JPH0669900U - 電子線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 操作性が良く、しかも試料出入口からのＸ線
の漏れを確実に防止できる電子線照射装置を提供する。 【構成】 前面ＦＰにある試料入口４０、試料出口５０
の部分に入口シャッタ４１、出口シャッタ５１がそれぞ
れ設けられており、それらの奥の部分のＸ線遮蔽体３
に、試料を収納したトレイ２を出入れできる入口開口部
４３、出口開口部５３がそれぞれ設けられており、それ
らの部分に入口シャッタ４２、出口シャッタ５２がそれ
ぞれ設けられている。試料入口４０と入口開口部４３間
に入口搬送装置７が設けられており、試料出口５０と出
口開口部５３間に出口搬送装置８が設けられている。こ
れらの搬送装置の搬送方向は、主搬送装置１の搬送方向
とは水平方向でほぼ直交している。入口開口部４３、出
口開口部５３の奥には、入口昇降台９、出口昇降台１０
がそれぞれ設けられている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、主に試験・研究用に使用されるいわゆる一体形でバッチ式の電子 線照射装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

図１は、従来のいわゆる一体形でバッチ式の電子線照射装置の構成を示す部分 的な水平断面図である。前面ＦＰには操作部が設けられており（図示省略）、内 部には試料を、より具体的にはこの例では試料を収納したトレイ２を前面ＦＰか ら見て左右方向に、即ち矢印Ａ₁ 方向に搬送する主搬送装置（メインコンベア） １が設けられている。主搬送装置１は駆動モータ６によって駆動される。主搬送 装置１の搬送ライン上には、入口シャッタ４および出口シャッタ５をそれぞれ備 える試料入口４０および試料出口５０が設けられている。主搬送装置１の周りは 、Ｘ線を遮蔽するために、Ｘ線遮蔽体３で囲まれている。

【０００３】 操作につき説明すると、試料を収納したトレイ２を主搬送装置１に乗せて入口 シャッタ４を閉める。トレイ２は、電子線照射野ＥＦを通過して試料出口５０の 方に搬送される。電子線照射野ＥＦの上方には電源部に接続された電子線照射部 が設けられており（いずれも図式省略）、これによって、主搬送装置１上の試料 は電子線照射を受ける。その後出口シャッタ５を開けて試料を取り出す。以上の ようにして、電子線による試料の改質，キュアリング等の試験・研究が行われる 。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、前述したような従来の装置においては、操作面すなわち前面Ｆ Ｐに試料出入口がないため、オペレータが試料出入れのために側面に行かねばな らず、操作に手間がかかる。また、電子線照射野ＥＦは取りも直さずＸ線放射野 でもあるが、図中に破線Ｌ₁ およびＬ₂ で示すように、常時開閉する試料入口４ ０および試料出口５０がＸ線放射野に直接面している。従って、通常インタロッ クを取っているものの、万一電子線照射中に誤って入口シャッタ４あるいは出口 シャッタ５を開けると、オペレータが大量にＸ線被爆するおそれがある。また、 入口シャッタ４あるいは出口シャッタ５によってＸ線の貫通遮蔽はできても、そ こは常時開閉する部分であり、シャッタの隙間からＸ線が大量に漏れる可能性が ある。

【０００５】 そこでこの考案は、操作性が良く、しかも試料出入口からのＸ線の漏れを確実 に防止できる電子線照射装置を提供することを主たる目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

この考案は、前面に、当該電子線照射装置を操作する操作部を有し、内部に、 前面から見て左右方向に試料を搬送する主搬送装置と、この主搬送装置上の試料 に電子線を照射する電子線照射部と、この電子線照射部に電力を供給する電源部 と、主搬送装置の周りを囲むＸ線遮蔽体とを有し、バッチ処理を行う電子線照射 装置において、前記前面の左右の一方に設けられた試料入口および他方に設けら れた試料出口と、この試料入口および試料出口の部分にそれぞれ設けられていて 共にＸ線遮蔽機能を有し開閉可能な第１の入口シャッタおよび第１の出口シャッ タと、試料入口および試料出口の奥の部分の前記Ｘ線遮蔽体にそれぞれ設けられ た入口開口部および出口開口部と、この入口開口部および出口開口部にそれぞれ 設けられていて共にＸ線遮蔽機能を有し開閉可能な第２の入口シャッタおよび第 ２の出口シャッタであって、この第２の入口シャッタと前記第１の入口シャッタ は同時には開状態にならないようにされており、第２の出口シャッタと前記第１ の出口シャッタも同時には開状態にならないようにされているものと、試料入口 と入口開口部との間に設けられていて試料入口からの試料を入口開口部の奥の方 へ搬送する伸縮式の入口搬送装置であって、その試料を受ける部分が第１の入口 シャッタより前へかつ第２の入口シャッタより奥へ延出すると共に、その搬送方 向が主搬送装置の搬送方向と水平方向でほぼ直交しているものと、入口開口部の 奥に設けられていて入口搬送装置から試料を受け取ってそれを主搬送装置に渡す 入口昇降台と、試料出口と出口開口部との間に設けられていて出口開口部の奥か らの試料を試料出口まで搬送する伸縮式の出口搬送装置であって、その試料を受 ける部分が第１の出口シャッタより前へかつ第２の出口シャッタより奥へ延出す ると共に、その搬送方向が主搬送装置の搬送方向と水平方向でほぼ直交している ものと、出口開口部の奥に設けられていて主搬送装置から試料を受け取ってそれ を出口搬送装置に渡す出口昇降台とを備えることを特徴とする。

【０００７】

【実施例】

図２は、この考案の一実施例に係る一体形でバッチ式の電子線照射装置の正面 図である。図３は、図２の線Ｃ−Ｃに沿う部分的な断面図である。図１の従来例 と同一または相当する部分には同一符号を付し、以下においては当該従来例との 相違点を主に説明する。なお以下の実施例では、試料を従来例と同様にトレイ２ に収納して搬送する場合を例に説明しているので、トレイ２の搬送は試料の搬送 と同じ意味で使用している。

【０００８】 この実施例においては、前面ＦＰの上部に、当該電子線照射装置を操作する操 作部１００が、前面の左右に、試料を入れるための試料入口４０および試料を取 り出すための試料出口５０が、それぞれ設けられている。

【０００９】 この試料入口４０および試料出口５０の部分には、共にＸ線遮蔽機能を有して いて開閉可能な第１の入口シャッタ４１および第１の出口シャッタ５１がそれぞ れ設けられている。

【００１０】 試料入口４０および試料出口５０の奥の部分の前記Ｘ線遮蔽体３には、試料を 収納したトレイ２を出入れできる入口開口部４３および出口開口部５３がそれぞ れ設けられている。

【００１１】 この入口開口部４３および出口開口部５３の部分には、共にＸ線遮蔽機能を有 していて開閉可能な第２の入口シャッタ４２および第２の出口シャッタ５２がそ れぞれ設けられている。しかもこの入口シャッタ４２と前記入口シャッタ４１と は、電気的あるいは機械的なインターロック等によって、両者が同時には開状態 にならないようにされている。出口シャッタ５２と前記出口シャッタ５１もこれ と同様にされている。

【００１２】 試料入口４０とその奥の入口開口部４３との間には、試料入口４０からのトレ イ２を矢印Ａ₂ のように入口開口部４３の奥の方へ搬送する入口搬送装置（入口 コンベア）７が設けられている。この入口搬送装置７の搬送方向は、前述した主 搬送装置１の搬送方向とは水平方向でほぼ直交している。またこの入口搬送装置 ７は、伸縮式のものであり、そのトレイ２を受ける部分が入口シャッタ４１より 前へかつ入口シャッタ４２より奥へ延出する。この入口搬送装置７は、例えば、 図４に示すようなラック７１と歯車７２との組み合わせによるスライド式のコン ベアである。あるいはこの入口搬送装置７としては、エアーシリンダによるテレ スコピック式（入れ子式）のコンベア等が利用できる。

【００１３】 入口開口部４３の奥には、入口搬送装置７からトレイ２を受け取ってそれを主 搬送装置１へ渡す入口昇降台９が設けられている。

【００１４】 一方、試料出口５０とその奥の出口開口部５３との間には、出口開口部５３の 奥からのトレイ２を矢印Ａ₃ のように試料出口５０まで搬送する出口搬送装置（ 出口コンベア）８が設けられている。この出口搬送装置８の搬送方向も、主搬送 装置１の搬送方向とは水平方向でほぼ直交している。この出口搬送装置８も、伸 縮式のものであり、そのトレイ２を受ける部分が出口シャッタ５１より前へかつ 出口シャッタ５２より奥へ延出する。この出口搬送装置８も、上記入口搬送装置 ７と同様の構造をしている。

【００１５】 出口開口部５３の奥には、主搬送装置１からトレイ２を受け取ってそれを出口 搬送装置８へ渡す出口昇降台１０が設けられている。

【００１６】 上記シャッタ４１，４２，５１，５２は例えば鉛およびステンレスから成り、 その他の部分はステンレスあるいは鉛でハウジングされている。

【００１７】 動作例につき説明する。試料入口４０付近に設けられた入口シャッタ開閉用の ボタンスイッチ（図示省略）を押すと入口シャッタ４１が開き、かつ入口搬送装 置７が移動してその端部が外に出てくる（図４参照）。オペレータが入口搬送装 置７に試料の収納されたトレイ２をセットし、入口シャッタ開閉用のボタンスイ ッチを押すと、トレイ２を乗せた入口搬送装置７が中に移動して入口シャッタ４ １が閉じる。この状態で操作部１００に設けられた照射開始用のボタンスイッチ （図示省略）を押すと、次の一連のシーケンス制御が実行される。

【００１８】 即ち、入口シャッタ４２が開き、入口搬送装置７が入口昇降台９の方に移動し 、入口昇降台９が上昇して入口搬送装置７からトレイ２を受け取る。続いて入口 搬送装置７が元の位置に移動して、入口シャッタ４２が閉じ、入口昇降台９が降 下して、トレイ２を主搬送装置１に渡す。続いてトレイ２が主搬送装置１によっ て図３中の矢印Ａ₁ の方向に搬送され、その途中で電子線照射野ＥＦにおいてト レイ２中の試料は電子線照射を受ける。トレイ２が出口昇降台１０に達すると出 口昇降台１０が上昇して主搬送装置１からトレイ２を受け取る。続いて出口シャ ッタ５２が開き、出口搬送装置８が奥の方に移動し、その後出口昇降台１０が降 下して、トレイ２を出口搬送装置８に渡す。続いて出口搬送装置８が外の方に移 動し、トレイ２を出口シャッタ５１と５２との間に保った状態で出口シャッタ５ ２が閉じる。この状態になると操作部１００に設けられた照射終了ランプ（図示 省略）が点灯する。これによって一連のシーケンス制御は終了する。

【００１９】 照射終了ランプ点灯を確認したオペレータが、試料出口５０付近に設けられた 出口シャッタ開閉用のボタンスイッチ（図示省略）を押すと出口シャッタ５１が 開き、かつトレイ２を乗せた出口搬送装置８の端部が外の方へ移動してくる。そ こでこのトレイ２を取出す。これにより一つの照射プロセスが終了する。

【００２０】 尚、以上のシーケンス制御が実行されている間連続して電子線照射部から電子 線を発生させてもよいし、あるいは、試料が電子線照射野ＥＦに来たときにだけ それを検出して電子線を発生させてもよい。

【００２１】 この電子線照射装置においては、試料入口４０および試料出口５０が当該電子 線照射装置の前面ＦＰにあって、試料の出入れが操作部１００のある前面ＦＰか ら行えるので、操作性が非常に良い。

【００２２】 また、入口搬送装置７および出口搬送装置８の搬送方向は主搬送装置１の搬送 方向と水平方向でほぼ直交しているので、Ｘ線の発生する電子線照射野ＥＦから は、Ｘ線遮蔽体３に遮られて、試料入口４０および試料出口５０を見通すことは できず、そのために電子照射野ＥＦで発生するＸ線は、直接試料入口４０あるい は試料出口５０に達することはなく、図３中に破線Ｌ₃ で示すように、少なくと も１回反射しなければ試料入口４０あるいは試料出口５０には達しない。反射後 のＸ線は大幅に減衰しているので、これによって、試料入口４０および試料出口 ５０からのＸ線の漏れを防止することができる。

【００２３】 しかもこれと、試料入口４０および試料出口５０にＸ線遮蔽機能を有する第１ の入口シャッタ４１および第１の出口シャッタ５１をそれぞれ設けることを併用 しているので、試料入口４０および試料出口５０からのＸ線の漏れをより確実に 防止することができる。

【００２４】 更に、第１の入口シャッタ４１の奥および第１の出口シャッタ５１の奥に第２ の入口シャッタ４２および第２の出口シャッタ５２をそれぞれ設けて、入口シャ ッタおよび出口シャッタをそれぞれ二重シャッタ構造にしており、しかも第１お よび第２の入口シャッタ４１、４２は同時には開状態にされないように、かつ第 １および第２の出口シャッタ５１、５２も同時には開状態にされないようにして いるので、二重シャッタによってより確実にＸ線の漏れを防止することができる と共に、安全性も高く、しかも奥のシャッタ４２あるいは５２の隙間からのＸ線 の漏れを外側のシャッタ４１あるいは５１によって防止することもできる。

【００２５】 このような何重もの構造によって、Ｘ線の漏れをより完全に防止することがで きるようにしているので、安全性が極めて高い。

【００２６】 また、入口搬送装置７および出口搬送装置８をそれぞれ伸縮式として、その試 料を受ける部分が前後のシャッタ４１，４２，５１，５２より延出するようにし ているので、オペレータによる試料の出入れが容易であり、この点からも操作性 の向上に寄与している。また入口昇降台９あるいは出口昇降台１０との試料の受 け渡しもスムーズに行うことができる。

【００２７】

【考案の効果】

以上のようにこの考案によれば、試料入口および試料出口が前面にあって、試 料の出入れが操作部のある前面から行えるので、操作性が非常に良い。しかも、 入口搬送装置および出口搬送装置が伸縮式であってその試料を受ける部分が入口 シャッタおよび出口シャッタより前へ延出するので、オペレータによる試料の出 入れが容易であり、この点も操作性の向上に寄与している。

【００２８】 また、入口搬送装置および出口搬送装置の搬送方向を主搬送装置の搬送方向と ほぼ直交させてＸ線の反射による減衰と試料出入口のシャッタによるＸ線遮蔽と を併用しており、更に試料出入口のシャッタをそれぞれ二重シャッタ構造にして 、より確実にＸ線の漏れを防止すると共に、奥のシャッタの隙間からのＸ線の漏 れを外側のシャッタで防止できるようにしているので、試料出入口からのＸ線の 漏れを確実に防止することができる。従って安全性が極めて高い。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のいわゆる一体形でバッチ式の電子線照射
装置の構成を示す部分的な水平断面図である。

【図２】この考案の一実施例に係る一体形でバッチ式の
電子線照射装置の正面図である。

【図３】図２の線Ｃ−Ｃに沿う部分的な断面図である。

【図４】入口搬送装置の一例を示す概略図である。

【符号の説明】

１ 主搬送装置 ２ 試料収納用トレイ ３ Ｘ線遮蔽体 ７ 入口搬送装置 ８ 出口搬送装置 ９ 入口昇降台 １０ 出口昇降台 ４０ 試料入口 ４１ 第１の入口シャッタ ４２ 第２の入口シャッタ ４３ 入口開口部 ５０ 試料出口 ５１ 第１の出口シャッタ ５２ 第２の出口シャッタ ５３ 出口開口部 １００ 操作部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 前面に、当該電子線照射装置を操作する
   操作部を有し、内部に、前面から見て左右方向に試料を
   搬送する主搬送装置と、この主搬送装置上の試料に電子
   線を照射する電子線照射部と、この電子線照射部に電力
   を供給する電源部と、主搬送装置の周りを囲むＸ線遮蔽
   体とを有し、バッチ処理を行う電子線照射装置におい
   て、前記前面の左右の一方に設けられた試料入口および
   他方に設けられた試料出口と、この試料入口および試料
   出口の部分にそれぞれ設けられていて共にＸ線遮蔽機能
   を有し開閉可能な第１の入口シャッタおよび第１の出口
   シャッタと、試料入口および試料出口の奥の部分の前記
   Ｘ線遮蔽体にそれぞれ設けられた入口開口部および出口
   開口部と、この入口開口部および出口開口部にそれぞれ
   設けられていて共にＸ線遮蔽機能を有し開閉可能な第２
   の入口シャッタおよび第２の出口シャッタであって、こ
   の第２の入口シャッタと前記第１の入口シャッタは同時
   には開状態にならないようにされており、第２の出口シ
   ャッタと前記第１の出口シャッタも同時には開状態にな
   らないようにされているものと、試料入口と入口開口部
   との間に設けられていて試料入口からの試料を入口開口
   部の奥の方へ搬送する伸縮式の入口搬送装置であって、
   その試料を受ける部分が第１の入口シャッタより前へか
   つ第２の入口シャッタより奥へ延出すると共に、その搬
   送方向が主搬送装置の搬送方向と水平方向でほぼ直交し
   ているものと、入口開口部の奥に設けられていて入口搬
   送装置から試料を受け取ってそれを主搬送装置に渡す入
   口昇降台と、試料出口と出口開口部との間に設けられて
   いて出口開口部の奥からの試料を試料出口まで搬送する
   伸縮式の出口搬送装置であって、その試料を受ける部分
   が第１の出口シャッタより前へかつ第２の出口シャッタ
   より奥へ延出すると共に、その搬送方向が主搬送装置の
   搬送方向と水平方向でほぼ直交しているものと、出口開
   口部の奥に設けられていて主搬送装置から試料を受け取
   ってそれを出口搬送装置に渡す出口昇降台とを備えるこ
   とを特徴とする電子線照射装置。