JPH0658337B2 - 感湿素子およびその製造方法 - Google Patents
感湿素子およびその製造方法Info
- Publication number
- JPH0658337B2 JPH0658337B2 JP62180027A JP18002787A JPH0658337B2 JP H0658337 B2 JPH0658337 B2 JP H0658337B2 JP 62180027 A JP62180027 A JP 62180027A JP 18002787 A JP18002787 A JP 18002787A JP H0658337 B2 JPH0658337 B2 JP H0658337B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moisture
- group
- sensitive
- sensitive element
- polymer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 14
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims description 10
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 claims description 10
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 8
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 7
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 claims description 7
- 229920000831 ionic polymer Polymers 0.000 claims description 7
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- 230000001476 alcoholic effect Effects 0.000 claims 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 8
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M Lithium hydroxide Chemical compound [Li+].[OH-] WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 5
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 229920000536 2-Acrylamido-2-methylpropane sulfonic acid Polymers 0.000 description 2
- XHZPRMZZQOIPDS-UHFFFAOYSA-N 2-Methyl-2-[(1-oxo-2-propenyl)amino]-1-propanesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CC(C)(C)NC(=O)C=C XHZPRMZZQOIPDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 2
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 2
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 2
- KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M lithium chloride Chemical compound [Li+].[Cl-] KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 2
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 2
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 2
- PQUXFUBNSYCQAL-UHFFFAOYSA-N 1-(2,3-difluorophenyl)ethanone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC(F)=C1F PQUXFUBNSYCQAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHSHLMUCYSAUQU-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxypropyl methacrylate Chemical compound CC(O)COC(=O)C(C)=C VHSHLMUCYSAUQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AGBXYHCHUYARJY-UHFFFAOYSA-N 2-phenylethenesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C=CC1=CC=CC=C1 AGBXYHCHUYARJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N Ethenol Chemical compound OC=C IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000007791 dehumidification Methods 0.000 description 1
- XPPKVPWEQAFLFU-UHFFFAOYSA-N diphosphoric acid Chemical compound OP(O)(=O)OP(O)(O)=O XPPKVPWEQAFLFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229920000172 poly(styrenesulfonic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229940005642 polystyrene sulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- UIIIBRHUICCMAI-UHFFFAOYSA-N prop-2-ene-1-sulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CC=C UIIIBRHUICCMAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940005657 pyrophosphoric acid Drugs 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229940047670 sodium acrylate Drugs 0.000 description 1
- FWFUWXVFYKCSQA-UHFFFAOYSA-M sodium;2-methyl-2-(prop-2-enoylamino)propane-1-sulfonate Chemical compound [Na+].[O-]S(=O)(=O)CC(C)(C)NC(=O)C=C FWFUWXVFYKCSQA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- NLVXSWCKKBEXTG-UHFFFAOYSA-N vinylsulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C=C NLVXSWCKKBEXTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本発明は、相対湿度の変化に伴って電気抵抗が変化する
感湿素子に関し、詳細には有機イオン性ポリマーで構成
される感湿素子の製造方法に関する。
感湿素子に関し、詳細には有機イオン性ポリマーで構成
される感湿素子の製造方法に関する。
<従来の技術> 電気抵抗または静電容量の変化を基に相対湿度を感知す
る感湿素子としては、次のようなものがある。
る感湿素子としては、次のようなものがある。
a)多孔性の物質に塩化リチウムなどの電解質を含浸さ
せて製造する感湿素子。
せて製造する感湿素子。
b)吸湿性ポリマー中に導電性の固体を分散させて製造
する感湿素子。
する感湿素子。
c)基板に金属酸化物の被膜を形成して製造する感湿素
子。
子。
d)基板に有機イオン性ポリマーの被膜を形成して製造
する感湿素子。
する感湿素子。
<本発明が解決しようとする問題点> 上記した従来の感湿素子の製造技術には、次のような問
題がある。
題がある。
a)の感湿素子においては、高湿度の環境下で使用する
と、電解質が溶出してしまう。
と、電解質が溶出してしまう。
b)の感湿素子においては、感応する湿度範囲が狭く、
しかも感湿特性の直線性が劣る。
しかも感湿特性の直線性が劣る。
c)の感湿素子においては、空気中のガスや微粉塵によ
る汚染を受けるので感湿特性が変化し易く、信頼性が低
い。また、製造面では高温による後処理工程やクリーニ
ング工程を必要とし、煩雑となる。
る汚染を受けるので感湿特性が変化し易く、信頼性が低
い。また、製造面では高温による後処理工程やクリーニ
ング工程を必要とし、煩雑となる。
d)の感湿素子においては、以上のa)〜c)の感湿素
子と比較して用途範囲も広く、比較的安定した信頼性の
ある感湿特性が得られ、耐久性にも優れているが、製造
工程が煩雑であり、またそのために均一な特性を有する
製品を得るのが難しい。
子と比較して用途範囲も広く、比較的安定した信頼性の
ある感湿特性が得られ、耐久性にも優れているが、製造
工程が煩雑であり、またそのために均一な特性を有する
製品を得るのが難しい。
<本発明の目的> 本発明は以上の問題点を解決するためになされたもの
で、製造方法が容易であって、耐久性および感湿特性に
優れている感湿素子を提供することを目的とする。
で、製造方法が容易であって、耐久性および感湿特性に
優れている感湿素子を提供することを目的とする。
<本発明を解決するための手段> 次に本発明の構成を説明し、本発明による問題を解決す
るための手段を明示する。
るための手段を明示する。
<イ>構成ポリマー 本発明に係る感湿素子は、有機イオン性ポリマーの優れ
た特性を活用することを特徴とし、次のような組み合わ
せでポリマーを構成する。
た特性を活用することを特徴とし、次のような組み合わ
せでポリマーを構成する。
側鎖にスルホン酸基および/またはカルボキシル基を
有する化合物(A)のポリマーと、側鎖に水酸基を有す
る化合物(B)のポリマー。
有する化合物(A)のポリマーと、側鎖に水酸基を有す
る化合物(B)のポリマー。
側鎖にスルホン酸基および/またはカルボキシル基を
有する化合物(A)のポリマーと、多価アルコール
(C)。
有する化合物(A)のポリマーと、多価アルコール
(C)。
側鎖にスルホン酸基および/またはカルボキシル基を
有する化合物(A)と水酸基を有する化合物(B)とか
らなるコポリマーと、強酸(D)。
有する化合物(A)と水酸基を有する化合物(B)とか
らなるコポリマーと、強酸(D)。
側鎖にスルホン酸基および/またはカルボキシル基を
有する化合物(A)と水酸基を有する化合物(B)とか
らなるコポリマーと、多価強酸(E)。
有する化合物(A)と水酸基を有する化合物(B)とか
らなるコポリマーと、多価強酸(E)。
ただし、上記のA、B、C、DおよびEは、次の群より
なる化合物から選択されたものを用いる。
なる化合物から選択されたものを用いる。
A:スチレンスルホン酸、2−アクリルアミド−2−メ
チルプロパンスルホン酸、アリルスルホン酸、ビニルス
ルホン酸、アクリル酸、メタクリル酸など。
チルプロパンスルホン酸、アリルスルホン酸、ビニルス
ルホン酸、アクリル酸、メタクリル酸など。
B:ビニルアルコール、2−ヒドロキシエチルアクリレ
ート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒド
ロキシプロピルメタクリレートなど。
ート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒド
ロキシプロピルメタクリレートなど。
C:エチレングリコール、グリセリン、トリメチロール
プロパンなど。
プロパンなど。
D:硫酸など。
E:ピロ燐酸など。
<ロ>ポリマー薄膜の形成工程 上記のような構成からなるポリマーの溶液を電極を有す
る基板上に塗布し、溶剤を除去すると同時に加熱によっ
て架橋処理する。
る基板上に塗布し、溶剤を除去すると同時に加熱によっ
て架橋処理する。
電極の形成方法としては、公知のプリントまたはエッチ
ング法などを用いることができる。
ング法などを用いることができる。
また、ポリマー溶液の塗布方法としては、公知のナイフ
コーター、ロールコーターによる方法などが用いられ
る。
コーター、ロールコーターによる方法などが用いられ
る。
なお、塗布のかわりに、基板をポリマー溶液に浸漬する
方法またはスピナーによる方法なども採用される。
方法またはスピナーによる方法なども採用される。
<ハ>ポリマー薄膜中の強酸基と水酸基の比率 本発明によると、目標とする抵抗値に応じて強酸基と水
酸基の比率を変えることができる。
酸基の比率を変えることができる。
強酸基と水酸基の比率は、一般には30:1から55:
45の範囲が望ましい。
45の範囲が望ましい。
<ニ>中和工程 上記した強酸基と水酸基の比率面積では、強酸基が過剰
であるため、これを中和する必要がある。
であるため、これを中和する必要がある。
中和方法としては、ポリマー薄膜をアルカリ溶液中に含
浸する方法あるいはアルカリ性のガス中に曝露する方法
が採用される。
浸する方法あるいはアルカリ性のガス中に曝露する方法
が採用される。
<作用> 上記の工程で製造した感湿素子は、架橋によって吸脱湿
による膨潤収縮が抑えられているため、感湿特性にばら
つきがなく、安定している。
による膨潤収縮が抑えられているため、感湿特性にばら
つきがなく、安定している。
またこの感湿素子は、膨潤収縮が少なく、基板および電
極との接着性がよいとの理由から耐久性に優れる。
極との接着性がよいとの理由から耐久性に優れる。
特に高湿の環境下に長時間放置しても感湿特性の変化が
極めて小さく、また吸湿速度および湿速度が速く応答性
に優れる。膜の薄さも優れた応答性をもたらす。
極めて小さく、また吸湿速度および湿速度が速く応答性
に優れる。膜の薄さも優れた応答性をもたらす。
また、強酸基と水酸基の比率を調整することで、感湿特
性を容易に制御できる。
性を容易に制御できる。
さらにまた、架橋が容易に行えるから生産工程が簡略化
できる。
できる。
<実施例> 実施例1 アルミナ板に櫛型電極を印刷した基板に、ポリスチレン
スルホン酸8部、グリセリン2部および水90部からな
る溶液を塗布する。この基板を120℃で乾燥熱処理し
た後、水酸化リチウム(LiOH)水溶液で中和する。この
処理基板を洗浄、乾燥して感湿素子を得た。
スルホン酸8部、グリセリン2部および水90部からな
る溶液を塗布する。この基板を120℃で乾燥熱処理し
た後、水酸化リチウム(LiOH)水溶液で中和する。この
処理基板を洗浄、乾燥して感湿素子を得た。
この感湿素子に25℃で1KHzの正弦波で測定した感湿
特性を第1図中[I]で示す。
特性を第1図中[I]で示す。
実施例2 アルミナ板に櫛型電極を印刷した基板に、ポリ2−アク
リルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸6部と、ポ
リビニルアルコール4部および水90部からなる溶液を
塗布する。この基板を100℃で乾燥熱処理した後、ア
ンモニア蒸気で中和する。この処理基板を洗浄、乾燥し
て感湿素子を得た。
リルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸6部と、ポ
リビニルアルコール4部および水90部からなる溶液を
塗布する。この基板を100℃で乾燥熱処理した後、ア
ンモニア蒸気で中和する。この処理基板を洗浄、乾燥し
て感湿素子を得た。
この感湿素子に25℃で1KHzの正弦波で測定した感湿
特性を第1図[II]で示す。
特性を第1図[II]で示す。
実施例3 アルミナ板に櫛型電極を印刷した基板を、コポリマー
(2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸
ナトリウムと2−ヒドロキシエチルアクリレートとをモ
ノマー仕込比8:2で共重合させたもの)8部とアルト
リン酸2部および水90部からなる溶液に含浸する。含
浸は4cm/分とする。この処理基板を100℃で乾燥熱
処理して感湿素子を得た。
(2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸
ナトリウムと2−ヒドロキシエチルアクリレートとをモ
ノマー仕込比8:2で共重合させたもの)8部とアルト
リン酸2部および水90部からなる溶液に含浸する。含
浸は4cm/分とする。この処理基板を100℃で乾燥熱
処理して感湿素子を得た。
この感湿素子に25℃で1KHzの正弦波で測定した感湿
特性を第2図[III]で示す。
特性を第2図[III]で示す。
実施例4 実施例3で得た感湿素子を、50度飽和RHおよび50
℃10%以下RHの乾燥雰囲気下での暴露各1時間を1
サイクルとする乾湿サイクルテストに供した。各サイク
ル数における感湿素子を用いて、25℃で、40%、6
0%、80%および100%RH下における1KHz正弦
波での抵抗を測定して、第3図に示すような結果を得
た。
℃10%以下RHの乾燥雰囲気下での暴露各1時間を1
サイクルとする乾湿サイクルテストに供した。各サイク
ル数における感湿素子を用いて、25℃で、40%、6
0%、80%および100%RH下における1KHz正弦
波での抵抗を測定して、第3図に示すような結果を得
た。
このテスト結果から、本発明に感湿素子は、耐久性に優
れていることが理解される。
れていることが理解される。
実施例5 アルミナ板に櫛形電極を印刷した基板を、コポリマー
(アクリル酸ナトリウムと2−ヒドロキシエチルアクリ
レートとをモノマー仕込比9:1で共重合させたもの)
4部、硫酸1部および水95部からなる溶液に含浸す
る。含浸は6cm/分とする。この処理基板を80℃で乾
燥熱処理して感湿素子を得た。
(アクリル酸ナトリウムと2−ヒドロキシエチルアクリ
レートとをモノマー仕込比9:1で共重合させたもの)
4部、硫酸1部および水95部からなる溶液に含浸す
る。含浸は6cm/分とする。この処理基板を80℃で乾
燥熱処理して感湿素子を得た。
この感湿素子に25℃で1KHzの正弦波で測定した感湿
特性を第2図中[IV]で示す。
特性を第2図中[IV]で示す。
<本発明の効果> 本発明は以上説明したようになるから、次のような効果
を得ることができる。
を得ることができる。
<イ>ポリマーの架橋により、吸脱湿による膨潤収縮が
抑えられる。したがって、感湿特性が安定しており、と
くに高湿度環境下で長時間放置してもその変動がきわめ
て小さい。また、耐久性にも優れる。
抑えられる。したがって、感湿特性が安定しており、と
くに高湿度環境下で長時間放置してもその変動がきわめ
て小さい。また、耐久性にも優れる。
<ロ>ポリマー中の強酸基と水酸基の比率を調製するこ
とによって、感湿特性を容易に制御できる。
とによって、感湿特性を容易に制御できる。
<ハ>吸脱湿速度が速く、応答性に優れる。
<ニ>ポリマーの架橋が容易であるので、生産工程が簡
略化できる。
略化できる。
第1図および第2図:本発明に係る感湿素子の特性(湿
度−抵抗変化)を示す説明図 第3図:本発明に係る感湿素子の乾湿サイクルテストの
結果の説明図
度−抵抗変化)を示す説明図 第3図:本発明に係る感湿素子の乾湿サイクルテストの
結果の説明図
Claims (6)
- 【請求項1】スルホン酸基および/またはカルボキシル
基を感湿基とする感湿素子であって、該感湿基を含むポ
リマーとアルコール性水酸基を含むポリマーとを架橋さ
せて構成することを特徴とする、有機イオン性ポリマー
感湿素子。 - 【請求項2】スルホン酸基および/またはカルボキシル
基を感湿基とする感湿素子であって、該感湿基を含むポ
リマーと多価アルコールとを架橋させて構成することを
特徴とする、有機イオン性ポリマー感湿素子。 - 【請求項3】スルホン酸基および/またはカルボキシル
基を感湿基とする感湿素子であって、該感湿基を含むモ
ノマーとアルコール性水酸基を含むモノマーとのコポリ
マーに、強酸を加えて架橋させて構成することを特徴と
する、有機イオン性ポリマー感湿素子。 - 【請求項4】スルホン酸基および/またはカルボキシル
基を感湿基とする感湿素子であって、該感湿基を含むモ
ノマーとアルコール性水酸基を含むモノマーとのコポリ
マーに、多価強酸を加えて架橋させて構成することを特
