JPH067438B2 - 超伝導記憶装置 - Google Patents

超伝導記憶装置

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JPH067438B2
JPH067438B2 JP60259312A JP25931285A JPH067438B2 JP H067438 B2 JPH067438 B2 JP H067438B2 JP 60259312 A JP60259312 A JP 60259312A JP 25931285 A JP25931285 A JP 25931285A JP H067438 B2 JPH067438 B2 JP H067438B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、情報をアブリコソフ磁束量子の形で超伝導体
内に記憶する超伝導記憶装置に関する。
〔従来の技術〕
磁場が印加されることによってアブリコソフ磁束量子を
内部発生し、そのアブリコソフ磁束量子を上記磁場を取
り除いた状態でも自己保持する超伝導体層を情報記憶用
要素として用いて構成された超伝導情報記憶装置とし
て、従来第6図及び第7図に示したような装置が提案さ
れている(実願昭60−16159)。
この従来例においては、情報記憶手段1は、磁場が印加
されることによってアブリコソフ磁束量子を内部発生
し、アブリコソフ磁束量子を、上記磁場が除去された後
も自己保持する超伝導体層2を情報記憶用要素として有
する。
アブリコソフ磁束量子は第2種の超伝導体内に発生する
磁束量子であり、第9図にその説明図を示してあり、9
1は第2種の超伝導体層、92は磁束、93はシールド
電流であり、アブリコソフ磁束量子の磁束の量は
2.07×10−15Wb(ウエーバ)である。
そこで第6図及び第7図においては、内部発生したアブ
リコソフ磁束量子を模式的にと表している。超伝導
体層2は、例えば方形または長方形を有し、その相対す
る一対の辺をそれぞれ3a及び3bとし、また相対向す
る他の一辺の辺をそれぞれ3c及び3dとするとき、辺
3a及び3bの辺3c側から、それらと一体に、それぞ
れ外方に、ストライプ状の超伝導体層4a及び4bを延
長させている。実際上、この超伝導体層2は、超伝導体
層4a及び4bと共に、第2種の超伝導体からなる。
情報書込み手段11は、電流が通電されることによっ
て、上述した情報記憶手段1の超伝導体層2に与える磁
場を発生するストライプ状の超伝導体層12を情報書込
み用要素として有する。
この場合、超伝導体層12は、情報記憶手段1の超伝導
体層2と並置するため、超伝導体層2の辺3cに沿って
延長している。
情報読出し手段21は、上述した情報記憶手段1の超伝
導体層2が自己保持しているアブリコソフ磁束量子に感
応するジョセフソン接合素子22として備えられてい
る。第6図及び第7図においてはジョセフソン接合素子
は単一接合ゲートを用いている。このジョセフソン接合
素子22は、情報記憶手段1の超伝導体層2上に絶縁層
31を介して超伝導体層32が下部電極として形成さ
れ、また、超伝導体層32上に窓23を有する絶縁層2
4が形成され、また、超伝導体層32の窓23に臨む領
域に、例えば超伝導体層32の材料の酸化物でなるトン
ネル障壁層25が形成され、さらに、絶縁層24上に、
窓23内を通り、そしてトンネル障壁層25を介して、
超伝導体層32と対向しているストライプ状の超伝導体
層26が上部電極として設けられている。さらに、超伝
導体層26上に絶縁層33を介して、ストライプ状の超
伝導体層34が制御線として形成されている。以上が従
来提案されている超伝導記憶装置の構成である。
このような構成を有する従来の超伝導記憶装置は次に述
べるように動作する。
すなわち、情報の「1」に対応する電流IAを、情報書
込み手段11の超伝導体層12に、第1の方向に流すと
これに応じて、超伝導体層12から情報の「1」に対応
する磁場が発生する。そして、その磁場が、情報記憶手
段1の超伝導体層2に印加される。このため、情報記憶
手段1の超伝導体層2に、情報の「1」に対応するアブ
リコソフ磁束量子が第1の向き(例えば上向き)に
内部発生する。
この場合、情報記憶手段1の超伝導体層2に、電流IC
を超伝導体層4a側から超伝導体層4b側に向かって、
第1の方向に流す。このようにすると、情報記憶手段1
の超伝導体層2に保持されている磁束量子は、電流
ICとのローレンツ相互作用により力を受け、情報書込
み手段11の超伝導体層12側から、それとは反対側の
方向(情報読出し手段の方向)に速やかに移動する。
また情報の「0」に対応する電流IBを、情報書込み手
段11の超伝導体層12に、上述した電流IAとは逆の
第2の方向に流すと、超伝導体層12から上述の情報
「1」に対応する磁場とは逆向きの磁場が発生し、この
磁場にちって情報記憶手段1の超伝導体層2に、情報の
「0」に対応するアブリコソフ磁束量子が、上述した情
報「1」に対応するアブリコソフ磁束量子とは逆の第2
の向き(例えば下向き)に内部発生する。この内部発生
した情報「0」に対応するアブリコソフ磁束量子のいく
つかは、上述の情報「1」に対応する磁束量子と結合し
て対消滅し、最終的には、情報「0」に対応する磁束量
子のみが情報記憶手段1の超伝導体層2に残留し、保持
される。これが、情報「0」の保持状態である。この情
報「0」の書込みにおいて、情報記憶手段1の超伝導体
層2に電流IDを、超伝導体層4b側から超伝導体層4
a側に向かって、第2の方向に流すことにより、情報
「1」書込みの場合と同様にローレンツ相互作用によっ
て、磁束量子を超伝導体層12側から検出接合側に速や
かに移動させることができる。
また、記憶状態の検出は、所定のバイアス電流Isを、
情報読出し手段21のジョセフソン接合素子22に、超
伝導体層26とトンネル障壁層25と超伝導体32を通
じて流し、さらに、制御電流Icsを情報読出し手段21
の超伝導体層34に流して行なう。このとき、情報記憶
手段1の超伝導体層2に保持されている磁束量子の発生
する磁束のうち、情報読出し手段21のジョセフソン接
合素子22に鎖交する磁束が制御電流Icsの発生する磁
束と加え合される場合に情報読出し手段21のジョセフ
ソン接合素子22が有電圧状態に転移するときはセルが
「1」状態であることを読出し、一方、Icsの発生する
磁束から差し引かれる場合に情報読出し手段21のジョ
セフソン接合素子22が零電圧状態にとどまることによ
って、セルが「0」状態であることを読出す。
この情報読出し手段21のジョセフソン接合素子として
は、上記の単一接合ゲートを用いる他に、超伝導量子干
渉計ゲート(SQUID)を用いることもできる。
第8図にその場合の構成例を表してある。第8図におい
て、各部の符号は先の第6図及び第7図に示した超伝導
記憶装置の符号と対応させるため、対応部分を同一符号
で指示してある。第8図の場合は、アブリコソフ磁束量
子に基づく磁束の交差する場所は、超伝導量子干渉計ゲ
ートのインダクタンスブリッジを構成する絶縁層81に
なる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、第6図、第7図、さらには第8図によっ
て説明した従来の超伝導記憶装置の場合、情報書込み時
に情報記憶手段1の超伝導体層2に書込まれたアブリコ
ソフ磁束量子のうち、書込み磁場を取り除いても情報記
憶手段1の超伝導体層2内に保持されている磁束量子
は、極く少数であり、大部分は、再び情報記憶手段1の
超伝導体層2より放出されてしまう。これは、同極性の
磁束量子は互いに斥力を及ぼし合い、この斥力が磁束量
子を情報記憶手段1の超伝導体層2の外へと駆動するか
らである。
磁束量子が情報記憶手段1の超伝導体層2内に留まるの
は、超伝導体層2に磁束量子を捕獲する力、即ちピン止
め力が存在するからであり、磁束量子同志の斥力がこの
ピン止め力以下になるまで磁束量子は外へ放出される。
超伝導体層2のピン止め力が強いと磁束量子の動きが妨
げられ、その分だけ情報書込み手段11の超伝導体層1
2に情報書込み時に流す電流を大きくしなければならな
いので、この超伝導体層2のピン止め力はできる限り小
さくされる。そのため情報記憶時の超伝導体層2に保持
される磁束量子の数は、書込まれた磁束量子数に比較し
て非常に少ない。
情報記憶時に超伝導体層2に保持される磁束量子の数が
少ないとこの磁束量子に基づく磁束のうちで、情報読出
し手段21のジョセフソン接合素子22と鎖交する磁束
も少なくなるため、磁束の検出が困難になり、情報読出
し時の動作マージンが低下する。
このように、従来例においては、情報記憶状態における
情報記憶手段1の超伝導体層2に保持される磁束量子の
数が少ないため、情報読出し時の動作マージンが小さい
という重大な欠点を有していた。また、この動作マージ
ンを充分広く確保するためには、情報記憶手段1の超伝
導体層2を広くして、かつ、情報書込み手段11の超伝
導体層12に流す書込み電流を大きくし、情報記憶手段
1の超伝導体層2に保持される磁束量子の数を多くしな
ければならないが、これは消費電力の増加をもたらし、
装置の占有面積の増大により、動作速度が遅くなる等の
重大な欠点を生じる。
そこで、本発明は上述した従来例において、情報書込み
後に情報書込み磁界を取り除いたときに情報記憶手段の
超伝導体層から放出される磁束量子の数を減らし、保持
される磁束量子の数を多くする構造の新規な超伝導記憶
装置を提供しようとするものである。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、第6図と第7図、或いは第8図で説明した超
伝導記憶装置と同様に、磁場が印加されるとアブリコソ
フ磁束量子が侵入し、磁場が印加されなくなっても、そ
の一部の磁束量子を自己保持する超伝導体層を有する情
報記憶手段と、上記情報記憶手段に与える磁場を発生す
る超伝導体層を有する情報書込み手段と、上記情報記憶
手段の超伝導体層に自己保持されたアブリコソフ磁束量
子に感応するジョセフソン接合素子を有する情報読出し
手段を有した構成を備えている。
しかしながら、本発明は、このような構成を有する超伝
導記憶装置において、更に、情報記憶手段を構成する超
伝導体層を覆って情報書込み手段の超伝導体層の側の磁
束の侵入端付近のうちの磁束が侵入する一部分を除いた
部分に、情報記憶手段の超伝導体層に比較して磁束が侵
入し難い超伝導体を設けたことを特徴とした構成を提供
する。
〔作用〕
上記本発明の構成では、情報記憶手段の超伝導体層上の
情報書込み手段の超伝導体層側の磁束侵入端付近のうち
の磁束が侵入する一部分を除いた他の部分に、情報記憶
手段の超伝導体層に比較して磁束が侵入し難い超伝導体
層を設けたことを除くと、第6図及び第7図、或いは第
8図で説明した従来例と同様な構成を有しているので、
第6図及び第7図、或いは第8図で上述したのと同様
に、情報記憶装置としての機能を有する。
しかしながら、本発明の超伝導記憶装置によれば、情報
書込み後に、情報書込み磁界を取り除いたときに、情報
記憶手段の超伝導体層から放出される磁束量子の数を少
なくできるため、保持される磁束量子の数が増加し、情
報読出し手段のジョセフソン接合素子の情報読出し時に
おける動作マージンが増加し、安定動作が可能となる。
また、動作マージンに余裕のある分だけ、情報記憶手段
の超伝導体層を狭くし、情報書込み手段の超伝導体層に
流す電流を小さくできるので、低消費電力化が実現でき
る。
〔実施例〕
実施例1 次に第1図及び第2図を伴って、本発明の第1の実施例
を説明する。
この実施例の構成は、先に第6図及び第7図で述べた従
来例の超伝導記憶装置の構成と以下に示す点が相違し、
他は全く同様である。従って、第1図及び第2図におい
て、第6図及び第7図と対応する部分については、同一
符号で指示している。
この実施例が従来例と相違する点は、情報記憶手段1の
超伝導体層2の上で、情報書込み手段11の超伝導体層
12の側の磁束侵入端付近のうちの磁束が侵入する一部
分を除いた他の部分に、情報記憶手段1の超伝導体層2
に比較して膜厚が厚く磁束が侵入し難い超伝導体層41
(点線で表している)を設けたことである。なお、この
超伝導体層41とジョセフソン接合素子の下部電極を構
成する超伝導体層32は電気的に接続していてよいし、
或いは細いスリット等で分離していてもよい。
このような構成を有する本発明の第1の実施例によれ
ば、前述した従来例と以下に詳述する作用を除くと全く
同様な機能が得られる。
即ち、この第1の実施例において、従来例と異なる作用
がえられるのは、情報記憶手段1の超伝導体層2の上の
磁束侵入端付近の大部分が、磁束が侵入し難い程膜厚の
厚い超伝導体層41で覆われているため、情報書込み後
に情報書込み手段11の超伝導体層12に流す電流を零
にして情報記憶手段1の超伝導体層2に印加している磁
場を取り除き、情報保持状態に移行するときに、書込ま
れた磁束量子が再び情報記憶手段1の超伝導体層2の外
へ放出されるのを超伝導体層41が阻止するため、書込
まれた磁束量子の殆どが情報記憶手段1の超伝導体層2
の中に保持される。
このように、本発明の第1の実施例では、保持磁束量子
の数が大幅に増加するため、情報読出し時に、情報読出
し手段21のジョセフソン接合素子22の特性上に、保
持磁束量子の影響が大きく現れるため、情報読出し時の
動作マージンが大幅に拡大する。また、この第1の実施
例の構成を用いれば、情報記憶手段1の超伝導体層2に
さらにピン止め力の小さな超伝導体層を用いることが可
能となるためピン止め力低減による磁束量子の高速移動
が可能となり、情報書込みに要する時間を短縮すること
ができる。これにより、超伝導記憶装置の動作サイクル
時間を短縮することができ、高速動作を実現できる。
また、動作マージンに余裕のある分だけ情報記憶手段1
の超伝導体層2を狭く形成して、情報書込み手段11の
超伝導体層12を流す電流を小さくすることができるの
で、低消費電力化が実現できる。
実施例2 次に、第3図及び第4図を伴って本発明の第2の実施例
を説明する。この第2の実施例の構成は、第1図及び第
2図に示した第1の実施例の構成と以下の点を除くと全
く同様である。従って、第3図及び第4図の各部の符号
は、先に示した第1図及び第2図、第6図及び第7図と
対応する部分には同一符号で指示している。
即ち、この第2の実施例が第1の実施例と相違する点
は、情報記憶手段1の超伝導体層2から磁束量子が放出
されるのを妨げる働きをする超伝導体層41に膜厚の厚
い超伝導体層を用いる代りに、下部臨界磁場Hc(即
ち、超伝導体に磁場が侵入するために必要な最小の印加
磁場の値)が大きい超伝導体材料をもって超伝導体層4
1を構成したことである。
このような構成を有する本発明の第2の実施例によれ
ば、前述した従来例と全く同様な機能が得られる上に、
第2の実施例特有の構成である超伝導体層41に下部臨
界磁場Hcの大きい超伝導体材料を用いることによ
り、第1の実施例の場合と同様に、情報保持時に磁束量
子が情報記憶手段1の超伝導体層2の外へ放出されるの
が阻止されるため、多数の磁束量子が保持される。この
ため、情報読出し時の動作マージンが大幅に拡大する。
また、第1の実施例で説明したのと全く同じ理由によ
り、動作サイクル時間の短縮及び低消費電力化が実現で
きる。
なお、本発明の第1及び第2の実施例では、情報読出し
手段として、単一接合ゲートのジョセフソン接合素子を
用いているが、この代りに超伝導量子干渉計ゲートを用
いた場合においても、本発明の効果は全く同様である。
第5図にその構成例を表しており、やはり、各部の符号
は先の第8図等と統一して対応部分には同一符号を付し
てあり、情報記憶手段1の超伝導体層2から磁束量子が
放出されるのを妨げる働きをする超伝導体層41を有し
ている。
また、本発明の第1及び第2の実施例では、絶縁層31
が存する場合についてのみ説明したが、絶縁層31が無
くて、代りにジョセフソン接合素子22の下部電極を構
成する超伝導体層32が磁束量子が侵入でいない程度に
厚く形成されている場合についても本発明の効果は全く
同様である。また、第1及び第2の実施例では、動作時
に電流IC及びIDによるローレンツ電流を流す構成に
なっているが、これは本発明に本質的なものではなく、
ローレンツ電流を流さなくても(書込み電流によりアブ
リコソフ磁束量子を押し込むようにする)本発明の効果
は全く同様に存在する。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、情報記憶手段の
超伝導体層に保持される磁束量子の数が大幅に増加する
ため、情報読出し時における動作マージンが拡大し、安
定動作が可能となる。
また動作マージンに余裕のある分だけ情報記憶手段の超
伝導体層を狭くし、情報書込み手段の超伝導体層に流す
電流を小さくすることができるので、低消費電力化が可
能となる。
さらに、情報保持手段の超伝導体層にピン止め力の小さ
な材料を用いることができるので、磁束量子の移動度を
速くすることかでき、動作サイクル時間を短縮できると
いう大きな利点が生じる。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は本発明による超伝導記憶装置の第1
の実施例を示すそれぞれ平面図及びA−A′線上の断面
図、第3図及び第4図は本発明による超伝導記憶装置の
第2の実施例を示すそれぞれ平面図及びA−A′線上の
断面図、第5図は第1及び第2の実施例において情報読
出し手段のジョセフソン接合素子として超伝導量子干渉
計ゲートを用いた場合を示す斜視図、第6図及び第7図
は、超伝導記憶装置の従来例のそれぞれ平面図及びA−
A′線上の断面図、第8図は超伝導記憶装置の情報読出
し手段に超伝導量子干渉計ゲートを用いた例の斜視図、
第9図はアブリコソフ磁束量子の説明図である。 1……情報記憶手段 2……情報記憶手段の超伝導体層 3a,3b,3c,3d……超伝導体層の辺 4a,4b……ストライプ状の超伝導体層 11……情報書込み手段 12……情報書込み手段の超伝導体層 21……情報読出し手段 22……ジョセフソン接合素子 23……絶縁層の窓 24……絶縁層 25……トンネル障壁層 26……ジョセフソン接合素子の超伝導体層 (上部電極) 31,33……絶縁層 32……ジョセフソン接合素子の超伝導体層 (下部電極) 34……制御電極の超伝導体層 41……情報記憶手段1の超伝導体層2から磁束量子が
放出されるのを妨げる働きをする超伝導体層 51……量子干渉計ゲートのインダクタンスプリッジの
絶縁層

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】磁場の印加によってアブリコソフ磁束量子
    が侵入し、該アブリコソフ磁束量子を該磁場を取り除い
    た状態でも自己保持する超伝導体層を有する情報記憶手
    段と、 情報に対応している電流が通電されることによって、前
    記情報記憶手段の超伝導体層に与える磁場を発生する超
    伝導体層を有する情報書込み手段と、 前記情報記憶手段の超伝導体層に自己保持されているア
    ブリコソフ磁束量子に感応するジョセフソン接合素子を
    有する情報読出し手段とを含む超伝導記憶装置におい
    て、 前記情報記憶手段の超伝導体層の、前記情報書込み手段
    の超伝導体層側における磁束侵入端付近の、該磁束が侵
    入する一部を除いた部分に、該情報記憶手段の超伝導体
    層に比較して磁束が侵入し難い超伝導体層を設けてなる
    ことを特徴とする超伝導記憶装置。
  2. 【請求項2】特許請求の範囲第1項記載の超伝導記憶装
    置において、 前記情報記憶手段の超伝導体層に比較して磁束が侵入し
    難い超伝導体層が、前記情報記憶手段の超伝導体層より
    膜厚が厚い超伝導体層であることを特徴とする超伝導記
    憶装置。
  3. 【請求項3】特許請求の範囲第1項記載の超伝導記憶装
    置において、 前記情報記憶手段の超伝導体層に比較して磁束が侵入し
    難い超伝導体層が、前記情報記憶手段の超伝導体層の材
    料より下部臨界磁場が大きい超伝導体材料でなることを
    特徴とする超伝導記憶装置。
  4. 【請求項4】特許請求の範囲第1項乃至第3項のいずれ
    かに記載された超伝導記憶装置において、 前記情報読出し手段のジョセフソン接合素子のトンネル
    障壁層に鎖交する前記アブリコソフ磁束量子の磁束が検
    出されることを特徴とする超伝導記憶装置。
  5. 【請求項5】特許請求の範囲第1項乃至第3項のいずれ
    かに記載された超伝導記憶装置において、 前記情報読出し手段のジョセフソン接合素子は超伝導量
    子干渉計ゲートであって、そのインダクタンスブリッジ
    を構成する絶縁層に鎖交する前記アブリコソフ磁束量子
    の磁束が検出されることを特徴とする超伝導記憶装置。
JP60259312A 1984-12-13 1985-11-18 超伝導記憶装置 Expired - Lifetime JPH067438B2 (ja)

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