JPH065427Y2 - 炉のベロ−ズガイド装置 - Google Patents
炉のベロ−ズガイド装置Info
- Publication number
- JPH065427Y2 JPH065427Y2 JP10999387U JP10999387U JPH065427Y2 JP H065427 Y2 JPH065427 Y2 JP H065427Y2 JP 10999387 U JP10999387 U JP 10999387U JP 10999387 U JP10999387 U JP 10999387U JP H065427 Y2 JPH065427 Y2 JP H065427Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide
- bellows
- furnace
- spindle box
- guide member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、ガリウムなどの単結晶を製造するための真空
炉のような炉のベローズガイド装置に関するものであ
る。
炉のような炉のベローズガイド装置に関するものであ
る。
従来、この種の真空炉においてはスピンドルボックスの
上下動を案内するガイドとベローズを上下動に案内する
ガイドとが別々に行なわれていた。
上下動を案内するガイドとベローズを上下動に案内する
ガイドとが別々に行なわれていた。
ベローズガイドがなければ、ベローズが変形し破損する
慮れがあった。また個々に取付ければ複雑で高価にな
る。
慮れがあった。また個々に取付ければ複雑で高価にな
る。
本考案は上記の事情に鑑みなされたものであって、その
目的とするところは、スピンドルボックスの上下動を案
内するガイド手段を利用してベローズの伸縮動の案内に
してベローズの変形を防止しベローズの破損をなくすこ
とにある。
目的とするところは、スピンドルボックスの上下動を案
内するガイド手段を利用してベローズの伸縮動の案内に
してベローズの変形を防止しベローズの破損をなくすこ
とにある。
上記の目的を達成するために本考案は、スピンドルボッ
クスの上下動により上下方向に伸縮動し且つ隣り合うベ
ローズの両端のフランジを互に連結して成るベローズ構
体を備えた炉において、炉のコラムに、側面部にガイド
レール部を形成したガイド部材を上下方向に沿わせて取
付け、スピンドルボックスに設けたガイド受部材を前記
ガイド部材に上下動可能に嵌合し、前記ベローズ構体の
フランジにガイドローラを軸支すると共にガイドローラ
を前記ガイド部材のガイドレール部に当接させた構成に
してある。
クスの上下動により上下方向に伸縮動し且つ隣り合うベ
ローズの両端のフランジを互に連結して成るベローズ構
体を備えた炉において、炉のコラムに、側面部にガイド
レール部を形成したガイド部材を上下方向に沿わせて取
付け、スピンドルボックスに設けたガイド受部材を前記
ガイド部材に上下動可能に嵌合し、前記ベローズ構体の
フランジにガイドローラを軸支すると共にガイドローラ
を前記ガイド部材のガイドレール部に当接させた構成に
してある。
そして、スピンドルボックスの上下動をガイド部材に沿
って行なわしめると共にベローズ構体の上下方向の伸縮
動も前記ガイドローラがガイドレール部を転動すること
により、前記ガイド部材を案内として行なうようにし
た。
って行なわしめると共にベローズ構体の上下方向の伸縮
動も前記ガイドローラがガイドレール部を転動すること
により、前記ガイド部材を案内として行なうようにし
た。
以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は真空炉の全体構造例を示し、図中１は炉体、２
はスピンドルボックス、３はベローズ構体である。前記
炉体１の上部にはコラム４が立設してあり、コラム４に
は上下方向に沿って両側面にガイドレール部１４を有す
るガイド部材５が取付けてある。前記スピンドルボック
ス２には凹溝部６Ａを有すガイド受部材６が設けてあっ
て、これらガイド受部材６にガイド部材５が摺動可能に
嵌合している。スピンドルボックス２は、前記ガイド受
部材６及びガイド部材５より成るガイド手段により案内
されて上下動するもので種引上棒（図示省略）及び回転
するスピンドル（図示省略）を備えている。
はスピンドルボックス、３はベローズ構体である。前記
炉体１の上部にはコラム４が立設してあり、コラム４に
は上下方向に沿って両側面にガイドレール部１４を有す
るガイド部材５が取付けてある。前記スピンドルボック
ス２には凹溝部６Ａを有すガイド受部材６が設けてあっ
て、これらガイド受部材６にガイド部材５が摺動可能に
嵌合している。スピンドルボックス２は、前記ガイド受
部材６及びガイド部材５より成るガイド手段により案内
されて上下動するもので種引上棒（図示省略）及び回転
するスピンドル（図示省略）を備えている。
前記ベローズ構体３は、スピンドルを囲むものであっ
て、複数のベローズ７より成り、隣り合うベローズ７の
両端のフランジ８を互いに連結して構成してある。そし
てベローズ構体３は上端部においてスピンドルボックス
２に固着されており、またベローズ構体３の下端部は炉
体１側に固着されていて、前記スピンドルボックス２の
上下動によって、ベローズ構体３は上下方向に伸縮する
ものである。またベローズ構体３のフランジ８間はパン
タグラフ９により連結されている。
て、複数のベローズ７より成り、隣り合うベローズ７の
両端のフランジ８を互いに連結して構成してある。そし
てベローズ構体３は上端部においてスピンドルボックス
２に固着されており、またベローズ構体３の下端部は炉
体１側に固着されていて、前記スピンドルボックス２の
上下動によって、ベローズ構体３は上下方向に伸縮する
ものである。またベローズ構体３のフランジ８間はパン
タグラフ９により連結されている。
前記ベローズ構体３のフランジ８には支持ブラケット１
０が取付けてあって、これら支持ブラケット１０に支軸
１１が固着してあり、支軸１１に軸受１２を介してガイ
ドローラ１３が取付けてある。これらガイドローラ１３
は、前記コラム４に設けたガイド部材５のガイドレール
部１４に当接している。
０が取付けてあって、これら支持ブラケット１０に支軸
１１が固着してあり、支軸１１に軸受１２を介してガイ
ドローラ１３が取付けてある。これらガイドローラ１３
は、前記コラム４に設けたガイド部材５のガイドレール
部１４に当接している。
そして、前記スピンドルボックス２の上下動によってベ
ローズ構体３が上下方向に伸縮するが、この場合、前記
ガイドローラ１３がガイド部材５のガイドレール部１４
に沿って転動してベローズ構体３を案内する。
ローズ構体３が上下方向に伸縮するが、この場合、前記
ガイドローラ１３がガイド部材５のガイドレール部１４
に沿って転動してベローズ構体３を案内する。
以上詳述したように、本考案に係る炉のベローズガイド
装置は、スピンドルボックスの上下動により上下方向に
伸縮動し且つ隣り合うベローズの両端のフランジを互に
連結して成るベローズ構体を備えた炉におて、炉のコラ
ムに、側面部にガイドレール部を形成したガイド部材を
上下方向に沿わせて取付け、スピンドルボックスに設け
たガイド受部材を前記ガイド部材に上下動可能に嵌合
し、前記ベローズ構体のフランジにガイドローラを軸支
すると共にガイドローラを前記ガイド部材のガイドレー
ル部に当接させたことを特徴とするものである。
装置は、スピンドルボックスの上下動により上下方向に
伸縮動し且つ隣り合うベローズの両端のフランジを互に
連結して成るベローズ構体を備えた炉におて、炉のコラ
ムに、側面部にガイドレール部を形成したガイド部材を
上下方向に沿わせて取付け、スピンドルボックスに設け
たガイド受部材を前記ガイド部材に上下動可能に嵌合
し、前記ベローズ構体のフランジにガイドローラを軸支
すると共にガイドローラを前記ガイド部材のガイドレー
ル部に当接させたことを特徴とするものである。
したがって、スピンドルボックスの上下動はガイド部材
に沿って行なわれると共にベローズ構体の上下方向の伸
縮動も前記ガイドローラがガイドレール部を転動するこ
とにより、前記ガイド部材を案内として行なわれる。
に沿って行なわれると共にベローズ構体の上下方向の伸
縮動も前記ガイドローラがガイドレール部を転動するこ
とにより、前記ガイド部材を案内として行なわれる。
このように、スピンドルボックスの上下動を案内するガ
イド手段を利用してベローズの伸縮動の案内としたので
ベローズの変形が防止されてベローズの破損をなくすこ
とができる。
イド手段を利用してベローズの伸縮動の案内としたので
ベローズの変形が防止されてベローズの破損をなくすこ
とができる。
第１図は真空炉の正面図、第２図はスピンドルボックス
のガイド手段の構成説明図、第３図は同詳細図、第４図
はベローズ構体のガイド手段の構成説明図、第５図は同
詳細図である。 １は炉体、２はスピンドルボックス、３はベローズ構
体、４はコラム、５はガイド部材、６はガイド受部材、
７はベローズ、８はフランジ、１３はガイドローラ、１
４はガイドレール部。
のガイド手段の構成説明図、第３図は同詳細図、第４図
はベローズ構体のガイド手段の構成説明図、第５図は同
詳細図である。 １は炉体、２はスピンドルボックス、３はベローズ構
体、４はコラム、５はガイド部材、６はガイド受部材、
７はベローズ、８はフランジ、１３はガイドローラ、１
４はガイドレール部。
Claims (1)
- 【請求項１】スピンドルボックスの上下動により上下方
向に伸縮動し且つ隣り合うベローズの両端のフランジを
互に連結して成るベローズ構体を備えた炉において、炉
のコラムに、側面部にガイドレール部を形成したガイド
部材を上下方向に沿わせて取付け、スピンドルボックス
に設けたガイド受部材を前記ガイド部材に上下動可能に
嵌合し、前記ベローズ構体のフランジにガイドローラを
軸支すると共にガイドローラを前記ガイド部材のガイド
レール部に当接させたことを特徴とする炉のベローズガ
イド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10999387U JPH065427Y2 (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 | 炉のベロ−ズガイド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10999387U JPH065427Y2 (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 | 炉のベロ−ズガイド装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6418157U JPS6418157U (ja) | 1989-01-30 |
| JPH065427Y2 true JPH065427Y2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=31346746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10999387U Expired - Lifetime JPH065427Y2 (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 | 炉のベロ−ズガイド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065427Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-07-20 JP JP10999387U patent/JPH065427Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6418157U (ja) | 1989-01-30 |
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