JPH0665466B2 - 煤混入ダイヤモンド研摩砥石 - Google Patents
煤混入ダイヤモンド研摩砥石Info
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- JPH0665466B2 JPH0665466B2 JP5749688A JP5749688A JPH0665466B2 JP H0665466 B2 JPH0665466 B2 JP H0665466B2 JP 5749688 A JP5749688 A JP 5749688A JP 5749688 A JP5749688 A JP 5749688A JP H0665466 B2 JPH0665466 B2 JP H0665466B2
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Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は研摩等の砥石に係り、基材の表面に煤混入ダイ
ヤモンド粒子を析出形成した煤混入ダイヤモンド研摩砥
石に関する。
ヤモンド粒子を析出形成した煤混入ダイヤモンド研摩砥
石に関する。
従来、金属やセラミックス等の被加工物を精度よく加工
するには、ダイヤモンド砥石による研摩やダイヤモンド
砥粒によるラッピングがある。
するには、ダイヤモンド砥石による研摩やダイヤモンド
砥粒によるラッピングがある。
前記ダイヤモンド砥石はダイヤモンド粒子と結合材を焼
結してなるもので、表面のダイヤモンド粒子によって被
加工物を研摩する。
結してなるもので、表面のダイヤモンド粒子によって被
加工物を研摩する。
前記ラッピングは、被加工物と加工すべき理想形状にき
わめて近い工具（以下ラップという）との間に微細粉末
状のラップ剤を入れて、これらの間に相対運動を行なう
もので、前記ラップ剤がダイヤモンド砥粒であり、この
ダイヤモンド砥粒の切削作用により被加工物の加工面を
摩耗する。
わめて近い工具（以下ラップという）との間に微細粉末
状のラップ剤を入れて、これらの間に相対運動を行なう
もので、前記ラップ剤がダイヤモンド砥粒であり、この
ダイヤモンド砥粒の切削作用により被加工物の加工面を
摩耗する。
上記従来技術では次のような問題点がある。
１）ダイヤモンド砥石では表面にダイヤモンド粒子と結
合剤があり、刃先となるダイヤモンド粒子が均一になら
ず精密加工に適していない。
合剤があり、刃先となるダイヤモンド粒子が均一になら
ず精密加工に適していない。
２）ダイヤモンド砥粒によるラッピングでは仕事量に比
して加工量が少なく、加工時間を多く必要とする。
して加工量が少なく、加工時間を多く必要とする。
３）ダイヤモンド砥石及びダイヤモンド砥粒によるラッ
ピングの両者とも、ダイヤモンド粒子による加工であ
り、被加工物に対してあたりが硬い。また、そのダイヤ
モンド粒子の形状の不均一により、被加工物に傷等を生
じさせてしまうことがある。よって超精密加工に適応し
えない。
ピングの両者とも、ダイヤモンド粒子による加工であ
り、被加工物に対してあたりが硬い。また、そのダイヤ
モンド粒子の形状の不均一により、被加工物に傷等を生
じさせてしまうことがある。よって超精密加工に適応し
えない。
本発明は上記課題に鑑みてなされたもので、精密加工及
び超精密加工に適応し、加工能率がよい煤混入ダイヤモ
ンド研摩砥石を提供することにある。
び超精密加工に適応し、加工能率がよい煤混入ダイヤモ
ンド研摩砥石を提供することにある。
本発明は上記課題を解決するために次のように構成し
た。
た。
水素ガスと炭化水素ガスから合成される球状の煤混入ダ
イヤモンド粒子を、基材の表面に析出形成してなること
を特徴とする煤混入ダイヤモンド研摩砥石とした。
イヤモンド粒子を、基材の表面に析出形成してなること
を特徴とする煤混入ダイヤモンド研摩砥石とした。
本発明は上記構成により次のように作用する。
基材の表面に水素ガスと炭化水素ガスから合成される球
状の煤混入ダイヤモンド粒子を析出形成することによ
り、基材の表面は球状の煤混入ダイヤモンド粒子で均一
な刃先となる。
状の煤混入ダイヤモンド粒子を析出形成することによ
り、基材の表面は球状の煤混入ダイヤモンド粒子で均一
な刃先となる。
本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
本実施例の煤混入ダイヤモンド研摩砥石Ａは第１図に示
すように、アルミナ，モリブデン，タングステン等の基
材１の表面に球状の煤混入ダイヤモンド粒子２を析出形
成してなる。
すように、アルミナ，モリブデン，タングステン等の基
材１の表面に球状の煤混入ダイヤモンド粒子２を析出形
成してなる。
前記基材１は板状のものであり、前記煤混入ダイヤモン
ド粒子２は水素ガスと炭化水素ガスから合成され、その
炭化水素ガスはメタンガスとし、そのメタンの濃度は３
〜５％とした。
ド粒子２は水素ガスと炭化水素ガスから合成され、その
炭化水素ガスはメタンガスとし、そのメタンの濃度は３
〜５％とした。
前記煤混入ダイヤモンド粒子２を合成する装置は、基材
１を収納する容器と、容器内を排気して真空にする真空
発生機と、マイクロ波を発生させるマグネトロンと、マ
イクロ波を容器に導く導波管と、マイクロ波の反射波を
調整するプランジャーとから成る。
１を収納する容器と、容器内を排気して真空にする真空
発生機と、マイクロ波を発生させるマグネトロンと、マ
イクロ波を容器に導く導波管と、マイクロ波の反射波を
調整するプランジャーとから成る。
基材１は、支持台に載置し容器と導波管の交わる中央に
設置する。
設置する。
前記容器には、石英管を使用した。
基材１に煤混入ダイヤモンド粒子を析出させるには、容
器内を真空度10-3Torrまで真空した後、メタンガスの濃
度が３％となるようにメタンガスと水素ガスを容器内に
容器の上開口部より導入しつつ、容器内を容器の下開口
部より排気して容器内の圧力を真空度30Torrに維持する
と共に、基材１に波長2.45GHz,出力300Wのマイクロ波を
照射して基材１の温度を860℃にする。そして数時間こ
の状態を維持する。
器内を真空度10-3Torrまで真空した後、メタンガスの濃
度が３％となるようにメタンガスと水素ガスを容器内に
容器の上開口部より導入しつつ、容器内を容器の下開口
部より排気して容器内の圧力を真空度30Torrに維持する
と共に、基材１に波長2.45GHz,出力300Wのマイクロ波を
照射して基材１の温度を860℃にする。そして数時間こ
の状態を維持する。
前記メタンガスと水素ガスの流量は100cc／minとした。
前記容器内の圧力およびマイクロ波により、基材１の周
囲に放電プラズマが発生して水素ガスが原子状水素とな
り、この原子状水素とメタンガスが反応すると共にマイ
クロ波の吸収とプラズマの衝撃により基材１は加熱して
基材１の表面に多数の煤混入ダイヤモンド粒子２が析出
する。
囲に放電プラズマが発生して水素ガスが原子状水素とな
り、この原子状水素とメタンガスが反応すると共にマイ
クロ波の吸収とプラズマの衝撃により基材１は加熱して
基材１の表面に多数の煤混入ダイヤモンド粒子２が析出
する。
この煤混入ダイヤモンド粒子２は第２図に示すように、
球状で、煤（無定形炭素あるいは、ダイヤモンドと炭素
の中間体であるダイヤモンドライクカーボン）2aとダイ
ヤモンド微粒子2bが共存している状態のものである。
球状で、煤（無定形炭素あるいは、ダイヤモンドと炭素
の中間体であるダイヤモンドライクカーボン）2aとダイ
ヤモンド微粒子2bが共存している状態のものである。
前記煤混入ダイヤモンド研摩砥石２の表面は、多数の煤
混入ダイヤモンド粒子２が均一に析出しており、しか
も、その煤混入ダイヤモンド粒子２が球状で煤2aとダイ
ヤモンド微粒子2bからなるため、被加工物に対してあた
りが柔らかく、潤滑作用もあるので、研摩加工に適して
いる。またダイヤモンド微粒子2bが超微粒子であるため
精密加工及び超精密加工に適している。
混入ダイヤモンド粒子２が均一に析出しており、しか
も、その煤混入ダイヤモンド粒子２が球状で煤2aとダイ
ヤモンド微粒子2bからなるため、被加工物に対してあた
りが柔らかく、潤滑作用もあるので、研摩加工に適して
いる。またダイヤモンド微粒子2bが超微粒子であるため
精密加工及び超精密加工に適している。
本実施例は上記装置及び方法により基材１に煤混入ダイ
ヤモンド粒子２を析出形成したが、他の装置及び方法を
用いてもよく、例えば熱フィラメントCVD法や高周波CVD
法等でもよい。また、基材１が板状のものであったが基
材１の形状を円柱状のにして、その周面に煤混入ダイヤ
モンド粒子２を析出形成してもよい。さらに、種々の形
状の基材に煤混入ダイヤモンド粒子を析出形成できるの
で煤混入ダイヤモンド研摩砥石をラップとして用いるこ
とができ、この場合ラップ剤は不要となる。
ヤモンド粒子２を析出形成したが、他の装置及び方法を
用いてもよく、例えば熱フィラメントCVD法や高周波CVD
法等でもよい。また、基材１が板状のものであったが基
材１の形状を円柱状のにして、その周面に煤混入ダイヤ
モンド粒子２を析出形成してもよい。さらに、種々の形
状の基材に煤混入ダイヤモンド粒子を析出形成できるの
で煤混入ダイヤモンド研摩砥石をラップとして用いるこ
とができ、この場合ラップ剤は不要となる。
本発明は上記のように構成したので次のような効果があ
る。
る。
水素ガスと炭化水素ガスから合成される球状の煤混入ダ
イヤモンド粒子を基材の表面に析出形成してなることに
より、基材の表面は煤混入ダイヤモンド粒子で均一な刃
先となり、精密加工に適応し加工能率がよく、加工時間
を短縮できる。また、煤混入ダイヤモンド粒子が球状で
あり、煤を有するので、被加工物に対してあたりが柔ら
かく、被加工物に傷等を生じさせることがなく、超精密
加工に適応しえる。
イヤモンド粒子を基材の表面に析出形成してなることに
より、基材の表面は煤混入ダイヤモンド粒子で均一な刃
先となり、精密加工に適応し加工能率がよく、加工時間
を短縮できる。また、煤混入ダイヤモンド粒子が球状で
あり、煤を有するので、被加工物に対してあたりが柔ら
かく、被加工物に傷等を生じさせることがなく、超精密
加工に適応しえる。
図面の第１図は本発明の本実施例を示す説明図、第２図
は煤混入ダイヤモンド粒子の説明図である。 Ａ……煤混入ダイヤモンド研摩砥石 １……基材 ２……煤混入ダイヤモンド粒子 2a……煤 2b……ダイヤモンド微粒子
は煤混入ダイヤモンド粒子の説明図である。 Ａ……煤混入ダイヤモンド研摩砥石 １……基材 ２……煤混入ダイヤモンド粒子 2a……煤 2b……ダイヤモンド微粒子
Claims (1)
- 【請求項１】水素ガスと炭化水素ガスから合成される球
状の煤混入ダイヤモンド粒子を、基材の表面に析出形成
してなることを特徴とする煤混入ダイヤモンド研摩砥
石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5749688A JPH0665466B2 (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | 煤混入ダイヤモンド研摩砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5749688A JPH0665466B2 (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | 煤混入ダイヤモンド研摩砥石 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01234165A JPH01234165A (ja) | 1989-09-19 |
| JPH0665466B2 true JPH0665466B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=13057333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5749688A Expired - Lifetime JPH0665466B2 (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | 煤混入ダイヤモンド研摩砥石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0665466B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2997824B2 (ja) * | 1991-09-12 | 2000-01-11 | 光洋精工株式会社 | 軸受の潤滑装置 |
| JP5177422B2 (ja) * | 2008-12-27 | 2013-04-03 | 冨士ダイス株式会社 | 窒素添加サーメットの研削加工に適したレジンボンド砥石による研削加工方法 |
| JP2013046960A (ja) * | 2012-10-16 | 2013-03-07 | Fuji Dies Kk | 窒素添加サーメットなどの硬質材料の研削加工に適したレジンボンド砥石 |
-
1988
- 1988-03-11 JP JP5749688A patent/JPH0665466B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01234165A (ja) | 1989-09-19 |
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