JPH0654561A - 超音波モータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 定在波を用いて移動体の駆動、位置決めを行
う超音波モータにおいて、より高精度な制御を可能にす
る。 【構成】 振動体に配置された複数の電気−機械エネル
ギ変換素子により、振動体を定在波で励振させ、該定在
波の節近傍において該振動体に接する凸部を有する移動
体の駆動または位置決めを行う超音波モータにおいて、
該複数の電気−機械エネルギ変換素子それぞれによって
該振動体に発生する定在波の振幅を異ならせる手段を設
けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、レンズ駆動、プリンタ
の紙送り、印字ヘッド送り等に用いられる超音波モータ
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】振動体に進行波を発生させ、前記振動体
に接する移動体を駆動させる超音波モータは数多く提案
されており、さらに、製品化も実現している。一方、定
在波を用いて移動体を駆動させる超音波モータに関して
も種々のタイプのものが例えば特開平３−２６１３８３
号公開公報などで提案されている。

【０００３】以下、定在波を用いて移動体を駆動させる
超音波モータの一例について図面に基づいて説明する。

【０００４】図１４は従来の超音波モータの振動体と移
動体の位置関係を示す図である。また、図１５は図１４
に示す超音波モータの駆動源としての２相の圧電素子の
各領域の分極方向と、振動体の動作を示す図である。

【０００５】図１４において、１は移動体であり、１ａ
は移動体１の振動体に接する面側に設けられた突起部、
２は励振状態にある振動体である。振動体２が定在波で
励振されることにより、振動体２には図に示すような定
在波の節（図中のＮ）ができる。そして、その定在波の
節の近傍で移動体の突起部１ａと振動体２が接触し（図
１４参照）、移動体１の位置決めがなされる。さらに、
励振された定在波の節を移動することによりそれに追随
して移動体１も移動する。尚、振動体２を定在波で励振
するためには図１５（Ａ）に示されるように配置された
圧電素子３が用いられる。圧電素子３はＡ相駆動用圧電
素子３Ａ、Ｂ相駆動用圧電素子３Ｂの２つから成り、そ
の３Ａおよび３Ｂは位置的に９０度ずれた電極配置にな
っており、圧電素子内の電極は公知の電圧素子同様に交
互に逆方向の分極処理がなされている。

【０００６】次にこの公知の従来の超音波モータ駆動方
法の詳細について説明する。図１５（ａ）では３Ａ、３
Ｂの両圧電素子に同時に交流信号が印加された状態を示
している。その結果振動体２はその２つの合成波で励振
されることになる。図１５（ａ）の点線は３Ａのみによ
って励振された場合の振動体２に発生する定在波、一点
鎖線は３Ｂのみの場合の定在波、実線がそれらの合成に
よりできる定在波である。また、図１５（ｂ）では３Ａ
のみを駆動させたときの定在波である。次に、図１５
（ｃ）では、３Ａ、３Ｂともの励振させ、その両相の振
幅の差分によりできる定在波を示している。そして、図
１５（ｄ）では３Ｂのみに交流信号を印加してた時に振
動体２に発生する定在波を示している。以上説明した図
１２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）の順序で振動体２
を励振させると、図からわかるように節Ｎが

【０００７】

【外１】 ステップ毎に移動していき、その結果振動体２に圧接さ
れた移動体１も、振動体２に生じた定在波の節位置の移
動に伴って同じステップ毎に移動することになる。以上
が定在波を利用して移動体を駆動させる前述した公知の
超音波モータの駆動原理である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】従来の定在波を用いた
超音波モータでは移動体の移動を制御する際に

【０００９】

【外２】 ごとの制御しかできない。つまり、移動体を任意の位置
に位置決めし、連続的に制御することは不可能であっ
た。本願発明は上記のような問題点を解決し、より高精
度な制御の可能な超音波モータを提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は振動体に配置さ
れた複数の電気−機械エネルギ変換素子により、振動体
を定在波で励振させ、該振動体の定在波の節を移動させ
ることにより、該定在波の節近傍において該振動体に接
する突部を有する移動体を移動させる超音波モータにお
いて、該複数の電気−機械エネルギ変換素子それぞれに
より該振動体に発生する定在波の振幅を変える手段を設
けたことであり、それにより、移動体を任意の位置で位
置決めすることを可能にした。

