JPH066112A - Microwave isolator and manufacturing method thereof - Google Patents
Microwave isolator and manufacturing method thereofInfo
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 個別部品を組む手間を省略でき生産性の向上
と製造コストの低減とを図ることができるとともに、小
型化にも有利なマイクロ波アイソレータおよびその製造
方法を提供する。
【構成】 フェライト等の磁性材を主成分とした低温焼
結材からなるシート状成形体１をグリーンな状態で複数
積層する。積層下側となるシート状成形体１の表面に導
体ペーストを印刷して、単向パターン２を所定形状に形
成しておく。シート状成形体１を積層した後にこれを加
圧し、積層境界の単向パターン２と同時に焼成して、積
層体と導体とを一体化させる。焼結体の表面に、導体ペ
ーストを印刷して焼付け、入出力用端子パターン３，…
と接地パターン４とを形成し、さらに磁石５を取付けて
トリプレート型マイクロ波アイソレータを完成する。
(57) [Abstract] [Purpose] To provide a microwave isolator and a manufacturing method thereof, which can reduce the labor for assembling individual parts, improve productivity and reduce manufacturing cost, and are also advantageous for downsizing. . [Structure] A plurality of sheet-shaped compacts 1 made of a low-temperature sintered material containing a magnetic material such as ferrite as a main component are laminated in a green state. A conductor paste is printed on the surface of the sheet-shaped molded body 1 that is the lower side of the stack to form the unidirectional pattern 2 in a predetermined shape. After the sheet-shaped compact 1 is laminated, it is pressed and fired at the same time as the unidirectional pattern 2 of the lamination boundary to integrate the laminate and the conductor. The conductor paste is printed and baked on the surface of the sintered body, and the input / output terminal patterns 3, ...
And the ground pattern 4 are formed, and the magnet 5 is attached to complete the tri-plate type microwave isolator.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、フェライト等の磁性材
による積層体の内部に導体パターンを有するマイクロ波
アイソレータおよびその製造方法に関し、特にいわゆる
グリーンな状態の基材に導体パターンを形成して、積層
後に同時一体焼成するようにしたマイクロ波アイソレー
タおよびその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a microwave isolator having a conductor pattern inside a laminated body made of a magnetic material such as ferrite and a method for manufacturing the same, and more particularly to forming a conductor pattern on a so-called green substrate. The present invention relates to a microwave isolator and a method for manufacturing the same that are fired simultaneously after lamination.
【０００２】[0002]
【従来の技術】電波（マイクロ波）の伝送に関して、負
荷からの反射波を吸収するためのセラミック磁性体を用
いたアイソレータが知られており、小型化・軽量化を図
ることができるストリップ線路型のものが注目を集めて
いる。つまり、マイクロ波アイソレータとしては、図７
に示すように、フェライト等の磁性体基板１０の表面に
所定形状の単向パターン２０を形成するとともに、当該
基板１０に磁石５０を取付けて、その単向パターン２０
に対して磁界が作用してファラデー効果を生じ、アイソ
レートするようになっている。2. Description of the Related Art With respect to transmission of radio waves (microwaves), an isolator using a ceramic magnetic material for absorbing a reflected wave from a load is known, and a strip line type which can be reduced in size and weight. Things are getting attention. That is, the microwave isolator shown in FIG.
As shown in FIG. 1, a unidirectional pattern 20 having a predetermined shape is formed on the surface of a magnetic substrate 10 such as ferrite, and a magnet 50 is attached to the substrate 10 to form the unidirectional pattern 20.
A magnetic field acts on the to generate the Faraday effect and isolate.
【０００３】しかしこの場合、単向パターン２０が磁性
体基板１０の表面に露呈されていることによりアイソレ
ート時の放射損失が大きいという問題点がある。そこ
で、単向パターンをあらかじめ作製しておいて、それの
上下面を磁性体基板で各々覆って挟み込んでしまい、上
下基板の表面に形成した接地パターンと、内部の単向パ
ターンとで導体面を三層とした、いわゆるトリプレート
型構造に構成することが行われている。However, in this case, the unidirectional pattern 20 is exposed on the surface of the magnetic substrate 10, so that there is a problem that radiation loss during isolation is large. Therefore, a unidirectional pattern is prepared in advance, and the upper and lower surfaces of the unidirectional pattern are covered and sandwiched by the magnetic substrates, and the conductor pattern is formed by the ground pattern formed on the upper and lower substrates and the internal unidirectional pattern. A so-called triplate type structure having three layers is used.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来構造では、単向パターンを挟み込んでいる上下の磁
性体基板を支持する支持筐体を必要とするため部品点数
が多く、個別部品を組合せるものなので、組立てに手間
がかかり煩雑であった。その結果、製造コストの低減お
よび小型化が困難であった。However, in such a conventional structure, since a supporting casing for supporting the upper and lower magnetic substance substrates sandwiching the unidirectional pattern is required, the number of components is large and individual components are combined. However, it was troublesome to assemble and was complicated. As a result, it has been difficult to reduce the manufacturing cost and reduce the size.
【０００５】本発明は前記の事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、個別部品を組む手間を省くことが
できて生産性に優れ、小型化および製造コストの低減に
も有利なマイクロ波アイソレータおよびその製造方法を
提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to save the labor of assembling individual parts, to be excellent in productivity, and to be advantageous in miniaturization and reduction of manufacturing cost. A wave isolator and a method for manufacturing the same are provided.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るマイクロ波アイソレータは、フェライ
ト等の磁性材を主成分とした低温焼結材からシート状に
成形され複数積み重ねた後に焼結されるシート状成形体
と、前記シート状成形体の積層境界に形成され外側のシ
ート状成形体と同時に一体焼成される導体パターンとを
備えたことを特徴とする。In order to achieve the above-mentioned object, a microwave isolator according to the present invention is formed into a sheet from a low temperature sintered material containing a magnetic material such as ferrite as a main component, and is fired after being stacked. It is characterized by comprising a sheet-shaped molded body to be bonded and a conductor pattern which is formed at the stacking boundary of the sheet-shaped molded body and is integrally fired simultaneously with the outer sheet-shaped molded body.
【０００７】また本発明に係るマイクロ波アイソレータ
の製造方法は、フェライト等の磁性材を主成分とした低
温焼結材をシート状に成形してなるシート状成形体を複
数用意して一方のシート状成形体の表面に導体パターン
を形成し、その導体パターンを覆うように他方のシート
状成形体を積み重ねて熱圧着し、この後、当該積層体の
内側の導体パターンと外側のシート状成形体とを同時に
一体焼成することを特徴とする。In the method for manufacturing a microwave isolator according to the present invention, a plurality of sheet-shaped compacts formed by molding a low-temperature sintered material containing a magnetic material such as ferrite as a main component into a sheet are prepared and one sheet is prepared. A conductor pattern is formed on the surface of the sheet shaped body, the other sheet shaped body is stacked so as to cover the conductor pattern, and thermocompression bonding is performed, and thereafter, the conductor pattern inside the laminated body and the sheet shaped outside body are formed. And is integrally fired at the same time.
【０００８】[0008]
【作用】本発明の作用について述べると、導体パターン
が磁性材のシート状成形体に挾圧されて一体焼成される
ものであり、その焼結体の表面に接地パターンを形成す
ることでトリプレート型構造をとる。したがって、磁石
を除く構成要素の全てが一体化されることになり、従来
のような個別部品を組む手間が不要となる。The function of the present invention will be described. A conductor pattern is pressed against a sheet-shaped molded body of a magnetic material and integrally fired. By forming a ground pattern on the surface of the sintered body, a triplate is formed. Takes a type structure. Therefore, all the components except the magnet are integrated, and the labor for assembling the individual parts as in the conventional case is unnecessary.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、本発明の実施例につき、添付図面を参
照して説明する。図１は本発明に係るマイクロ波アイソ
レータの好適な一実施例を示す斜視図である。同図は基
板の一部を破断して示している。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a preferred embodiment of the microwave isolator according to the present invention. In the figure, a part of the substrate is cut away.
