JPH0668955B2 - Ｘ線イメ−ジ管 - Google Patents
Ｘ線イメ−ジ管Info
- Publication number
- JPH0668955B2 JPH0668955B2 JP61234090A JP23409086A JPH0668955B2 JP H0668955 B2 JPH0668955 B2 JP H0668955B2 JP 61234090 A JP61234090 A JP 61234090A JP 23409086 A JP23409086 A JP 23409086A JP H0668955 B2 JPH0668955 B2 JP H0668955B2
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- JP
- Japan
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- csi
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- image tube
- columnar
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- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、イメージセンサの分野で利用される。
本発明は、Ｘ線イメージ管に関し、とくにその入力面に
関する。
関する。
（ロ）従来技術 Ｘ線イメージ管は、ＣｓＩをＸ線用蛍光体として使用
し、Ｘ線の入射に対し蛍光体が発光し、その光を光電面
が感じて光電子を放出し、電子レンズにより出力蛍光面
上に光電子を加速して結像し発光させるものである。
し、Ｘ線の入射に対し蛍光体が発光し、その光を光電面
が感じて光電子を放出し、電子レンズにより出力蛍光面
上に光電子を加速して結像し発光させるものである。
従来から、この入力面は、アルミ基板上に、解像度上昇
のためＣｓＩ柱状結晶を完全離散分離状に形成してお
り、他方その柱状結晶先端部によつて形成される表面上
に、互いに完全に連結された導電性の良好な状態の光電
面を形成しており、この相反した２つの構成部によりＣ
ｓＩ入力面によつて形成されるＸ線画像を安定させてい
る。
のためＣｓＩ柱状結晶を完全離散分離状に形成してお
り、他方その柱状結晶先端部によつて形成される表面上
に、互いに完全に連結された導電性の良好な状態の光電
面を形成しており、この相反した２つの構成部によりＣ
ｓＩ入力面によつて形成されるＸ線画像を安定させてい
る。
（ハ）発明が解決しようとする問題点 このように構成部について全く矛盾した要求が強いられ
ている。この矛盾した要求を満足させるため、離散した
ＣｓＩ：Ｎａの柱状結晶の上にＣｓＩ：Ｎａにて多層蒸
着を行つたり、あるいは透明な光学膜のコーテイングを
行なつたり、さらにはＩＴＯ（酸化インジウム錫）のよ
うな透明導電膜を条件を変えて蒸着したり、また金属膜
を蒸着しているのが現状である。
ている。この矛盾した要求を満足させるため、離散した
ＣｓＩ：Ｎａの柱状結晶の上にＣｓＩ：Ｎａにて多層蒸
着を行つたり、あるいは透明な光学膜のコーテイングを
行なつたり、さらにはＩＴＯ（酸化インジウム錫）のよ
うな透明導電膜を条件を変えて蒸着したり、また金属膜
を蒸着しているのが現状である。
なお、ＣｓＩ柱状結晶の先端部を削りとつたりするのも
１つの手段であるが、それだけでは強力なパルス状Ｘ線
を入射し、瞬間に多大な光電流を放出させるデイジタル
透視法が一般化しつつある現在、充分な要求に応えてい
ない。
１つの手段であるが、それだけでは強力なパルス状Ｘ線
を入射し、瞬間に多大な光電流を放出させるデイジタル
透視法が一般化しつつある現在、充分な要求に応えてい
ない。
本発明の目的は、ＣｓＩ柱状結晶の完全離散化を確保し
つつ、表面において導電性のよりよい状態を確保するこ
とのできる入力面を具備したＸ線イメージ管を提供する
ことである。
つつ、表面において導電性のよりよい状態を確保するこ
とのできる入力面を具備したＸ線イメージ管を提供する
ことである。
（ニ）問題点を解決するための手段 前記した目的は、アルミ基板と、その表面に互いに完全
離散分離されて形成されたＣｓＩ：Ｎａ細柱状結晶と、
それらの各結晶の尖端部を削りその端部間をＣｓＩによ
り密に光学的に連結した状態で蒸着して形成された７μ
ｍ以下の連結膜とからなる入力面を具有することによ
り、達成できる。
