JPH0655417A - 非接触部品位置決め方法及び装置 - Google Patents

非接触部品位置決め方法及び装置

Info

Publication number
JPH0655417A
JPH0655417A JP4208004A JP20800492A JPH0655417A JP H0655417 A JPH0655417 A JP H0655417A JP 4208004 A JP4208004 A JP 4208004A JP 20800492 A JP20800492 A JP 20800492A JP H0655417 A JPH0655417 A JP H0655417A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
laser light
light
collimator lens
mirror
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4208004A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuaki Shibata
和明 柴田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Juki Corp
Original Assignee
Juki Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Juki Corp filed Critical Juki Corp
Priority to JP4208004A priority Critical patent/JPH0655417A/ja
Publication of JPH0655417A publication Critical patent/JPH0655417A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回路基板などに電子部品を実装するに際し
て、機械的手段を用いることなく、簡単な構成で高いス
ペース効率を維持しながら、非接触のセンサーを使用し
て電子部品の位置決めを行う。 【構成】 レーザーダイオードを含む発光部を縦形に設
置し、レーザーダイオードから発せられたレーザー光を
コリメータレンズで平行光とした後、ミラーで直角方向
に全反射させて電子部品に照射し、電子部品で遮られな
かったレーザー光を発光部とは分離して縦形に設置され
た受光部で検出し、電子部品を画像認識して、電子部品
の位置のずれ若しくは傾きを検出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品の実装装置な
どに電子部品を実装するに際して、機械的手段を用い
ず、非接触のセンサーを使用して電子部品の位置決めを
行う非接触部品位置決め方法及び装置に係り、特に、レ
ーザーダイオード等のレーザー光源から発せられたレー
ザー光をコリメータレンズで平行光とした後、ミラーで
直角方向に全反射させて電子部品に照射し、該電子部品
で遮られなかったレーザー光を、発光部と分離して縦形
に設置された受光部で検出して電子部品を認識し、電子
部品の位置のずれ若しくは傾きを検出することにより、
簡単な構成でスペース効率を向上させた非接触部品位置
決め方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、回路基板などに電子部品を実装す
るに際して電子部品の位置決めを行う場合、CCDカメ
ラを用いて画像処理により電子部品の位置決めを行って
いた。
【0003】また、レーザーダイオードから発せられた
レーザー光をコリメータレンズで平行光として電子部品
に照射し、該電子部品で遮られなかったレーザー光を受
光部で検出して電子部品を画像認識し、電子部品の位置
のずれ若しくは傾きを検出するような、発光部と受光部
が一体となった非接触部品位置決め装置も本発明者らは
試みていた。
【0004】一方、図6は、例えば米国特許公報4,6
15,093号で開示されている従来の非接触部品位置
決め装置である。この図において、10は、位置決めす
べき電子部品、12は、電子部品10を先端に吸着して
保持する吸着ノズル、14は、レーザー光を発するレー
ザーダイオード、16はコリメーターレンズ、18はス
リット、20は、電荷結合素子(Carge Coupled D
evice )を有するレーザー光検出素子としてのLinear
Carge Coupled Device Array(以下、単に「リニ
アCCDアレイ」と称する)である。
【0005】このような構成からなる従来の非接触部品
位置決め装置において、レーザーダイオード14から発
せられたレーザー光は、コリメータレンズ16によって
平行光とされ、その後、平行光の状態で、電子部品10
方向に照射される。このような平行光のうち、電子部品
10に遮られなかったレーザ光がリニアCCDアレイ2
0に到達して検出される。
【0006】即ち、レーザーダイオード14から発せら
れコリメータレンズ16で平行光とされて電子部品10
方向に照射されたレーザー光のうち、電子部品10に遮
られたレーザー光の部分はリニアCCDアレイ20に到
達できず、その結果、リニアCCDアレイ20に到達し
たレーザー光との相対的な関係から、電子部品10の影
として認識される。そして、この影の長さなどから電子
部品10のずれや傾きが検出される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような従来例においては、CCDカメラを用いて画像処
理により電子部品の位置決めを行う場合、電子部品の実
装速度を増大させるには、可動部であるヘッド部にCC
Dカメラを装着する必要があった。この場合、光学系を
有するCCDカメラなどを高速駆動や高速振動するヘッ
ド部に装着すると、CCDカメラなどの出力データの信
頼性が低下するという問題があった。
【0008】更に、この場合は、ミラー機構なども必要
となり、構造が複雑でコストも高くなるという問題もあ
った。
【0009】一方、図6のような構成の非接触部品位置
決め装置の場合、レーザーダイオード及びコリメータレ
ンズを有する発光部とリニアCCDアレイを有する受光
部とからなるヘッドユニットのサイズが大となる不都合
があった。特に、複数の電子部品を同時に位置決めする
ため、複数のヘッドユニットを同時に装着したとき、ヘ
ッドユニット全体のサイズが非常に大となって極めて不
都合になるという問題があった。
【0010】本発明は、かかる状況に鑑み、上述のよう
な従来例の問題などを解消せんとして成されたものであ
り、回路基板などに電子部品を実装するに際して、機械
的手段を用いることなく、簡単な構成で高いスペース効
率を維持しながら、非接触のセンサーを使用して電子部
品の位置決めを行う非接触部品位置決め方法及び装置を
提供することを目的とする。
【0011】
【課題を達成するための手段】本発明は、レーザー光
源、コリメータレンズ、及びミラーを有する発光部を縦
形に設置し、レーザー光源から発せられたレーザー光を
コリメータレンズで平行光とした後、ミラーで直角方向
に全反射させて電子部品に照射し、電子部品で遮られな
かったレーザー光を、発光部とは分離して縦形に設置さ
れた受光部で検出して電子部品を認識し、電子部品の位
置のずれ若しくは傾きを検出することにより、前記課題
を解決したものである。
【0012】又、本発明は、非接触部品位置決め装置に
おいて、レーザー光源、コリメータレンズ、及びミラー
を有し、縦形に設置された発光部と、電子部品を先端に
吸引して保持する吸着ノズルと、リニア受光センサを有
し、受光部とは分離して縦形に設置されると共に、発光
部から照射され電子部品で遮られなかったレーザー光が
到達して検出される受光部とを設け、レーザー光源から
発せられたレーザー光をコリメータレンズで平行光とし
た後、ミラーで直角方向に全反射させて電子部品に照射
し、該電子部品で遮られなかったレーザー光を受光部で
検出して電子部品を認識し、電子部品の位置のずれ若し
くは傾きを検出することにより、前記課題を解決したも
のである。
【0013】同様にして、本発明は、非接触部品位置決
め装置において、レーザー光源、コリメータレンズ、及
びミラーを有し、縦形に設置された発光部と、第1電子
部品を先端に吸引して保持する第1吸着ノズルと、リニ
ア受光センサを有し、受光部とは分離して縦形に設置さ
れると共に、発光部から照射され第1電子部品で遮られ
なかったレーザー光が到達して検出される第1受光部
と、第2電子部品を先端に吸引して保持する第2吸着ノ
ズルと、リニア受光センサを有し、受光部とは分離して
縦形に設置されると共に、発光部から照射され第2電子
部品で遮られなかったレーザー光が到達して検出される
第2受光部とを設け、レーザー光源から発せられたレー
ザー光をコリメータレンズで平行光とした後、ミラーで
直角の両方向に全反射させて第1及び第2電子部品に照
射し、該第1電子部品で遮られなかったレーザー光を第
1受光部で検出すると共に、第2電子部品で遮られなか
ったレーザー光を第2受光部で検出して第1及び第2の
電子部品をそれぞれ認識し、第1及び第2の電子部品の
位置のずれ若しくは傾きを検出することにより、前記課
題を解決したものである。
【0014】
【作用】本発明は、次のように作用する。
【0015】即ち、レーザーダイオード等のレーザー光
源から発せられたレーザー光がコリメータレンズによっ
て平行光とされ、その後、ミラーで直角方向に全反射さ
れる。このような平行光の状態で、電子部品方向に照射
されたレーザー光のうち、電子部品に遮られたレーザー
光の部分はリニアCCDアレイ等のリニア受光センサに
到達できず、その結果、リニア受光センサに到達したレ
ーザー光との相対的な関係から電子部品の影として画像
認識される。
【0016】その後、吸着ノズルを(90°+α)だけ
回転させ、電子部品の上記影が最小となる位置を捜す。
即ち、(90°+α)のα値を変化させるように吸着ノ
ズルを回転させ、電子部品の上記影が最小となる位置を
捜す。このような電子部品の影が最小となる位置におい
ては、電子部品の回転誤差が零となる。
【0017】また、このときのリニア受光センサにおけ
る上記影以外の左右の長さの差、即ち、リニア受光セン
サに到達したレーザー光の水平方向における左側の長さ
と右側の長さの差は、電子部品が設置される本来の位置
からの水平方向すなわちXY方向のずれ量となってい
る。
【0018】従って、リニア受光センサに到達したレー
ザー光の水平方向における左側の長さと右側の長さの差
から、電子部品のずれや傾きを認識できる。即ち、吸着
ノズルの軸に対する電子部品の水平方向のずれや該軸の
基準角度と電子部品の位置を示す角度との差を認識でき
る。
【0019】また、実装装置のメモリなどに予め記憶さ
れている吸着ノズルの中心位置情報を用いることによ
り、電子部品のXY軸の動き、即ち、吸着ノズルの軸に
対する電子部品の水平方向のずれを補正することができ
る。
【0020】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て詳細に説明する。
【0021】図1は、本発明の第1実施例の構成説明図
であり、図中、10は位置決めすべき電子部品、12
は、電子部品10を先端に吸着して保持する吸着ノズ
ル、14は、レーザー光を発するレーザーダイオード、
16はコリメーターレンズ、20はリニアCCDアレ
イ、22はミラー、24は、縦形に設置された発光部、
26は、発光部24と明確に分離して縦形に設置された
受光部である。
【0022】このような構成からなる本発明の実施例に
おいて、最初、図1から電子部品10を除去すると共
に、吸着ノズル12を回転させて先端部を降下させた状
態で、吸着ノズル12の中心位置を検出し、図示しない
実装装置のメモリなどに記憶させておく。
【0023】即ち、まず、図1から電子部品10を除去
すると共に吸着ノズル12を回転させて先端部を降下さ
せた状態にする。この状態において、レーザーダイオー
ド14から発せられたレーザー光は、コリメータレンズ
16によって平行光とされ、その後、図2に示す如く、
ミラー22で直角方向に全反射される。このような平行
光の状態で、吸着ノズル12方向に照射されたレーザー
光のうち、吸着ノズル12の先端部に遮られなかったレ
ーザー光が、リニアCCDアレイ20に到達して検出さ
れる。
【0024】換言するならば、図3に示す如く、吸着ノ
ズル12方向に照射されたレーザー光のうち、吸着ノズ
ル12の先端部に遮られたレーザー光の部分はリニアC
CDアレイ20に到達できず、リニアCCDアレイ20
に到達したレーザー光との相対的な関係から吸着ノズル
12の先端部が画像認識される。
【0025】このようにして検出された吸着ノズル12
の先端部の影から、吸着ノズル12の中心位置が算出さ
れ、図示しない実装装置のメモリなどに記憶される。
【0026】次に、吸着ノズル12の先端に位置決めす
べき電子部品10を吸引させる。この状態で、レーザー
ダイオード14から発せられたレーザー光は、コリメー
タレンズ16によって平行光とされ、その後、ミラー2
2で直角方向に全反射される。このような平行光の状態
で、電子部品10方向に照射されたレーザー光のうち、
電子部品10に遮られなかったレーザー光が、リニアC
CDアレイ20に到達して検出され、その結果、電子部
品10が画像認識される。
【0027】換言するならば、電子部品10方向に照射
されたレーザー光のうち、電子部品10に遮られたレー
ザー光の部分は、リニアCCDアレイ20に到達でき
ず、リニアCCDアレイ20に到達したレーザー光との
相対的な関係から、電子部品10の影として検出され
る。
【0028】その後、吸着ノズル12を(90°+α)
だけ回転させ、電子部品10の上記影が最小となる位置
を捜す。即ち、(90°+α)のα値を変化させるよう
に吸着ノズル12を回転させ、電子部品10の上記影が
最小となる位置を捜す。このような電子部品10の影が
最小となる位置においては、電子部品10の回転誤差が
零となる。
【0029】また、このときのリニアCCDアレイ20
における上記影以外の左右の長さの差、即ち、リニアC
CDアレイ20に到達したレーザー光の水平方向におけ
る左側の長さと右側の長さの差は、電子部品20が設置
される本来の位置からの水平方向すなわちXY方向のず
れ量となっている。
【0030】従って、リニアCCDアレイ20に到達し
たレーザー光の水平方向の長さの差から、電子部品10
のずれや傾きを認識できる。即ち、吸着ノズル12の軸
に対する電子部品10の水平方向のずれや該軸の基準角
度と電子部品10の位置を示す角度との差を認識でき
る。
【0031】また、前述のようにして図示しない実装装
置のメモリなどに予め記憶されている吸着ノズル12の
中心位置情報を用いることにより、電子部品10のXY
軸の動き、即ち、吸着ノズルに対する電子部品10の水
平方向のずれを補正することができる。
【0032】図4は、本発明の第2実施例の構成説明図
であり、図中、10a,10bは、図1の電子部品10
と同一の位置決めすべき電子部品、12a,12bは、
図1の吸着ノズル12と同一の吸着ノズルであって、電
子部品10a,10bをそれぞれ先端に吸着して保持す
る吸着ノズル、14は、レーザー光を発するレーザーダ
イオード、16はコリメーターレンズ、20a,20b
は、図1のリニアCCDアレイ20と同一のリニアCC
Dアレイ、22´は、コリメーターレンズ16を通った
平行光を直角の両方向に分割して照射する三角ミラーで
ある。
【0033】このような構成からなる第2実施例におい
て、レーザーダイオード14から発せられたレーザー光
は、コリメータレンズ16によって平行光とされ、その
後、図5に示す如く、三角ミラー22´で直角の両方向
(すなわち、90゜方向と270゜方向の二方向)に全
反射される。
【0034】このようにして電子部品10a方向に照射
されたレーザー光のうち、電子部品10aに遮られなか
ったレーザー光が、リニアCCDアレイ20aに到達し
て検出される。同様に、電子部品10b方向に照射され
たレーザー光のうち、電子部品10bに遮られなかった
レーザー光が、リニアCCDアレイ20bに到達して検
出され、その結果、電子部品10a,10bがリニアC
CDアレイ20a,20bによってそれぞれ画像認識さ
れる。
【0035】換言するならば、電子部品10a,10b
方向にそれぞれ照射されたレーザー光のうち、電子部品
10a,10bに遮られたレーザー光の部分はそれぞれ
リニアCCDアレイ20a,20bに到達できず、リニ
アCCDアレイ20a,20bに到達したレーザー光と
の相対的な関係よって電子部品20a,20bの位置や
傾きがそれぞれ画像認識される。
【0036】すなわち、リニアCCDアレイ20aに到
達したレーザー光の水平方向における左側の長さと右側
の長さの差から、電子部品10aのずれや傾きを認識で
き、リニアCCDアレイ20bに到達したレーザー光の
水平方向における左側の長さと右側のの長さの差から、
電子部品10bのずれや傾きを認識できる。
【0037】また、第2実施例などのように、レーザー
ダイオードを含む発光部が1つでリニアCCDアレイを
含む受光部が複数の場合には、前記従来例や第1実施例
の場合に比して、スペース効率が更に高くなる。
【0038】尚、本発明は前記実施例に限定されること
なく種々の変形が可能であり、例えば、レーザーダイオ
ード14から発せられたレーザー光をコリメータレンズ
16で平行光とした後、三角ミラー22´などの代わり
に配置された特殊ミラーで水平方向における直角の四方
向に全反射させ、4個の電子部品を同時に非接触で位置
決めするようにしても良い。
【0039】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、レーザーダイオード等のレーザー光源を含む発光
部を縦形に設置し、レーザー光源から発せられたレーザ
ー光をコリメータレンズで平行光とした後、ミラーで直
角方向に全反射させて電子部品に照射し、電子部品で遮
られなかったレーザー光を、発光部とは分離して縦形に
設置された受光部で検出するような構成であるため、前
記従来例の場合に比して、構成が簡単でスペース効率も
向上するという利点がある。
【0040】特に、第2実施例などで詳述したように、
レーザー光源を含む発光部が1つでリニアCCDアレイ
等のリニア受光センサを含む受光部が複数の場合には、
位置決めすべき複数の電子部品相互間の距離が短縮でき
る。このため、スペース効率が前記従来例に比して格段
に高くなり、実装装置自体も小型化できるなどの利点が
ある。
【0041】また、光学系を有するCCDカメラなどを
高速駆動や高速振動するヘッド部に装着する場合と異な
り、本発明においては、受光部に可動部分が無いため、
出力データの信頼性が高いという利点もある。
【0042】更に、本発明に係わる非接触位置決め装置
をヘッドユニットに組み込み、上昇動作やXY動作など
他の動作の間に同時並行するようにして電子部品の位置
決め作業を行うこともできる。
【0043】従って、本発明によれば、簡単な構成で高
いスペース効率を維持しながら、実装装置などに電子部
品を実装するに際して非接触のセンサーを用いて電子部
品の位置決めを行うことができる非接触部品位置決め方
法及びその装置が実現する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を説明するための構成説明
図であって、発光部と受光部をそれぞれ1個ずつ有する
場合の斜視図
【図2】前記第1実施例の光路を示す断面図
【図3】本発明の測定原理を示す説明図
【図4】本発明の第2実施例を説明するための構成説明
図であって、発光部が1個で受光部が2個である場合の
斜視図
【図5】前記第2実施例の光路を示す断面図
【図6】従来例を説明するための構成説明図であって、
発光部と受光部が一体化されている場合の斜視図
【符号の説明】
10…電子部品 10a,10b…電子部品 12…吸着ノズル 12a,12b…吸着ノズル 14…レーザーダイオード 16…コリメーターレンズ 20…リニアCCDアレイ 20a,20b…リニアCCDアレイ 22…ミラー 22´…三角ミラー 24…発光部 26…受光部

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】レーザー光源、コリメータレンズ、及びミ
    ラーを有する発光部を縦形に設置し、 前記レーザー光源から発せられたレーザー光を前記コリ
    メータレンズで平行光とした後、前記ミラーで直角方向
    に全反射させて電子部品に照射し、 該電子部品で遮られなかったレーザー光を、前記発光部
    とは分離して縦形に設置された受光部で検出して前記電
    子部品を認識し、前記電子部品の位置のずれ若しくは傾
    きを検出することを特徴とする非接触部品位置決め方
    法。
  2. 【請求項2】レーザー光源、コリメータレンズ、及びミ
    ラーを有し、縦形に設置された発光部と、 電子部品を先端部に吸引して保持する吸着ノズルと、 リニア受光センサを有し、前記受光部とは分離して縦形
    に設置された受光部とを具備し、 前記レーザー光源から発せられたレーザー光を前記コリ
    メータレンズで平行光とした後、前記ミラーで直角方向
    に全反射させて前記電子部品に照射し、該電子部品で遮
    られなかったレーザー光を前記受光部で検出して前記電
    子部品を認識し、前記電子部品の位置のずれ若しくは傾
    きを検出することを特徴とする非接触部品位置決め装
    置。
  3. 【請求項3】レーザー光源、コリメータレンズ、及び三
    角ミラーを有し、縦形に設置された発光部と、 第1電子部品を先端部に吸引して保持する第1吸着ノズ
    ルと、 リニア受光センサを有し、前記受光部とは分離して縦形
    に設置された第1受光部と、 第2電子部品を先端部に吸引して保持する第2吸着ノズ
    ルと、 リニア受光センサを有し、前記受光部とは分離して縦形
    に設置された第2受光部とを具備し、 前記レーザー光源から発せられたレーザー光を前記コリ
    メータレンズで平行光とした後、前記ミラーで直角の両
    方向に全反射させて前記第1及び第2電子部品に照射
    し、該第1電子部品で遮られなかったレーザー光を前記
    第1受光部で検出して前記第1電子部品を認識すると共
    に、前記第2電子部品で遮られなかったレーザー光を前
    記第2受光部で検出して前記第2電子部品を認識するこ
    とを特徴とする非接触部品位置決め装置。
JP4208004A 1992-08-04 1992-08-04 非接触部品位置決め方法及び装置 Pending JPH0655417A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4208004A JPH0655417A (ja) 1992-08-04 1992-08-04 非接触部品位置決め方法及び装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4208004A JPH0655417A (ja) 1992-08-04 1992-08-04 非接触部品位置決め方法及び装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0655417A true JPH0655417A (ja) 1994-03-01

Family

ID=16549080

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4208004A Pending JPH0655417A (ja) 1992-08-04 1992-08-04 非接触部品位置決め方法及び装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0655417A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010092901A (ja) * 2008-10-03 2010-04-22 Yamatake Corp 吸着姿勢判定装置
JP2017059610A (ja) * 2015-09-15 2017-03-23 パナソニックIpマネジメント株式会社 部品供給装置および部品装着装置ならびに部品検出センサ
CN111288904A (zh) * 2020-03-09 2020-06-16 广州市泰立机电设备有限公司 一种取板装置及取板方法
CN116638302A (zh) * 2023-07-13 2023-08-25 奇瑞汽车股份有限公司 螺栓旋松设备和流水线
EP4412420A4 (en) * 2021-09-30 2025-01-29 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. ASSEMBLY MACHINE AND SUCTION CONDITION DETERMINATION PROCEDURE

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010092901A (ja) * 2008-10-03 2010-04-22 Yamatake Corp 吸着姿勢判定装置
JP2017059610A (ja) * 2015-09-15 2017-03-23 パナソニックIpマネジメント株式会社 部品供給装置および部品装着装置ならびに部品検出センサ
CN111288904A (zh) * 2020-03-09 2020-06-16 广州市泰立机电设备有限公司 一种取板装置及取板方法
EP4412420A4 (en) * 2021-09-30 2025-01-29 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. ASSEMBLY MACHINE AND SUCTION CONDITION DETERMINATION PROCEDURE
CN116638302A (zh) * 2023-07-13 2023-08-25 奇瑞汽车股份有限公司 螺栓旋松设备和流水线

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3441580B2 (ja) 読取装置
EP1422498A2 (en) Automatic reflector tracking apparatus
US11913786B2 (en) Surveying instrument
JPH11326040A (ja) 広発散光学系を有するセンサ―と検出装置
KR101204585B1 (ko) 외관 검사 장치 및 방법
CN1162799C (zh) 光学扫描器和光源组件
JP3400788B2 (ja) 構成素子の位置を検出しかつ/または構成素子の接続部の位置を検出する装置および方法ならびに構成素子の位置を検出しかつ/または構成素子の接続部の位置を検出する装置を備えた装着ヘッド
JPH0655417A (ja) 非接触部品位置決め方法及び装置
US5033845A (en) Multi-direction distance measuring method and apparatus
CN108885260B (zh) 具有单轴扫描的渡越时间探测器
JPH01212384A (ja) 光ビーム物体検出装置
EP0943892B1 (en) Laser beam emitting apparatus
CN111537977B (zh) 一种通过锥形反射镜制作的二维光学雷达的感测装置
CN114252885A (zh) 测量装置和记录介质
JP2000002586A (ja) 回帰反射型光電センサ
EP4567459A1 (en) Ranging device and robot
JPH0719868A (ja) 移動体の位置方位測定装置
EP4692725A1 (en) Surveying device
JP3805099B2 (ja) 反射光識別方法とその装置および反射光識別装置を使用した移動体の位置検出装置
US20230296733A1 (en) LiDAR DEVICE AND CONTROL METHOD FOR LiDAR DEVICE
WO2025022966A1 (ja) 測量装置
JPH0675686A (ja) 光学式位置測定装置
WO2025022967A1 (ja) 測量装置
JPH06103392A (ja) バーコード読取装置
JPH11218407A (ja) 読取り対象物の位置認識方法及びその位置認識装置