JPH0656341B2 - 圧力分布検出装置 - Google Patents

圧力分布検出装置

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JPH0656341B2
JPH0656341B2 JP63088512A JP8851288A JPH0656341B2 JP H0656341 B2 JPH0656341 B2 JP H0656341B2 JP 63088512 A JP63088512 A JP 63088512A JP 8851288 A JP8851288 A JP 8851288A JP H0656341 B2 JPH0656341 B2 JP H0656341B2
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sensor element
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、圧力分布検出装置、特に、マトリクス状に配
置された複数の圧電センサ素子により接触圧力分布を検
出する圧力分布検出装置に関する。
[従来の技術およびその課題] 圧電素子をマトリクス状に配置して接触圧力分布を検出
する圧電型圧力分布センサの構成として、たとえば特開
昭62−297735号には、第6図に示すような構成
が示されている。
第6図の圧電型圧力分布センサ51では、圧電素子60
が5行5列のマトリクス状に配置されている。圧電素子
60の一方の電極には、行ごとに接続線A,A,…
が接続されている。また、圧電素子60の他方の電極に
は、列ごとに接続線B,B,…が電気的に接続され
ている。
前記従来の圧電型圧力分布センサでは、たとえば第6図
の手前側の圧電素子60における圧力を測定する場合に
は、当該圧電素子60に生じた歪に基づく電荷量を、接
続線Aと接続線Bとの間で測定する。
前記測定を行なうことによって圧力分布を得るために
は、圧電型圧力センサ51を、たとえば第7図に示すよ
うな圧力分布検出装置に組込むことが考えられる。第7
図において、圧電型圧力センサ51の接続線A,Bは圧
電素子切換回路52に接続されている。圧電素子切換回
路52は積分回路53に接続され、積分回路53はピー
クホールド回路54に接続されている。ピークホールド
回路54は、A/Dコンバータ55を介してデータ処理
装置56に接続されている。さらに、第7図の検出装置
は、制御回路57を備えている。制御回路57は、圧電
素子切換回路52を制御するとともに、ピークホールド
回路54に所定タイミングでリセット信号を送り、さら
にデータ処理装置56に素子切換情報信号を送るように
なっている。また、データ処理装置56は、A/Dコン
バータ55を制御するための制御信号をA/Dコンバー
タ55に送るようになっている。
前記圧力分布検出装置では、圧電型圧力センサ51の圧
電素子60のうち、圧電素子切換回路52によって決定
された圧電素子60からの放電量を積分回路53で積分
する。これをピークホールド回路54を通した後、A/
DコンバータでA/D変換してデータ処理装置56に入
力する。入力されたデータに基づいて、データ処理装置
56では、対応する圧電素子60に加えられた圧力を計
算する。各圧電素子60に加えられた圧力を計算すれ
ば、圧電型圧力センサ51に加えられた圧力の分布を知
ることができる。
ところが、第7図に示す構成を採用した場合には、デー
タ処理装置56でデータ処理を行なう前にA/D変換を
行なう必要があることから、高価なA/Dコンバータ5
5が必要となる。このため、装置全体が高価なものにな
らざるを得ないという問題が生じる。
本発明の目的は、圧電素子からの情報を処理するに際
し、高価なA/Dコンバータを不要として、安価な圧力
分布検出装置を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 本発明に係る圧力分布検出装置は、マトリクス状に配置
された複数の圧電センサ素子を有する圧電型圧力センサ
と、前記圧電センサ素子のうちデータの読取りを行なう
圧電素子を次々と決定していくセンサ素子切換手段と、
前記センサ素子切換手段により決定された前記圧電セン
サ素子からの放電時間を計測する放電時間計測手段と、
前記放電時間計測手段により計測された放電時間から、
対応する圧電センサ素子に加えられた圧力を計算するデ
ータ処理手段とを含んでいる。
[作用] マトリクス状に配置された複数の圧電センサ素子から、
センサ素子切換手段によってデータの読取りを行なう圧
電センサ素子が次々と決定されていく。
放電時間計測手段では、センサ素子切換手段により決定
された圧電センサ素子からの放電時間を計測する。次
に、データ処理手段では、放電時間計測手段により計測
された放電時間から、対応する圧電センサ素子に加えら
れた圧力を計算する。
センサ素子切換手段により、データの読取りを行なう圧
電センサ素子が次々と決定されていけば、各圧電センサ
素子が受けている圧力を、放電時間計測手段およびデー
タ処理手段によって次々と測定することができる。これ
によって、各圧電センサ素子における圧力が順次検出さ
れ、その結果圧力分布を知ることができる。
[実施例] 第1図は、本発明の一実施例の構成を示すブロック図で
ある。
第1図において、圧電型圧力センサ10の制御線C
,…は、制御線切換回路1に接続されている。ま
た、圧電型圧力センサ10の読取線R,R,…は、
読取線切換回路2に接続されている。読取線切換回路2
は、コンパレータ3の入力端子に接続されている。コン
パレータ3の比較電圧入力端子には、コンパレータ3で
のしきい値を設定するための定電圧をコンパレータ3に
入力するしきい値設定回路4が接続されている。コンパ
レータ3の出力端子は、ANDゲート5の一方の入力端
子に接続されている。ANDゲート5の他方の入力端子
には、基準となるクロックパルスを発生させる基準クロ
ック回路6が接続されている。ANDゲート5の出力端
子は、ANDゲート5からのパルス数をカウントするた
めのカウンタ7に接続されている。
カウンタ7には、データ処理装置8が接続されており、
カウンタ7はデータ処理装置8に対し、ディジタル量と
してのデータを入力するようになっている。また、この
検出装置は、マトリクス制御回路9を備えている。マト
リクス制御回路9は、制御線C,C,…の切換えを
行なうように制御線切換回路1を制御する。また、この
制御回路9は、読取線R,R,…を切換えるように
読取線切換回路2を制御する。一方、この制御回路9
は、測定の対象となる圧電素子を切換えるごとに所定タ
イミングでリセット信号をカウンタ7に送るようになっ
ている。また、制御回路9では、圧電素子切換えを行な
うごとに素子切換情報信号をデータ処理装置8に送るよ
うになっている。
次に、圧電型圧力センサ10の一例を説明する。
第2図は、圧電型圧力センサ10の一例の構成を示す斜
視概略図である。ここでは、圧電型圧力センサ10は、
5行5列のマトリクス状に配置されたセンサ素子11
a,11b,11c…を有している。
第3図に示すように、各センサ素子11a,11b,…
はそれぞれ、圧電素子12と、電界効果トランジスタ1
3と、コンデンサ14とを有している。また、マトリク
ス状に配置された各センサ素子11a,11b,…の配
置に沿って、各行方向に、それぞれ制御線C,C
…が配設されている。また、各列方向には、読取線
,R,…が配設されている。さらに、各列方向に
は、アース15に接続される2条ずつの配線16,17
が配設されている。
第4図に、1つのセンサ素子11の等価回路を示す。第
4図において、電界効果トランジスタ13のゲート電極
は、制御線Cに接続されている。また、トランジスタ1
3のソースあるいはドレイン電極の一方は、読取線Rに
接続されている。ソースあるいはドレイン電極の他方
は、圧電素子12の下端面に形成された電極18に接続
されている。圧電素子12の上端面に形成された電極1
9は、アース15に連続する配線17に接続されてい
る。また、圧電素子12の下端面の電極18とアース1
5に連続する配線16との間には、コンデンサ14が接
続されている。すなわち、このコンデンサ14は圧電素
子12に対し並列に接続されていることになる。なお、
圧電素子12としては、圧電セラミックスや圧電性単結
晶などの剛性の高い圧電材料よりなる素子が使用され
る。
次に、この実施例の作動を説明する。
第2図に示す圧電型圧力センサ10上に、被測定物体を
載せると、その物体により加圧された各センサ素子11
a,11b,…には、受けた圧力に対応する電荷が蓄積
される。
次に、第1図のマトリクス制御回路9により、制御線切
換回路1を通して、たとえばまず制御線Cに接続され
ているトランジスタ13を導通状態にする。このとき、
他の制御線C,C,…は非導通状態にある。これに
より、制御線Cに対応する行のセンサ素子11の情報
が、読取線R,R,…を通して読取可能な状態とな
る。
この状態において、読取線切換回路2を通して、まず読
取線Rのみをコンパレータ3に接続する。このとき、
残りの読取線R,R,…は、回路的に開放状態にな
っているため、対応するセンサ素子11内の情報は保持
されている。
読取線Rをコンパレータ3に接続すると、対応する圧
電素子12に加圧により蓄積された電荷が、コンパレー
タ3側に放電される。このとき、放電開始用スイッチと
して電界効果トランジスタなどの能動素子を使えば、そ
の飽和領域では定電流特性を持つことから、加圧による
蓄積電荷量は放電時間にほぼ比例することになる。すな
わち、このような能動素子を使った場合には、その飽和
領域では、 IDS=k(V−V−V … が成立する。また、 V=R・IDS … が成立する。なお、IDSは放電電流、kは比例定数、
はトランジスタ13のゲート電圧、Vは読取電
圧、Vはトランジスタ13のしきい値電圧、Rは放
電抵抗である。
,式から、次式が得られる。
=Rk(1−V … 式から、次式が得られる。
式から明らかなように、読取電圧Vは、圧電素子1
2の電圧Vに関係なく一定値となることがわかる。し
たがって、センサ素子11からの放電電圧、すなわち読
取電圧Vは、時間を経て非飽和領域となるまでの間、
第5A図に示すように一定値を示すことになる。
この一定電圧Vが、コンパレータ3に入力される。第
5A図において、電圧V以下の斜線で示される領域A
が、対応する圧電素子12において蓄積された電荷量に
相当する。
一方、コンパレータ3にはしきい値設定回路4からコン
パレータ3のしきい値を設定するためのしきい値電圧V
が入力されている。この結果、コンパレータ3のAN
Dゲート5への出力は、センサ素子11からコンパレー
タ3への放電が開始された時刻tから、読取電圧V
がしきい値電圧Vに一致する時刻tまで、第5B図
に示すように続けられる。
ANDゲート5の他方の入力端子には、基準クロック回
路から第5C図に示すように基準となるクロックパルス
Pが入力されている。したがって、ANDゲート5から
カウンタ7への出力は、第5D図に示すように、時刻t
から時刻tまでの間のクロックパルスPに相当する
パルスが出力される。カウンタ7ではANDゲート5か
らの入力パルスの数をカウントし、そのカウント数をデ
ータ処理装置8に出力する。この結果、高価なA/Dコ
ンバータを使用しなくても、センサ素子11において蓄
積された電荷量をディジタル化し、カウント数としてデ
ータ処理装置8に入力することができる。
データ処理装置8では、カウンタ7から入力されたカウ
ント数に基づいて、対応するセンサ素子11の加圧力を
計算する。
すなわち、コンパレータ3により放電電圧の波形を整形
した後、放電時間(t−t)に対し十分短いクロッ
クパルスを使用してカウントすれば、カウンタ7からの
出力には放電時間つまり加圧力に比例したディジタル値
が得られることになる。
以後、読取線R、R、…と読取線の切換えを行な
い、すべての読取線からの検出を終えると、次に制御線
のみを導通状態とする。これによって、上述の動作
と同様に、制御線Cに対応する行に配置された各セン
サ素子11の情報を読取線R,R,…から読取り、
その情報をデータ処理装置8に蓄積する。
すなわち、上述の圧力分布検出装置では、各圧力素子1
2に上方から未知物体が搭載されると、その物体の加圧
力により、対応する圧電素子12において圧電効果が生
じる。そして、制御線C,C,…と読取線R,R
,…とを順次切換えることにより、各センサ素子11
における圧力を高価なA/コンバータを用いることなく
検出することができる。これにより、圧電型圧力センサ
10の上に接触している未知物体に基づく圧力分布を知
ることができる。
なお、制御線および読取線の切換順序は、上述のような
順序に制限されることはなく、任意の順序で行なうこと
ができる。また、読取線の数がそれほど多くない場合に
は、コンパレータやANDゲートなどを各読取線ごとに
設ける構成とすることもできる。また、切換手段として
のトランジスタには、NチャネルタイプおよびPチャネ
ルタイプのいずれを使用してもよい。
[発明の効果] 本発明に係る圧力分布検出装置によれば、上述のよう
に、圧電型圧力センサとセンサ素子切換手段と放電時間
計測手段とデータ処理手段とを設けたことから、高価な
A/Dコンバータを用いることなく、圧電型圧力センサ
からの電荷量をディジタル値で検出できるようになる。
したがって、本発明によれば、安価な圧力分布検出装置
を実現できるようになる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に係る圧力分布検出装置の概略を示す
ブロック図である。第2図は、圧電型圧力センサの斜視
概略図である。第3図は、第2図の実施例の斜視部分図
である。第4図は、センサ素子の等価回路図である。第
5A図ないし第5D図は、データの処理情況を示すグラ
フである。第6図は、従来の圧電型圧力センサの斜視概
略図である。第7図は、開発途中における圧力分布検出
装置の一例を示すブロック図である。 1は制御線切換回路、2は読取線切換回路、3はコンパ
レータ、5はANDゲート、7はカウンタ、8はデータ
処理装置、9はマトリクス制御回路、10は圧電型圧力
センサ、11はセンサ素子、12は圧電素子、13は電
界効果トランジスタである。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】マトリクス状に配置された複数の圧電セン
    サ素子を有する圧電型圧力センサと、 前記圧電センサ素子のうちデータの読取りを行なう圧電
    センサ素子を次々と決定していくセンサ素子切換手段
    と、 前記センサ素子切換手段により決定された前記圧電セン
    サ素子からの放電時間を計測する放電時間計測手段と、 前記放電時間計測手段により計測された放電時間から、
    対応する圧電センサ素子に加えられた圧力を計算するデ
    ータ処理手段と、 を含む圧力分布検出装置。
JP63088512A 1988-04-11 1988-04-11 圧力分布検出装置 Expired - Lifetime JPH0656341B2 (ja)

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WO2024084956A1 (ja) * 2022-10-18 2024-04-25 株式会社村田製作所 センサモジュール及び演算回路

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