JPH0654560A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
- Publication number
- JPH0654560A JPH0654560A JP4204640A JP20464092A JPH0654560A JP H0654560 A JPH0654560 A JP H0654560A JP 4204640 A JP4204640 A JP 4204640A JP 20464092 A JP20464092 A JP 20464092A JP H0654560 A JPH0654560 A JP H0654560A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- piezoelectric
- ultrasonic motor
- piezoelectric body
- elastic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 進行波を発生させて移動体を移動させる超音
波モータにおいて、不要振動を抑えることにより、騒音
の発生及びモータ寿命の低下を防ぎ、かつ機械的強度の
高い超音波モータを提供することを目的とする。 【構成】 進行波の発生駆動源であるｎ個の圧電体１，
２とこのｎ個の圧電体１，２の厚み方向の上下両表面に
設けた弾性体３，４とからなるステータと、ステータに
接触する移動体６と、ステータ５と移動体６を加圧接触
させる手段９を備えた構成とする。
波モータにおいて、不要振動を抑えることにより、騒音
の発生及びモータ寿命の低下を防ぎ、かつ機械的強度の
高い超音波モータを提供することを目的とする。 【構成】 進行波の発生駆動源であるｎ個の圧電体１，
２とこのｎ個の圧電体１，２の厚み方向の上下両表面に
設けた弾性体３，４とからなるステータと、ステータに
接触する移動体６と、ステータ５と移動体６を加圧接触
させる手段９を備えた構成とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧電体を用いて駆動力を
発生する超音波モータに関する。
発生する超音波モータに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、超音波モータは構造の簡単さや小
型、軽量などの特徴により、電子機器、カメラ、医療機
器等、広範囲で応用されている。
型、軽量などの特徴により、電子機器、カメラ、医療機
器等、広範囲で応用されている。
【０００３】以下に従来の超音波モータについて説明す
る。図３は従来の超音波モータの構成を示すものであ
る。図３において、１，２は圧電体、３は弾性体であ
り、この圧電体１，２と弾性体３とを厚み方向に重ねて
ステータ５を構成している。このステータ５は、ステー
タ固定台１１より突起したステータ固定ピン１０により
ステータ５の半径方向の変位分布における節円位置で固
定され、かつ、ライニング７をその表面に有する移動体
６と加圧接触手段９により面接触している。また移動体
６は、その軸を軸受８で支持された構成となっている。
る。図３は従来の超音波モータの構成を示すものであ
る。図３において、１，２は圧電体、３は弾性体であ
り、この圧電体１，２と弾性体３とを厚み方向に重ねて
ステータ５を構成している。このステータ５は、ステー
タ固定台１１より突起したステータ固定ピン１０により
ステータ５の半径方向の変位分布における節円位置で固
定され、かつ、ライニング７をその表面に有する移動体
６と加圧接触手段９により面接触している。また移動体
６は、その軸を軸受８で支持された構成となっている。
【０００４】以上のように構成された超音波モータの圧
電体１，２に、互いに位相のずれた電気信号を印加する
ことにより、ステータ５に進行波が励起され回転力を得
るようになっている。
電体１，２に、互いに位相のずれた電気信号を印加する
ことにより、ステータ５に進行波が励起され回転力を得
るようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、圧電体１，２の片側にのみ弾性体３を有
するために、圧電体へ電力を供給する際に基準となる圧
電体１，２間の接触面から見て圧電体１側と圧電体２側
のインピーダンスが異なり、同振幅の電圧を印加するよ
うな電力供給手段を用いて駆動した場合、図４に示すよ
うに圧電体１，２の電流波形１２′，１３′にアンバラ
ンスが生じる。もちろんこれらのアンバランスな状態
は、その状態を検出し、各圧電体１，２への印加電圧を
状態補正するような電力供給手段とすることによりアン
バランスをなくすることができるがコスト的に高くつい
てしまう。これらのアンバランスな状態により励起され
るステータ５の進行波には定在波が含まれており、不要
な振動をするために騒音の発生およびモータ寿命の低下
を生じるという問題点を有していた。また、圧電体１，
２の片側にのみ弾性体３を有する上記の従来の構成は、
機械的強度の点から見ても、圧電体１，２の限界近くで
使用した場合や、圧電体１，２に突入電力が印加された
場合、弾性体３を有する圧電体１に比べ圧電体２は破壊
され易いという問題点を有していた。
来の構成では、圧電体１，２の片側にのみ弾性体３を有
するために、圧電体へ電力を供給する際に基準となる圧
電体１，２間の接触面から見て圧電体１側と圧電体２側
のインピーダンスが異なり、同振幅の電圧を印加するよ
うな電力供給手段を用いて駆動した場合、図４に示すよ
うに圧電体１，２の電流波形１２′，１３′にアンバラ
ンスが生じる。もちろんこれらのアンバランスな状態
は、その状態を検出し、各圧電体１，２への印加電圧を
状態補正するような電力供給手段とすることによりアン
バランスをなくすることができるがコスト的に高くつい
てしまう。これらのアンバランスな状態により励起され
るステータ５の進行波には定在波が含まれており、不要
な振動をするために騒音の発生およびモータ寿命の低下
を生じるという問題点を有していた。また、圧電体１，
２の片側にのみ弾性体３を有する上記の従来の構成は、
機械的強度の点から見ても、圧電体１，２の限界近くで
使用した場合や、圧電体１，２に突入電力が印加された
場合、弾性体３を有する圧電体１に比べ圧電体２は破壊
され易いという問題点を有していた。
【０００６】本発明は上記の従来の問題点を解決するも
ので、騒音の発生およびモータ寿命の低下を生じる原因
である不要振動を抑えた、かつ機械的強度の高い超音波
モータを提供することを目的とする。
ので、騒音の発生およびモータ寿命の低下を生じる原因
である不要振動を抑えた、かつ機械的強度の高い超音波
モータを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の超音波モータは、進行波の発生駆動源である
重ねられたｎ個（ｎ≧２）の圧電体とこのｎ個の圧電体
の厚み方向の上下両表面に設けた弾性体とからなるステ
ータと、ステータに接触する移動体と、ステータと移動
体を加圧接触させる手段を備えた構成を有している。
に本発明の超音波モータは、進行波の発生駆動源である
重ねられたｎ個（ｎ≧２）の圧電体とこのｎ個の圧電体
の厚み方向の上下両表面に設けた弾性体とからなるステ
ータと、ステータに接触する移動体と、ステータと移動
体を加圧接触させる手段を備えた構成を有している。
【０００８】
【作用】この構成において、圧電体へ電力を供給する際
に基準となる点から見て上方の圧電体の上表面に設けた
弾性体側のインピーダンスと下方の圧電体の下表面に設
けた弾性体側のインピーダンスが等しくなり、同振幅の
電圧を印加するような電力供給手段を用いて駆動した場
合でも、ｎ個の圧電体の電流にアンバランスを生じなく
することができ、ステータに励起される進行波には定在
波が発生しにくくなる。
に基準となる点から見て上方の圧電体の上表面に設けた
弾性体側のインピーダンスと下方の圧電体の下表面に設
けた弾性体側のインピーダンスが等しくなり、同振幅の
電圧を印加するような電力供給手段を用いて駆動した場
合でも、ｎ個の圧電体の電流にアンバランスを生じなく
することができ、ステータに励起される進行波には定在
波が発生しにくくなる。
【０００９】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。なお、前記従来例と同じ構成部材に
は従来例と同じ符号を用いる。
しながら説明する。なお、前記従来例と同じ構成部材に
は従来例と同じ符号を用いる。
【００１０】図１において、１，２は圧電体、３は上方
の圧電体１の上面に設けた弾性体、４は下方の圧電体２
の下面に設けた弾性体であり、この圧電体１，２と弾性
体３，４とを厚み方向に重ねステータ５を構成してい
る。このステータ５は、ステータ固定台１１より突起し
たステータ固定ピン１０によりステータ５の半径方向の
変位分布における節円位置で固定され、かつ、ライニン
グ７をその表面に有する移動体６と加圧接触手段９によ
り面接触している。また移動体６は、その軸を軸受８で
支持された構成となっている。
の圧電体１の上面に設けた弾性体、４は下方の圧電体２
の下面に設けた弾性体であり、この圧電体１，２と弾性
体３，４とを厚み方向に重ねステータ５を構成してい
る。このステータ５は、ステータ固定台１１より突起し
たステータ固定ピン１０によりステータ５の半径方向の
変位分布における節円位置で固定され、かつ、ライニン
グ７をその表面に有する移動体６と加圧接触手段９によ
り面接触している。また移動体６は、その軸を軸受８で
支持された構成となっている。
【００１１】前記圧電体１，２へ電力を供給する際、基
準となる点から見て、圧電体１の上表面に設けた弾性体
３側のインピーダンスと、圧電体２の下表面に設けた弾
性体４側のインピーダンスは等しくなるようにしてい
る。
準となる点から見て、圧電体１の上表面に設けた弾性体
３側のインピーダンスと、圧電体２の下表面に設けた弾
性体４側のインピーダンスは等しくなるようにしてい
る。
【００１２】以上のように構成された超音波モータの圧
電体１，２に、互いに位相のずれた電気信号を印加する
ことにより、ステータ５に進行波が励起され回転力を得
るようになっている。
電体１，２に、互いに位相のずれた電気信号を印加する
ことにより、ステータ５に進行波が励起され回転力を得
るようになっている。
【００１３】上記構成において、圧電体１，２へ電力を
供給する際に基準となる点から見て、圧電体１の上表面
に設けた弾性体３側のインピーダンスと、圧電体２の下
表面に設けた弾性体４側のインピーダンスが等しくな
り、同振幅の電圧を印加するような電力供給手段を用い
て駆動した場合でも、図２に示すように圧電体１，２の
電流波形１２，１３にアンバランスを生じなくすること
ができる。このことは、ステータ５に励起される進行波
には定在波が発生しにくく、不要振動を抑えることがで
きる。また機械的強度の点から見ても、圧電体１，２共
に弾性体３，４を有する構成となり、圧電体の限界近く
で使用した場合や、圧電体に突入電力が印加された場合
にも破壊されにくくなる。
供給する際に基準となる点から見て、圧電体１の上表面
に設けた弾性体３側のインピーダンスと、圧電体２の下
表面に設けた弾性体４側のインピーダンスが等しくな
り、同振幅の電圧を印加するような電力供給手段を用い
て駆動した場合でも、図２に示すように圧電体１，２の
電流波形１２，１３にアンバランスを生じなくすること
ができる。このことは、ステータ５に励起される進行波
には定在波が発生しにくく、不要振動を抑えることがで
きる。また機械的強度の点から見ても、圧電体１，２共
に弾性体３，４を有する構成となり、圧電体の限界近く
で使用した場合や、圧電体に突入電力が印加された場合
にも破壊されにくくなる。
【００１４】
【発明の効果】以上の実施例の説明より明らかなよう
に、本発明は進行波の発生駆動源であるｎ個の圧電体と
この圧電体の厚み方向の上下両表面に設けた弾性体とか
らなるステータと、ステータに接触する移動体と、ステ
ータと移動体を加圧接触させる手段を備えた構成とする
ことにより、騒音の発生およびモータ寿命の低下を生じ
る原因である不要振動を抑えた、かつ機械的強度の高い
優れた知要音波モータを実現できるものである。
に、本発明は進行波の発生駆動源であるｎ個の圧電体と
この圧電体の厚み方向の上下両表面に設けた弾性体とか
らなるステータと、ステータに接触する移動体と、ステ
ータと移動体を加圧接触させる手段を備えた構成とする
ことにより、騒音の発生およびモータ寿命の低下を生じ
る原因である不要振動を抑えた、かつ機械的強度の高い
優れた知要音波モータを実現できるものである。
