JPH0670145U - 蛍光ｘ線装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 Ｘ線管球等から発生する熱を冷却するため、
最も効率良く、かつチリが装置新に導入されない構造に
する。 【構成】 Ｘ線装置の全体を覆うカバーの側面に外気を
導入するファンを設け、カバーの上面に、導入された外
気を排出する排出口を設ける。そして排出口に、ファン
と連動して開閉する蓋を配置する。 【効果】 ファンにより導入された外気はＸ線管球等に
温められて、カバーの上面に設けられた排出口から排出
される。これは、対流により外気はより効率的に排出さ
れるため冷却効率があがる。そして、装置が非稼動中に
は蓋は閉じられるので、外気から、チリがカバー内に導
入されない。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、Ｘ線を試料に照射して、試料から発生する蛍光Ｘ線を検出して、試 料の成分を測定、または試料にコーティングされている膜の膜厚を測定する蛍光 Ｘ線装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の蛍光Ｘ線装置においては、蛍光Ｘ線装置、特にＸ線を発生させるＸ線管 球は、非常に発熱するものである。従って、装置全体を覆うカバー内を冷却のた め強制換気して、空冷なければならない。

【０００３】 従来の空冷の構造を図２に示す。蛍光Ｘ線装置の主装置はカバー１０内に納め られている。カバー１０の背面部には、ファン１が備えられている。ファン１は 、外気をカバー１０内に導入するものである。そしてカバー１０の両側面には、 排出口２が設けられており、ファン１によりカバー１０内に導入された外気は、 カバー１０内のＸ線管球を冷却する。カバー１０内の外気の流れ３を図２に示し ている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、蛍光Ｘ線装置の主装置の冷却効率は、対流の関係でカバー１０の側面 や裏面に排出口２を設けるよりカバー１０の上面に排出口２を設けるた方が良い ことは明らかである。

【０００５】 ところが、カバー１０の上面に排出口２を設けると、外気のチリがカバー１０ 内に侵入する。そしてそのチリが蛍光Ｘ線装置全体に悪影響を及ぼす。これは、 フィルター類を設けても、完全に地理の侵入を防止できないと同時に、冷却効率 も悪化する。

【０００６】 そこで、本考案の目的は、空冷の冷却効率を良好にし、かつカバー内にチリが 侵入するのを防止することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するために、本考案は、 蛍光Ｘ線装置において、カバーの上面に排出口を設ける。そしてその排出口 に開閉可能な蓋で覆う。更に、その蓋の開閉を外気を導入するファンの作動と連 動させて開閉を行う。 別の構造として、カバー上面に配置された開閉可能な蓋を軽い材質で成形し 、その蓋が外気を導入するファンによりカバー内に発生する圧力により、開閉す る構造しする。

【０００８】

【作用】

上記のように構成された蛍光Ｘ線装置は、装置全体を稼動させると、外気導 入用のファンが作動する。そして、そのファンと連動して排出口の蓋が開き、フ ァンにより冷却のために導入された外気は、温められて排出口から排出される。 装置を停止すると、ファンもの回転も停止し、そして蓋が閉じる。つま、装置停 止時は、必ずカバーの上面に設けられた排出口に閉じているため、排出口からチ リは、侵入しない。

【０００９】 上記のように構成された蛍光Ｘ線装置は、装置を稼動させると、外気導入用 のファンが作動する。そのファンの働きにより、カバー内の気圧は高くなり、カ バーの上面に設けられた軽量な排出口の蓋は、押し上げられて、排出口は開くこ とになる。ファンにより冷却のために導入された外気は、温められて排出口から 排出される。装置を停止すると、ファンもの回転も停止し、そして自重により蓋 が閉じる。つま、装置停止時は、必ずカバーの上面に設けられた排出口に閉じて いるため、排出口からチリは、侵入しない。

【００１０】

【実施例】 以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。 図１に於いて本考案の概略斜視図である。カバー１０内には、Ｘ線を発生する Ｘ線管球と、Ｘ線管球に供給する高電圧からＸ線管球を保護する絶縁油と、試料 へのＸ線照射により発生する蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出器が、図示しないが、 配置されている。

【００１１】 カバー１０の内部にあるＸ線装置の主装置を冷却するためのファン１はカバー １０の裏面に設けられている。なお、ファン１はカバーの裏面である必要はなく 側面に配置することも可能である。 そして、カバー１０の上面には、装置全体の冷却を行った外気を排出するため の排出口２が設けられている。排出口２には、排出口２を開閉自在な蓋４が設け られている。この蓋４は、ファン１の作動と連動して開閉する構造（ファン１ がオンすると蓋４が開き、ファン１がオフすると蓋４が閉じる）か、蓋は軽い 材料でできており、カバー１０内の圧力の上昇により、蓋４が開くような構造に なっている。

【００１２】 蛍光Ｘ線装置を稼動させると、外気導入用のファン１が作動する。そして、 の構造では、強制的に蓋４を上げ、排出口２が開く。またの構造では、ファン １による外気導入によりカバー１０内の圧力が上昇し、その圧力により蓋４が上 昇する。そして排出口２が開く。

【００１３】 排出口２が開くと、図３の状態になり、外気が矢印３のように流れ、カバー１ ０内の蛍光Ｘ線装置を冷却する。 装置全体の稼動を停止すると、ファン１が停止し、それと連動して、蓋４が下 がり、排出口２が閉まる。

【００１４】

【考案の効果】

本考案は、以上説明したように、カバーの上面に気体の排出口を設け、その排 出口に開閉可能に蓋を設けている。その蓋をファンと連動して、または、ファン によるカバー内の圧力上昇により、蓋が上昇して排出口が開く構成になっている 。このため、カバーの上面に排出口を設けたので、装置全体の冷却効率が向上す る。そして、装置が非稼動状態のときは、カバーの上面に設けられた排出口が閉 じているため、チリが導入されない。

【００１５】 なお、装置が稼動状況のときは、排出口が開く構造となっているが、そこには 、大気の排出のための冷却風が流れているため、カバー内にはチリが導入されな い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す斜視図である。

【図２】従来装置の斜視図である。

【図３】本考案装置の気体の流れの示す斜視図である。

【符号の説明】

１ ファン ２ 排出口 ３ 外気の流れ ４ 蓋

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ線を発生するためのＸ線管球と、前記
   Ｘ線を試料に照射して、前記試料から発生する蛍光Ｘ線
   を検出するＸ線検出器と、少なくとも前記Ｘ線管球と前
   記試料およびＸ線検出器を内蔵するカバーよりなる蛍光
   Ｘ線装置において、前記カバーは、その側面に外気を導
   入するためのファンと、その上面に前記ファンの稼動に
   基づいて開閉する蓋を設けたことを特徴とする蛍光Ｘ線
   装置。