ｓ１〜Ｓｎ……２次コイ
ル、１２……位相差測定回路、１３、１４、１８……ベ
ース部材、ＬＭＧ……リニアガイド、１６……リニアガ
イドの可動部、１７……ガイドレール。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】所定の第１の間隔で配列された少なくとも
   ２つの１次コイルから成る１次コイル手段と、 前記１次コイルの配列間隔よりも小さい所定の第２の間
   隔で交互に極性が逆になるように直列接続された少なく
   とも４つの２次コイルからなる２次コイル手段とを具備
   し、 前記１次コイル手段及び２次コイル手段における各コイ
   ルは平面状の螺旋コイルからなり、 検出対象位置の変位に応じて前記１次コイル手段を２次
   コイル手段に対して相対的に変位させ、 前記１次コイルを互いに位相のずれた交流信号を用いて
   それぞれ励磁することにより、前記１次コイル手段と前
   記２次コイル手段との相対位置に応じて位相シフトされ
   た出力信号を前記２次コイル手段に誘起せしめるように
   した位置検出装置。