【図１】本発明の一実施例の超音波モータの断面図
【図２】同超音波モータの圧電体の電流波形
【図３】従来の超音波モータの断面図
【図４】同超音波モータの圧電体の電流波形
１ 圧電体 ２ 圧電体 ３ 弾性体 ４ 弾性体 ５ ステータ ６ 移動体 ７ ライニング ８ 軸受 ９ 加圧接触手段 １０ ステータ固定ピン １１ ステータ固定台
Claims (2)
- 【請求項１】 進行波の発生駆動源であるｎ個（ｎ≧
２）の圧電体と、前記圧電体の厚み方向の上下両表面に
設けた弾性体とからなるステータと、前記ステータに接
触する移動体と、前記ステータと移動体を加圧接触させ
る手段を備えた超音波モータ。 - 【請求項２】 圧電体へ電力を供給する際基準となる点
から見て、上表面に設けた弾性体側のインピーダンスと
下表面に設けた弾性体側のインピーダンスが等しくなる
ようにした請求項１記載の超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4204640A JP3065177B2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4204640A JP3065177B2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 超音波モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0654560A true JPH0654560A (ja) | 1994-02-25 |
| JP3065177B2 JP3065177B2 (ja) | 2000-07-12 |
Family
ID=16493828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4204640A Expired - Fee Related JP3065177B2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3065177B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001258279A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Nikon Corp | 振動アクチュエータの駆動装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6297046B1 (en) | 1994-10-28 | 2001-10-02 | Baxter International Inc. | Multilayer gas-permeable container for the culture of adherent and non-adherent cells |
| US6391404B1 (en) | 1995-06-07 | 2002-05-21 | Baxter International Inc. | Coextruded multilayer film materials and containers made therefrom |
-
1992
- 1992-07-31 JP JP4204640A patent/JP3065177B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001258279A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Nikon Corp | 振動アクチュエータの駆動装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3065177B2 (ja) | 2000-07-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS61224878A (ja) | 振動波モ−タ− | |
| JPH0654560A (ja) | 超音波モータ | |
| JP4119903B2 (ja) | 平板型圧電超音波モーター | |
| JPH07170768A (ja) | 超音波モータ | |
| JP2568707B2 (ja) | 超音波モータ | |
| JPH03253267A (ja) | 超音波モータ | |
| JPH01315277A (ja) | 超音波モータ | |
| JP2972433B2 (ja) | 超音波モータ | |
| JPH01177878A (ja) | 振動波モータ | |
| JPH0270277A (ja) | 超音波モータ | |
| JP2626162B2 (ja) | 超音波モータ | |
| JP2636280B2 (ja) | 超音波モータの駆動法 | |
| JPH01315278A (ja) | 超音波モータ | |
| JPH0491677A (ja) | 超音波モータ | |
| JP3119920B2 (ja) | 超音波モータ | |
| JPS63283475A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JPS60207467A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JPH04340382A (ja) | 超音波モータ | |
| JPS60226782A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JPS60207466A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JP2871756B2 (ja) | 振動波駆動装置 | |
| JPS63257474A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JPS60162487A (ja) | 圧電駆動装置 | |
| JP2669013B2 (ja) | 超音波モータの電極構造 | |
| JP2897259B2 (ja) | 超音波モータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |