JPH066900U - ボンベ用バルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 小型、安価で締め付け過ぎによる破損防止で
きるボンベ用バルブを提供する。 【構成】 バルブ本体２にシリンダ室３３を形成し、こ
のシリンダ室３３内に弁座１７を開閉する弁体２４を連
結したピストン３４を収納し、これで区画された室３３
Ａにばね３５を設け、室３３Ｂにエアーを供給する。エ
アーの供給を停止すれば弁体２４が弁座１７を閉じるか
らボンベ１内のガス流出を緊急遮断でき、また、エアー
の押上力に抗してピストン３４を強制的に押下げる手動
操作ハンドル４５を設けたので手動でも遮断でき、更
に、弁座１７の近傍にガス供給口１８を設けたのでそこ
から洗浄ガスを供給すれば流路内の残留ガスを排除でき
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ボンベ用バルブに関する。例えば、半導体製造ガスなどの毒性ガス や可燃性ガスなどを充填したボンベに取り付けられるバルブに利用できる。

【０００２】

【背景技術】

半導体製造に利用されるガス、中でも毒性ガスや可燃性ガスなどを充填したボ ンベには、従来から手動操作バルブが用いられてきたが、最近、安全基準の面か ら、緊急遮断できる構造のバルブの取り付けが義務付けられるようになってきた 。そのため、手動操作バルブの外に、その手動操作バルブを自動的に開閉する電 動駆動装置を付設して対応している。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、従来のように、手動操作バルブの外に電動駆動装置を付設した構造 では、高価である上、装置自体も大型化するという欠点がある。しかも、電動駆 動装置によって手動装置バルブを閉塞すると、弁体がシートを締め付け過ぎると いう欠点がある。特に、ガスがシートを膨潤させた状態において、手動操作バル ブを締め付け過ぎると、シールを破壊させるという事故にもつながる。

【０００４】 ここに、本考案の目的は、このような従来の欠点を解消し、安価かつ小型に構 成できる上、締め付け過ぎによるシートの破損も防止できるボンベ用バルブを提 供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

そのため、本考案のボンベ用バルブは、ガスを充填したボンベに取り付けられ るボンベ用バルブであって、前記ボンベにそのボンベ内と連通する流路およびそ の流路の途中に設けられた弁座を有するバルブ本体を設け、このバルブ本体にシ リンダ室を形成し、このシリンダ室内にピストンを摺動可能に収納するとともに 、このピストンに前記弁座を開閉する弁体を連結し、この弁体が前記弁座を閉じ る方向へ前記ピストンを付勢するばねを設けるとともに、前記ピストンで区画さ れたシリンダ室の片側の室に前記ばねの付勢力に抗してピストンを押圧する加圧 流体供給口を開口し、この加圧流体供給口から供給される加圧流体の押圧力に抗 して前記弁体が前記弁座を閉じる方向へ前記ピストンを押圧する手動操作ハンド ルを前記バルブ本体に螺合した、ことを特徴とする。

【０００６】

【作用】

加圧流体供給口から加圧流体を供給すると、ばねの付勢力に抗してピストンが 押圧される。すると、そのピストンに連結された弁体が弁座から離れるので、ボ ンベ内に充填されたガスが流路を通じて流出される。緊急遮断時には、加圧流体 の供給を停止すると、ピストンがばねの付勢力によって摺動され、その結果、弁 体が弁座を閉じるから、ボンベ内に充填されたガスの流出が緊急遮断される。 また、手動操作ハンドルを操作しても、ピストンを加圧流体の押圧力やばねの 付勢力にかかわらずシリンダ内で摺動させることができる。その結果、弁体が弁 座を開閉するから、ボンベ内に充填されたガスの流出および停止を手動でも行え る。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案のボンベ用バルブの一実施例を図面を参照しながら詳細に説明す る。 図１において、１は内部にガスを充填したボンベ、２はそのボンベ１に螺合さ れたバルブ本体である。バルブ本体２は、前記ボンベ１に螺合された第１の部分 １１と、この第１の部分の上部に螺合された第２の部分２１と、この第２の部分 の上部に螺合された第３の部分３１とを有する。

【０００８】 第１の部分１１には、その上部に前記第２の部分２１が螺合するめねじ１２が 、中間部両側および下部におねじ１３，１４，１５がそれぞれ形成されていると ともに、内部に前記おねじ１５の中心から前記おねじ１４の端面に向かって開口 し前記ボンベ１内と連通する流路１６が形成されている。流路１６は、前記おね じ１５の中心に形成され上部に弁座１７を有する導出孔１６Ａと、この導出孔１ ６Ａの上部にそれと同心状に形成されたポケット１６Ｂと、このポケット１６Ｂ と平行に折り返されたのち前記おねじ１４の中心を通ってその端面に開口するガ ス充填排出口となる導出孔１６Ｃとから構成されている。また、おねじ１３の中 心部には、一端がそのおねじ１３の端面に開口されかつ他端が前記ポケット１６ Ｂに連通された洗浄ガス供給孔１８が形成されている。なお、おねじ１３にはキ ャップ１９が螺合され、おねじ１４には図示しない配管が接続される。

【０００９】 第２の部分２１には、その外周部に前記第１の部分１１のめねじ１２に螺合す るおねじ２２および前記第３の部分３１が螺合するおねじ２３がそれぞれ形成さ れているとともに、内部中心位置に前記弁座１７を開閉する弁体２４が軸方向へ 移動可能に収納されている。弁体２４は、前記第２の部分２１の中心軸方向へ移 動可能に収納されかつ上端におねじ２５を有する摺動軸２６と、この摺動軸２６ の下端にベロース２７を介して連結されたシート受２８と、このシート受２８に 収納され前記弁座１７を開閉するシート２９とから構成されている。なお、３０ Ａは前記第２の部分２１と第３の部分３１との間に収納された０リング、３０Ｂ は第２の部分２１と摺動軸２６との間に収納された０リングである。

【００１０】 第３の部分３１には、下部に前記第２の部分２１のおねじ２３に螺合するめね じ３２が形成されているとともに、内部に底面が前記第２の部分２１の上面によ って塞がれたシリンダ室３３が形成されている。シリンダ室３３内には、前記弁 体２４のおねじ２５を螺合連結したピストン３４が前記弁体２４の軸方向へ摺動 自在に収納されているとともに、ピストン３４によって区画された一方の室３３ Ａに前記弁体２４が弁座１７を閉じる方向へピストン３４を付勢するばね３５が 収納されている。他方の室３３Ｂには、ばね３５の付勢力に抗してピストン３４ を押圧する加圧流体としてのエアーを供給するための加圧流体供給口３６が開口 されている。なお、３７はシリンダ室３３とピストン３４との間に収納されたＯ リング、３８は一方の室３３Ａを大気に開放する連通孔である。

【００１１】 また、ピストン３４の上面には、内部底面にシート４１を収納した凹部４２が 形成されているとともに、その凹部４２内に中心に孔を有するキャップ４３が螺 合されている。また、第３の部分３１の上面には、グランドナット４４を介して 手動操作ハンドル４５が前記弁体２４と同軸上に螺合されている。手動操作ハン ドル４５の下端部には、前記凹部４２内に収納されかつキャップ４３によって抜 け止めされた押圧部４６が設けられている。従って、手動操作ハンドル４５の螺 合操作により、弁体２４が弁座１７を閉じる方向へピストン３４を加圧流体の押 圧力に抗して押し下げることができる。

【００１２】 次に、本実施例の作用を説明する。 ガスが充填されたボンベ１を使用場所まで搬入したのち、加圧流体供給口３６ に三方弁５１を介してエアー源５２を接続する。通常、この種のボンベ１が使用 される場所にはエアー源５２が備えられているから、それを利用する。ここで、 三方弁５１の切換操作によってエアー源５２からのエアーを加圧流体供給口３６ から他方の室３３Ｂに供給すると、ピストン３４がばね３５の付勢力に抗して上 方へ押し上げられる。すると、そのピストン３４に連結された弁体２４も上方へ 押し上げられるので、弁体２４のシート２９が弁座１７から離れ流路１６が連通 される。これにより、ボンベ１内に充填されたガスが流路１６を通じて流出され る。

【００１３】 一方、緊急遮断時には、三方弁５１の切換操作によってエアー源５２からのエ アーの供給を停止するとともに、他方の室３３Ｂを大気に開放すると、ピストン ３４がばね３５の付勢力によって下方へ押し下げられる。すると、弁体２４も押 し下げられるので、弁体２４のシート２９が弁座１７に当接してそれを閉じるか ら流路１６が遮断される。これにより、ボンベ１内に充填されたガスの流出が緊 急遮断される。

【００１４】 また、手動操作ハンドル４５を締め付けていくと、その手動操作ハンドル４５ の押圧部４６がシート４１に接しピストン３４をエアーの押し上げ力に抗して押 し下げる。その結果、弁体２４も押し下げられ、弁体２４のシート２９が弁座１ ７に当接してそれを閉じるから流路１６が遮断される。これにより、ボンベ１内 に充填されたガスの流出が遮断される。なお、エアーが他方の室３３Ｂに供給さ れていない状態において、手動操作ハンドル４５を前記とは逆方向へ回動してい けば、ピストン３４がばね３５の付勢力に抗して上方へ引き上げられるから、弁 体２４の上昇によって流路１６を連通状態にできる。

【００１５】 ところで、流路１６が遮断された状態において、キャップ１９を外したのち、 洗浄ガス供給孔１８から洗浄ガスを供給すると、その洗浄ガスは流路１６内を通 っておねじ１４に取り付けられる配管（図示省略）内を流れるから、これによっ て、これらの流路および配管内に残留する毒性ガスや可燃性ガスなどを排除でき る。

【００１６】 従って、本実施例によれば、バルブ本体１にシリンダ室３３を形成し、このシ リンダ室３３内に弁座１７を開閉する弁体２４を連結したピストン３４を摺動自 在に収納し、このピストン３４で区画された一方の室３３Ａに弁体２４が弁座１ ７を閉じる方向へピストン３４を付勢するばね３５を設けるとともに、他方の室 ３３Ｂにエアーを供給するようにしたので、エアーの供給を停止すれば、ピスト ン３４がばね３５の付勢力によって摺動し弁体２４が弁座１７を閉じるから、ボ ンベ１内に充填されたガスの流出を緊急遮断することができる。

【００１７】 また、バルブ本体１の第３の部分３１に、前記ピストン３４を室３３Ｂ内に供 給されたエアーの押し上げ力に抗して強制的に押し下げる手動操作ハンドル４５ を螺合したので、上記エアーの供給停止のほかに、手動操作ハンドル４５の回動 操作による手動操作によってもガスの流出を遮断することができる。更に、手動 操作ハンドル４５を逆回動操作すれば、ピストン３４を引き上げることができる から、流路１６を連通状態にできる。従って、エアー源がない場所でも使用でき る。

【００１８】 また、構成的には、バルブ本体２に、ピストン３４を摺動自在に収納するとと もに、このピストン３４を室３３Ｂ内に供給されたエアーの押し上げ力に抗して 強制的に押し下げる手動操作ハンドル４５を設けるだけの構成で済むから、安価 にかつ小型に構成することができる。

【００１９】 また、弁座１７からポケット１６Ｂを介してガス充填排出口となる導出孔１６ Ｃを形成するとともに、その弁座１７の近傍に洗浄ガス供給孔１８を開口したの で、その洗浄ガス供給孔１８から洗浄ガスを供給すれば、その洗浄ガスはポケッ ト１６Ｂ内を通って導出孔１６Ｃからおねじ１４に取り付けられる配管（図示省 略）内を流れるから、特に、ポケット１６Ｂ内にガス溜まりが生じることがない 。従って、完全なガスの置換ができるから、ガス純度を確保できる。

【００２０】 なお、上記実施例では、バルブ本体２を第１〜第３の部分１１，２１，３１に分 割して構成したが、これらを一体的に構成してもよい。

【００２１】

【考案の効果】

以上の通り、本考案のボンベ用バルブによれば、加圧流体の供給を停止すれば 、ピストンがばねの付勢力によって摺動し、弁体が弁座を閉じるので、つまり、 ばねの付勢力によって弁座が閉じられるから、締め付け過ぎによるシートの破損 などを防止できる。また、構成的には、バルブ本体にピストンを摺動自在に収納 し、このピストンを加圧流体の押し上げ力に抗して強制的に押し下げる手動操作 ハンドルを設ければよいから、安価かつ小型に構成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す断面図である。

【符号の説明】

１ ボンベ ２ バルブ本体 １６ 流路 １７ 弁座 ２４ 弁体 ３３ シリンダ室 ３３Ａ 一方の室 ３３Ｂ 他方の室（片側の室） ３４ ピストン ３５ ばね ３６ 加圧流体供給口 ４５ 手動操作ハンドル

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ガスを充填したボンベに取り付けられるボ
   ンベ用バルブであって、前記ボンベにそのボンベ内と連
   通する流路およびその流路の途中に設けられた弁座を有
   するバルブ本体を設け、このバルブ本体にシリンダ室を
   形成し、このシリンダ室内にピストンを摺動可能に収納
   するとともに、このピストンに前記弁座を開閉する弁体
   を連結し、この弁体が前記弁座を閉じる方向へ前記ピス
   トンを付勢するばねを設けるとともに、前記ピストンで
   区画されたシリンダ室の片側の室に前記ばねの付勢力に
   抗してピストンを押圧する加圧流体供給口を開口し、こ
   の加圧流体供給口から供給される加圧流体の押圧力に抗
   して前記弁体が前記弁座を閉じる方向へ前記ピストンを
   押圧する手動操作ハンドルを前記バルブ本体に螺合し
   た、ことを特徴とするボンベ用バルブ。