徴とする、有機イオン性ポリマー感湿素子。 - 【請求項5】スルホン酸基および/またはカルボキシル
基を感湿基として含むポリマーと、アルコール性水酸基
を含むポリマーまたは多価アルコールとを櫛型電極を有
する基盤に塗布し、熱処理して架橋することを特徴とす
る、感湿素子の製造方法。 - 【請求項6】スルホン酸基および/またはカルボキシル
基を感湿基として含むモノマーと、アルコール性水酸基
を含むモノマーとのコポリマーに、強酸または多価強酸
を加え、これを櫛型電極を有する基盤に塗布し、熱処理
して架橋することを特徴とする、感湿素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62180027A JPH0658337B2 (ja) | 1987-07-21 | 1987-07-21 | 感湿素子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62180027A JPH0658337B2 (ja) | 1987-07-21 | 1987-07-21 | 感湿素子およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6425051A JPS6425051A (en) | 1989-01-27 |
| JPH0658337B2 true JPH0658337B2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=16076188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62180027A Expired - Lifetime JPH0658337B2 (ja) | 1987-07-21 | 1987-07-21 | 感湿素子およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0658337B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07305032A (ja) * | 1993-12-20 | 1995-11-21 | Hoechst Celanese Corp | 写真感光材料用ポリエステルフィルム上の下引き層用のコーティング組成物 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59173742A (ja) * | 1983-03-22 | 1984-10-01 | Sharp Corp | 温湿度センサ− |
-
1987
- 1987-07-21 JP JP62180027A patent/JPH0658337B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6425051A (en) | 1989-01-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2937524A (en) | Polyelectrolyte water-indicating devices | |
| US3848218A (en) | Humidity sensing element | |
| US4520341A (en) | Moisture responsive element with crosslinked organic membrane and protective layering | |
| US3582728A (en) | Capacitance humidity sensing element | |
| GB2119099A (en) | Humidity sensitive resistor | |
| CN101078704A (zh) | 聚电解质/本征导电聚合物复合湿敏元件及其制作方法 | |
| US2728831A (en) | Electric hygrometer | |
| JPS6156952A (ja) | 感湿抵抗素子 | |
| JPH0412418B2 (ja) | ||
| JPH0658337B2 (ja) | 感湿素子およびその製造方法 | |
| JPS5899743A (ja) | 感湿素子及びその製造方法 | |
| JPS5816467B2 (ja) | 感湿素子 | |
| JPS6154176B2 (ja) | ||
| JPS6319020B2 (ja) | ||
| JPH0655775B2 (ja) | 感湿素子の製造方法 | |
| JPS6237339B2 (ja) | ||
| JPH0515982B2 (ja) | ||
| JPH0311426B2 (ja) | ||
| JPS6250777B2 (ja) | ||
| JPH0311660B2 (ja) | ||
| JPH0244388B2 (ja) | Kanshitsuteikotai | |
| JPH0222898B2 (ja) | ||
| JP2874022B2 (ja) | 湿度センサ | |
| JPH0650924A (ja) | 高分子湿度センサーおよびその製造方法 | |
| JPH05142182A (ja) | 湿度センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |