JPH065957B2 - Image stabilization circuit - Google Patents
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- JPH065957B2 JPH065957B2 JP60015980A JP1598085A JPH065957B2 JP H065957 B2 JPH065957 B2 JP H065957B2 JP 60015980 A JP60015980 A JP 60015980A JP 1598085 A JP1598085 A JP 1598085A JP H065957 B2 JPH065957 B2 JP H065957B2
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- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、被測定物をパターン認識する際、被測定物の
画像を安定にする回路に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a circuit for stabilizing an image of an object to be measured when a pattern of the object to be measured is recognized.
従来の技術 例えば、半導体装置製造において、多数の半導体ペレッ
トを一括処理して形成した半導体ウェーハは、各半導体
ペレットの良、不良を試験検査した後、第６図に示すよ
うに半導体ウェーハ（１）（以下、単にウェーハと称
す。）の表面に格子状の溝（２）（２）…を形成して多
数の半導体ペレット区画（３′）（３′）…を形成し、
接着シート（４）上に貼着される。次に、ウェーハ
（１）の貼着された接着シート（４）を放射状に引き伸
ばすことにより、ウェーハ（１）は溝（２）（２）…に
沿ってブレイキングされ、第７図に示すように各ペレッ
ト（３）（３）…は格子状配置に分割される。その後、
第７図及び第８図に示すように、接着シート（４）を外
方に引き延ばした状態のままで、リング状の保持枠
（５）に固定して張設することにより、ウェーハリング
（６）を形成する。このようにして分離されたペレット
（３）（３）…は、ウェーハリング（６）からパターン
認識によって良品のもののみ選別されて取り出され、次
のペレットマウント工程に送られる。2. Description of the Related Art For example, in a semiconductor device manufacturing process, a semiconductor wafer formed by batch-processing a large number of semiconductor pellets has a semiconductor wafer (1) as shown in FIG. (Hereinafter, simply referred to as "wafer.") A plurality of semiconductor pellet sections (3 ') (3') ... are formed by forming lattice-shaped grooves (2) (2).
It is stuck on the adhesive sheet (4). Next, the adhesive sheet (4) to which the wafer (1) is adhered is radially stretched, whereby the wafer (1) is broken along the grooves (2) (2), as shown in FIG. Each pellet (3) (3) ... Is divided into a grid-like arrangement. afterwards,
As shown in FIG. 7 and FIG. 8, the wafer ring (6) is fixed by tensioning the adhesive sheet (4) to the ring-shaped holding frame (5) with the adhesive sheet (4) extended outward. ) Is formed. The thus-separated pellets (3) (3) ... Are picked out from the wafer ring (6) by pattern recognition only for non-defective products, and sent to the next pellet mounting step.
上記パターン認識は、ＴＶカメラで撮像した画像信号
を、第９図に示す回路（７）のように、アナログ量から
デジタル量に変換されたテレビカメラのビデオ信号をコ
ンピュータで処理することにより行われる。即ち、回路
（７）に入力されたビデオ信号（Ｖ１）は、アンプ
（８）によって増幅された後、コンパレータ（９）に入
力され、コンピュータによって決められたスレッシュホ
ールド電圧値（ＶTH）との比較によりデジタル量に変換
される。The pattern recognition is performed by processing the image signal picked up by the TV camera by the computer, as in the circuit (7) shown in FIG. . That is, the video signal (V 1 ) input to the circuit (7) is amplified by the amplifier (8) and then input to the comparator (9) to obtain the threshold voltage value (V TH ) determined by the computer. Is converted into a digital amount by comparison of.
ところで、テレビカメラのビデオ信号は、映像信号と同
期信号とが合成されたコンポジットビデオ信号である。
従って、第10図に示すテレビカメラ視野（11）の１水平
走査期間のビデオ信号を示すと、第11図のように映像信
号（ＶＰ）と水平同期信号（ＶＳ）とが合成されたもの
である。この時、水平同期信号（ＶＳ）のレベル高さ及
び幅は規格にて一定に決められており、又peak to peak
の高さ（ＶPP）も一定に固定されている。しかも、上記
コンポジットビデオ信号（Ｖ１′）は、回路（７）のコ
ンデンサ（10）にてカップリングされ、直流分をカット
したものであり、第11図に示すようにＯレベルを境界と
し、プラス側の映像信号分の積算値とマイナス側の水平
同期信号分の積算値とは等しくなっている。By the way, the video signal of the television camera is a composite video signal in which a video signal and a synchronization signal are combined.
Therefore, when showing the video signal of 1 horizontal scanning period of the television camera field of view shown in Fig. 10 (11), and is composed video signal as Fig. 11 (V P) and a horizontal synchronizing signal (V S) It is a thing. At this time, the level height and width of the horizontal synchronizing signal (V S ) are fixed by the standard, and peak to peak
The height (V PP ) is also fixed. In addition, the composite video signal (V 1 ′) is coupled by the capacitor (10) of the circuit (7) to cut the direct current component, and as shown in FIG. 11, with the O level as a boundary, The integrated value of the video signal on the plus side and the integrated value of the horizontal synchronizing signal on the minus side are equal.
発明が解決しようとする問題点 ところで、ウェーハリング（６）上のペレット（３）
（３）…をパターン認識する際、認識可能領域は第10図
の点線内であるが、テレビカメラ視野（11）内に収ま
り、撮像されるペレット（３）の個数は、ウェーハリン
グ（６）の中央部と周辺部とでそれぞれ異なり、前者は
第10図、後者は第12図のようになる。従ってウェーハリ
ング（６）の中央部の１水平走査期間のコンポジットビ
デオ信号は、第11図の信号（Ｖ１′）に示すようにな
り、ウェーハリング（６）の周辺部の１水平走査期間の
コンポジットビデオ信号は、第13図の信号（Ｖ１″）に
示すようになって、信号（Ｖ１″）の映像信号分の積算
値は、信号（Ｖ１′）の映像信号分の積算値よりも減少
する。ところが、水平同期信号（ＶＳ）は規格にて決め
られてあり、そのレベル高さ及び幅は一定である。従っ
て、コンポジットビデオ信号をコンデンサ（10）にてカ
ップリングすると、peak to peakの高さ（ＶPP）は固定
されているため第13図のコンポジットビデオ信号
（Ｖ１″）は、第11図のコンポジットビデオ信号
（Ｖ１′）に比べ、映像信号分の積算値の減少分だけ映
像信号がＯレベルに対し上昇する。即ち、映像信号がテ
レビカメラ視野（11）内に含まれるペレット（３）の個
数によって変動することになり、スレッシュホールド電
圧値（ＶTH）を固定しておいた場合、スレッシュホール
ド電圧値（ＶTH）が映像信号の変動により見かけ上変動
することになる。そのため、テレビカメラ視野（11）内
の認識可能領域に含まれる被測定ペレットの２値化画像
がウェーハリング（６）の中央部と周辺部とで変わり、
誤認識の原因となっている。Problems to be Solved by the Invention By the way, the pellet (3) on the wafer ring (6)
When recognizing the pattern (3) ..., the recognizable area is within the dotted line in FIG. 10, but the number of pellets (3) that can be captured within the field of view (11) of the television camera is the wafer ring (6). The central part and the peripheral part are different, and the former is as shown in FIG. 10 and the latter is as in FIG. Therefore, the composite video signal of the central portion of the wafer ring (6) in one horizontal scanning period becomes as shown in the signal (V 1 ′) of FIG. The composite video signal is as shown in the signal (V 1 ″) in FIG. 13, and the integrated value of the video signal of the signal (V 1 ″) is the integrated value of the video signal of the signal (V 1 ′). Less than. However, the horizontal synchronizing signal (V S ) is determined by the standard, and its level height and width are constant. Therefore, when the composite video signal is coupled by the capacitor (10), the peak-to-peak height (V PP ) is fixed, so that the composite video signal (V 1 ″) of FIG. Compared with the composite video signal (V 1 ′), the video signal rises with respect to the O level by the decrease in the integrated value of the video signal, that is, the pellet (3) in which the video signal is included in the field of view (11) of the television camera. Therefore, if the threshold voltage value (V TH ) is fixed, the threshold voltage value (V TH ) will apparently fluctuate due to the fluctuation of the video signal, so that the TV The binarized image of the pellet to be measured included in the recognizable area in the camera field of view (11) changes between the central part and the peripheral part of the wafer ring (6),
It is a cause of misrecognition.
又、上記のようにテレビカメラ視野（11）内に含まれる
被測定物の個数が場所的に変化する場合の他、例えば、
搬送コンベア上に並べられた被測定物を搬送しつつパタ
ーン認識する際、第14図に示すように隣り合う被測定物
の間隔が一定でなければ、テレビカメラ視野（11）内に
含まれる被測定物の個数が時間的に変化することにな
り、やはり、同様な誤認識を生じる危険がある。In addition, as described above, in addition to the case where the number of objects to be measured included in the television camera visual field (11) changes spatially,
When pattern recognition is performed while conveying the objects to be measured arranged on the conveyor, if the distance between adjacent objects to be measured is not constant as shown in FIG. 14, the objects included in the television camera view (11) are included. The number of objects to be measured changes with time, and again there is a risk of causing the same false recognition.
問題点を解決するための手段 本発明は、上述問題点に鑑み、ＴＶカメラで撮像した画
像を用いて被測定物をパターン認識する回路において、
被測定物とその周辺の認識エリアの画像信号を所定レベ
ルに増幅するアンプ部、認識エリア外の背景エリアに入
力する疑似信号を生成する疑似信号発生部、認識エリア
と背景エリアを切り替える映像信号切替部、前記映像信
号切替部より映像信号あるいは疑似信号を受けるコンデ
ンサ部、前記コンデンサ部からの出力信号を２値化する
コンパレータ部、前記映像信号より垂直及び水平同期信
号を分離する同期分離部、および前記２値化された映像
信号と同期信号を合成するビデオ信号生成部により構成
され、ＴＶカメラ視野内の認識エリアと背景エリアの面
積比を一定にし、前記コンデンサ部のカップリングによ
り被測定物の映像信号レベルを一定にすることを特徴と
する画像安定化回路である。Means for Solving the Problems In view of the above problems, the present invention provides a circuit for recognizing a pattern of an object to be measured using an image captured by a TV camera,
An amplifier that amplifies the image signal of the DUT and the surrounding recognition area to a predetermined level, a pseudo signal generator that generates a pseudo signal that is input to the background area outside the recognition area, and a video signal switch that switches between the recognition area and the background area. Section, a capacitor section that receives a video signal or a pseudo signal from the video signal switching section, a comparator section that binarizes the output signal from the capacitor section, a sync separation section that separates the vertical and horizontal sync signals from the video signal, It is composed of a video signal generation unit for synthesizing the binarized video signal and a synchronization signal, makes the area ratio of the recognition area and the background area in the field of view of the TV camera constant, and couples the capacitor unit with the object to be measured. An image stabilizing circuit characterized in that the video signal level is kept constant.
作用 テレビカメラ視野内の被測定物と背景エリアの面積比を
一定にし、コンポジットビデオ信号に対する見かけ上の
映像信号の変動を減少する。Function The area ratio between the DUT and the background area in the field of view of the TV camera is kept constant, and the apparent fluctuation of the video signal with respect to the composite video signal is reduced.
実施例 本発明に係る画像安定化回路を２値化画像によるウェー
ハリング（６）上のペレット（３）のパターン認識に適
用した実施例を第１図乃至第５図を参照して以下説明す
る。本発明の特徴は、第１図及び第２図に示すように、
テレビカメラ視野（11）内の被測定物とその周辺を除い
た背景エリア（12）又は（12′）を、その映像信号レベ
ルを一定にすることによりモニタースクリーン上で固定
するものである。Embodiment An embodiment in which the image stabilizing circuit according to the present invention is applied to pattern recognition of a pellet (3) on a wafer ring (6) by a binarized image will be described below with reference to FIGS. 1 to 5. . The feature of the present invention is that, as shown in FIG. 1 and FIG.
The background area (12) or (12 ') excluding the object to be measured and its periphery in the field of view of the television camera (11) is fixed on the monitor screen by keeping the video signal level constant.
これによって、認識エリア（13）（13′）と背景エリア
（12）（12′）の面積比を一定にし、テレビカメラ視野
（11）内の被測定物の映像信号レベルが変動しても、コ
ンデンサーカップリングによる映像信号の変動を少なく
するものである。As a result, the area ratio between the recognition areas (13) (13 ') and the background areas (12) (12') is kept constant, and even if the video signal level of the DUT within the field of view (11) of the TV camera fluctuates, It is intended to reduce the fluctuation of the video signal due to the condenser coupling.
例えば、ウェーハリング（６）上のペレット（３）をパ
ターン認識する際に本発明を適用すると、ウェーハリン
グ（６）の中央部と周辺部に係わりなく、その１水平走
査期間のコンポジットビデオ信号は、第３図に示すよう
に、ほぼ変わらず、テレビカメラ視野（11）内のペレッ
ト（３）の個数が変動しても、映像信号レベルの積算値
は略一定となり、コンデンサーカップリングによる映像
信号の変動を少なくすることができる。For example, when the present invention is applied to the pattern recognition of the pellet (3) on the wafer ring (6), the composite video signal in one horizontal scanning period is obtained regardless of the central portion and the peripheral portion of the wafer ring (6). As shown in FIG. 3, there is almost no change, and the integrated value of the video signal level becomes substantially constant even if the number of pellets (3) in the field of view (11) of the television camera fluctuates. Can be reduced.
次に、本発明を実施する手段を第４図及び第５図を参照
して以下説明する。第４図に示す実施手段は、テレビカ
メラからのコンポジットビデオ信号に擬似信号を加え、
背景エリア（12）（12′）の映像信号レベルを一定にす
るものである。即ち、第４図において、（８）はアン
プ、（９）はコンパレータ、（10）（14）はコンデンサ
ー、（Ｓ１）（Ｓ２）はコンポジットビデオ信号
（Ｖ１）又は擬似信号を個別にコンパレータ（９）に入
力するための切り替え用のアナログスイッチ、（15）は
コンデンサー（14）を通してコンパレータ（９）に擬似
信号を入力する擬似信号発生部、例えばパターンジェネ
レータ、（16）は画素に対応したドットクロック信号を
カウントするカウント回路を有し、ドットクロック信号
をカウントすることによりアナログスイッチ（Ｓ１）
（Ｓ２）を切り替える映像信号切替部、（17）（18）は
コンポジットビデオ信号（Ｖ１）から同期信号（ＶＳ）
を取り出して擬似信号発生部（15）と映像信号切替部
（16）との入力する水平同期分離部、及び垂直同期分離
部、（19）はコンパレータ（９）を通った映像信号のズ
レを考慮した遅延回路、（20）は分離された映像信号と
同期信号とを合成するビデオ信号生成部である。Next, means for carrying out the present invention will be described below with reference to FIGS. 4 and 5. The implementation means shown in FIG. 4 adds a pseudo signal to the composite video signal from the television camera,
The video signal levels of the background areas (12) and (12 ') are made constant. That is, in FIG. 4, (8) is an amplifier, (9) is a comparator, (10) and (14) are capacitors, (S 1 ) and (S 2 ) are composite video signals (V 1 ) or pseudo signals individually. An analog switch for inputting to the comparator (9), (15) a pseudo signal generator for inputting a pseudo signal to the comparator (9) through the capacitor (14), for example, a pattern generator, (16) corresponds to a pixel The analog switch (S 1 ) has a counting circuit that counts the generated dot clock signal, and counts the dot clock signal.
A video signal switching unit for switching (S 2 ), (17) and (18) are composite video signals (V 1 ) to synchronization signals (V S ).
And a vertical synchronization separation unit for inputting the signal to the pseudo signal generation unit (15) and the video signal switching unit (16), and (19) considers the deviation of the video signal that has passed through the comparator (9). The delay circuit, (20), is a video signal generator that combines the separated video signal and sync signal.
上記構成に基づく第４図の実施手段の動作を、第１図に
示す如く背景エリア（12）を片面ずつ固定する場合につ
いて次に述べる。まず、テレビカメラからコンポジット
ビデオ信号（Ｖ１）が入力されると、水平及び垂直同期
分離部（17）（18）を通って同期信号（ＶＳ）が映像信
号切替部（16）に入力され、スイッチ（Ｓ１）が開いて
スイッチ（Ｓ２）が閉じる。同時に、同期信号（ＶＳ）
に同期して擬似信号発生部（15）から第３図に示すよう
に、背景エリア（12）の片面に対応し、１水平走査の一
定期間（Ｔ１）だけ一定レベルの擬似信号（Ｖ２）がコ
ンデンサー（14）を通りコンパレータ（９）に入力され
る。そして、その期間（Ｔ１）は映像信号切替部（16）
のカウント回路によってカウントされており、その期間
（Ｔ１）が過ぎると、映像信号切替部（16）が動作し、
スイッチ（Ｓ２）が開いてスイッチ（Ｓ１）が閉じ、コ
ンポジットビデオ信号（Ｖ１）の映像信号（ＶＰ）が１
水平走査の一定期間（Ｔ２）だけコンデンサー（14）を
通りコンパレータ（９）に入力される。その期間
（Ｔ２）は、やはり映像信号切替部（16）のカウント回
路によってカウントされており、その期間（Ｔ２）が過
ぎると、映像信号切替部（16）が動作し、スイッチ（Ｓ
１）が開いてスイッチ（Ｓ２）が閉じ、再び１水平走査
期間の一定期間（Ｔ３）だけ一定レベルの擬似信号（Ｖ
２）がコンデンサー（14）を通りコンパレータ（９）に
入力される。このようにして、１水平走査期間の映像信
号（ＶＰ′）が形成されると、この映像信号（ＶＰ′）
はビデオ信号生成部（20）において同期信号（ＶＳ）と
合成され、コンポジットビデオ信号（Ｖ１）となる。
そして、上記１水平走査を繰り返すことにより第１図に
示すような背景エリア（12）を固定した画面が形成され
る。The operation of the implementing means of FIG. 4 based on the above configuration will be described below in the case where the background area (12) is fixed on each side as shown in FIG. First, when the composite video signal (V 1 ) is input from the TV camera, the sync signal (V S ) is input to the video signal switching unit (16) through the horizontal and vertical sync separation units (17) and (18). , The switch (S 1 ) opens and the switch (S 2 ) closes. At the same time, a synchronization signal (V S )
In synchronism with the above, as shown in FIG. 3, the pseudo signal generator (15) corresponds to one side of the background area (12) and has a constant level of the pseudo signal (V 2 ) for a certain period (T 1 ) of one horizontal scanning. ) Is input to the comparator (9) through the capacitor (14). Then, during that period (T 1 ), the video signal switching unit (16)
Are counted by the counting circuit of, and when the period (T 1 ) has passed, the video signal switching unit (16) operates,
The switch (S 2 ) is opened, the switch (S 1 ) is closed, and the video signal (V P ) of the composite video signal (V 1 ) is 1
It is input to the comparator (9) through the capacitor (14) for a certain period (T 2 ) of horizontal scanning. The period (T 2 ) is also counted by the counting circuit of the video signal switching unit (16), and when the period (T 2 ) has passed, the video signal switching unit (16) operates and the switch (S
1 ) is opened and the switch (S 2 ) is closed, and the pseudo signal (V) of a constant level is again generated for a fixed period (T 3 ) of one horizontal scanning period.
2 ) passes through the capacitor (14) and is input to the comparator (9). In this way, when the video signal (V P ′) for one horizontal scanning period is formed, this video signal (V P ′)
Is combined with the synchronization signal (V S ) in the video signal generation unit (20) to form a composite video signal (V 1 ).
Then, by repeating the above-mentioned one horizontal scanning, a screen having a fixed background area (12) as shown in FIG. 1 is formed.
又、第２図に示すように認識エリア（13′）の四方を背
景エリア（12′）で囲み固定する場合、水平走査の本数
をカウントする回路を第４図の回路に付け加え、擬似信
号（Ｖ２）のみによる走査を一定本数だけ行った後、第
１図と同様な走査を一定本数だけ行い、その後、再び擬
似信号（Ｖ２）による走査を一定本数繰り返せばよい。Further, as shown in FIG. 2, when the recognition area (13 ′) is surrounded and fixed on four sides by the background area (12 ′), a circuit for counting the number of horizontal scans is added to the circuit of FIG. After performing a certain number of scans with V 2 ) only, a certain number of scans similar to those in FIG. 1 may be performed, and then a certain number of scans with the pseudo signal (V 2 ) may be repeated.
発明の効果 本発明によれば、２値化画像によって被測定物をパター
ン認識するにあたり、テレビカメラ視野内の被測定物と
背景エリアの面積比をモニタースクリーン上で一定にし
たから、テレビカメラ視野内の映像信号レベルが変動し
てもモニタースクリーン上で映像信号レベルがほぼ一定
となり、被測定物の鮮明な２値化画像が得られ、安定な
認識が可能となり、しかも安価に行える。EFFECTS OF THE INVENTION According to the present invention, the area ratio of the object to be measured and the background area in the field of view of the television camera is made constant on the monitor screen when the pattern of the object to be measured is recognized by the binarized image. Even if the internal video signal level fluctuates, the video signal level becomes almost constant on the monitor screen, a clear binary image of the object to be measured can be obtained, stable recognition is possible, and the cost can be reduced.
第１図と第２図は本発明を適用して得られたモニタース
クリーン上の背景エリアの各平面図、第３図は本発明を
適用して得られたコンポジットビデオ信号の波形図、第
４図と第５図は本発明の具体的実施手段の各要部概略
図、第６図は接着シートに貼り付けられたウェーハの斜
視図、第７図はウェーハリングの斜視図で、第８図はそ
のＡ−Ａ線断面図、第９図はコンポジットビデオ信号を
２値化する回路のブロック線図、第10図はウェーハリン
グ中央部のテレビカメラ視野の平面図で、第11図はその
コンポジットビデオ信号の波形図、第12図はウェーハリ
ング周辺部のテレビカメラ視野の平面図で、、第13図は
そのコンポジットビデオ信号の波形図、第14図は搬送コ
ンベアによって搬送される被測定物の部分概略図であ
る。 （３）…被測定物、（11）…テレビカメラ視野、（12）
（12′）…背景エリア、（Ｖ２）…背景エリアの映像信
号。1 and 2 are plan views of respective background areas on a monitor screen obtained by applying the present invention, FIG. 3 is a waveform diagram of a composite video signal obtained by applying the present invention, and FIG. FIGS. 5 and 5 are schematic views of respective main parts of a concrete embodiment of the present invention, FIG. 6 is a perspective view of a wafer attached to an adhesive sheet, FIG. 7 is a perspective view of a wafer ring, and FIG. Is a cross-sectional view taken along the line AA, FIG. 9 is a block diagram of a circuit for binarizing a composite video signal, FIG. 10 is a plan view of a television camera view in the central portion of the wafer ring, and FIG. 11 is the composite. Waveform diagram of video signal, FIG. 12 is a plan view of the television camera field of view around the wafer ring, FIG. 13 is a waveform diagram of the composite video signal, and FIG. 14 is the measured object conveyed by the conveyor. It is a partial schematic diagram. (3) ... DUT, (11) ... TV camera field of view, (12)
(12 ') ... background area, (V 2) ... the video signal of the background area.
Claims (1)
物をパターン認識する回路において、被測定物とその周
辺の認識エリアの画像信号を所定レベルに増幅するアン
プ部、認識エリア外の背景エリアに入力する疑似信号を
生成する疑似信号発生部、認識エリアと背景エリアを切
り替える映像信号切替部、前記映像信号切替部より映像
信号あるいは疑似信号を受けるコンデンサ部、前記コン
デンサ部からの出力信号を２値化するコンバレータ部、
前記映像信号より垂直及び水平同期信号を分離する同期
分離部、および前記２値化された映像信号と同期信号を
合成するビデオ信号生成部により構成され、ＴＶカメラ
視野内の認識エリアと背景エリアの面積比を一定にし、
前記コンデンサ部のカップリングにより被測定物の映像
信号レベルを一定にすることを特徴とする画像安定化回
路。1. A circuit for recognizing a pattern of an object to be measured using an image captured by a TV camera, an amplifier section for amplifying an image signal of the object to be measured and a peripheral recognition area to a predetermined level, and a background outside the recognition area. A pseudo signal generation unit that generates a pseudo signal to be input to the area, a video signal switching unit that switches the recognition area and the background area, a capacitor unit that receives a video signal or a pseudo signal from the video signal switching unit, and an output signal from the capacitor unit. A binarizing converter,
It is composed of a sync separation unit that separates vertical and horizontal sync signals from the video signal, and a video signal generation unit that combines the binarized video signal and the sync signal. Keep the area ratio constant,
An image stabilizing circuit, wherein a video signal level of an object to be measured is made constant by coupling of the capacitor section.
Priority Applications (1)
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| JP60015980A JPH065957B2 (en) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | Image stabilization circuit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60015980A JPH065957B2 (en) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | Image stabilization circuit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61174890A JPS61174890A (en) | 1986-08-06 |
| JPH065957B2 true JPH065957B2 (en) | 1994-01-19 |
Family
ID=11903829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60015980A Expired - Lifetime JPH065957B2 (en) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | Image stabilization circuit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065957B2 (en) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54143168A (en) * | 1978-04-28 | 1979-11-08 | Fuji Electric Co Ltd | Appearance tester |
| JPS59119467A (en) * | 1982-12-27 | 1984-07-10 | Fuji Electric Co Ltd | Picture processing device |
-
1985
- 1985-01-29 JP JP60015980A patent/JPH065957B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61174890A (en) | 1986-08-06 |
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