【００１０】このマイクロ波アイソレータは、磁性材に
よる積層体の内部に導体パターンを備えたものであっ
て、基本的には、フェライト等の磁性材をドクターブレ
ード等で成形して得られたシート状成形体１と、所定形
状の単向パターン２とを備えて構成されている。This microwave isolator is provided with a conductor pattern inside a laminated body made of a magnetic material, and is basically a sheet shape obtained by molding a magnetic material such as ferrite with a doctor blade or the like. It is configured to include a molded body 1 and a unidirectional pattern 2 having a predetermined shape.
【００１１】つまり、シート状成形体１は、いわゆるグ
リーンな状態で複数積み重ねられ、本実施例では二枚積
み重ねられている。そして、積層下側となるシート状成
形体１の各表面に導体パターンがあらかじめ適宜形状に
印刷される。一方、単向パターン２は、略円形の中央電
極部から放射状に三方へ分岐電極が延びた略Ｙ字形状を
呈し、前記のように積層下側となるシート状成形体１の
表面に印刷されている。そして、シート状成形体１をグ
リーンな状態で複数積み重ねた後には、これを加圧し、
積層境界の導体パターンと同時に焼成する。これにより
積層体と導体パターンとが一体化される。That is, a plurality of the sheet-shaped molded bodies 1 are stacked in a so-called green state, and two sheets are stacked in this embodiment. Then, a conductor pattern is preliminarily printed in an appropriate shape on each surface of the sheet-shaped molded body 1 which is the lower side of the stack. On the other hand, the unidirectional pattern 2 has a substantially Y shape in which branch electrodes radially extend from the substantially circular central electrode portion in three directions, and is printed on the surface of the sheet-like molded body 1 which is the lower layer of the stack as described above. ing. Then, after stacking a plurality of sheet-shaped compacts 1 in a green state, pressurizing them
It is fired at the same time as the conductor pattern on the stack boundary. As a result, the laminated body and the conductor pattern are integrated.
【００１２】シート状成形体１，…による積層体の表面
には、単向パターン２の入力部および出力部に対応して
端子パターン３，…が形成されるともに、これら端子パ
ターン３，…を除いた全体を覆って接地パターン４が形
成されている。そして、この積層体には、内部の単向パ
ターン２の中央電極部に対応して磁石５が取付けられて
いる。Terminal patterns 3, ... Are formed corresponding to the input and output portions of the unidirectional pattern 2 on the surface of the laminated body of the sheet-shaped molded bodies 1 ,. The ground pattern 4 is formed so as to cover the whole except the ground. Then, the magnet 5 is attached to the laminated body so as to correspond to the central electrode portion of the internal unidirectional pattern 2.
【００１３】図２（ａ）〜（ｄ）は、本発明に係るマイ
クロ波アイソレータの製造工程を順に示す説明図であ
る。まず、グリーンな状態のシート状成形体１を準備す
る。これには、前記したように例えばドクターブレード
を用いてシート状成形体１を製造するものであり、フェ
ライト等の磁性材を主成分とした低温焼結材から成形す
る。この低温焼結材としては、例えばフェライトを粒径
数１０nmの極めて微細な粉末としたものや、フェライト
にガラス，Ｂｉ2 Ｏ3 ，ＰｂＯ等の低融点化のための添
加物を混入したものを使用し、焼結温度を下げるように
する。前記のようにフェライトを微細粉末化した場合に
は、通常１３００〜１４００℃であるフェライトの焼結
温度を２００〜３００deg 低下させることができる。こ
のようにフェライトの焼結温度を低下させることで、Ａ
ｇ（融点は約９００〜１１００℃）等の導体パターン材
料とほぼ同等の焼結温度とすることができ、一体焼成が
可能となる。2 (a) to 2 (d) are explanatory views sequentially showing manufacturing steps of the microwave isolator according to the present invention. First, the green sheet-like molded body 1 is prepared. For this purpose, as described above, for example, a doctor blade is used to manufacture the sheet-shaped molded body 1, which is molded from a low-temperature sintered material containing a magnetic material such as ferrite as a main component. Examples of the low-temperature sintered material include ferrite made into an extremely fine powder having a particle size of several 10 nm, and ferrite mixed with additives such as glass, Bi 2 O 3 and PbO for lowering the melting point. Use to lower the sintering temperature. When the ferrite is made into a fine powder as described above, the sintering temperature of the ferrite, which is usually 1300 to 1400 ° C., can be reduced by 200 to 300 deg. By decreasing the sintering temperature of ferrite in this way, A
The sintering temperature can be almost the same as that of the conductor pattern material such as g (melting point is about 900 to 1100 ° C.), and integral firing can be performed.
【００１４】前記グリーンな状態のシート状成形体１
を、複数つまりここでは二枚用意する。一方のシート状
成形体１の表面に導体ペーストを印刷して、単向パター
ン２を所定形状に形成する（ａ）。この導体ペーストと
しては、例えばＡｇやＣｕあるいはＡｇＰｂ等を使用す
る。そして、その単向パターン２を覆うように他方のシ
ート状成形体１を積み重ねて、熱圧着する（ｂ）。The green sheet-like molded body 1
, A plurality, that is, two are prepared here. A conductor paste is printed on the surface of one of the sheet-shaped compacts 1 to form the unidirectional pattern 2 in a predetermined shape (a). As the conductor paste, for example, Ag, Cu, AgPb or the like is used. Then, the other sheet-shaped compact 1 is stacked so as to cover the unidirectional pattern 2 and thermocompression bonded (b).
【００１５】この後、当該積層体の内側の導体パターン
と外側のシート状成形体１，…とを同時に一体焼成する
（ｃ）。これにより積層体と導体とが一体化されるの
で、この焼結体の表面に導体ペーストを印刷して焼付け
し、端子パターン３，…および接地パターン４を形成す
る（ｄ）。Thereafter, the conductor pattern on the inner side of the laminate and the sheet-shaped molded bodies 1, ... On the outer side are simultaneously fired together (c). As a result, the laminated body and the conductor are integrated, so that a conductor paste is printed on the surface of the sintered body and baked to form the terminal patterns 3, ... And the ground pattern 4 (d).
【００１６】このように、単向パターン２がフェライト
等の磁性体からなるシート状成形体１，１に挾圧され、
接地パターン４で覆われて導体面が三層となり、トリプ
レート型構造のマイクロ波アイソレータとなる。この場
合、磁石５を除く構成要素の全てが一体化されることに
なり、そのため従来のような個別部品を組む手間を省略
することができ、生産性に優れるとともに、製造コスト
の低減にも有利である。もちろん、単向パターン２は接
地パターン４によってシールドされているので、アイソ
レート時の放射損失は極く少ない。また、グリーンな状
態のシート状成形体１，…を積層していく積層技術によ
ることから、多層構造を容易に実現でき、集積度を向上
できる。その結果、より一層の小型化を図ることができ
る。In this way, the unidirectional pattern 2 is pressed against the sheet-shaped compacts 1, 1 made of a magnetic material such as ferrite,
The conductor surface is covered with the ground pattern 4 and has three layers, and the microwave isolator has a triplate structure. In this case, all the constituent elements except the magnet 5 are integrated, so that it is possible to omit the conventional labor of assembling individual parts, which is excellent in productivity and is advantageous in reducing manufacturing cost. Is. Of course, since the unidirectional pattern 2 is shielded by the ground pattern 4, the radiation loss during isolation is extremely small. Further, since the green sheet-like molded bodies 1, ... Are laminated, a multi-layer structure can be easily realized and the degree of integration can be improved. As a result, it is possible to further reduce the size.
【００１７】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではない。例えば図３に示すように、積層下側となる
シート状成形体１の表面に、複数の単向パターン２，…
を印刷して、複数のマイクロ波アイソレータが組み合わ
された所定の機能を有する回路を構成するようにしても
よい。この構成は、実装面積に比較して実装高さが特に
厳しく制約される場合に有利である。The present invention is not limited to the above embodiment. For example, as shown in FIG. 3, a plurality of unidirectional patterns 2, ...
May be printed to form a circuit having a predetermined function in which a plurality of microwave isolators are combined. This configuration is advantageous when the mounting height is particularly severely limited as compared with the mounting area.
【００１８】また、図４は、本発明のさらに他例を示す
斜視図である。この実施例では、シート状成形体１を三
枚積み重ねた構成をとり、各積層境界には単向パターン
２が各々形成されていて、二つのマイクロ波アイソレー
タが上下に重ねられており、両者を適宜に接続すること
で様々な機能を有する回路を構成することができ、実装
面積を抑制できる点で有利である。FIG. 4 is a perspective view showing still another example of the present invention. In this embodiment, three sheet-shaped compacts 1 are stacked, a unidirectional pattern 2 is formed on each stack boundary, and two microwave isolators are stacked one above the other. Circuits having various functions can be configured by appropriate connection, which is advantageous in that the mounting area can be suppressed.
【００１９】なお、多層構造としては、例えば図５
（ａ），（ｂ）に示すように、各積層境界に同一の単向
パターン２を各々形成して、各導体パターン間をビアホ
ール（via hole）で接続するようにした構成も考えられ
ている。この場合、電流の流通面積を増すことができ、
損失を低減することができる。The multilayer structure is shown in FIG.
As shown in (a) and (b), a configuration is also considered in which the same unidirectional pattern 2 is formed on each stacking boundary, and the conductor patterns are connected by via holes. . In this case, the current flow area can be increased,
The loss can be reduced.
【００２０】さらにまた、シート状成形体１による積層
体については、グリーンな状態で積層した際、適宜に折
り曲げるようにしてもよい。図６は折曲げによるマイク
ロ波アイソレータを例示した斜視図であり、この場合、
より一層小型化できることは言うまでもない。Furthermore, the laminated body of the sheet-shaped molded body 1 may be appropriately bent when laminated in a green state. FIG. 6 is a perspective view illustrating a microwave isolator by bending, and in this case,
It goes without saying that the size can be further reduced.
【００２１】[0021]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
るマイクロ波アイソレータおよびその製造方法によれ
ば、導体パターンがフェライト等の磁性体で形成された
シート状成形体で挾圧されて一体焼成されるものであ
り、その焼結体の表面に接地パターンを形成することで
トリプレート型構造をとるので、磁石を除く構成要素の
全てが一体化されることになり、従来のような個別部品
を組む手間を省略することができ、生産性に優れるとと
もに、製造コストの低減を図ることができる。As described above in detail, according to the microwave isolator and the method for manufacturing the same according to the present invention, the conductor pattern is integrated by being pressed by a sheet-like molded body formed of a magnetic material such as ferrite. It is fired, and because it has a triplate structure by forming a ground pattern on the surface of the sintered body, all the components except the magnet will be integrated, and it will not be possible The labor of assembling the parts can be omitted, the productivity is excellent, and the manufacturing cost can be reduced.
【００２２】また、グリーンな状態のシート状成形体を
積層していく積層技術によることから、多層構造を容易
に実現でき、このため集積度を向上でき、より一層の小
型化を図ることができる利点がある。Further, since the green-sheet-like molded body is laminated, a multi-layered structure can be easily realized. Therefore, the degree of integration can be improved and further miniaturization can be achieved. There are advantages.
【図１】本発明のマイクロ波アイソレータの一実施例を
示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a microwave isolator of the present invention.
【図２】本発明のマイクロ波アイソレータの製造工程を
順に示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory view sequentially showing manufacturing steps of the microwave isolator of the present invention.
【図３】本発明のマイクロ波アイソレータの他例その一
を例示した平面図である。FIG. 3 is a plan view illustrating another example of the microwave isolator of the present invention.
【図４】本発明のマイクロ波アイソレータの他例その二
を例示した斜視図である。FIG. 4 is a perspective view illustrating another example 2 of another microwave isolator according to the present invention.
【図５】（ａ）は本発明のマイクロ波アイソレータの他
例その三を例示した平面図、（ｂ）はその側面図であ
る。FIG. 5A is a plan view illustrating another example of the microwave isolator according to the third embodiment of the present invention, and FIG. 5B is a side view thereof.
【図６】本発明のマイクロ波アイソレータの他例その四
を例示した平面図である。FIG. 6 is a plan view illustrating another fourth example of the microwave isolator according to the present invention.
【図７】マイクロ波アイソレータの従来例を示す斜視図
である。FIG. 7 is a perspective view showing a conventional example of a microwave isolator.
１ シート状成形体 ２ 導体パターン（単向パターン） 1 Sheet-shaped molded body 2 Conductor pattern (unidirectional pattern)
フロントページの続き (72)発明者 鶴見 通昭 東京都港区新橋５丁目36番11号 富士電気 化学株式会社内 (72)発明者 小島 暢 東京都港区新橋５丁目36番11号 富士電気 化学株式会社内Front page continuation (72) Inventor Mitsuaki Tsurumi 5-36-1 Shimbashi, Minato-ku, Tokyo Fuji Electric Chemical Co., Ltd. (72) Inventor Akira Kojima 5-36-11 Shinbashi, Minato-ku, Tokyo Fuji Electric Chemical Within the corporation
Claims (2)
ンを備えたマイクロ波アイソレータであって、 フェライト等の磁性材を主成分とした低温焼結材からシ
ート状に成形され複数積み重ねた後に焼結されるシート
状成形体と、 前記シート状成形体の積層境界に形成され外側のシート
状成形体と同時に一体焼成される導体パターンと、 を備えたことを特徴とするマイクロ波アイソレータ。1. A microwave isolator having a conductor pattern inside a laminated body made of a magnetic material, which is formed into a sheet shape from a low temperature sintered material containing a magnetic material such as ferrite as a main component, and is then fired after being stacked. A microwave isolator, comprising: a sheet-shaped molded body to be bonded; and a conductor pattern formed at a boundary between the stacked sheet-shaped molded bodies and integrally fired simultaneously with the outer sheet-shaped molded body.
温焼結材をシート状に成形してなるシート状成形体を複
数用意して一方のシート状成形体の表面に導体パターン
を形成し、その導体パターンを覆うように他方のシート
状成形体を積み重ねて熱圧着し、この後、当該積層体の
内側の導体パターンと外側のシート状成形体とを同時に
一体焼成することを特徴とするマイクロ波アイソレータ
の製造方法。2. A plurality of sheet-shaped compacts prepared by molding a low-temperature sintered material containing a magnetic material such as ferrite as a main component into a sheet shape, and forming a conductor pattern on the surface of one of the sheet-shaped compacts. Characterized in that the other sheet-shaped compact is stacked so as to cover the conductor pattern and thermocompression-bonded, and thereafter, the conductor pattern on the inner side of the laminate and the outer sheet-shaped compact are simultaneously fired together. Manufacturing method of microwave isolator.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16285292A JPH066112A (en) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | Microwave isolator and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16285292A JPH066112A (en) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | Microwave isolator and manufacturing method thereof |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH066112A true JPH066112A (en) | 1994-01-14 |
Family
ID=15762469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16285292A Pending JPH066112A (en) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | Microwave isolator and manufacturing method thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH066112A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5450045A (en) * | 1993-03-31 | 1995-09-12 | Tdk Corporation | Multi-layer microwave circulator |
| US5611878A (en) * | 1994-04-01 | 1997-03-18 | Tdk Corporation | Method of manufacturing microwave circulator |
-
1992
- 1992-06-22 JP JP16285292A patent/JPH066112A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5450045A (en) * | 1993-03-31 | 1995-09-12 | Tdk Corporation | Multi-layer microwave circulator |
| US5611878A (en) * | 1994-04-01 | 1997-03-18 | Tdk Corporation | Method of manufacturing microwave circulator |
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