JPH0667428U - 基板位置決装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】簡単な機構で容易に基板を所定の位置に正確に
位置決めできる基板位置決装置を提供する。 【構成】Ｙプッシャ２′ａは、Ｔ字型の上部が可動型基
板案内レール１ａ′内に延在しＴ字型の下部が可動レー
ル１ａ′の外方へ直角に突き出して配設される。Ｔ字型
上部にはローラ２′ｃをそれぞれ回転自在に支持する複
数のローラ支持ピン２′ｄが下向きに固設される。空圧
シリンダ３′ａは、可動レール１ａ′外側に固定され、
ピストン３′ｂを駆動し、駆動係合部材２′ｂを介して
Ｙプッシャ２′ａをガイドレール３′ｃに沿って進退さ
せる。ストッパ２ａは矢印Ａの方向に搬入される基板Ｐ
を一時停止させ、Ｙプッシャ２′ａは、複数のローラ
２′ｃにより基板Ｐの側面を矢印Ｈ方向に滑動自在に押
接し、基板Ｐは固定レール１ａが形成する幅方向基準面
に一様に押接される。基準ストッパ２ｇは一時停止した
基板Ｐの後方に上昇して搬送方向の停止基準面を形成
し、ストッパ２ａは矢印Ｇの方向に移動して基板Ｐを押
し戻し基板Ｐの後面を基準ストッパ２ｇの停止基準面に
押接させる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の技術分野】

この考案は、基板位置決装置に関し、さらに詳しくはチップ状電子部品をプリ ント基板に搭載する電子部品搭載装置において搬入されるプリント基板の幅方向 の停止位置を決める基板位置決装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来より、プリント基板（以下、単に基板という）供給装置、ディスペンサ、 部品搭載装置、リフロー炉等からなる基板ユニット製造ラインがある。上記のデ ィスペンサは前段の基板供給装置から供給される基板を搬入し、その基板上の所 定位置に半田を塗布して後段の部品搭載装置に送出する。部品搭載装置はディス ペンサから送出されてくる基板上にＩＣ、抵抗、コンデンサ等多数のチップ状電 子部品（以下、単に部品という）を自動的に搭載して後段装置のリフロー炉に送 出する。

【０００３】 上記の各装置はいずれも基板を搬送するためのコンベアベルトを有している。 コンベアベルトは基板搬送路の両側に対向して設けられている固定レールと可動 レールの下部にそれぞれ摺動自在に配設されている。可動レールは固定レールと の間に基板の幅に対応する間隔を保つように自動的に幅寄せされる。基板は両側 端を固定レールと可動レールに案内され且つコンベアベルトによって下方から支 持されて搬送される。装置内に搬入された基板は停止装置により所定位置に停止 する。自動搬入された基板上に部品搭載装置は平面縦横と上下３次元にわたり自 在に移動可能に配設された部品搭載ヘッドにより自動的に部品を搭載する。

【０００４】 ところで、一般に部品のサイズは０．５ｍｍ×１ｍｍと極めて小さいか、また は、サイズが２ｃｍ角というように大きい場合でも部品に配設されている多数の リード線の間隔は数百ミクロンというように極めて狭く、部品の設計寸法は年々 微細化されている。これに伴って、部品を基板に搭載する際には、部品搭載ヘッ ドによる部品把持位置の補正の精度と共に、基板停止装置による基板の位置決め にも厳しい精度が要求される。

【０００５】 従来、基板の位置決めを行う装置としては、基板の４隅に孔を設け、その基板 の固定レール側の２隅の孔に支持ピン先端を下方から挿入すると共に、移動レー ル側に多数の偏心ローラを設け、その偏心ローラが移動レール側の基板側面に当 接するようにし、それら偏心ローラを固定した支持体が移動レールと共にバネに よる付勢力により偏心ローラを介して基板側面を押圧し、これによって基板の搬 入方向及び幅方向の位置決めを行うものが提案されている（特開昭６４−６７９ ９９）。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記位置決装置は、偏心ローラの偏心機構及び偏心ローラ支持 体のスライド機構等の機構が複雑で設計が面倒であるばかりでなく装置価格の上 昇を招く恐れがある。

【０００７】 また、そればかりでなく、基板の種類毎に予め多数配設されている偏心ローラ の偏心軸の角度の調節・設定を行うという段取りが必要であり、さらに、基板の 種類に応じて押圧力を調整するために、これも多数配設されているバネ部材の交 換を行うという段取りも必要である。このため、基板の種類が変わる毎に、上記 偏心ローラの偏心軸の角度調節やバネ部材の交換を行うための作業に手数を要し て作業能率の低下を招くことが充分考えられて問題が残る。

【０００８】 また、偏心ローラの偏心軸の角度の調節では設定角度の選択は経験に基づいて 決定されるものと思われ、同様にバネ部材の交換では交換するバネ部材の選択も 経験に基づいて決定されるものと思われるから、熟練が要求される作業であり極 めて面倒である。

【０００９】 本考案の課題は、上記従来の実情に鑑み、簡単な機構で容易に基板を所定の位 置に正確に位置決めできる基板位置決装置を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

請求項１記載の考案は、基板を搬入して停止させ、停止した基板を２種類の押 し部材により基板の搬送方向の基準面及び基板の幅方向の基準面にそれぞれ押接 して基板の位置決めを行う基板位置決装置を前提とし、上記押し部材は、基板の 一方の側面を押接することにより基板の他方の側面を基準面に当接させる複数の 固定軸ローラを備えて構成される。

【００１１】 請求項２記載の考案は、搬入される基板に対応して基板の搬送レール位置及び 基板の搬送方向と同一方向のストッパ位置をそれぞれ自動的に調整し、搬入され 停止した基板を２種類の押し部材により基板の搬送方向の基準面及び基板の幅方 向の基準面にそれぞれ押接して基板の位置決めを行う基板位置決装置を前提とし 、上記押し部材は、基板の一方の側面に押接することにより基板の他方の側面を 基準面に当接させる複数の固定軸ローラを備えて構成される。

【００１２】

【作用】

本考案の手段の作用は次の通りである。 搬入されて停止し搬入方向用の押し部材により搬送方向の基準面に押接されて 搬送方向の位置決めの行われる基板に対して、基板幅方向の押し部材は、複数の 固定軸ローラにより基板の一方の側面を押接することにより基板の他方の側面を 基板の幅方向の基準面に押圧して基板の位置決めを行う。

【００１３】 これにより、簡単な機構で容易に基板を所定の位置に正確に位置決めできる基 板位置決装置を提供することができる。

【００１４】

【実施例】

以下、本考案の実施例について図面を参照しながら説明する。 図１(a) に、一実施例に係わる本体装置基台上における基板位置決装置の一部 欠切平面図を示し、同図(b) に、その一部欠切側面図を示す。

【００１５】 同図(a),(b) において、基板位置決装置は、基板搬送部１、１′、基板停止部 ２、２′及びストッパ駆動部３、３′から構成される。 先ず、基板位置決装置の基板搬送部１は、本体装置基台上の中央において、左 右方向に平行して延在する２本の基板案内レール１ａ（固定型）及び１ａ′（可 動型）、それらの基板案内レール１ａ及び１ａ′に設けられた不図示の複数の回 転ローラにより、それぞれループ状に保持される１対のコンベアベルト１ｂ及び １ｂ′、それら１対となるコンベアベルト１ｂ及び１ｂ′をそれぞれ駆動するベ ルト駆動モータ１ｃ及び１ｃ′等からなる。

【００１６】 上記１対のコンベアベルト１ｂ及び１ｂ′は、ベルト駆動モータ１ｃ及び１ｃ ′に駆動され、同図(a) の矢印Ａで示す右から左の方向に摺動して基板を搬送す る。２本の基板案内レール１ａ及び１ａ′は搬送される基板を案内する。

【００１７】 上記基板案内レール１ａには、搬入されて停止した基板を検出する基板センサ １ｄ及び搬出される処理済み基板を検出する基板センサ１ｅが設けられる。 次に、基板搬送部１′は、レール幅自動設定ユニットである。このユニットは 、レール幅可変駆動モータ１′ａ、その回転軸に歯付ベルトプーリ及び歯付ベル ト１′ｄを介して連結される送りネジ１′ｅ、その送りネジ１′ｅに歯付ベルト プーリ１′ｆ及び歯付ベルト１′ｇを介して連結される従動送りネジ１′ｈ、そ れら送りネジ１′ｅ及び従動送りネジ１′ｈにそれぞれ螺合し可動型基板案内レ ール１ａ′に嵌合する送りネジナット１′ｉ、１′ｉ等を備えている。上記送り ネジ１′ｅは軸承１′ｊ、１′ｊにより本体装置基台上に回転自在に位置固定さ れ、従動送りネジ１′ｈは軸承１′ｋ、１′ｋにより同様に本体装置基台上に回 転自在に位置固定されている。上記レール幅可変駆動モータ１′ａは正逆両方向 に回転自在であり、これに従って送りネジ１′ｅ及び従動送りネジ１′ｈも互い に連動して正逆両方向に回転し、これによって、可動型基板案内レール１ａ′は その基板案内レール１ａ′と直角方向に延在して配設されガイドレール１ａ′− １、１ａ′−２上を進退・移動する。

【００１８】 上記レール幅可変駆動モータ１′ａの回転軸の先端には円板状エンコーダ１′ ｂが固定されている。エンコーダ１′ｂは周囲に多数のスリットを備えている。 このエンコーダ１′ｂの周囲のスリット部を両側から挟む位置にエンコーダセン サ１′ｃが基台上に固設される。レール幅可変駆動モータ１′ａが回転すると、 エンコーダセンサ１′ｃがエンコーダ１′ｂのスリットを検出してパルス信号を 出力する。エンコーダセンサ１′ｃの出力１パルスに対応するレール幅可変駆動 モータ１′ａの回転により、上記可動型基板案内レール１ａ′は５ミクロン微動 する。すなわち、後述する中央制御部は、このエンコーダセンサ１′ｃのパルス 信号を計数することにより可動型基板案内レール１ａ′の進退移動を５ミクロン 単位で認識し且つ制御することが可能である。

【００１９】 上記可動型基板案内レール１ａ′のガイドレール１ａ′−１と係合する部分に は、装置の外側に向けてレール原点突起１′ｍが配設され、ガイドレール１ａ′ −１の固定型基板案内レール１ａ′から遠い方の端部近傍基台上に原点センサ１ ′ｎが固設される。原点センサ１′ｎは発光ダイオードからなる射光部とフォト トランジスタからなる受光部とで構成される「コ」の字型の検出部を有しており 、この「コ」の字型の検出部間隙に進入するレール原点突起１′ｍを検知して原 点検出信号を出力する。

【００２０】 なお、図１(a) に示した基板センサ１ｄ及び１ｅの構成も、上記原点センサ原 点センサ１′ｎの構成とほぼ同様である。 次に、基板位置決装置の基板停止部２は、搬入されてくる基板を停止させる前 方ストッパ２ａ、その前方ストッパ２ａを回動自在に支持するストッパ支持体２ ｂ、そのストッパ支持体２ｂを摺動自在に支持し且つ上記基板案内レール１ａに 摺動自在に係合する送りネジナット基台２ｃ、前方ストッパ２ａにより一時停止 した基板の後部に近接して下方から上昇し前方ストッパ２ａにより押し戻される 基板に当接してその基板を基準位置に停止させる基準ストッパ２ｇ等を備えてい る。さらに、上記ストッパ支持体２ｂの基板搬入方向前方にはストッパ原点突起 体２ｅが取り付けられ、基板案内レール１ａの外側に上記ストッパ原点突起体２ ｅを検出する原点センサ２ｆが取り付けられる。いずれも、上述したレール原点 突起１′ｍ及び原点センサ１′ｎと同様の構成である。

【００２１】 そして、基板位置決装置のストッパ駆動部３は、上記送りネジナット基台２ｃ 及びストッパ支持体２ｂを介して前方ストッパ２ａを基板搬送方向に進退・移動 させるためのストッパ駆動モータ３ａ、そのストッパ駆動モータ３ａの駆動を上 記送りネジナット基台２ｃに伝達する送りネジ３ｂ等を備えている。

【００２２】 図２(a) に、上記基板停止部２及びストッパ駆動部３の側面拡大図を示す。 同図において、ストッパ駆動部３のストッパ駆動モータ３ａは、その回転軸の 先端部に固定された歯付ベルトプーリ３ａ−１を備えている。また、送りネジ３ ｂも、ストッパ駆動モータ３ａ寄りの端部に歯付ベルトプーリ３ｂ−１を備えて いる。上記歯付ベルトプーリ３ａ−１、３ｂ−１は、それらと噛合係合する歯付 ベルト３ｃにより連結されている。ストッパ駆動モータ３ａは、歯付ベルトプー リ３ａ−１、歯付ベルト３ｃ、及び歯付ベルトプーリ３ｂ−１を介して送りネジ ３ｂを駆動する。

【００２３】 また、上記ストッパ駆動モータ３ａの回転軸先端部には円板型のエンコーダ３ ａ−２が固定され、このエンコーダ３ａ−２を挟む位置にエンコーダセンサ３ａ −３が配設されている（図１(a) 参照）。このエンコーダセンサ３ａ−３も、エ ンコーダ３ａ−２のスリットを検出してパルス信号を出力する。

【００２４】 同図に示す基板停止部２の送りネジナット基台２ｃは、上部が、基板案内レー ル１ａの外側に設けられている送りレール１ａ−１により基板案内レール１ａと 摺動自在に係合し、下部が、その下部に設けられている送りネジナット２ｃ−２ によりストッパ駆動部３の送りネジ３ｂと螺合する。したがって、ストッパ駆動 部３のストッパ駆動モータ３ａが正逆回転することにより、送りネジナット基台 ２ｃは基板搬送方向に進退・移動する。

【００２５】 上記送りネジナット基台２ｃは、その中間部裏面に設けられている支持レール ２ｃ−１によりストッパ支持体２ｂを摺動自在に支持している。さらに、これら ストッパ支持体２ｂと送りネジナット基台２ｃは、螺旋ばね２ｂｃより相互に連 結されて基板案内レール１ａに平行する方向に互いに引き合うよう付勢される。 その付勢力により、ストッパ支持体２ｂと送りネジナット基台２ｃ間には、摺動 間隙２ｂｃ−１が存在し、ストッパ支持体２ｂ及び送りネジナット基台２ｃは、 遊動時には、上記間隙２ｂｃ−１を有したまま一体となって移動する。したがっ て、ストッパ駆動部３のストッパ駆動モータ３ａが正逆回転することにより、送 りネジナット基台２ｃと共にストッパ支持体２ｂが基板搬送方向に進退・移動す る。

【００２６】 上記ストッパ支持体２ｂは、前方ストッパ２ａを上下に回動させるための上下 動シリンダ２ｂ−１を備えている。この上下動シリンダ２ｂ−１は、送りネジナ ット基台２ｃの裏側に位置するストッパ支持体２ｂに対して、送りネジナット基 台２ｃを挟むようにその外側に位置して配設される。この上下動シリンダ２ｂ− １については、さらに後述する。

【００２７】 また、上記ストッパ支持体２ｂに取り付けられているストッパ原点突起体２ｅ は、ストッパ支持体２ｂが基板停止動作を開始するに際して同図の矢印Ｂで示す 右から左の方向へ移動したとき、原点センサ２ｆの検出部間隙に進入する。

【００２８】 同図(b) は、上記ストッパ駆動モータ３ａの回転軸先端部に固設されているエ ンコーダ３ａ−２及びエンコーダセンサ３ａ−３の斜視図である。同図に示すよ うに、エンコーダ３ａ−２は、円板形をしており、ストッパ駆動モータ３ａの回 転軸に固定されており、周囲には多数の丸孔形のスリット３ａ−２′を備えてい る。エンコーダセンサ３ａ−３は「コ」の字型のスリット検出部を備えており、 その「コ」の字型のスリット検出部でエンコーダ３ａ−２の周囲を両側から挟む ようにして配設される。ストッパ駆動モータ３ａの回転によりエンコーダ３ａ− ２が回転し、その周囲の丸孔スリット３ａ−２′がスリット検出部の「コ」の字 型の間隙を順次通過する。エンコーダセンサ３ａ−３の「コ」の字型の検出部は 、「コ」の字型の間隙を隔てて対向する射光部と受光部を備え、この間隙を順次 通過するエンコーダ３ａ−２のスリット３ａ−２′を検出し、この検出により受 光部の出力がオン／オフし、そのオン／オフするパルス信号を、不図示の配線を 介して後述する中央制御部に出力する。

【００２９】 次に、図３(a) に上記図２に示した基板停止部２のストッパ支持体２ｂと送り ネジナット基台２ｃとの係合状態を示す平面拡大図を示し、同図(b) にその側面 拡大図を示す。尚、同図(a) ではストッパ支持体２ｂの上下動シリンダ２ｂ−１ の図示を省略し、同図(b) では送りネジナット基台２ｃの送りネジナット２ｃ− ２の図示を省略している。

【００３０】 また、図３(a) のＡ−Ａ′矢視図を図４(a) に、図３(b) のＢ−Ｂ′矢視図を 図４(b) に、及び図３(b) のＣ−Ｃ′矢視図を図４(c) にそれぞれ示す。 図３(a) に示す前方ストッパ２ａの状態は、基板を停止させるため、図４(a) の矢印Ｆに示すように、基板案内レール１ａの上面に平行する位置から直角にな る位置まで下方に９０度回動して基板搬送路内に張り出している状態である。

【００３１】 この状態から、図３(b) に示す上下動シリンダ２ｂ−１の胴２ｂ−１−１にピ ストン２ｂ−１−２が引き込まれると、ピストン２ｂ−１−２の先端と一点で係 合する扇状体２ｂ−２がその支点２ｂ−２−１を中心にして上方から右方にかけ て９０度回動する。この回動により、その扇状体２ｂ−２の他の点に一端が係合 する棒状体２ｂ−３が同図矢印Ｃで示す左下方に移動する。この移動により、そ の棒状体２ｂ−３の他端に係合する他の棒状体２ｂ−４が、その支点２ｂ−４− １を中心に基板案内レール１ａの上面に平行する位置から直角になる位置まで、 同図の矢印Ｄに示すように９０度の回動を行う。この回動により支点２ｂ−４− １が９０度回動し、その支点２ｂ−４−１の同図(b) には見えない反対側の先端 （基板案内レール１ａの内側に突き出る先端、つまり図４(a) に示す支点２ｂ− ４−１）に固定されている前方ストッパ２ａを、図４(a)、(b) に示す基板搬送路 内に張り出している位置から、基板案内レール１ａの上面に平行する位置まで回 動させ、基板の搬送路を開通させる。このように、前方ストッパ２ａは、ストッ パ支持体２ｂの上下動シリンダ２ｂ−１によって上下に回動する。

【００３２】 上記のストッパ支持体２ｂは、基板案内レール１ａからは独立しており、送り ネジナット基台２ｃとのみ係合する。図４(b)、(c) は、この状態を示している。 同図(c) には、図３(b) で図示を省略した送りネジナット基台２ｃの送りネジナ ット２ｃ−２を２点鎖線で示している。また、同図(b)、(c) には、基板を搬送す るコンベアベルト１ｂ、基板の上下位置の基準となる天板１ｆ、レール支持部材 １ｇも示している。

【００３３】 同図(c) に示すように、ストッパ支持体２ｂは、基板案内レール１ａ（及びレ ール支持部材１ｇ）と送りネジナット基台２ｃの中間に配置され、送りネジナッ ト基台２ｃの支持レール２ｃ−１に摺動自在に嵌合する。ストッパ支持体２ｂの 上述した上下動シリンダ２ｂは、送りネジナット基台２ｃの外側に配置され、送 りネジナット基台２ｃを外から挟む形でストッパ支持体２ｂに取り付けられる。

【００３４】 この状態で、ストッパ支持体２ｂ及び送りネジナット基台２ｃは、螺旋ばね２ ｂｃにより互いに引き合うよう付勢され、摺動間隙２ｂｃ−１を有して、一体に 係合する。

【００３５】 送りネジナット基台２ｃが、図２に示す送りネジ３ｂの回転により、図３の矢 印Ｅに示す左から右方向へ、すなわち図１に示す基準ストッパ２ｇ方向へ移動し てストッパ支持体２ｂの支持する前方ストッパ２ａが基板に当接し、さらに基板 を押圧するように送りネジナット基台２ｃが移動したとき、前方ストッパ２ａ、 つまり、ストッパ支持体２ｂは停止し、送りネジナット基台２ｃのみがやや移動 を続け、ストッパ支持体２ｂとの間隙２ｂｃ−１を狭めて停止する。送りネジナ ット基台２ｃが移動を続けて間隙２ｂｃ−１を狭めた分、螺旋ばね２ｂｃによる 付勢力は、基板に対して、ストッパ支持体２ｂ及び前方ストッパ２ａを介して同 図の矢印Ｅ方向に加えられ、これによって図１に示す基準ストッパ２ｇ及び前方 ストッパ２ａ間に基板が固定される。

【００３６】 これによって、基板の長さにばらつきがあった場合でも、この間隙２ｂｃ−１ の距離以内であれば、そのばらつきに対して発生する送りネジナット基台２ｃの 移動誤差、すなわち基板押し戻しの距離の誤差は吸収できる。したがって、基板 の長さのばらつきに対応する移動の微調整を行う必要はない。

【００３７】 次に図１(a) の基板停止部２′及びストッパ駆動部３′について説明する。 図５は、図１(a) の主要部の拡大図であり、図６は、そのＤ−Ｄ′矢視図であ る。両図において、基板停止部２′はＴ字型のＹプッシャ２′ａ、駆動係合部２ ′ｂ、複数のローラ２′ｃ、ローラ支持ピン２′ｄ、スライド係合部２′ｅから なる。Ｙプッシャ２′ａはそのＴ字型の上部が可動型基板案内レール１ａ′内に 延在し、Ｔ字型の下部が可動型基板案内レール１ａ′の外方へ直角に突き出して 配設される。可動型基板案内レール１ａ′内に延在するＴ字型上部には、複数の ローラ支持ピン２′ｄが下向きに固設され、それらのローラ支持ピン２′ｄにロ ーラ２′ｃがそれぞれ回転自在に支持されている。ローラ２′ｃは搬入される基 板Ｐの側面に当接して基板の幅方向の位置決めをするストッパの機能を有してい る。

【００３８】 ストッパ駆動部３′は可動型基板案内レール１ａ′外側に固定されている駆動 部支持体３′ｄに固設された空圧シリンダ３′ａ、その空圧シリンダ３′ａによ り駆動されるシリンダピストン３′ｂ、このシリンダピストン３′ｂにより駆動 される基板停止部２′の駆動方向を案内するガイドレール３′ｃ、上記空圧シリ ンダ３′ａの空圧を中継する不図示の空圧チューブ等を備えている。シリンダピ ストン３′ｂは、空圧チューブを介してなされる中央制御部からの空圧制御によ り、可動型基板案内レール１ａ′の直角方向に進退する。

【００３９】 上記基板停止部２′の駆動係合部２′ｂはストッパ駆動部３′のシリンダピス トン３′ｂの先端と固着して係合し、基板停止部２′のスライド係合部２′ｅは ストッパ駆動部３′のガイドレール３′ｃと摺動自在に係合する。

【００４０】 図５に示すように、前方ストッパ２ａは矢印Ａで示す右から左の方向に搬入さ れてくる基板Ｐを一時停止させる。次に、基準ストッパ２ｇが一時停止した基板 Ｐの後方に下から上昇して基板搬送方向の停止位置基準面を形成する。続いて、 ストッパ駆動部３′が基板停止部２′を駆動し、基板停止部２′の複数のローラ ２′ｃが基板Ｐの可動型基板案内レール１ａ′に対向する側面を滑動自在に押接 し、基板Ｐの反対側の側面を固定型基板案内レール１ａが形成する基板幅方向の 基準面に押接させる。そして、前方ストッパ２ａが矢印Ｇで示す基板搬送方向後 方に移動して基板Ｐの前面を押圧し基板Ｐの後面を基準ストッパ２ｇの停止位置 基準面に押接させる。基板Ｐの一方の側面が滑動自在であるため基板搬送方向の 位置決めが容易であり、且つその側面が複数のローラ２′ｃにより一様に押圧さ れるため基板幅方向の基準面に歪むことなく一様に押接されて適正な基板幅方向 の位置決めが容易に達成される。

【００４１】 続いて、図７は、上記基板位置決装置を制御する制御部の構成ブロック図であ る。同図において、ＣＰＵ１０は、マイクロプロセッサ等からなる。このＣＰＵ １０には、ＲＡＭ(Random Access Memory)等からなるメモリ部１１、各種のデー タを入力するための入力キーを備えたキー入力部１２、及び各種の入出力装置の 入出力を仲介するインタフェース１３が接続されている。

【００４２】 上記インタフェース１３には、図１(a) に示した基板検出センサ１ｄから、前 方ストッパ２ａに当接して停止した搬入基板の検出信号が入力し、他の基板セン サ１ｅから、搬出される処理済み基板の検出信号が入力し、そしてエンコーダセ ンサ３ａ−３及び１′ｃからエンコーダ３ａ−２及び１′ｂのスリット検出信号 であるパルス信号がそれぞれ入力する。さらに、図１(b) 及び図２(a) に示した 原点センサ２ｆ及び図１(a) に示した原点センサ１′ｎから、ストッパ原点突起 体２ｆの検出信号（前方ストッパ２ａの原点位置決め信号）及びレール原点突起 体１′ｍの検出信号（可動型基板案内レール１ａ′の原点位置決め信号）がそれ ぞれ入力する。

【００４３】 一方、インタフェース１３は、ＣＰＵ１０から入力される点灯又は点滅指示信 号を不図示の異常表示ランプ４へ出力し、同じくＣＰＵ１０から入力される駆動 制御信号をストッパ駆動モータ３ａ、レール幅可変駆動モータ１′ａ、ベルト駆 動モータ１ｃ（１ｃ′）等へ出力し、また、空圧制御信号を複数のローラ２′ｃ を備えた基板停止部２′を進退駆動するストッパ駆動部３′、基準ストッパ２ｇ を上下駆動する不図示のシリンダ駆動部等の各空圧調整部へ出力する。

【００４４】 上記ＣＰＵ１０は、内蔵のＲＯＭ(Read Only Memory)に格納されているプログ ラムに基づいて上記各部を制御する。 続いて、上述した構成の本実施例における基板位置決装置を制御する制御部の ＣＰＵ１０により行われる基板処理の動作を図８乃至図１２に示すフローチャー トを用いて順次説明する。なお、これらの処理は、ＣＰＵ１０が、図７に示すメ モリ部１１にに格納されているこれから作業を行う基板の種類に対応するプログ ラムに基づいて、図１乃至図６で説明した本体装置の各部を駆動制御することに より実現される。また、この処理は、図７に示すキー入力部１２による基板処理 の開始を指示するキー入力又はプログラムにより起動される。

【００４５】 先ず、図８は、基板の処理に先立って、処理される基板の幅に応じて２本の基 板案内レール１ａ、１ａ′の間隔を予め調節・設定する処理のフローチャートで ある。

【００４６】 同図に示すフローチャートにおいて、先ず、可動型基板案内レール１ａ′の原 点チェック処理であるか否か判別する（ステップＳ１１）。この処理は、例えば 、ＣＰＵ１０内蔵のレジスタＦを用い、起動時において初期設定されたレジスタ Ｆの値「０」（フラグＦ＝０）をもって原点チェックの処理モードとし、原点チ ェック処理完了後、レジスタＦの値を「１」（フラグＦ＝１）に設定することに より案内レール位置設定の処理モードとして、このレジスタＦの値が（フラグＦ が）「０」か「１」かを判別する処理である。

【００４７】 続いて、インタフェース１３を介してレール幅可変駆動モータ１′ａに駆動信 号を出力し、可動型基板案内レール１ａ′を固定型基板案内レール１ａから離間 する方向へ移動させる（ステップＳ１２）。これにより、可動型基板案内レール １ａ′と共にレール原点突起体１′ｍが原点センサ１′ｎへと移動する。

【００４８】 次に、所定期間、原点センサ１′ｎの出力を監視し、原点センサ１′ｎがオン になったか否か判別する（ステップＳ１３）。これにより、原点センサ１′ｎが オンになる位置（レール原点突起体１′ｍが原点センサ１′ｎの「コ」の字型の 検出部間隙に進入して原点センサ１′ｎの受光部に対する射光部からの照射光を 遮断する位置）まで、可動型基板案内レール１ａ′が移動する。

【００４９】 この判別で、原点センサ１′ｎがオンになったことを検出した場合は、レール 幅可変駆動モータ１′ａへ出力している駆動信号を「停止」に切り替え、続いて 、レジスタＦの値（フラグＦ）を「１」に設定してステップＳ１１に戻る。これ により、可動型基板案内レール１ａ′が原点に停止し、案内レール位置設定のた めに算出される原点から設定位置までの移動距離を正しく移動する準備が整う。

【００５０】 そして、ステップＳ１１では、フラグＦ＝１であることを確認し、この場合は ステップＳ１４に移行する。 そして、キー入力部１２からのキー入力（又はプログラム）に基づいて予め読 み込である基板処理のプログラムデータから基板サイズデータを読み出し、その 読み出した基板サイズデータから得られる基板の幅サイズに更にサイズ「α」を 加算した幅データ「Ｗ」を算出し、さらに、固定型基板案内レール１ａの基準面 から上記幅データ「Ｗ」の距離にある位置に可動型基板案内レール１ａ′が停止 するよう、上記原点からその停止位置まで可動型基板案内レール１ａ′を移動さ せるためのレール幅可変駆動モータ１′ａの必要回転数（エンコーダセンサ１′ ｃによるエンコーダ１′ｂのスリット検出パルス信号数）を算出して、その算出 したパルス数を内蔵のレジスタに設定する（ステップＳ１４）。なお、上記加算 されるサイズ「α」は基板が１ａ及び１ａ′間を円滑に搬送するためのすき間（ 0.3 〜 0.5mm）寸法である。

【００５１】 これにより、可動型基板案内レール１ａ′が原点から設定位置まで移動する距 離に正しく対応するエンコーダパルス数が設定される。なお、上記内蔵のレジス タに代えて、減算カウンタにエンコーダパルス数を設定してもよい。

【００５２】 続いて、可動型基板案内レール１ａ′が設定位置へ移動するよう、レール幅可 変駆動モータ１′ａを始動させる（ステップＳ１５）。これにより、可動型基板 案内レール１ａ′が原点から基板Ｐの処理を行うめの設定位置へと移動を開始す る。

【００５３】 次に、エンコーダセンサ１′ｍから入力するパルスを計数し、上記内蔵のレジ スタに設定したパルス数に一致したか否か判別し、一致しなければ、上記計数と 判別とを繰り返えす（ステップＳ１６）。なお、内蔵のレジスタに代えて、減算 カウンタに算出されたパルス数を設定した場合はその減算カウンタのキャリー信 号を検出するようにする。これにより、が所定の設定位置まで移動を続ける。 そして、上記ステップＳ１６で、可動型基板案内レール１ａ′が、所定の設定位 置に到達し、上記計数したパルス数が、内蔵のレジスタに設定したパルス数に一 致した場合は、停止信号を出力してレール幅可変駆動モータ１′ａを停止させる （ステップＳ１７）。これにより、前方ストッパ２ａが所定の一時停止位置に停 止する。

【００５４】 続いて、上記可動型基板案内レール１ａ′がオーバーランしているか否か判別 する（ステップＳ１８）。この処理は、上記レール幅可変駆動モータ１′ａに対 して停止を指示した後において、さらにパルス数を参照し、停止指示後における 新たなパルスが許容数以上入力しているか否かを判別する処理である。 この判 別で、新たなパルスが許容数以下であれば、オーバーランをしていないと判別し 、この場合はステップＳ１９に進む。

【００５５】 ステップＳ１９では、不図示の表示装置等により可動型基板案内レール１ａ′ の位置設定完了を報知する処理を行って、上述した可動型基板案内レール１ａ′ を基板処理位置に設定する処理を終了する。

【００５６】 上記ステップＳ１８で、可動型基板案内レール１ａ′がオーバーランしている 場合は、ステップＳ２０に移行し、図７に示す異常表示ランプ４を点灯又は点滅 させる等して異常を報知する処理を行って直ちに処理を終了する。このように、 可動型基板案内レール１ａ′のオーバーランを監視して、オーバーランのときに は異状報知するので、可動型基板案内レール１ａ′の誤った位置設定のまま次の 作業に進んで基板の位置決めが不正確になるというような支障を引き起こす恐れ がない。

【００５７】 また、上述したステップＳ１３の判別で、所定期間の経過後も、原点センサ１ ′ｎの出力がオンにならない場合もステップＳ２０に移行する。 続いて、前方ストッパの位置設定の処理を、図９に示すフローチャートを用い て説明する。同図に示す前方ストッパ位置設定処理において、先ず、前方ストッ パ２ａの原点チェック処理であるか否か判別する（ステップＳ２１）。この処理 も、例えば、ＣＰＵ１０内蔵のレジスタＧを用い、起動時において初期設定され たレジスタＧの値「０」（フラグＧ＝０）をもって原点チェックの処理モードと し、原点チェック処理完了後、レジスタＧの値を「１」（フラグＧ＝１）に設定 することにより基板搬入を待機する位置設定の処理モードとして、このレジスタ Ｇの値が（フラグＧが）「０」か「１」かを判別する処理である。

【００５８】 続いて、インタフェース１３を介してストッパ駆動モータ３ａに駆動信号を出 力し、ストッパ支持体２ｂ（つまり前方ストッパ２ａ）を、基板搬出方向前方へ 移動させる（ステップＳ２２）。これにより、前方ストッパ２ａは、基準ストッ パ２ｇから離間する方向へ移動する。

【００５９】 次に、所定期間、原点センサ２ｆの出力を監視し、原点センサ２ｆがオンにな ったか否か判別する（ステップＳ２３）。これにより、原点センサ２ｆがオンに なる位置（原点突起体２ｅが原点センサ２ｆの「コ」の字型の検出部間隙に進入 して原点センサ２ｆの受光部に対する射光部からの照射光を遮断する位置）まで 、ストッパ支持体２ｂ（つまり前方ストッパ２ａ）が前方移動する。

【００６０】 この判別で、原点センサ２ｆがオンになったことを検出した場合は、ストッパ 駆動モータ３ａへ出力している駆動信号を「停止」に切り替え、続いて、レジス タＧの値（フラグＧ）を「１」に設定してステップＳ２１に戻る。これにより、 前方ストッパ２ａが原点に停止し、原点からストッパ設定位置まで移動のために 算出される移動距離を正しく移動する準備が整う。

【００６１】 そして、ステップＳ２１では、フラグＧ＝１であることを確認し、この場合は ステップＳ２４に移行する。 ステップＳ２４では、キー入力部１２からのキー入力（又はプログラム）に基 づいて予め読み込である基板処理のプログラムデータから基板サイズデータを読 み出し、その読み出した基板サイズデータから得られる基板の長さに更に長さ「 β」を加算した長さデータ「Ｌ」を算出し、基準ストッパ２ｇの位置から上記長 さデータ「Ｌ」の距離にある位置に前方ストッパ２ａが停止するよう、上記原点 からその停止位置（ストッパ設定位置）まで前方ストッパ２ａを移動させるため のストッパ駆動モータ３ａの必要回転数（エンコーダスリットセンサ３ａ−３に よるエンコーダ３ａ−２のスリット検出のパルス信号数）を算出し、その算出し たエンコーダパルス数を内蔵のレジスタに設定する。なお、上記加算される長さ 「β」は、停止した基板Ｐが停止の反動で後退しても、後方に上昇してくる基準 ストッパ２ｇの上昇を妨げることのない程度の距離である。

【００６２】 これにより、前方ストッパ２ａが原点から停止位置（ストッパ設定位置）まで 移動する距離に正しく対応するエンコーダパルス数が設定される。なお、この場 合も上記内蔵のレジスタに代えて、減算カウンタにエンコーダパルス数を設定し てもよい。

【００６３】 続いて、前方ストッパ２ａが基準ストッパ２ｇ方向へ移動するよう、ストッパ 駆動モータ３ａを始動させる（ステップＳ２５）。これにより、前方ストッパ２ ａが原点から停止位置へと移動を開始する。

【００６４】 次に、エンコーダセンサ３ａ−３から入力するパルスを計数し、上記内蔵のレ ジスタに設定した所定パルス数に一致したか否か判別し、一致しなければ、上記 計数と判別とを繰り返えす（ステップＳ２６）。なお、内蔵のレジスタに代えて 、減算カウンタにエンコーダパルス数を設定した場合はその減算カウンタのキャ リー信号を検出するようにする。これにより、前方ストッパ２ａが所定の停止位 置（ストッパ設定位置）まで移動を続ける。

【００６５】 そして、上記ステップＳ２６で、前方ストッパ２ａが、所定の停止位置に到達 し、上記計数したエンコーダパルス数が、内蔵のレジスタに設定したエンコーダ パルス数に一致した場合は、停止信号を出力してストッパ駆動モータ３ａを停止 させる（ステップＳ２７）。これにより、前方ストッパ２ａが所定の停止位置に 停止する。

【００６６】 続いて、上記ストッパ駆動モータ３ａがオーバーランしているか否か判別する （ステップＳ２８）。この処理は、上記ストッパ駆動モータ３ａに対して停止を 指示した後において、さらにパルス数を参照し、停止指示後における新たなパル スが許容数以上入力しているか否かを判別する処理である。

【００６７】 この判別で、新たなパルスが許容数以下であれば、オーバーランをしていない と判別し、この場合はステップＳ２９に進む。 ステップＳ２９では、不図示の表示装置等により自動ストッパ位置設定完了を 報知する処理を行って、上述した前方ストッパ２ａを基板を一時停止させる位置 （ストッパ設定位置）に設定する処理を終了する。

【００６８】 上記ステップＳ２８で、ストッパ駆動モータ３ａがオーバーランしている場合 は、ステップＳ３０に移行し、図７に示す異常表示ランプ４を点灯又は点滅させ る等して異常を報知する処理を行って直ちに処理を終了する。このように、スト ッパ駆動モータ３ａのオーバーランを監視して、オーバーランのときには異状報 知するので、前方ストッパ２ａの誤った位置設定のまま次の作業に進んで支障を 引き起こすという恐れがない。

【００６９】 また、上述したステップＳ２３の判別で、所定期間の経過後も、原点センサ２ ｆの出力がオンにならない場合をステップＳ３０に移行する。 続いて、上述したように可動型基板案内レール１ａ′の自動位置設定と前方ス トッパ２ａの自動位置設定を終了した後に行われる基板処理について、図１０に 示すフローチャート用いて説明する。

【００７０】 同図のフローチャートにおいて、不図示の基板センサにより搬入基板があるか 否か判別する（ステップＳ１）。 上記判別で、基板があった場合は前方ストッパ始動処理を行う（ステップＳ２ ）。この処理は、図４(a) のＡ−Ａ′矢視図に示した前方ストッパ２ａを回動し て搬送路内に進出させる処理である。

【００７１】 続いて、ローダ側（前段の基板供給装置側）から図１(a) の矢印Ａが示す基板 搬送方向へコンベアベルト１ｂ、１ｂ′を駆動するようベルト駆動モータ１ｃ、 １ｃ′に駆動信号を出力して基板を搬入する（ステップＳ３）。

【００７２】 そして、所定期間、図１(a) に示す基板センサ１ｄの出力を監視し、基板セン サ１ｄがオン（基板検出）になったか否か判別する（ステップＳ４）。これによ り、搬入された基板が前方ストッパ２ａに当接して停止しているか否かが判別さ れる。

【００７３】 上記判別で、基板センサ１ｄがオンになった場合は、基準ストッパ２ｇを上昇 させる（ステップＳ５）。これにより、基準ストッパ２ｇが基板搬送路内の基板 後方に位置し、基板搬送方向の停止基準面が形成される。

【００７４】 次に、位置決め処理を行う（ステップＳ６）。この処理は、詳しくは後述する が、一時停止させた基板を、停止基準位置に停止させて固定する処理である。 続いて、その他の処理を行う（ステップＳ７）。この処理は、本体装置により異 なるが、例えば、半田の塗布処理、電子部品の搭載処理等の処理である。

【００７５】 次に、図１(a) に示す基板センサ１ｅの出力を参照し、搬出路が開放されてい るか否か判別する（ステップＳ８）。この処理は、前回処理した基板が、排出さ れず搬送路内に滞っていないことを確認する処理である 上記判別で、基板センサ１ｅの出力がＯＫ（オフ）であれば、次に、後述する 基板排出処理を行う（ステップＳ９）。

【００７６】 そして、所定数量の基板の処理が全て終了しているか判別し（ステップＳ１０ ）、終了していた場合は処理を終了する。 上記判別で所定数量の基板の処理が全て終了していない場合は、上記ステップ Ｓ３に戻って、ステップＳ３〜Ｓ１０の処理を繰り返す。

【００７７】 また、上記ステップＳ８で、基板センサ１ｅの出力がＮＯ（オン）であれば、 ステップＳ１１に進んで、図７に示す異常表示ランプ４を点灯又は点滅させる等 して異常を報知する処理を行って直ちに処理を終了する。 また、上記ステップ Ｓ４で、基板センサ１ｄがオフの場合、 Ｓ１で不図示の基板センサがオフの場合も、直ちにステップＳ１１に移行する。

【００７８】 このようにして、所定枚数の基板の処理が行なわれる。 続いて、上記処理のステップＳ６の位置決め処理を、図１１に示すフローチャ ートを用いて説明する。

【００７９】 同図に示すフローチャートにおいて、先ず、Ｙプッシャをオンにする（ステッ プＳ６０）。この処理は、ストッパ駆動部３′を駆動して基板停止部２′のＹプ ッシャ２′ａの複数のローラ２′ｃを、可動型基板案内レール１ａ′の側面から 搬送路内に押し出す処理である。これによって、基板の幅方向の位置決めがなさ れる。

【００８０】 次に、キー入力部１２からのキー入力（又はプログラム）に基づいて予め読み 込である基板処理のプログラムデータから基板サイズデータを読み出し、その読 み出した基板サイズデータに基づいて、基板の長さから更に長さ「β′」を減算 した長さ「Ｌ′」を算出し、基準ストッパ２ｇの位置から上記「Ｌ′」の距離に ある位置（基板の長さより「β′」短い位置）まで、前方ストッパ２ａをストッ パ設定位置から移動させるためのストッパ駆動モータ３ａの必要回転数（エンコ ーダセンサ３ａ−３によるパルス信号数）を算出して、その算出したパルス数を 内蔵のレジスタに設定する（ステップＳ６１）。上記処理で減算に用いられる係 数β′として、図２(a) 及び図３(b) に示した摺動間隙２ｂｃ−１より小さい数 値が予め設定される。

【００８１】 続いて、前方ストッパ２ａが基準ストッパ２ｇ方向へ移動するよう、ストッパ 駆動モータ３ａを始動させる（ステップＳ６２）。これにより、基板が、前方ス トッパ２ａにより一時停止位置から基準ストッパ２ｇ方向に押し戻される。

【００８２】 次に、エンコーダスリットセンサ３ａ−３から入力するエンコーダパルスを計 数し、上記内蔵のレジスタに設定した所定パルス数に一致したか否か判別し、一 致しなければ、上記計数と判別とを繰り返えす（ステップＳ６３）。これにより 、前方ストッパ２ａ、すなわちストッパ支持体２ｂを摺動自在に保持する送りネ ジナット基台２ｃが所定の一時停止位置まで移動を続ける。

【００８３】 そして、上記ステップＳ６３で、上記計数したエンコーダパルス数が、内蔵の レジスタに設定したエンコーダパルス数に一致した場合は、停止信号を出力して ストッパ駆動モータ３ａを停止させる（ステップＳ６４）。これにより、本来、 前方ストッパ２ａが基板の長さより短い位置まで移動すべき位置に、送りネジナ ット基台２ｃが到達して停止する。

【００８４】 これにより、上記送りネジナット基台２ｃと共に基準ストッパ２ｇ方向へ移動 した前方ストッパ２ａ（つまりストッパ支持体２ｂ）は基板に当接して停止し、 送りネジナット基台２ｃは更に所定の停止位置まで移動して、ストッパ支持体２ ｂとの間隙２ｂｃ−１を距離（長さ）β′だけ狭める。このように間隙２ｂｃ− １が狭まった分、すなわち長さβ′分の螺旋ばね２ｂｃによる付勢力が、ストッ パ支持体２ｂ及び前方ストッパ２ａを介して基板Ｐに加えられ、これによって基 板Ｐは基準ストッパ２ｇに押圧され、前方ストッパ２ａと基準ストッパ２ｇ間に 位置固定される。

【００８５】 続いて、上記ストッパ駆動モータ３ａがオーバーランしているか否か判別する （ステップＳ６５）。この処理は、上記ストッパ駆動モータ３ａに対して停止を 指示した後において、さらにパルス数を参照し、停止指示後における新たなパル スが許容数以上入力しているか否かを判別する処理である。

【００８６】 この判別で、新たなパルスが許容数以下であれば、オーバーランをしていない と判別し、この場合はステップＳ６６に進み、表示装置等により基板位置決め完 了を報知する処理を行って処理を終了する。

【００８７】 上記ステップＳ６５で、ストッパ駆動モータ３ａがオーバーランしている場合 は、ステップＳ６７に移行し、異常表示ランプ４を点灯又は点滅させる等して異 常を報知する処理を行って直ちに処理を終了する。

【００８８】 このように、基板の位置決め処理においても、ストッパ駆動モータ３ａのオー バーランを監視して、オーバーランのときには異状報知するので、前方ストッパ ２ａが必要以上に基板を押圧する状態となった場合でも直ちに適切な処置をとる ことができる。

【００８９】 続いて、図１０の処理のステップＳ９の基板排出処理を、図１２に示すフロー チャートを用いて説明する。 同図に示すフローチャートにおいて、先ず、Ｙプッシャをオフにする（ステッ プＳ９０）。この処理は、ストッパ駆動部３′を逆駆動して基板停止部２′のＹ プッシャ２′ａの複数のローラ２′ｃを、可動型基板案内レール１ａ′の側面内 に引き込む処理である。これによって、基板の幅方向の押圧が除去される。

【００９０】 次に、ストッパ駆動モータ３ａに駆動信号を出力し、ストッパ駆動モータ３ａ を、基板位置決め処理のステップＳ６１で内蔵のレジスタに設定したパルス数分 逆向きに回転させ、前方ストッパ２ａをストッパ設定位置へ引き戻すよう移動を 開始させる（ステップＳ９１）。

【００９１】 次に、エンコーダセンサ３ａ−３から入力するパルスを計数し、上記内蔵のレ ジスタに設定されている所定パルス数に一致したか否かを判別し、一致しなけれ ば、上記計数と判別とを繰り返えす（ステップＳ９２）。これにより、前方スト ッパ２ａ（すなわちストッパ支持体２ｂ）は、ストッパ設定位置まで基板搬送方 向前方へ移動する。

【００９２】 そして、上記ステップＳ９２で、上記計数したパルス数が、内蔵のレジスタに 設定したエンコーダパルス数に一致した場合は、停止信号を出力してストッパ駆 動モータ３ａを停止させて、前方ストッパ２ａを停止させる（ステップＳ９３） 。これにより、前方ストッパ２ａは搬入基板を一時停止させた位置（ストッパ設 定位置）まで後退して停止する。したがって、次回の基板位置決めでは、原点位 置決めを行うことなく直ちにストッパ設定位置から処理を行うことができる。

【００９３】 続いて、上記ストッパ駆動モータ３ａがオーバーランしているか否か判別する （ステップＳ９４）。この処理も、上記ストッパ駆動モータ３ａに対して停止を 指示した後において、さらにパルス数を参照し、停止指示後における新たなパル スが許容数以上入力しているか否かを判別する処理である。

【００９４】 この判別で、新たなパルスが許容数以下であれば、オーバーランをしていない と判別し、この場合は、前方ストッパ２ａは、上記移動により基板前面から離間 するに伴って、図３(a) 及び図４(a) に示したように下方に張り出した状態から 固定型基板案内レール１ａ上面に平行する位置まで９０度回転して基板搬送路内 から退去する（ステップＳ１００）。次に基準ストッパ２ｇを降下させる（ステ ップＳ９５）。これにより、基準ストッパ２ｇが、基板搬送路内から退去する。

【００９５】 続いて、ベルト駆動モータ１ｃ、１ｃ′に駆動信号を出力して、図１(a) の矢 印Ａが示す基板搬送方向へ同図に示すコンベアベルト１ｂ、１ｂ′を駆動する（ ステップＳ９６）。これにより、基板の搬出が開始される。

【００９６】 そして、所定期間、図１(a) に示す基板センサ１ｅの出力を監視し、基板セン サ１ｅがオン（基板検出）になったか否か判別する（ステップＳ９７）。これに より、搬出基板が所定の速さで搬送路を通過しているか否かが判別される。 上 記判別で、基板センサ１ｅがオンになった場合は、支障なく基板の搬出がなされ たものと判別し、この場合は、表示装置等により基板排出の完了を報知する等の 処理を行って（ステップＳ９８）、処理を終了する。

【００９７】 上記ステップＳ９７で、基板センサ１ｅがオンでない場合、又は上記ステップ Ｓ９４で、ストッパ駆動モータ３ａがオーバーランしている場合は、いずれの場 合も直ちに異常表示ランプ４を点灯又は点滅させる等して異常を報知する処理を 行って（ステップＳ９９）、処理を終了する。

【００９８】

【考案の効果】

以上詳述したように、この考案によれば、簡単な機構で基板搬送方向への摩擦 抵抗の発生を解消して搬送方向の位置決めを確実になさしめると共に基板幅方向 へ加わる均一な押圧により、ねじれ、間隙等の誤差なく確実且つ容易に基板幅方 向の位置決めを行うことができるので、偏心ローラや偏心ローラ用のスライド型 支持体の配設による複雑を機構が不用であり、このため設計が容易となり、設計 能率が向上し、したがって、装置価格が低減する。また、基板の種類が変わる毎 に偏心ローラの偏心軸の角度調節やバネ部材の交換を行う等の段取りが不用であ るため、手数がかかず、面倒がなく、熟練も要さず、したがって、作業能率が向 上する。また、多種類の交換用バネ部材を用意する必要かなく、したがって部材 コストが低減する。

【図面の簡単な説明】

【図１】(a) は一実施例に係わる基板位置決装置の平面
図、(b) はその側面図である。

【図２】(a) は基板位置決装置の基板停止部及びストッ
パ駆動部の側面拡大図、(b) はストッパ駆動モータ、エ
ンコーダ、エンコーダセンサの相互構成を説明する図で
ある。

【図３】(a) は基板停止部のストッパ支持体と送りネジ
ナット基台との係合状態を示す平面拡大図、(b) はその
側面拡大図である。

【図４】(a) は図３(a) のＡ−Ａ′矢視図、(b) は図３
(b) のＢ−Ｂ′矢視図、(c) は図３(b) のＣ−Ｃ′矢視
図である。

【図５】

【図６】

【図７】基板位置決装置を制御する制御部の構成ブロッ
ク図である。

【図８】基板処理前の可動型基板案内レールの位置設定
処理を説明するフローチャートである。

【図９】基板処理前の前方ストッパ位置設定処理を説明
するフローチャートである。

【図１０】基板処理の動作を説明するフローチャートで
ある。

【図１１】基板処理の基板位置決め処理を説明するフロ
ーチャートである。

【図１２】基板処理の基板排出処理を説明するフローチ
ャートである。

【符号の説明】

１、１′ 基板搬送部 １ａ、１ａ′ 基板案内レール １ａ′−１、１ａ′−２ ガイドレール １ｂ、１ｂ′ コンベアベルト １ｃ、１ｃ′ ベルト駆動モータ １ｄ、１ｅ 基板センサ １ｆ 天板 １ｇ レール支持部材 １′ａ レール幅可変駆動モータ １′ｂ エンコーダ １′ｃ エンコーダセンサ １′ｄ 歯付ベルト １′ｅ 送りネジ １′ｆ 歯付ベルトプーリ １′ｇ 歯付ベルト １′ｈ 従動送りネジ １′ｉ、 １′ｋ 送りネジナット １′ｊ 軸承 １′ｍ レール原点突起 １′ｎ 原点センサ ２、２′ 基板停止部 ２ａ 前方ストッパ ２ｂ ストッパ支持体 ２ｂ−１−１ 胴 ２ｂ−１−２ ピストン ２ｂ−２ 扇状体 ２ｂ−２−１、２ｂ−４−１ 支点 ２ｂ−３、２ｂ−４ 棒状体 ２ｂｃ 螺旋ばね ２ｂｃ−１ 摺動間隙 ２ｃ 送りネジナット基台 ２ｃ−１ 支持レー ２ｃ−２ 送りネジナット ２ｂ−１ 上下動シリンダ ２ｅ ストッパ原点突起体 ２ｆ 原点センサ ２′ａ Ｙプッシャ ２′ｂ 駆動係合部 ２′ｃ ローラ ２′ｄ ローラ支持ピン ２′ｅ スライド係合部 ３ ストッパ駆動部 ３ａ ストッパ駆動モータ ３ａ−１ 歯付ベルトプーリ ３ａ−２ エンコーダ ３ａ−３ エンコーダスリットセンサ ３ｂ 送りネジ ３ｂ−１ 歯付ベルトプーリ ３ｃ 歯付ベルト ３′ Ｙプッシャ（ストッパ）駆動部 ３′ａ 空圧シリンダ ３′ｂ シリンダピストン ３′ｃ ガイドレール ３′ｄ 駆動部支持体 ４ 異状表示ランプ １０ ＣＰＵ １１ メモリ部 １２ キー入力部 １３ インタフェース Ｐ 基板

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を搬入して停止させ、停止した基板
   を２種類の押し部材により基板の搬送方向の基準面及び
   基板の幅方向の基準面にそれぞれ押接して基板の位置決
   めを行う基板位置決装置であって、 前記押し部材は基板の一方の側面を押接することにより
   基板の他方の側面を基準面に当接させる複数のローラを
   備えることを特徴とする基板位置決装置。
2. 【請求項２】 搬入される基板に対応して基板の搬送レ
   ール位置及び基板の搬送方向のストッパ位置をそれぞれ
   自動的に調整し、搬入され停止した基板を２種類の押し
   部材により基板の搬送方向の基準面及び基板の幅方向の
   基準面にそれぞれ押接して基板の位置決めを行う基板位
   置決装置であって、 前記押し部材は基板の一方の側面に押接することにより
   基板の他方の側面を基準面に当接させる複数のローラを
   備えることを特徴とする基板位置決装置。