JPH066788B2 - 被覆炭化物合金製切削工具植刃 - Google Patents

被覆炭化物合金製切削工具植刃

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JPH066788B2
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Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は改良された被覆炭化物合金製切削工具植刃に関
するもので、更に詳しく言えば、基体およびその上に配
置された3層の被膜から成る植刃に関する。基体上の内
層および外層は窒化物材料から成っている。中間層は硬
質の耐摩粍炭化物材料から成り、そして内層はコバルト
焼結炭化物製基体中のコバルト濃縮領域と協力して他の
2層を一層効果的に支持する。
発明の分野 被覆焼結炭化物合金製植刃は、数多くの金属切削用途に
おいて多年にわたり効果的に使用されてきた。基本的に
見れば、かかる植刃は化学的蒸着法(CVD法)により
焼結炭化タングステン(WC)合金のごとき硬質金属材
料製の基体表面上にたとえば炭化チタン(TiC)のごと
き硬質の耐摩粍性材料の薄層または被膜を設置して成る
複合材料である。場合によっては、TiC層と共に、たと
えば窒化チタン(TiN)のごとき各種材料の下層および
窒化チタンや酸化アルミニウム(AlO3)などの上層が
基体上に設置される。このような多層被膜を具備した植
刃は広範囲の金属切削用途において使用されているので
あって、個々の金属切削用途に適合するように各種の層
および材料を選択することができる。
先行技術の説明 被覆焼結炭化物合金製工具および植刃の製造に際して
は、幾つかの化学的および物理的要求条件が存在する。
使用する被膜は、様々な金属切削および耐摩粍用途にお
いて化学的に安定であると同時に物理的な耐摩粍性を有
していなければならない。また、かかる被膜は容易に剥
げ落ちたり割れたりしてはならず、しかも植刃の基体に
強固に接合されかつそれによって支持されなければなら
ないから、被膜の組成および厚さは極めて重要である。
当業界においては、炭化チタン(TiC)層、窒化チタン
(TiN)層、炭窒化チタン(TiCN)層および酸化アル
ミニウム(AlO3)層を様々な順序で組合わせた多数の
構造物が知られている。とは言え、主たる耐摩粍層とし
ては炭化チタン(TiC)が有力であると認められるに至
った。それ故、様々な方法により各種の基体上に炭化チ
タン層を設置して硬質の耐摩粍面を形成することが試み
られてきた。
2種以上の相異なる層が存在する場合、構造的な見地か
ら考えると、第1の層を構成する材料の種類および第1
の層と焼結炭化物合金製基体との支持関係が極めて重要
である。また、最も重要な層はTiC層であるから、それ
と焼結炭化物合金製基体との関係も肝要である。このよ
うな理由から、TiC層は焼結炭化物合金製基体に隣接す
る薄層として設置されるのが通例である。特に、TiCを
含有する基体を使用すれば、両方の炭化物同士の親和性
が多少とも利用されることになる。主たる硬質耐摩粍層
としてTiC層が優れていることが認められたため、一層
厚いTiC層を形成したり、またTiC層の効果を助長する
その他の材料の追加層を形成したりするための方法や手
段にも幾分かの注意が払われた。しかしながら、複数の
層や厚い層を使用した結果は構造を弱体化させることに
なるのが普通である。
焼結炭化物合金製基体上に硬質の耐摩粍性外層を適切に
支持すること並びに複数の層や厚い層を効果的に支持す
ることに関する最近の改良点としては、各隣接層からの
成分を含有した遷移領域を成す接合部を形成して層間の
冶金的な段階移行を実現することが挙げられる。コバル
ト焼結炭化物合金製基体の場合、このような段階移行は
炭化物合金製基体の他の部分よりも高い平均濃度でコバ
ルトを含有する表面のコバルト濃縮領域によって実現さ
れる。かかるコバルト濃縮領域を使用すれば、改善され
た強度および接合特性を与えるばかりでなく、TiC以外
の材料から成る第1の層を併用してその他の層の密着性
を向上させるためにも役立つことが判明している。
尚、本明細書において、「表面」とは、面に限定される
ことなく、表面から厚みのある層を含むものをいう。
発明の概要 本発明の好適な実施の態様に従えば、コバルト焼結炭化
物合金製基体中の脱炭されたコバルト濃度領域上に配置
された第1の薄いTiN層を使用する改良された高強度の
植刃が提供される。このような構成によれば、TiC中間
層およびTiNまたはAlO3外層を含みかつTiC中間層が
増大した厚さを有するような多層被膜も一層効果的に支
持される。
添付の図面を参照しながら以下の説明を考察すれば本発
明は一層良く理解されよう。
発明の説明 コバルト濃縮および脱炭を施したコバルト焼結炭化タン
グステン合金の表面上にTiN、TiCおよびTiNまたはAl
O3から成る少なくとも3層の被膜を設置して成るTiC
およびTiN被覆炭化物合金製植刃は、比較金属切削試験
において驚くべき改善を示した。
第1図に示されるような本発明の好適な実施の態様にお
いては、切断工具植刃の改善に寄与する3つの相互に関
連した重要な因子が存在する。一例について述べれば、
本発明の植刃は(a)焼結炭化物合金製基体の脱炭され
たコバルト濃縮領域11、(b)薄いTiN下層12並びに
(c)厚いTiC層13および薄いTiN層14を含んでいて、
それによりTiN、TiCおよびTiNから成る3層被膜が形
成されている。TiC層の厚さは6.0〜12.0μの範囲内
にあるのに対し、TiN下層の厚さは0.10〜3.0μ
である。外側のTiN層はAlO3層で置き換えることがで
き、更にそのAlO3層をTiN層で被覆することもでき
る。
本発明の焼結炭化物合金製基体としては、様々な組成を
持った多数の焼結炭化物合金製基体が使用できるが、好
ましくは2〜5(重量)%のTiC、5〜10(重量)%
のTaC、5〜10(重量)%のCoおよび残部のWCから
成るコバルト焼結炭化タングステン合金製基体が使用さ
れる。かかる基体を製造するには、粉末を混合し、圧縮
成形し、次いでコバルト相の融点より高い温度で焼結す
ることから成る通常の粉末冶金技術を使用すればよい。
本発明の基体は、それの外面または外面に隣接した部位
にコバルト濃縮領域を有している。従来のコバルト濃縮
の実例は、いずれも本発明の場合と同じ譲受人に譲渡さ
れたゲッツェル(Goetzel)の米国特許出願第26
12442号およびヨーへ(Yohe)の米国特許出願第489,28
6号明細書中に見出される。一例について述べれば、コ
バルト焼結炭化物合金製植刃を基体中のコバルトの融点
より高い温度に暴露することにより、コバルトが表面領
域に移行または拡散するのである。こうして表面に得ら
れたコバルト濃縮領域は、本発明の植刃の構造的結合性
をもたらす重要な因子の1つである。かかるコバルト濃
縮領域は、基体とそれに隣接する被膜との界面の硬度特
性を変化させると共に、一層強靭な表面を与える。
切削工具業界においてはまた、高温拡散あるいは高温融
解移動によってコバルトを表面に移行させる工程を含む
その他各種の方法によってもコバルト濃縮領域が得られ
ることが知られている。とは言え、かかるコバルト濃縮
領域の全てが切削工具植刃に対し同じ最終結果を付与す
るわけではない。コバルト濃縮の種類および隣接する表
面の種類が極めて重要である。たとえば、被膜と直接に
結合すべき基体の最外面の全域にわたってコバルト層が
存在することは望ましくない。かかるコバルト層は形成
させないようにするか、あるいは被膜を設置する前に取
除くようにすべきである。更にまた、本発明の目的にと
っては、コバルト濃縮領域中のコバルト含量は基体中の
平均コバルト含量の少なくとも約2倍でなければならな
い。好適な実例としては、深さ20μで2〜3倍の濃縮度
を有するようなコバルト濃縮領域が挙げられる。なお、
コバルト濃縮領域全体の深さは50〜75μにまで達してい
てもよい。
コバルト濃縮領域を形成する方法の1つとして、圧縮成
形および焼結に先立って元来の焼結炭化物合金粉末混合
物中にある種の化合物を添加する方法がある。かかる化
合物とは、反応の結果として、炭化タングステン(W
C)およびコバルト(Co)から成る表面領域並びにWC
およびCoに加えて第IV〜VI族遷移金属の炭窒化物たとえ
ば(Ti、W)(C、N)を含有しかつ面心立方晶系の結
晶構造を通例有する硬質のB−1形固溶体相とし定義さ
れる部分を含有する硬質の内部領域を形成するようなも
のである。この点に関しては、トビオカの米国特許第41
50195および4277283号明細書を参照されたい。たとえ
ば、焼結炭化物合金組成中のTiCが固溶体としてのTiC
Nで置換される。かかる材料を真空中で焼結すれば、い
わゆる立方晶系のB−1相が欠如し、その結果としてコ
バルトおよび炭化タングステンの濃縮された表面領域が
得られるのである。その機序は、TiCNを含有するB−
1形固溶体相が真空中で分解されてチタンを生成し、そ
して液体コバルト中に可溶のチタンが基体の内部へ輸送
されることにあると信じられる。
上記のヨーへの米国特許出願に基づく改良法に従えば、
植刃を製造するための焼結操作中に窒素で処理すること
により、その中に含有される(W)、Ti)がCが窒化さ
れる。焼結サイクル中の加熱工程、特に約20〜約180分
間にわたって約1200〜1300℃温度に保存する工程に際
し、焼結炉内に窒素ガスが導入される。あるいはまた、
最初に1200〜1300℃に保持した後、窒素中においてそれ
より高い温度に保持してもよい。このような焼結サイク
ルにおいて、窒素導入後に植刃を真空条件に暴露するこ
とによって窒素の拡散が促進される。このようにして生
じた窒素勾配によってコバルト濃縮領域が固定されるの
である。この場合、窒素圧、保持温度および保持時間の
諸条件を変えれば、B−1相欠乏の深さ並びにコバル濃
縮の程度および深さが変化する。下記の実施例によれ
ば、(公称コバルト濃度6%の組成物中において)約15
%のコバルト富化を有する深さ40μまでのコバルト濃度
領域が形成された。なお、コバルト濃縮領域とは植刃中
の他の部分における平均量より15%以上多い量のコバル
トを含有する領域として定義される。次の参考例1はヨ
ーへの方法の代表的な実施例を引用したものである。
参考例 1 83.0(重量)%のWC、6(重量)%のTaC、6(重
量)%のCoおよび5.0(重量)%の(W0.5Ti0.
5)Cから成る粉末圧縮体を真空焼結炉内の炭素被覆黒
鉛棚上に配置した、かかる圧縮体を常法に従い加熱して
ワックスを除去し、次いで1260℃まで昇温した。それを
1260℃に保持しながら、窒素ガスを3リットル/分の速
度で600Torrに達するまで導入した。かかる処理を45分
間にわたって行った後、窒素ガスを排出し、それから炉
内温度を1445℃に上昇させて100分間にわたる焼結を行
った。その際には、窒素を拡散させると同時にコバルト
の損失を抑制するため、2Torrの圧力を有するアルゴ
ンを導入した。こうして得られた植刃を自然な冷却速度
(20〜30℃/分)で放冷した。“第1図”の顕微鏡写真
を見れば、深さ30μのB−1相の欠如およびコバルト濃
度の増大を示す表面領域が得られたことがわかる。“第
2図”にはまた、走査電子顕微鏡内におけるエネルギー
分散X線分析によって測定されたコバルトおよびチタン
含量を表面からの深さに対してプロツトしたグラフが示
されている。コバルトはチタン(B−1相)が欠如した
領域内において10%のピーク濃度にまで濃縮されてい
る。
ヨーへの方法の利点は、B−1相欠如およびコバルト濃
縮度を独立に制御しながら焼結工程のみによってコバル
ト濃縮領域が得られることにある。また、かかる窒素処
理法によれば、被膜の密着性を妨げる純粋なコバルト表
面層の形成を防止することができる。すなわち、植刃の
外面におけるコバルトは切れ目がないという意味での連
続した状態ではなく全域にわたって不連続な状態を示
す。外面に沿ってのコバルトの分散状態は外面の直下に
おけるコバルトの分散状態と同様である。外面は従来の
焼結技術によって得られたものと同様に一様かつ平滑で
あって、現行の焼結操作にそのまま適合し得る。
コバルト濃縮領域とTiN層との併用により、ある種の多
層被膜の使用が容易となる。かかる多層被膜を具備した
植刃としては、1つ以上のTiC層および1つ以上のTiN
またはAlO3層を様々な組合せ状態または段階移行状態
で基体上に配置したものが挙げられる。本発明の改良さ
れた植刃の一例は、第1図に示されるごとく、基体のコ
バルト濃縮領域をTiN層で被覆し、次にTiC層で被覆
し、そして最後にTiN層または酸化アルミニウム(Al
O3)層で被覆したようなものである。
ここで第1図を見ながら説明すれば、焼結炭化タングス
テン合金から通例成る植刃10は、上記方法のいずれかに
よって形成することができるコバルト濃縮領域11を含ん
でいる。このコバルト濃縮領域11に隣接して厚さ約0.
1〜3.0μの薄いTiN下層12が配置され、その上にTi
C層が配置され、次いでその上にTiNまたはAlO3層14
が配置されている。TiC層13は上記の方法に従ってTiN
層上に直接に設置される。かかる構成の場合、最も重要
な層はTiC層13である。すなわち、関連する作用の大部
分を実行する層はTiC層13なのである。それは最も硬質
の耐摩粍層であって、切削工具植刃業界においては不可
欠の層であることが知られている。それ故、TiC層13は
基体に対して良好な構造的結合性を有すると同時にでき
るだけ厚いものであることが望ましいのである。
本発明の植刃においては、コバルト濃縮領域および当業
界において公知のCVD法によりその上に設置された薄
いTiN下層を併用することによって構造上の顕著な改善
が達成される。TiN下層は2つの主な目的のために役立
つ。すなわち、それはコバルト濃縮領域とTiC層との間
の相互連結媒体として役立つと共に、基体中に存在する
各種物質の拡散に対する遮断層としても働く。コバルト
濃縮領域上にTiC層を直接に設置すると、工程の時間お
よび温度特性に応じた程度にまでコバルト濃縮領域の合
金化が起こる。かかる合金化が起こると、切刃に対する
それの靭性付与能力が低下してしまう。TiN下層はこの
ような合金化を防止するための遮断層として役立つので
ある。コバルト濃縮領域とTiN下層との間には良好な構
造的結合性が存在するため、遥かに厚いTiC層を使用す
ることができる。本発明におけるTiN下層の使用はま
た、コバルト濃縮領域の組成および厚さの最適化を助け
ることにより、切刃の靭性と変形とのバランスをもたら
すと共に本発明の植刃の有用性の範囲を広げるものと信
じられる。TiN層上には、段階移行のための層を必要と
することなく、厚さ10〜15μものTiC層をCVD法によ
って設置することができる。たとえば、純粋なTiN層か
ら出発した場合でも、工程を突然に変更してTiC層を設
置し、次いで工程を突然に変更して薄いTiN層を設置す
ればよいのである。なお、本発明の実施に際しては、被
膜中のTiN、TiCおよびTiN層の各々を独立した層とし
て設置することが好ましい。
金色のTiN外層14は識別手段としても利用できるし、ま
た美的な外観をも有するが、それは実利的な目的にも役
立つのである。すなわち、TiN外層はクレータ形成に抵
抗する耐摩粍性を有することが証明できるが、この点に
関してはキーファー(Kieffer)の米国特許第3717496
号明細書を参照されたい。そればまた、TiC層よりもや
や良好な滑性を有する。本発明においては、TiC層がTi
N外層およびTiN下層によってはさまれていることによ
って二段構えの滑性が得られる。すなわち、最初はTiC
層に対して滑性が付与され、次いでそれが摩滅した後に
はWC基体に対して滑性が付与されることになる。な
お、金色を呈するある種の金属材料(たとえばZnやHf
N)またはかかる金属の炭窒化物も使用することができ
る。
上記の層を蒸着するための方法は当業界において公知で
ある。ヘイル(Hale)の米国特許第4268569号明細書中
には、基体上にTiNおよびTiCを蒸着するための方法が
開示されている。かかる方法に従って例示すれば、約1
100℃の温度および約1気圧の圧力を有する炉内に焼
結炭化物合金製基体を配置し、そして50%のN、3.