【００１１】

【実施例】図１は本発明の一例の円環形超音波モータの
ステータ、ロータの斜視図である。１はロータ、２はス
テータである。ロータ１には、ステータ２に発生する定
在波の数の２倍の凸部１ａ（図中黒く塗りつぶされてい
る部分）が設けられている。３はステータ２に張りつけ
られた圧電素子である。図２はステータ２に張り付けら
れた圧電素子３の電極のパターンを示すものである。圧
電素子３はＡ相の定在波を発生する圧電素子３Ａ、Ｂ相
の定在波を発生する圧電素子３Ｂの２つの相で構成され
ており、公知の超音波モータの圧電素子と同様に、それ
ぞれの圧電素子により発生する相が

【００１２】

【外３】 ずらして配置してある。各相内は図示の如き領域に分割
され、各領域は交互に逆方向の分極処理がなされてい
る。また本実施例においてはこの圧電素子３はステータ
２全周で定在波が７個各相内の電極の数が決められてい
てできるよう分極処理されている。このようなステータ
２に発生した定在波の節の部分にロータの凸部１ａを接
触させることによりロータの位置決めをする。以下にそ
の動作を説明する。

【００１３】図３に図１、図２に示す本実施例の超音波
モータを駆動させるための回路のブロック図を示す。図
３において、図１、図２と同一部材に関しては同一符号
をつけた。４は演算マイコン、５は発振器、６は移相
器、７Ａ、７Ｂはゲインコントローラ、８Ａ、８Ｂはア
ンプである。

【００１４】次に本実施例の超音波モータにおいて定在
波によって駆動させるときの制御について説明する。

【００１５】演算マイコン４は、ある周波数の交流電圧
を出力するように発振器５に指令を与える。そして発振
器５から出たある周波数の交流電流Ｅ₁ はゲインコント
ローラ７Ａおよびアンプ８Ａを介してＡ相駆動用圧電素
子３Ａに加えられる。また、同時に交流電圧Ｅ₁ は移相
回路６、ゲインコントローラ７Ｂおよびアンプ８Ｂを介
してＢ相駆動用圧電素子３Ｂに加えられる。移相回路６
は交流電圧Ｅ１の位相ずらすための回路である（Ｅ₁ ＝
Ｅ₂ ）。次にゲインコントローラ７Ａ、７Ｂは入力され
る交流電圧をマイコン４からの信号に応じたゲインで増
幅して交流電圧Ｅ₃ 、Ｅ₄ として出力するためのもので
ある。ここでステータ２において任意の位置に定在波を
発生させるために、ゲインコントローラ７Ａ、７Ｂでは
マイコン４からの信号に応じて以下のような式に従って
入力ゲインを制御する。

【００１６】Ｅ₃ ＝ｃｏｓ（θ）・Ｅ₁ Ｅ₄ ＝ｓｉｎ（θ）・Ｅ₂ ＝ｓｉｎθ・Ｅ₁ （Ｅ₁ ＝Ｅ
₂ の時、即ち移相回路６が作動しない時） ここで、ゲインコントローラ７Ａ、７Ｂにおけるゲイン
はそれぞれｃｏｓ（θ）、ｓｉｎ（θ）にあたり、θは
ステータ２に発生させようとする定在波位置に応じて変
わる変数である。つまりθを制御することによりステー
タ２に発生させる定在波の節の位置を制御することがで
きる。さらには節で接するロータの凸部の位置も位置決
め可能になることから、ロータ自体の位置制御が可能に
なる。Ｅ₁（＝Ｅ₂ ）は交流電圧なのでＥ₁ ＝Ｅｓｉｎ
（ｗｔ）（Ｅ：交流電圧の振幅）と表すことができる。
したがってゲインコントローラ７Ａ、７Ｂにおける交換
式は以下のようになる。

【００１７】 Ｅ₃ ＝ｃｏｓ（θ）・Ｅｓｉｎ（ωｔ） Ｅ₄ ＝ｓｉｎ（θ）・Ｅｓｉｎ（ωｔ）

【００１８】次に、ゲインコントローラ７Ａ、７Ｂから
の出力電圧はそれぞれ、アンプ８Ａ、８Ｂにより、同じ
振幅率で増幅され、それぞれＡ相駆動用圧電素子３Ａ、
Ｂ相駆動用圧電素子３Ｂに出力される。ここでアンプ８
Ａ、８Ｂの増幅率をともにａとすると、 Ｅ_A ＝ａ・ｃｏｓ（θ）・Ｅｓｉｎ（ωｔ）＝ｃｏｓ（θ）・ａＥｓｉｎ（ω ｔ）＝ｃｏｓ（θ）・Ｃ・ｓｉｎ（ωｔ） Ｅ_B ＝ａ・ｓｉｎθ・Ｅｓｉｎ（ωｔ）＝ｓｉｎθ・ａＥｓｉｎ（ωｔ）＝ｓ ｉｎ（θ）・Ｃ・ｓｉｎ（ωｔ）（ａＥ＝Ｃとする） になる。ゲインコントローラ７Ａ、７Ｂを適宜上式に従
って制御して超音波モータを駆動させたときの駆動過程
を示したのが図４、５、６である。

【００１９】図４（ａ）はθ＝−９０°のときを示すθ
＝−９０°においては各圧電素子３Ａ、３Ｂに印加され
る交流電圧Ｅ_A 、Ｅ_B は、 Ｅ_A ＝ｃｏｓ（−９０°）Ｃｓｉｎ（ωｔ）＝０ Ｅ_B ＝ｓｉｎ（−９０°）Ｃｓｉｎ（ωｔ）＝−Ｃｓｉｎ（ωｔ） となる。したがって、Ｂ相の圧電素子のみによってステ
ータは励振され、図４（ａ）に示すような定在波ができ
る。ここで定在波の１つの節をＮとし、その節の近傍の
ステータ２に接するロータの凸部を１ａｓとし、以後こ
の凸部１ａｓの移動に注目しつつ、本発明の動作を説明
する。尚、図４の右側に描かれた電気回路は各圧電素子
３Ａ、３Ｂと、それに印加される電圧Ｅ_A 、E_B を模式
的に表したものである。

【００２０】次に図４（ｂ）においてはθ＝−６０°の
場合である。

【００２１】θ＝−６０°においては印加電圧Ｅ_A 、Ｅ
_B の夫々は、

【００２２】

【外４】 となる。そして、Ａ相、Ｂ相は９０°ずれて配置されて
いることから、それぞれの相により発生する定在波は図
のようになる（Ａ相：点線、Ｂ相一点鎖線参照）。

【００２３】ここでそれぞれの相に発生する定在波の振
幅は印加される電圧Ｅ_A 、Ｅ_B に比例する。また、この
場合はＥ_A 、Ｅ_B の振幅はそれぞれ

【００２４】

【外５】 であることからＥ_A 、Ｅ_B の振幅の比は

【００２５】

【外６】 となる。以上のことから、圧電素子Ａ相、Ｂ相の振幅の
比も

【００２６】

【外７】 となる。このような位相ずれが９０°で振幅の比が

【００２７】

【外８】 である２つの定在波がステータに存在し、結果的にステ
ータ２にはこの２つの定在波の合成波（図中実線）によ
って励振されることになる。そしてこの合成波において
は節のＮは図のような位置となり、つまりθ＝−９０°
のときより右方向へ移動する。また、それに伴い、凸部
１ａｓも移動する。

【００２８】次に図４（Ｃ）はθ＝４５°のときの各相
により振動体（ステータ）に発生する定在波並びに凸部
１ａｓの位置を示す。

【００２９】θ＝−４５°においては、各圧電素子３
Ａ，３Ｂに印加される電圧Ｅ_A 、Ｅ_Bは、

【００３０】

【外９】 となる。この場合、Ａ相、Ｂ相によりステータに発生す
る振動の振幅の比は１：１となる。このような２相の振
動の合成波は図の実線のようになり１つの節のＮはθ＝
−６０°の場合よりも更に右方向に移動する。

【００３１】さらに、図５（ａ）はθ＝−３０°のとき
を示す。

【００３２】θ＝−３０°においては前記のＥ_A 、Ｅ_B
は、夫々

【００３３】

【外１０】 となる。この場合、Ａ相、Ｂ相の振幅の比は√３：１と
なり、合成波は図の実線のようになり１つの節Ｎはθ＝
−４５°の場合よりもさらに右方向へ移動する。

【００３４】さらに、図５（ｂ）はθ＝０°のときを示
す。

【００３５】θ＝０°においてはＥ_A 、Ｅ_B は Ｅ_A ＝ｃｏｓ（０°）Ｃｓｉｎ（ωｔ）＝Ｃｓｉｎ（ωｔ） Ｅ_B ＝ｓｉｎ（０°）Ｃｓｉｎ（ωｔ）＝０ となる。したがってＡ相のみの励振されていることにな
る。１つの節Ｎはθ＝−３０°のときよりもさらに右方
向へ移動している。

