JPH0658205B2 - 光学式検査装置 - Google Patents
光学式検査装置Info
- Publication number
- JPH0658205B2 JPH0658205B2 JP9756785A JP9756785A JPH0658205B2 JP H0658205 B2 JPH0658205 B2 JP H0658205B2 JP 9756785 A JP9756785 A JP 9756785A JP 9756785 A JP9756785 A JP 9756785A JP H0658205 B2 JPH0658205 B2 JP H0658205B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- focusing
- illumination
- command signal
- inspected
- reflection
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明は投影機や工具顕微鏡の如き光学式検査装置に関
するものである。
するものである。
（発明の背景） 投影機、工具顕微鏡等において被検物体を透過照明し、
結像光学部材にて拡大して測定を行なう時は、一般に透
過照明がテレセントリック照明であるため、多少焦点ず
れがあっても正しく測定されるので一般に透過照明にて
測定が行なわれる。しかしながら被検物体の測定は表面
において行なうのが原則であるから、端面が反射するよ
うな被検物体を測定する場合には、被検物体の表面に焦
点を合わせて測定した方がより精度よく測定される。そ
のため焦点合わせを行なう時には、反射照明装置を作動
させて反射照明し、表面像を見ながら焦点を合わせた上
反射照明装置を不作動にし透過照明装置を作動させて透
過照明での測定を行なうことが一般的である。ところが
従来の装置においては、照明装置と焦点合わせのための
合焦装置とは独立した装置として考えられており、焦点
合わせのたびに反射照明装置を作動するという操作を行
なわなければならず、操作が面倒であり、透過照明で焦
点をあわせたり、反射照明のまま測定を行なったりし
て、測定上望ましくない条件で、測定を行なうというこ
とがしばしば行なわれていた。そのため、装置としても
つ最良の精度を出さないまま測定が行なわれる欠点があ
った。
結像光学部材にて拡大して測定を行なう時は、一般に透
過照明がテレセントリック照明であるため、多少焦点ず
れがあっても正しく測定されるので一般に透過照明にて
測定が行なわれる。しかしながら被検物体の測定は表面
において行なうのが原則であるから、端面が反射するよ
うな被検物体を測定する場合には、被検物体の表面に焦
点を合わせて測定した方がより精度よく測定される。そ
のため焦点合わせを行なう時には、反射照明装置を作動
させて反射照明し、表面像を見ながら焦点を合わせた上
反射照明装置を不作動にし透過照明装置を作動させて透
過照明での測定を行なうことが一般的である。ところが
従来の装置においては、照明装置と焦点合わせのための
合焦装置とは独立した装置として考えられており、焦点
合わせのたびに反射照明装置を作動するという操作を行
なわなければならず、操作が面倒であり、透過照明で焦
点をあわせたり、反射照明のまま測定を行なったりし
て、測定上望ましくない条件で、測定を行なうというこ
とがしばしば行なわれていた。そのため、装置としても
つ最良の精度を出さないまま測定が行なわれる欠点があ
った。
（発明の目的） 本発明は、この欠点を解決し、常に最良の状態で測定が
行なえるような、光学式検査装置を得ることを目的とす
る。
行なえるような、光学式検査装置を得ることを目的とす
る。
（発明の概要） 本発明は、照明装置と、合焦装置とを連動させることに
より、合焦時には自動的に反射照明を行なうことを技術
的要点としている。
より、合焦時には自動的に反射照明を行なうことを技術
的要点としている。
（実施例） 図は本発明の実施例の光学式検査装置を示すブロック図
である。
である。
載物台１上の被検物体２は、対物レンズ３、ハーフミラ
ー４、全反射鏡５，６、投影スクリーン７を有する結像
光学装置８によって拡大観察される。
ー４、全反射鏡５，６、投影スクリーン７を有する結像
光学装置８によって拡大観察される。
反射照明装置９は、反射照明指令スイッチ90、反射照明
指令スイッチ90のオンにより生ずる指令信号を通過する
オアゲート91,92、オアゲート92からの指令信号によっ
て光源94を点灯する駆動装置93を有する。光源94からの
反射照明光はハーフミラー４を反射して被検物体２を反
射照明する。
指令スイッチ90のオンにより生ずる指令信号を通過する