5%のTiClおよび残部のH2から成る流動雰囲気に暴露
することによってTiN層が形成される。次いで、約1100
℃の温度および約1気圧の圧力を保持しながら、5%の
CHおよび3.5%のTiCl4を含有する流動水素雰囲
気に基体を約10分間にわたり暴露することによってTiC
層が形成される。
蒸着によってTiN層を設置する工程に際しては、当業界
において公知のごとく基体を清浄な状態に保つことが望
ましい。すなわち、水素ガス流中において基体を約1000
〜1050℃の高温に保持することによって先ず最初にその
表面を脱炭することが好ましいのである。上記の水素ガ
ス流には約2〜5%のTiClを随意に添加することがで
きるが、その場合でも基体上には厚さ約0.1〜1.0
μの極めて薄い層が形成されるに過ぎない。かかる層は
現在のところではTiC、TiNおよびTiCN中の少なくと
も1種を含有する物質層であると信じられていて、TiN
下層に対し一層良好な結合性を付与するものと考えられ
る。
本発明の場合と同じ譲受人に譲渡された同時係属中のヘ
イル(Hale)の米国特許出願第331367号明細書中に
は、TiC表面上にAlO3を蒸着するための新規な方法が
開示されている。ここでは、ヘイルの特許出願明細書中
の実施例1を参考例2として下記に示すこととする。
参考例 2 85.5%のWC、6%のTaC、2.5%のTiCおよび6
%のCoから成りかつ厚さ5μのTiCで被覆された市販の
焼結炭化物合金製切削工具植刃に対し、1050℃の温度お
よび1気圧の圧力を有する炉内において下記の操作を施
した。
1.約2%のTiClを含有する水素雰囲気中に2分間保
持した。
2.NbCl気化器8分で225゜Fに昇温し、3分間保持
し、次いで15分間放冷した。
3.3.5%のCOを含有する水素雰囲気中に1分間保
持して表面を酸化した。
4.5%のAlClを含有する水素雰囲気中に10分間保持
した。
5.5%のAlClおよび7%のCOを含有する水素雰囲
気中に60分間保持した。
このような処理の結果、厚さ約0.2μの接着層を介し
てTiC被覆焼結炭化物合金製基体に強固に結合した厚さ
3〜4μのAlO3層が得られた。
かかるAlO3層はTiC層の代わりとして役立つものでは
ない。これは、TiC層の耐摩粍性を向上させかつ支援す
る被膜である。本発明の実施によってもたらされる構造
的結合性の改善は、追加層のより効果的な使用を可能に
する。すなわち、上記のAlO3層上にTiNの外層を設置
することにより、構造の弱体化をもたらすことなしにTi
Nの通常の利点を得ることができるのである。
次の実施例1は本発明の実施を典型的に例示するもので
ある。
実施例 1 好適なものとして上記に記載した組成を有しかつ約20μ
の深さにおいて10〜20(重量)%の金属コバルトを含有
するコバルト濃縮領域を持つ焼結炭化タングステン合金
製植刃を、炉内において流動水素ガスの存在下で約1.
5時間にわたり約950℃の高温に暴露することによって
脱炭した。その後、約950℃の炉内温度の下で、約50%
のN、約3%のTiClおよび残部のH2から成る流動雰
囲気に植刃を暴露した。約15分後、植刃上には金色の薄
くて強靭なTiN層が形成された。かかるTiN層の厚さは
約0.5〜2μであった。次いで、約1030℃に昇温後、
約5%のCHおよび約3%のTiClを含有する水素雰
囲気に切換えた。約3.5時間後、TiN層上には厚さ約
8〜10μの強靭なTiC層が形成された。温度を約950
℃に低下させた後、約50%のN、約3%のTiCl4
よび残部H2から成る雰囲気を約15分間にわたって使用し
たところ、TiC層上に金色のTiN層が得られた。なお、
上記雰囲気の組成は容量百分率で表わされている。
上記実施例の方法に従って多数の商業用植刃を製造した
が、それらは多くの金属切削用途において効果的に使用
された。しかしながら、被覆植刃業界のこの分野におけ
る比較試験結果の多くは実験誤差の値に近いものであっ
た。それよりも良いのは寿命試験(すなわち、長期間に
わたる運転試験)であって、それによれば一貫して良好
な結果が認められた。たとえば、厚さ約7μのTiC層を
有する本発明の商業用植刃を大規模に生産し、そして従
来の植刃と比較しながら使用した。従来の植刃とは、上
記の値より小さい厚さのTiC層を有しかつ一般に顕著な
TiCN遷移領域を層間に含むようなものであった。6ケ
月間にわたる125の報告例について見れば、切削すべき
材料並びに速度および送り条件に関する比較評価の結果
は、厚いTiC層およびTiN下層を有する本発明の植刃の
方が2:1の比率で優れていた。このよう評価は、主と
して鋳鉄や合金鋼のごとき材料に関して300〜700sfpmの
範囲内で行われた。
コバルト濃縮領域は従来公知の様々な方法によって形成
することができるが、本明細書中に記載されたものと少
なくとも同等なコバルト濃縮領域を使用し、次いでそれ
に隣接してTiN遷移層を設置することが好ましい。この
ような構成によれば第2図に示されるごとく多層被膜が
効果的に支持されるのである。
すなわち、第2図は本発明の植刃の部分断面を示す顕微
鏡写真であって、上から下へ向かって淡色の薄いTiN層
14、灰色の比較的厚いTiC層13、淡灰色のTiN層12及び
コバルト濃縮領域11が認められる。コバルト濃縮領域
は、一般的に言って、暗灰色および中間灰色の塊状粒子
並びに淡灰色のコバルト部分を含有するような印象を与
える。なお、コバルト部分TiN層12に隣接した部位にお
いて一層濃縮されている。
以上、特定の実施の態様に関連して本発明を記載した
が、上記の説明に基づけば数多くの変更態様が可能であ
ることが当業者にとって自明であろう。たとえば、本発
明はその他の炭化物や結合金属およびその他の金属製基
体に対しても適用することができる。それ故、前記特許
請求の範囲によって定義された本発明の範囲内に含まれ
る限り、上記特定の実施の態様に様々な変形を加え得る
ことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施の一態様に基づく植刃の概略断面
図、そして第2図はコバルト濃縮領域内におけるコバル
ト分布を示す植刃の顕微鏡写真である。 図中、10は植刃、11はコバルト濃縮領域、12はTiN下
層、13はTiC層、そして14はTiNまたはAlO3層を表わ
す。

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】耐摩耗性表面として役立つ少なくとも1つ
    の表面を有するコバルト焼結炭化物合金製植刃におい
    て、前記耐摩耗性表面が(a)75μ以下の深さにまで
    達しかつ本質的に金属状態のコバルトを基体中の平均量
    の少なくとも約2倍に等しい量で含有するコバルト濃縮
    領域および(b)前記コバルト濃縮領域の外面上に配置
    された第1の薄いTiN層を含み、かつ前記コバルト濃
    縮領域の外面におけるコバルトは前記外面の直下におけ
    るコバルトの分散状態と同様な分散状態を有することに
    よって不連続な状態にあることを特徴とする植刃。
  2. 【請求項2】前記コバルト濃縮領域がTiN層との接合
    面から約20μの深さにおいて約10〜20(重量)%
    の金属コバルトを含有する特許請求の範囲第1項記載の
    植刃。
  3. 【請求項3】前記TiN層上にTiC層が配置されてい
    る特許請求の範囲第1項記載の植刃。
  4. 【請求項4】前記コバルト濃縮領域上にTiN層が配置
    されている特許請求の範囲第2項記載の植刃。
  5. 【請求項5】前記TiC層上にTiN層が配置されてい
    る特許請求の範囲第3項記載の植刃。
  6. 【請求項6】前記TiC層上にTiN層が配置されてい
    る特許請求の範囲第4項記載の植刃。
  7. 【請求項7】前記TiC層上にAl層が配置され
    ている特許請求の範囲第3項記載の植刃。
  8. 【請求項8】前記TiC層上にAl層が配置され
    ている特許請求の範囲第4項記載の植刃。
  9. 【請求項9】前記TiC層の厚さが6.0〜12.0μ
    の範囲内にある特許請求の範囲第3項記載の植刃。
  10. 【請求項10】前記第1のTiN層の厚さが0.1〜
    3.0μの範囲内にある特許請求の範囲第3項記載の植
    刃。
  11. 【請求項11】耐摩耗性表面として役立つ少なくとも1
    つの表面を有するコバルト焼結炭化物合金製植刃におい
    て、前記耐摩耗性表面が(a)75μ以下の深さにまで
    達しかつ本質的に金属状態のコバルトを基体中の平均量
    の少なくとも約2倍に等しい量で含有するコバルト濃縮
    領域、(b)前記コバルト濃縮領域上に位置しかつT
    i、TiCおよびTiCNの混合物から成る脱炭層並び
    に(c)前記脱炭層上に配置された第1の薄いTiN層
    を含み、かつ前記コバルト濃縮領域の外面上におけるコ
    バルトは前記外面の直下におけるコバルトの分散状態と
    同様な分散状態を有することによって不連続な状態にあ
    ることを特徴とする植刃。
  12. 【請求項12】(a)10〜75μの深さにまで達しか
    つ金属コバルトを10〜20(重量)%の割合で含有す
    るコバルト濃縮領域を一表面に隣接して具備するコバル
    ト焼結炭化物合金製基体を用意し、 (b)前記表面をHの存在下で高温に暴露して脱炭す
    ることにより脱炭層を形成し、(c)前記脱炭層上に厚
    さ約0.1〜3.0μの薄いTiN層を蒸着し、(d)
    前記TiN層上に厚さ約6.0〜12.0μの厚いTi
    C層を蒸着し、次いで(e)前記TiC層上に薄いTi
    N層を蒸着する諸工程から成ることを特徴とする被覆炭
    化物合金製切削工具植刃の製造方法。
  13. 【請求項13】前記工程(e)に代えて前記TiC層上
    にAl層が蒸着される特許請求の範囲第12項記
    載の方法。
  14. 【請求項14】前記Al層上に薄いTiN層が蒸
    着される特許請求の範囲第13項記載の方法。
  15. 【請求項15】(a)10〜75μの深さにまで達しか
    つ金属コバルトを10〜20(重量)%の割合で含有す
    るコバルト濃縮領域を一表面に隣接して具備するコバル
    ト焼結炭化物合金製基体を用意し、および (b)前記表面をHTiClの存在下で高温に暴露
    して脱炭することにより、TiCおよびTiCN中の1
    者以上を含有する厚さ約0.1〜1.0μの極めて薄い
    脱炭層を形成し、(c)前記脱炭層上に厚さ約0.1〜
    3.0μの薄いTiN層を蒸着し、(d)前記TiN層
    上に厚さ約6.0〜12.0μの厚いTiC層を蒸着
    し、次いで(e)前記TiC層上に薄いTiN層を蒸着
    する諸工程から成ることを特徴とする被覆炭化物合金製
    切削工具植刃の製造方法。
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