【００３６】さらに、同様にθ＝９０°まで順次θを変
化させた過程が図５（ｃ）、図６（ａ）〜（ｃ）に示さ
れている。つまりここで図４（ａ）（θ＝−９０°）と
図６（ｃ）（θ＝９０°）を比較すると節Ｎの位置が半
波長分移動しており、それに伴い凸部１ａｓも半波長分
移動している。図４の動作を繰返すことにより、さらに
ロータ１を駆動させることができる。尚、本実施例の場
合は、ステータ一周に７波長できるようにＡ相、Ｂ相駆
動用圧電素子の電極が配置されていたので図４（ａ）〜
図６（ｃ）の動作を１４回繰返すことによりロータを１
回転させることができる。

【００３７】また図４、５、６ではθ＝０、±３０°、
±４５°、±６０°、±９０°に限って図示したが、こ
ららの変数θに限定されることはない。任意のθについ
て同様に制御することができ、つまりはＡ相、Ｂ相の振
幅を任意に可変とすることによりステータの節位置を任
意に可変でき、ロータを任意位置に位置決めすることが
できるものである。

【００３８】このように、定在波を自由な位置に発生さ
せることができるようにすることにより、ステータとロ
ータの位置関係をエンコーダなどのセンサなしに決定す
ることができる。

【００３９】本発明では理想的にはいくらでも分解能を
上げることができる。よって停止精度の高い超音波モー
タができるようになる。

【００４０】定在波によってロータを駆動させる場合に
ついて説明したが、ロータを回転させるためには従来の
進行波型超音波モータ同様進行波を用い、ロータを所望
の位置にとめるときに初めて定在波を用いる様にモータ
を構成し、定在波駆動の時に上述の本発明の駆動方法を
適用に構成しても良い。なお、斯様に構成した場合に進
行波を発生させたいときには、図３に示す移相回路６に
おいて、入力される交流電圧Ｅ₁ の位相をずらし、交流
信号Ｅ₂ として出力することにより進行波を発生させる
ことができる。また、その進行波によって回転している
ロータを所望の位置に止めるときは移相回路６におい
て、Ｅ₁ とＥ₂ の位相が同じになるようにもどし、ステ
ータに定在波を発生させ、それ以後は図４、図５、図６
のような制御を行う。

【００４１】また、本実施例において振動体（ステー
タ）を励振させるための圧電素子は２組設けられていた
が、Ａ相、Ｂ相、Ｃ相の３組以上設けた場合にも、本発
明は適用可能である。

【００４２】次に本発明の第２の実施例を説明する。第
１の実施例はリング型の超音波モータの例であったが、
本実施例は特開平３−１１９８１号公開公報で示される
様な棒状超音波モータに本発明を適用した例である。

【００４３】図７は上述の第２の実施例の棒状超音波モ
ータの概略の構成を示す図である。９はロータで、Ｐ、
Ｑはロータ９の略円周位置の対角線上に設けられた凸部
である。１０はステータ、１１は圧電素子群で、さら
に、その中の１１ＡがＡ相駆動用圧電素子、１１ＢがＢ
相駆動用圧電素子を構成する圧電素子で、公知の圧電素
子と同様に夫々は２分割され、図示の極性に分極されて
いる（図７（ｂ）参照）。この圧電素子１１Ａ、１１Ｂ
に電圧を印加することによりステータ１０に所望の定在
波を発生させ、その定在波の節部にロータの凸部Ｐ、Ｑ
を接触させることによりロータ９の位置決めをする。素
子１１Ａ、１１Ｂは図のように９０°ずらして配置さ
れ、さらに、それぞれが図７（ｂ）の最下図に示すよう
なＸ、Ｙ方向に振動する。これらの圧電素子１１Ａ、１
１Ｂそれぞれがステータ１０を定在波で励振し、結果的
に１１Ａ、１１Ｂにより発生される定在波の合成波によ
ってロータ９が励振されることになる。そして、この合
成波の節の位置は１１Ａ、１１Ｂの振幅の比によって変
えることができる。図８はその制御を行うための回路を
示すブロック図である。