オアゲート91,92、オアゲート92からの指令信号によっ
て光源94を点灯する駆動装置93を有する。光源94からの
反射照明光はハーフミラー４を反射して被検物体２を反
射照明する。
透過照明装置10は、透過照明指令スイッチ100、透過照
明指令スイッチ100のオンにより生ずる指令信号によっ
て光源102を点灯する駆動装置101を有する。光源102か
らの透過照明光は、コンデンサレンズ11、全反射鏡12に
よって被検物体２を透過照明する。
明指令スイッチ100のオンにより生ずる指令信号によっ
て光源102を点灯する駆動装置101を有する。光源102か
らの透過照明光は、コンデンサレンズ11、全反射鏡12に
よって被検物体２を透過照明する。
合焦装置13は、合焦指令スイッチ130、合焦指令スイッ
チ130のオンによる合焦指令信号によってモータ132を駆
動するモータ駆動装置131と、モータ132の回転を載物台
１の上下動に変換し伝達する載物台の上下動装置133と
を有する。合焦指令スイッチ132は例えば載物台１の上
昇用のスイッチと、下降用のスイッチとを有し、合焦指
令信号は、上昇用の指令信号と下降用の指令信号とを含
むものである。
チ130のオンによる合焦指令信号によってモータ132を駆
動するモータ駆動装置131と、モータ132の回転を載物台
１の上下動に変換し伝達する載物台の上下動装置133と
を有する。合焦指令スイッチ132は例えば載物台１の上
昇用のスイッチと、下降用のスイッチとを有し、合焦指
令信号は、上昇用の指令信号と下降用の指令信号とを含
むものである。
作動装置14は、合焦指令スイッチ130の合焦指令信号を
反射照明用光源94の駆動装置93に指令信号として伝達す
るために、オアゲート91,92を共用し、それによって合
焦指令信号をオアゲート91,92を通して駆動装置93に伝
達すると共に、合焦指令信号が消失して後、所定時間反
射照明用光源94を点灯するためのタイマー140を有し、
タイマー140からの信号はオアゲート92を通して駆動装
置93に伝達される。
反射照明用光源94の駆動装置93に指令信号として伝達す
るために、オアゲート91,92を共用し、それによって合
焦指令信号をオアゲート91,92を通して駆動装置93に伝
達すると共に、合焦指令信号が消失して後、所定時間反
射照明用光源94を点灯するためのタイマー140を有し、
タイマー140からの信号はオアゲート92を通して駆動装
置93に伝達される。
このような構造であるから、合焦指令スイッチ130のオ
ンによって合焦指令を行なうと、合焦指令信号はオアゲ
ート91,92を通して駆動装置93に入るので、反射照明指
令スイッチ90からの指令信号が生じているか否かにかか
わらず、反射照明光源94が点灯すると共に、モータ駆動
装置131を通してモータ132が回転し、上下動装置133を
介して載物台１が上下動する。従って、測定者はスクリ
ーン７上の被検物体２の拡大像を反射照明にて観察しな
がら、電動式にて合焦を行なうことができる。合焦を確
認し、合焦指令スイッチ130をオフにすると、載物台１
は停止し、タイマー140で定めた所定時間後、もし反射
照明指令スイッチ90がオフしていれば、反射照明用光源
94が消灯する。
ンによって合焦指令を行なうと、合焦指令信号はオアゲ
ート91,92を通して駆動装置93に入るので、反射照明指
令スイッチ90からの指令信号が生じているか否かにかか
わらず、反射照明光源94が点灯すると共に、モータ駆動
装置131を通してモータ132が回転し、上下動装置133を
介して載物台１が上下動する。従って、測定者はスクリ
ーン７上の被検物体２の拡大像を反射照明にて観察しな
がら、電動式にて合焦を行なうことができる。合焦を確
認し、合焦指令スイッチ130をオフにすると、載物台１
は停止し、タイマー140で定めた所定時間後、もし反射
照明指令スイッチ90がオフしていれば、反射照明用光源
94が消灯する。
透過照明指令スイッチ100は常時オンしておき、合焦操
作時には透過照明と反射照明とを併用するようにしても
良いし、また、合焦指令スイッチ130のオンによって透
過照明指令スイッチ100の指令信号が駆動装置101に伝わ
らないように、両者の間に合焦指令信号によって作動す
る禁止回路やスイッチを設けることができる。
作時には透過照明と反射照明とを併用するようにしても
良いし、また、合焦指令スイッチ130のオンによって透
過照明指令スイッチ100の指令信号が駆動装置101に伝わ
らないように、両者の間に合焦指令信号によって作動す
る禁止回路やスイッチを設けることができる。
また、反射照明指令スイッチ90は、測定を全て透過照明
で行なうものに限ってしまえば不用のものとなるが、被
測定物２の表面の形状が透過照明では現われない場合も
あり、そのようなときは、測定を反射照明で行なう場合
も出てくるので、それなりの利用価値はある。
で行なうものに限ってしまえば不用のものとなるが、被
測定物２の表面の形状が透過照明では現われない場合も
あり、そのようなときは、測定を反射照明で行なう場合
も出てくるので、それなりの利用価値はある。
なお、以上の実施例では、指令部材としてスイッチを用
いたが、指令信号を発生することのできるものであれば
何んでも構わない。
いたが、指令信号を発生することのできるものであれば
何んでも構わない。
さらに以上の実施例は、光学式検査装置として被検物体
をスクリーンに投影する投影機を用いたものであった
が、被検物体像を接眼レンズによって観察する顕微鏡で
あっても同様であることは言うまでもない。
をスクリーンに投影する投影機を用いたものであった
が、被検物体像を接眼レンズによって観察する顕微鏡で
あっても同様であることは言うまでもない。
（発明の効果） 以上のように本発明によれば、合焦動作を指令するため
の合焦指令部材が反射照明の指令部材も兼ねているから
合焦時には必らず反射照明が行なわれ、正確な焦点合わ
せが可能になり正確な測定ができるようになる。
の合焦指令部材が反射照明の指令部材も兼ねているから
合焦時には必らず反射照明が行なわれ、正確な焦点合わ
せが可能になり正確な測定ができるようになる。
図は、本発明の実施例の光学式検査装置を示すブロック
図である。 （主要部分の符号の説明） １…載物台、８…結像光学装置、９…反射照明装置、10
…透過照明装置、13…合焦装置、14…作動装置。
図である。 （主要部分の符号の説明） １…載物台、８…結像光学装置、９…反射照明装置、10
…透過照明装置、13…合焦装置、14…作動装置。
Claims (1)
- 【請求項１】載物台と、 前記載物台上の被検物体を結像する結像光学装置と、 前記被検物体を反射照明する反射照明装置と、 前記反射照明装置をオンにするための反射照明指令信号
を出力する反射照明部材と、 前記被検物体を透過照明する透過照明装置と、 前記被検物体表面に前記結像光学装置の焦点を合わせる
合焦装置と、 前記合焦装置と前記反射照明装置とを共にオンにする合
焦指令信号を出力する合焦指令部材と、 前記反射照明装置が前記合焦指令信号の出力でオンにな
っているとき、前記合焦指令信号の出力が停止しても前
記反射照明装置を所定時間だけオンにするタイマ手段
と、 を有することを特徴とする光学式検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9756785A JPH0658205B2 (ja) | 1985-05-08 | 1985-05-08 | 光学式検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9756785A JPH0658205B2 (ja) | 1985-05-08 | 1985-05-08 | 光学式検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61254806A JPS61254806A (ja) | 1986-11-12 |
| JPH0658205B2 true JPH0658205B2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=14195808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9756785A Expired - Lifetime JPH0658205B2 (ja) | 1985-05-08 | 1985-05-08 | 光学式検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0658205B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0738046B2 (ja) * | 1987-03-30 | 1995-04-26 | 新王子製紙株式会社 | 内部的構造を有する半透光性シート状試料の表面検査装置 |
-
1985
- 1985-05-08 JP JP9756785A patent/JPH0658205B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61254806A (ja) | 1986-11-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |