JPH0673792B2 - 送り装置 - Google Patents
送り装置Info
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- JPH0673792B2 JPH0673792B2 JP59077279A JP7727984A JPH0673792B2 JP H0673792 B2 JPH0673792 B2 JP H0673792B2 JP 59077279 A JP59077279 A JP 59077279A JP 7727984 A JP7727984 A JP 7727984A JP H0673792 B2 JPH0673792 B2 JP H0673792B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nut
- feeding
- target member
- nut body
- lead screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 9
- 239000010720 hydraulic oil Substances 0.000 claims description 7
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 6
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/36—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission in which a servomotor forms an essential element
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は工作機械における移動テーブル等を送り対象部
材として該テーブルを高精度に所要送り量直線移動させ
る送り送置に関する。
材として該テーブルを高精度に所要送り量直線移動させ
る送り送置に関する。
近年、精密機械加工の分野においては、例えば0.1ミク
ロン単位という高精度な製品加工の要請が強くそれに応
じ得る送り装置ひいては超精密工作機械の開発が望まれ
ている。
ロン単位という高精度な製品加工の要請が強くそれに応
じ得る送り装置ひいては超精密工作機械の開発が望まれ
ている。
従来の送り装置は、一般に、ベッドに軸受を介して回転
自在に支承された親ねじに、移動テーブルに固着された
ナット体を螺合して、該親ねじを回動駆動させることに
よりナット体と伴に移動テーブルを直線移動させる構成
であった。
自在に支承された親ねじに、移動テーブルに固着された
ナット体を螺合して、該親ねじを回動駆動させることに
よりナット体と伴に移動テーブルを直線移動させる構成
であった。
しかしながら、かかる構成の送り装置では親ねじとナッ
ト体との間に生ずるバックラッシュ、あるいは親ねじの
回転を移動テーブルの直線移動に変換する機構に対して
の正確な送り量制御の困難性等から、高精度な送りを期
待することはできなかった。
ト体との間に生ずるバックラッシュ、あるいは親ねじの
回転を移動テーブルの直線移動に変換する機構に対して
の正確な送り量制御の困難性等から、高精度な送りを期
待することはできなかった。
本発明は上述した如き事情に基づいてなされたものであ
り、その目的は高精度に送り対象部材を所要送り量移動
させることができる送り装置を提供することである。
り、その目的は高精度に送り対象部材を所要送り量移動
させることができる送り装置を提供することである。
本発明は上記目的を達成するために次の如く構成したこ
とを特徴とする。
とを特徴とする。
すなわち、本体と、この本体に軸受を介して回転自在に
支承された親ねじと、この親ねじを回転駆動する駆動源
と、上記親ねじに螺合されたナット体と、このナット体
の移動に伴い上記本体上を移動する送り対象部材と、こ
の送り対象部材を上記ナット体に対して相対変位させる
ことにより上記本体上で移動させる精密送り手段とを具
備し、前記精密送り手段は前記送り対象部材及び前記ナ
ット体に対し互いに軸方向逆向きの流体圧を作用させて
なる構成である。
支承された親ねじと、この親ねじを回転駆動する駆動源
と、上記親ねじに螺合されたナット体と、このナット体
の移動に伴い上記本体上を移動する送り対象部材と、こ
の送り対象部材を上記ナット体に対して相対変位させる
ことにより上記本体上で移動させる精密送り手段とを具
備し、前記精密送り手段は前記送り対象部材及び前記ナ
ット体に対し互いに軸方向逆向きの流体圧を作用させて
なる構成である。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本実施例の送り装置の全体構成を示す図、第２
図は第１図におけるＡ−Ａ線断面図、第３図は送り装置
の要部を拡大して示す図である。
図は第１図におけるＡ−Ａ線断面図、第３図は送り装置
の要部を拡大して示す図である。
図中３は工作機械における本体（ベッド）であり、図中
１は親ねじである。上記親ねじ１は静圧軸受２を介して
本体３に回転自在に支承されていると共に、駆動源とし
てのモータ４に減速機構５を介して連結されている。ま
た、本体３には送り対象部材としてのテーブル６が摺動
自在に配設されており、一方、親ねじ１にはナット体７
が螺合されている。
１は親ねじである。上記親ねじ１は静圧軸受２を介して
本体３に回転自在に支承されていると共に、駆動源とし
てのモータ４に減速機構５を介して連結されている。ま
た、本体３には送り対象部材としてのテーブル６が摺動
自在に配設されており、一方、親ねじ１にはナット体７
が螺合されている。
上記テーブル６とナット体７とは、テーブル６に形成さ
れた孔にナット体７が挿入された状態にて係合してい
る。
れた孔にナット体７が挿入された状態にて係合してい
る。
前記ナット体７は第１ナット８の軸心部に所定深さがわ
たって形成した溝に第２のナット９が嵌入されたいわゆ
るダブルナットに形成されている。ここで、上記第２の
ナット９は第２図に示す如く角形状に形成されており、
従って、各ナット８、９は相対変位が禁止されている。
また、第１のナット８及び第２のナット９の軸方向境界
面にはさまれた空間10には配管11を通して作動油が供給
可能となっており、これにより各ナット８、９は軸方向
の油圧を受けて親ねじ１に圧接固定され得る構成となっ
ている。
たって形成した溝に第２のナット９が嵌入されたいわゆ
るダブルナットに形成されている。ここで、上記第２の
ナット９は第２図に示す如く角形状に形成されており、
従って、各ナット８、９は相対変位が禁止されている。
また、第１のナット８及び第２のナット９の軸方向境界
面にはさまれた空間10には配管11を通して作動油が供給
可能となっており、これにより各ナット８、９は軸方向
の油圧を受けて親ねじ１に圧接固定され得る構成となっ
ている。
前記テーブル６とナット体７との間には、該テーブル６
を高精度にて移動させる精密送り手段が構成されてい
る。すなわち、精密送り手段は、ナット体７の一部外周
につば部12を形成してこれをプランジャとすると共にテ
ーブル６をシリンダチューブとして油圧シリンダ13を形
成し、該油圧シリンダ13へサーボ弁14から配管15、16を
通して作動油を供給することによりナット体７に対して
テーブル６を相対変位させて、テーブル６を本体３上で
摺動させる構成である。
を高精度にて移動させる精密送り手段が構成されてい
る。すなわち、精密送り手段は、ナット体７の一部外周
につば部12を形成してこれをプランジャとすると共にテ
ーブル６をシリンダチューブとして油圧シリンダ13を形
成し、該油圧シリンダ13へサーボ弁14から配管15、16を
通して作動油を供給することによりナット体７に対して
テーブル６を相対変位させて、テーブル６を本体３上で
摺動させる構成である。
上述した精密送り手段は次の制御系により送り量を制御
される。すなわち、差動増巾器17はコントローラ18から
の送り量指令信号及びテーブル６に設けられた変位計19
からのテーブル６とナット体７との相対変位信号を入力
し、これらの減算値信号をサーボ増巾器20を介してサー
ボ弁14へと出力する。サーボ弁14は信号を入力する間油
圧シリンダ13の所定の室内に作動油を供給する。変位計
19からの相対変位信号コントローラ18からの指令信号と
同値になったとき差動増巾器17は出力零となり、その結
果、サーボ弁14から供給される圧力はバランスし、所望
の位置に保持される。
される。すなわち、差動増巾器17はコントローラ18から
の送り量指令信号及びテーブル６に設けられた変位計19
からのテーブル６とナット体７との相対変位信号を入力
し、これらの減算値信号をサーボ増巾器20を介してサー
ボ弁14へと出力する。サーボ弁14は信号を入力する間油
圧シリンダ13の所定の室内に作動油を供給する。変位計
19からの相対変位信号コントローラ18からの指令信号と
同値になったとき差動増巾器17は出力零となり、その結
果、サーボ弁14から供給される圧力はバランスし、所望
の位置に保持される。
次に、本送り装置の動作を説明する。
テーブル６の粗送りはモータ４により親ねじ１を回転駆
動して、ナット体７を直線移動させることにより行な
う。このとき、油圧シリンダ13の各室内には作動油が充
填されており、従って、テーブル６はナット体７と一体
になって直線移動する。次に、テーブル６の精密送りを
前記油圧シリンダ13に作動油を供給することにより該油
圧シリンダ13の行程範囲内で行なう。すなわち、前述し
た制御系からの信号に基づいてサーボ弁14が油圧シリン
ダ13の所定の室内に作動油を供給すると、テーブル６及
びナット体７のつば部12は互いに軸方向逆向きの油圧を
受け、その結果、ナット体７の位置を基準としてテーブ
ル６は本体３上で直線移動して送りがなされる。このと
き、第１のナット８及び第２のナット９の間の空間10に
は作動油が供給され、ナット体７は親ねじ１に圧接固定
されている。従って、ナット体７は親ねじ１を介して本
体３に確実に固定された状態を維持でき、その結果、精
密送りの基準となるナット体７の位置はずれを生ずるお
それがない。このように、精密送りは油圧シリンダ13の
直線運動によりテーブル６を同方向に直線移動させる機
構であるため、高精度な送り制御が可能で、かつバック
ラッシュがないため高い信頼性が確保できる。
動して、ナット体７を直線移動させることにより行な
う。このとき、油圧シリンダ13の各室内には作動油が充
填されており、従って、テーブル６はナット体７と一体
になって直線移動する。次に、テーブル６の精密送りを
前記油圧シリンダ13に作動油を供給することにより該油
圧シリンダ13の行程範囲内で行なう。すなわち、前述し
た制御系からの信号に基づいてサーボ弁14が油圧シリン
ダ13の所定の室内に作動油を供給すると、テーブル６及
びナット体７のつば部12は互いに軸方向逆向きの油圧を
受け、その結果、ナット体７の位置を基準としてテーブ
ル６は本体３上で直線移動して送りがなされる。このと
き、第１のナット８及び第２のナット９の間の空間10に
は作動油が供給され、ナット体７は親ねじ１に圧接固定
されている。従って、ナット体７は親ねじ１を介して本
体３に確実に固定された状態を維持でき、その結果、精
密送りの基準となるナット体７の位置はずれを生ずるお
それがない。このように、精密送りは油圧シリンダ13の
直線運動によりテーブル６を同方向に直線移動させる機
構であるため、高精度な送り制御が可能で、かつバック
ラッシュがないため高い信頼性が確保できる。
尚、本発明は上述した一実施例に限定されるものではな
い。例えば、精密送り手段としては油圧シリンダ13に代
えてつば部12の両側方に各々静圧ポケットを形成し、空
気、油等の作動流体を圧力を異にして上記静圧ポケット
内に供給してナット体７とテーブル６とをナット体７を
基準として相対変位させる構成であってもよい。
い。例えば、精密送り手段としては油圧シリンダ13に代
えてつば部12の両側方に各々静圧ポケットを形成し、空
気、油等の作動流体を圧力を異にして上記静圧ポケット
内に供給してナット体７とテーブル６とをナット体７を
基準として相対変位させる構成であってもよい。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、送り対
象部材及びナット体に対し互いに軸方向逆向きの流体圧
を作用させてなる精密送り手段を有するので、終局的に
バックラッシュがなくかつ高精度の送り制御を行なうこ
とができ、その結果、高精度に送り対象部材を所要送り
量移動させることができるという効果を奏することがで
きる。
象部材及びナット体に対し互いに軸方向逆向きの流体圧
を作用させてなる精密送り手段を有するので、終局的に
バックラッシュがなくかつ高精度の送り制御を行なうこ
とができ、その結果、高精度に送り対象部材を所要送り
量移動させることができるという効果を奏することがで
きる。
図面は本発明の一実施例を示すものであり、第１図は送
り装置の全体構成を示す断面図、第２図は第１図におけ
るＡ−Ａ線断面図、第３図は要部を拡大して示す断面図
である。 １……親ねじ、２……静圧軸受、 ３……本体、４……モータ、 ６……テーブル、７……ナット体、 ８……第１のナット、９……第２のナット、 12……つば部、13……油圧シリンダ、 14……サーボ弁、17……差動増巾器、 18……コントローラ、19……変位計、 20……サーボ増巾器。
り装置の全体構成を示す断面図、第２図は第１図におけ
るＡ−Ａ線断面図、第３図は要部を拡大して示す断面図
である。 １……親ねじ、２……静圧軸受、 ３……本体、４……モータ、 ６……テーブル、７……ナット体、 ８……第１のナット、９……第２のナット、 12……つば部、13……油圧シリンダ、 14……サーボ弁、17……差動増巾器、 18……コントローラ、19……変位計、 20……サーボ増巾器。
Claims (1)
- 【請求項１】本体と、本体に軸受を介して回転自在に支
承された台形ねじまたは三角ねじよりなる親ねじと、親
ねじを回転駆動する駆動源と、前記親ねじに螺合された
ナット体と、ナット体の移動に伴い前記本体上を移動す
る送り対象部材と、送り対象部材を前記ナット体に対し
て相対変位させることにより前記本体上で移動させる精
密送り手段と、送り対象部材と前記ナット体との相対変
位量を検出する変位計とを具備し、前記精密送り手段は
前記送り対象部材及び前記ナット体に対して互いに軸方
向逆向きの流体圧を作用させてなる送り装置であって、
前記ナット体の一部外周に形成されたつば部をプランジ
ャとすると共に前記送り対象部材をシリンダチューブと
して形成された油圧シリンダに、流体を供給して前記プ
ランジャに対して前記シリンダチューブを流体圧により
相対変位させる構成であり、前記ナット体は、第１のナ
ットと、第１のナットの軸心部に所定深さにわたって形
成した溝に相対的な回転を禁止した状態で嵌入された第
２のナットとから形成されたダブルナットであり、前記
第１のナット及び前記第２のナットにはさまれた空間に
作動油を供給するための配管を前記ナット体に配した構
成であり、前記第１のナット及び前記第２のナットには
さまれた空間に配管を通して作動油を供給することによ
り前記第１のナット及び前記第２のナットの軸方向境界
面に流体圧を与えて前記第１のナット及び前記第２のナ
ットを前記親ねじに圧接固定し、ずれを生じないよう
に、親ねじに圧接固定された前記ナット体を精密送りの
基準として、前記変位計で、送り対象部材とナット体の
相対変位量を検出しながら、前記精密送り手段により、
前記送り対象部材を送ることにより、送り制御を行い、
高精度に送り対象部材を所要送り量、移動させるべく構
成されていることを特徴とする送り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59077279A JPH0673792B2 (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 送り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59077279A JPH0673792B2 (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 送り装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60221240A JPS60221240A (ja) | 1985-11-05 |
| JPH0673792B2 true JPH0673792B2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=13629421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59077279A Expired - Lifetime JPH0673792B2 (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 送り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0673792B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63120050A (ja) * | 1986-11-06 | 1988-05-24 | Canon Inc | 駆動機構 |
| JPH05138484A (ja) * | 1991-11-18 | 1993-06-01 | Yotaro Hatamura | 精密位置決め微動送り装置およびシステム |
| JPH07217607A (ja) * | 1994-02-03 | 1995-08-15 | Smc Corp | 負荷の位置決め装置 |
| KR100945034B1 (ko) | 2009-07-27 | 2010-03-05 | 주식회사 태성테크 | 스크류를 이용한 선형이송구의 제동장치 |
| JP6540058B2 (ja) * | 2015-02-03 | 2019-07-10 | 株式会社ジェイテクト | 送り装置及び工作機械 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58120444A (ja) * | 1982-01-14 | 1983-07-18 | Nachi Fujikoshi Corp | 静圧スライドテ−ブルの精密ねじ送り装置 |
| JPS58155142A (ja) * | 1982-03-04 | 1983-09-14 | Nachi Fujikoshi Corp | ハイブリツド精密位置決め送り機構 |
-
1984
- 1984-04-17 JP JP59077279A patent/JPH0673792B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60221240A (ja) | 1985-11-05 |
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