【００４４】図３、７と同様な部分は同一の符合がつけ
てある。回路の動作は第１の実施例の図３の場合と同様
である。ここではゲインコントローラ７Ａ、７Ｂでのゲ
イン値とステータ１０に発生する定在波の関係について
のみ説明する。第１の実施例同様ステータのＡ相、Ｂ相
に印加される電圧はそれぞれ Ｅ_A ＝ｃｏｓ（θ）・Ｃｓｉｎ（ωｔ） Ｅ_B ＝ｓｉｎ（θ）・Ｃｓｉｎ（ωｔ） Ｃ：振幅 となる。ｃｏｓ（θ）、ｓｉｎ（θ）がゲインコントロ
ーラ７Ａ、７Ｂで与えられるゲインである。図９はθの
値の変化にともなう定在波の変化を示す図である。図７
と同様な部分は同一の符合が付けてある。

【００４５】図９（ａ）はθ＝０°のときを示す θ＝０°では Ｅ_A ＝Ｃ・ｓｉｎ（ωｔ） Ｅ_B ＝０ であるから振動体（ステータ）１０はＡ相駆動用圧電素
子の正電極と負電極の境界が節部となる定在波が発生す
る。そして、このときロータの凸部Ｐは振動振幅の最小
な所である節ができる位置Ｎに安定して止まる。

【００４６】図９（ｂ）はθ＝４５°のときを示す θ＝４５°では

【００４７】

【外１１】 であるから振動体１０はＡ相駆動用圧電素子の正電極と
Ｂ相駆動用圧電素子の正電極が重なっている部分の中心
を腹とする定在波が発生する。そして、この定在波の節
部はそこから９０π／１８０ｒａｄずれてでき、そこ
に、ロータの凸部Ｐは安定する。

【００４８】図９は（ｃ）はθ＝９０°のときを示す θ＝９０°では Ｅ_A ＝０ Ｅ_B ＝Ｃ・ｓｉｎ（ωｔ） であるから振動体１０はＢ相駆動用圧電素子の正電極と
負電極の境界が節となるような定在波が発生する。そし
て、このときロータの凸部Ｐは節Ｎに安定して止まる。

【００４９】図９は（ｄ）はθ＝１３５°のときを示す θ＝１３５°では

【００５０】

【外１２】 であるから振動体１０はＡ相駆動用圧電素子の正電極と
Ｂ相駆動用圧電素子の負電極が重なっている部分の中心
を腹とする定在波が発生する。そして、このとき節Ｎは
図のような位置にでき、ロータの凸部Ｐはそこで安定す
る。

【００５１】図１０（ａ）はθ＝１８０°のときを示
す。

【００５２】θ＝１８０°では Ｅ_A ＝Ｃ・ｃｏｓ（１８０°）ｓｉｎωｔ＝−Ｃｓｉｎωｔ Ｅ_B ＝０ であるからステータはＡ相駆動用圧電素子の正電極と負
電極の境界が節部となる定在波が発生する。そして、こ
のときロータの凸部Ｐは振動振幅の最小な所である節が
できる位置Ｎに安定して止まる。

【００５３】以上、図９（ａ）〜（ｃ）、図１０（ａ）
でロータ９は半回転したことになる。同じ動作をもう１
度繰返すことにより、ロータは一回転することになる。

【００５４】このように、定在波を自由な位置に発生さ
せることができるようにすることにより、ステータとロ
ータの位置関係をエンコーダなどのセンサなしに決定す
ることができる。

【００５５】また、図９（ａ）〜（ｃ）、図１０（ａ）
のあるポイント（Ｐ）に着目すると理解できるように、
θを０〜１３５π／１８０ｒａｄというふうに順々に変
えていくことにより棒状超音波モータ１０はステップ状
に動かすことが可能である。

【００５６】しかも上記説明では４５π／１８０ｒａｄ
きざみでモータを送っているが本発明では理想的にはい
くらでも分解能を上げることができる。よって停止制度
の高い棒状超音波モータができるようになる。

【００５７】図１１に第２の実施例で用いたロータおよ
び、他の形状のロータを示す。

【００５８】図１１（ａ）は段差を付けてステータに２
カ所当たるようにしているのに対し、図１１（ｂ）はな
めらかな曲線状に図中Ｐのところ２カ所でステータに当
たるようなっている。このような形状だと２つ折れの状
態で加工するなどして容易に作ることが可能である。

【００５９】図１１（ｃ）はロータの摩擦面２カ所に薄
いシート材のようなものを張りつけた例である。これ
も、加工が容易になる。

【００６０】図１１（ｄ）はロータの摩擦面は平面であ
りながらツバばねの硬さが２カ所だけ硬いという例であ
りこの方法だとモータ効率を落とさずに本発明が実施で
きる。

【００６１】図１２に本発明の第３の実施例の振動子の
分解斜視図示す。

【００６２】駆動用の圧電素子群ａ１、ａ２および電極
板群Ａ１、Ａ２、Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３は図７と同じである
が、この例は、振動検出用圧電素子が２枚になっており
それぞれが圧電素子ａ１の励振した振動を検出できるも
の（ｓ１）と圧電素子ａ２の励振した振動を検出できる
もの（ｓ２）とに分かれている。ｓ１とｓ２の間にはお
互いにショートしないように絶縁シートｄ−１が入って
いる。この振動体ａ₁、ａ₂を用いて第２の実施例を用い
て振動体に定在波を発生させてやったときＡ相方向振動
検出圧電素子Ｓ１とＢ相方向振動検出圧電素子Ｓ２の出
力比から定在波の方向が検出できこれをフィードバック
することでＡ相、Ｂ相の共振周波数、力係数などの差が
あっても正確な位置に定数波を発生させることができ
る。以下にその式を示す。Ｓ１、Ｓ２それぞれの出力が Ｖ_S1＝ｂ・ｃｏｓ（θ）・ｓｉｎ（ω＋ψ） Ｖ_S2＝ｂ・ｓｉｎ（θ）・ｓｉｎ（ω＋ψ）であるため

【００６３】

【外１３】 でθが求められる。

【００６４】図１３に第３の実施例の回路のブロック図
を示す。４〜８までは実施例１と同じで振幅および位相
差検出器１２が振動検出手段の２つある棒状超音波モー
タ１３につながっている。

【００６５】この検出器１２の信号より定在波の状態を
検知しフィードバックをかける。

【００６６】

【発明の効果】以上説明したように本発明により、超音
波モータにおいて、エンコーダなどのセンサなしに位置
決めさせる方法の精度を向上させることができる。しか
もそれを利用して細かい分解能のステップ駆動も可能に
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例のリング型超音波モータ
の移動体と振動体を示す図。

【図２】図１の振動体を示す図。

【図３】本発明の第１の実施例の回路のブロック図。

【図４】本発明の第１の実施例の超音波モータの動作を
示す図。

【図５】本発明の第１の実施例の超音波モータの動作を
示す図。

【図６】本発明の第１の実施例の超音波モータの動作を
示す図。

【図７】本発明の第２の実施例の棒状超音波モータを示
す図。

【図８】本発明の第２の実施例の回路のブロック図。

【図９】本発明の第２の実施例の超音波モータの動作を
示す図。

【図１０】本発明の第２の実施例の超音波モータの動作
を示す図。

【図１１】本発明の第２の実施例の超音波モータの他の
ロータ形状。

【図１２】本発明の第３の実施例の振動体の分解斜視
図。

【図１３】本発明の第３の実施例の回路のブロック図。

【図１４】従来の定在波を用いる超音波モータの移動体
と振動体を示す図。

【図１５】従来の定在波を用いる超音波モータの動作を
示す図。

【符号の説明】

１ リング状超音波モータのロ−タ ２ リング状超音波モータのステータ ３ リング状超音波モータのステータに配置された圧電
素子 ４ マイコン ５ 発振回路 ６ 移相回路 ７ ゲインコントローラ ８ アンプ ９ 棒状超音波モータのロータ １０ 棒状超音波モータのステータ １１ 棒状超音波モータの圧電素子 １３ 振動検出圧電素子を有する棒状超音波モータ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動体に配置された複数の電気−機械エ
   ネルギ変換素子により、振動体を定在波で励振させ、該
   振動体の定在波の節を移動させることにより、該定在波
   の節近傍において該振動体に接する突部を有する移動体
   を移動させる超音波モータにおいて、該複数の電気−機
   械エネルギ変換素子それぞれにより該振動体に発生する
   定在波の振幅を異ならせる手段を設けたことを特徴とす
   る超音波モータ。