離散分離されて形成されたＣｓＩ：Ｎａ細柱状結晶と、
それらの各結晶の尖端部を削りその端部間をＣｓＩによ
り密に光学的に連結した状態で蒸着して形成された７μ
ｍ以下の連結膜とからなる入力面を具有することによ
り、達成できる。
（ホ）作用 ＣｓＩ：Ｎａ柱状結晶、つまり活性剤を含むＣｓＩ上に
活性剤を含まないＣｓＩを蒸着させ、その際にＣｓＩ蒸
着膜が互いに離散した状態ではなく、密に光学的に連結
した状態ないし単結晶化に向う方向で形成されており、
その膜厚がおおよそ７μｍ以下であること。これによ
り、解像度上昇のための離散化構成部と、導電効果のた
めの連結構成部とが併存する。
活性剤を含まないＣｓＩを蒸着させ、その際にＣｓＩ蒸
着膜が互いに離散した状態ではなく、密に光学的に連結
した状態ないし単結晶化に向う方向で形成されており、
その膜厚がおおよそ７μｍ以下であること。これによ
り、解像度上昇のための離散化構成部と、導電効果のた
めの連結構成部とが併存する。
（ヘ）実施例 本発明の好適な実施例は、図面に基づいて説明される。
第１図は本発明の１実施例を示した構成説明図である。
説明の便宜上、他の図面について先に説明する。
なお、１０はアルミ基板、１２はＣｓＩ：Ｎａ細柱状結
晶である。
晶である。
第２図に示したように、イメージ管の解像度上昇のため
だけを考量するならば、ＣｓＩ柱状構造１２が細く、互
いに完全に分離している状態がよいが、この場合は表面
で光電面の導電性が保てない。
だけを考量するならば、ＣｓＩ柱状構造１２が細く、互
いに完全に分離している状態がよいが、この場合は表面
で光電面の導電性が保てない。
それは、図示のように、柱状結晶を離散化すると、その
結晶表面の突起１２ａがするどくなり、表面の凹凸が５
μｍにも及ぶためである。
結晶表面の突起１２ａがするどくなり、表面の凹凸が５
μｍにも及ぶためである。
このような突起は、通常レンズコート等に用いられる光
学膜で埋められる大きさでなく、別材料を用いる時は屈
折率差による光反射も生じる。
学膜で埋められる大きさでなく、別材料を用いる時は屈
折率差による光反射も生じる。
同材料のＣｓＩにより、第３図及び第４図に示すよう
に、コートすると連結部１４、１６が形成され、柱状結
晶１２間で屈折率差による光反射はなくなり、その際と
くに活性剤を含まないＣｓＩを用いた膜１６では柱状結
晶間でＸ像に感じて発光することがなくなり、解像度低
下の要因とならない。
に、コートすると連結部１４、１６が形成され、柱状結
晶１２間で屈折率差による光反射はなくなり、その際と
くに活性剤を含まないＣｓＩを用いた膜１６では柱状結
晶間でＸ像に感じて発光することがなくなり、解像度低
下の要因とならない。
ところで、第１図の本発明の実施例によれば、柱状結晶
の先端部１２ａを削りとつた後に、活性剤を含む、含ま
ないにかかわらず、ＣｓＩを蒸着したときには、表面平
坦化のためのＣｓＩ層１８の厚さを薄くすることができ
るため、光学的に連結されたＣｓＩ膜での、柱状結晶の
発光の混合の度合が低下するため、高解像度を確保でき
る。
の先端部１２ａを削りとつた後に、活性剤を含む、含ま
ないにかかわらず、ＣｓＩを蒸着したときには、表面平
坦化のためのＣｓＩ層１８の厚さを薄くすることができ
るため、光学的に連結されたＣｓＩ膜での、柱状結晶の
発光の混合の度合が低下するため、高解像度を確保でき
る。
また、Ｎａを含まない密な膜を柱状結晶の表面に蒸着す
ることで、入力面の吸湿による性能低下（発光率の低
下、柱状構造の結合化）を防ぐことができる。
ることで、入力面の吸湿による性能低下（発光率の低
下、柱状構造の結合化）を防ぐことができる。
具体的には、基板へのＣｓＩ蒸着としては、比較的高温
状態の２００℃以上にし、高真空条件下１０−５ Torr
以下で蒸着すればよい。
状態の２００℃以上にし、高真空条件下１０−５ Torr
以下で蒸着すればよい。
（ト）効果 活性剤を含まないＣｓＩを利用することで連結部でＸ像
をとらえて発光がおきることがなくなり、イメージ管の
解像度低下の要因とならない。
をとらえて発光がおきることがなくなり、イメージ管の
解像度低下の要因とならない。
また、活性剤を含まないだけ、柱状結晶ＣｓＩ：Ｎａの
発光に対して光学的に透明であり、それより下の柱状結
晶での発光に対しての吸収効果がなくなる。
発光に対して光学的に透明であり、それより下の柱状結
晶での発光に対しての吸収効果がなくなる。
さらに、活性剤を含まないこと、具体的にはＮａを含ま
ないことによつて、吸湿性が低下し、吸湿による発光率
の低下、柱状構造の結合化を防止する。
ないことによつて、吸湿性が低下し、吸湿による発光率
の低下、柱状構造の結合化を防止する。
第１図は本発明の１実施例を示した要部構成説明図、第
２図より第４図は従来例の同様図である。 １０はアルミ基板、１２はＣｓＩ：Ｎａ柱状結晶部、１
２ａはその尖端部、１４と１６はその尖端部における連
結部、１８は本発明による連結膜である。
２図より第４図は従来例の同様図である。 １０はアルミ基板、１２はＣｓＩ：Ｎａ柱状結晶部、１
２ａはその尖端部、１４と１６はその尖端部における連
結部、１８は本発明による連結膜である。
Claims (1)
- 【請求項１】アルミ基板と、その表面に互いに完全離散
分離されて形成されたＣｓＩ：Ｎａ細柱状結晶と、それ
らの各結晶の尖端部を削りその端部間をＣｓＩにより密
に光学的に連結した状態で蒸着して形成された７μｍ以
下の連結膜とからなる入力面を具有していることを特徴
とする、Ｘ線イメージ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61234090A JPH0668955B2 (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | Ｘ線イメ−ジ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61234090A JPH0668955B2 (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | Ｘ線イメ−ジ管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6388732A JPS6388732A (ja) | 1988-04-19 |
| JPH0668955B2 true JPH0668955B2 (ja) | 1994-08-31 |
Family
ID=16965459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61234090A Expired - Fee Related JPH0668955B2 (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | Ｘ線イメ−ジ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0668955B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2815881B2 (ja) * | 1988-03-04 | 1998-10-27 | 株式会社東芝 | Ｘ線イメージ管の製造方法 |
| US5594253A (en) * | 1994-12-28 | 1997-01-14 | Lockheed Missiles And Space Company, Inc. | Hybrid luminescent device for imaging of ionizing and penetrating radiation |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS517869A (en) * | 1974-06-20 | 1976-01-22 | Tokyo Shibaura Electric Co | Eizokanno nyuryokumen |
| JPS5611834A (en) * | 1979-07-10 | 1981-02-05 | Shimadzu Corp | Manufacturing method of input face for image tube |
| JPS57136744A (en) * | 1981-02-17 | 1982-08-23 | Toshiba Corp | Radiation exciting fluorescent screen and its manufacture |
-
1986
- 1986-09-30 JP JP61234090A patent/JPH0668955B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6388732A (ja) | 1988-04-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |