JPH0675688A - 超音波タッチパネル - Google Patents
超音波タッチパネルInfo
- Publication number
- JPH0675688A JPH0675688A JP25415192A JP25415192A JPH0675688A JP H0675688 A JPH0675688 A JP H0675688A JP 25415192 A JP25415192 A JP 25415192A JP 25415192 A JP25415192 A JP 25415192A JP H0675688 A JPH0675688 A JP H0675688A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- interdigital
- ultrasonic
- piezoelectric
- touch panel
- surface acoustic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims abstract description 84
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 83
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 51
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 claims description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 4
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 39
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 abstract 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 24
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 10
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 8
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 8
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 8
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 7
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03K—PULSE TECHNIQUE
- H03K2217/00—Indexing scheme related to electronic switching or gating, i.e. not by contact-making or -breaking covered by H03K17/00
- H03K2217/94—Indexing scheme related to electronic switching or gating, i.e. not by contact-making or -breaking covered by H03K17/00 characterised by the way in which the control signal is generated
- H03K2217/96—Touch switches
- H03K2217/96003—Touch switches using acoustic waves, e.g. ultrasound
- H03K2217/96011—Touch switches using acoustic waves, e.g. ultrasound with propagation, SAW or BAW
Abstract
(57)【要約】
【目的】 超音波送受波装置を非圧電基板に備えること
によりその非圧電基板に触指したことを感知する超音波
タッチパネルを提供する。 【構成】 すだれ状電極Ｔ1またはＴ2から電気信号を入
力すると、その電気信号が弾性表面波に変換されて超音
波デバイス１の圧電磁器薄板６を伝搬し、さらにガラス
基板５を伝搬する。ガラス基板５を伝搬している弾性表
面波のうち超音波デバイス３のすだれ状電極Ｒ1〜Ｒ4ま
たはＲ5〜Ｒ8の示す中心周波数とその近傍の周波数の弾
性表面波のみが電気信号に変換されてすだれ状電極Ｒ1
〜Ｒ4またはＲ5〜Ｒ8から出力される。
によりその非圧電基板に触指したことを感知する超音波
タッチパネルを提供する。 【構成】 すだれ状電極Ｔ1またはＴ2から電気信号を入
力すると、その電気信号が弾性表面波に変換されて超音
波デバイス１の圧電磁器薄板６を伝搬し、さらにガラス
基板５を伝搬する。ガラス基板５を伝搬している弾性表
面波のうち超音波デバイス３のすだれ状電極Ｒ1〜Ｒ4ま
たはＲ5〜Ｒ8の示す中心周波数とその近傍の周波数の弾
性表面波のみが電気信号に変換されてすだれ状電極Ｒ1
〜Ｒ4またはＲ5〜Ｒ8から出力される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超音波送受波装置を非圧
電基板に備えることにより、その非圧電基板に人指また
は物体が接触したことを感知する超音波タッチパネルに
関する。
電基板に備えることにより、その非圧電基板に人指また
は物体が接触したことを感知する超音波タッチパネルに
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のタッチパネルには抵抗膜を用いる
方法と超音波を用いる方法が主に挙げられる。抵抗膜を
用いる方法は透明導電性フィルム（抵抗膜）に触指する
ことによりその透明導電性フィルムの抵抗値が変化する
ものであり、低消費電力であるものの応答時間、感度、
耐久性等の点で問題を有している。超音波を用いる方法
は予め弾性表面波を励振させておいた非圧電基板に触指
することによりその弾性表面波が減衰するものである。
非圧電基板に弾性表面波を励振する従来の方法として
は、バルク波振動子を用いたくさび形トランスデューサ
により間接的に励振する方法、圧電薄膜トランスデュー
サにより直接的に励振する方法等が挙げられる。くさび
形トランスデューサは超音波による非破壊検査等に用い
られているが、くさび角の工作精度の問題等から比較的
低い周波数領域においてのみ用いられる。圧電薄膜トラ
ンスデューサはＺｎＯ等の圧電薄膜を基板に蒸着しすだ
れ状電極により弾性表面波を励振する方法で、すだれ状
電極の構成により種々の伝送特性を示すことから高周波
デバイスとして用いられるが、ＵＨＦ，ＶＨＦ帯に限ら
れるとともに加工性や量産性に問題がある。このように
して、従来の方法では応答時間、感度、耐久性、工作精
度、加工性および量産性等に問題があり、使用周波数領
域も制限されている。
方法と超音波を用いる方法が主に挙げられる。抵抗膜を
用いる方法は透明導電性フィルム（抵抗膜）に触指する
ことによりその透明導電性フィルムの抵抗値が変化する
ものであり、低消費電力であるものの応答時間、感度、
耐久性等の点で問題を有している。超音波を用いる方法
は予め弾性表面波を励振させておいた非圧電基板に触指
することによりその弾性表面波が減衰するものである。
非圧電基板に弾性表面波を励振する従来の方法として
は、バルク波振動子を用いたくさび形トランスデューサ
により間接的に励振する方法、圧電薄膜トランスデュー
サにより直接的に励振する方法等が挙げられる。くさび
形トランスデューサは超音波による非破壊検査等に用い
られているが、くさび角の工作精度の問題等から比較的
低い周波数領域においてのみ用いられる。圧電薄膜トラ
ンスデューサはＺｎＯ等の圧電薄膜を基板に蒸着しすだ
れ状電極により弾性表面波を励振する方法で、すだれ状
電極の構成により種々の伝送特性を示すことから高周波
デバイスとして用いられるが、ＵＨＦ，ＶＨＦ帯に限ら
れるとともに加工性や量産性に問題がある。このように
して、従来の方法では応答時間、感度、耐久性、工作精
度、加工性および量産性等に問題があり、使用周波数領
域も制限されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、加工
性、耐久性および量産性に優れ、低消費電力で効率良く
弾性表面波を非圧電基板に励振することができ、非圧電
基板に触指することによる弾性表面波の減衰に対する応
答時間が短く感度の良い超音波タッチパネルを提供する
ことにある。
性、耐久性および量産性に優れ、低消費電力で効率良く
弾性表面波を非圧電基板に励振することができ、非圧電
基板に触指することによる弾性表面波の減衰に対する応
答時間が短く感度の良い超音波タッチパネルを提供する
ことにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の超音波
タッチパネルは、入力用超音波デバイスＡおよび出力用
超音波デバイスＢで成る超音波送受波装置を非圧電基板
の一方の板面上に少なくとも１つ設けて成る超音波タッ
チパネルにおいて、前記入力用超音波デバイスＡは圧電
薄板ａに少なくとも１組のすだれ状電極Ｐを備えて成
り、前記出力用超音波デバイスＢは圧電薄板ｂに前記す
だれ状電極Ｐに対応する少なくとも２組のすだれ状電極
ＱおよびＲを備えて成り、前記すだれ状電極Ｐの電極交
叉幅は前記すだれ状電極Ｑの電極指の長さと前記すだれ
状電極Ｒの電極指の長さとの合計とほぼ等しく、前記す
だれ状電極Ｐに電気信号を入力し前記非圧電基板の前記
一方の板面に弾性表面波を励振する手段と、前記非圧電
基板に励振された該弾性表面波に応じて前記すだれ状電
極ＱおよびＲに現れる電気信号を出力する手段とが設け
てあり、前記非圧電基板の前記一方の板面における前記
弾性表面波の伝搬路の一部に人指または物体が接触した
ことを、前記すだれ状電極ＱまたはＲに出力される前記
電気信号の大きさから感知することを特徴とする。
タッチパネルは、入力用超音波デバイスＡおよび出力用
超音波デバイスＢで成る超音波送受波装置を非圧電基板
の一方の板面上に少なくとも１つ設けて成る超音波タッ
チパネルにおいて、前記入力用超音波デバイスＡは圧電
薄板ａに少なくとも１組のすだれ状電極Ｐを備えて成
り、前記出力用超音波デバイスＢは圧電薄板ｂに前記す
だれ状電極Ｐに対応する少なくとも２組のすだれ状電極
ＱおよびＲを備えて成り、前記すだれ状電極Ｐの電極交
叉幅は前記すだれ状電極Ｑの電極指の長さと前記すだれ
状電極Ｒの電極指の長さとの合計とほぼ等しく、前記す
だれ状電極Ｐに電気信号を入力し前記非圧電基板の前記
一方の板面に弾性表面波を励振する手段と、前記非圧電
基板に励振された該弾性表面波に応じて前記すだれ状電
極ＱおよびＲに現れる電気信号を出力する手段とが設け
てあり、前記非圧電基板の前記一方の板面における前記
弾性表面波の伝搬路の一部に人指または物体が接触した
ことを、前記すだれ状電極ＱまたはＲに出力される前記
電気信号の大きさから感知することを特徴とする。
【０００５】請求項２に記載の超音波タッチパネルは、
前記圧電薄板ａの厚さが前記すだれ状電極Ｐの電極周期
長以下であり、前記圧電薄板ｂの厚さは前記すだれ状電
極ＱまたはＲの電極周期長以下であって、前記すだれ状
電極Ｐ，ＱまたはＲの電極周期長は１次モードまたは２
次以上のモードの弾性表面波の波長にほぼ等しいことを
特徴とする。
前記圧電薄板ａの厚さが前記すだれ状電極Ｐの電極周期
長以下であり、前記圧電薄板ｂの厚さは前記すだれ状電
極ＱまたはＲの電極周期長以下であって、前記すだれ状
電極Ｐ，ＱまたはＲの電極周期長は１次モードまたは２
次以上のモードの弾性表面波の波長にほぼ等しいことを
特徴とする。
【０００６】請求項３に記載の超音波タッチパネルは、
前記１次モードまたは２次以上の前記モードの弾性表面
波の位相速度が前記非圧電基板単体に励振される弾性表
面波の伝搬速度にほぼ等しいことを特徴とする。
前記１次モードまたは２次以上の前記モードの弾性表面
波の位相速度が前記非圧電基板単体に励振される弾性表
面波の伝搬速度にほぼ等しいことを特徴とする。
【０００７】請求項４に記載の超音波タッチパネルは、
前記圧電薄板ａまたはｂが圧電セラミックで成り、該圧
電セラミックの分極軸の方向は該圧電セラミックの厚さ
方向と平行であることを特徴とする。
前記圧電薄板ａまたはｂが圧電セラミックで成り、該圧
電セラミックの分極軸の方向は該圧電セラミックの厚さ
方向と平行であることを特徴とする。
【０００８】請求項５に記載の超音波タッチパネルは、
前記圧電薄板ａまたはｂがＰＶＤＦその他の高分子圧電
フィルムで成ることを特徴とする。
前記圧電薄板ａまたはｂがＰＶＤＦその他の高分子圧電
フィルムで成ることを特徴とする。
【０００９】請求項６に記載の超音波タッチパネルは、
前記圧電薄板ａまたはｂが前記すだれ状電極Ｐ，Ｑまた
はＲが設けられている方の板面を介して前記非圧電基板
に固着されていることを特徴とする。
前記圧電薄板ａまたはｂが前記すだれ状電極Ｐ，Ｑまた
はＲが設けられている方の板面を介して前記非圧電基板
に固着されていることを特徴とする。
【００１０】請求項７に記載の超音波タッチパネルは、
前記圧電薄板ａまたはｂの板面のうちで前記すだれ状電
極ＰまたはＱ若しくはＲがそれぞれ設けられていない方
の板面がそれぞれ金属薄膜で被覆されていることを特徴
とする。
前記圧電薄板ａまたはｂの板面のうちで前記すだれ状電
極ＰまたはＱ若しくはＲがそれぞれ設けられていない方
の板面がそれぞれ金属薄膜で被覆されていることを特徴
とする。
【００１１】請求項８に記載の超音波タッチパネルは、
前記入力用超音波デバイスＡが少なくとも２組のすだれ
状電極Ｐ１およびＰ２を備え、前記出力用超音波デバイ
スＢは少なくとも４組のすだれ状電極Ｑ１，Ｑ２，Ｒ１
およびＲ２を備えていて、前記すだれ状電極Ｑ１および
Ｑ２は前記すだれ状電極Ｐ１に対応し、前記すだれ状電
極Ｒ１およびＲ２は前記すだれ状電極Ｐ２に対応してお
り、前記すだれ状電極Ｑ１の出力端および前記すだれ状
電極Ｒ１の出力端は互いに電気的に接続点Ｎ１で接続さ
れており、前記すだれ状電極Ｑ２の出力端および前記す
だれ状電極Ｒ２の出力端は互いに電気的に接続点Ｎ２で
接続されており、前記すだれ状電極Ｐ１およびＰ２に電
気信号を入力する手段は、スイッチＳ１およびスイッチ
Ｓ２を設け該スイッチＳ１の出力端および該スイッチＳ
２の出力端を交互に所定の周期でそれぞれ前記すだれ状
電極Ｐ１およびＰ２に電気的に接続するスイッチ制御手
段を含み、前記非圧電基板における弾性表面波の伝搬路
の一部に人指または物体が接触したことを、前記接続点
Ｎ１および前記接続点Ｎ２に現れる電気信号の大きさか
ら感知することを特徴とする。
前記入力用超音波デバイスＡが少なくとも２組のすだれ
状電極Ｐ１およびＰ２を備え、前記出力用超音波デバイ
スＢは少なくとも４組のすだれ状電極Ｑ１，Ｑ２，Ｒ１
およびＲ２を備えていて、前記すだれ状電極Ｑ１および
Ｑ２は前記すだれ状電極Ｐ１に対応し、前記すだれ状電
極Ｒ１およびＲ２は前記すだれ状電極Ｐ２に対応してお
り、前記すだれ状電極Ｑ１の出力端および前記すだれ状
電極Ｒ１の出力端は互いに電気的に接続点Ｎ１で接続さ
れており、前記すだれ状電極Ｑ２の出力端および前記す
だれ状電極Ｒ２の出力端は互いに電気的に接続点Ｎ２で
接続されており、前記すだれ状電極Ｐ１およびＰ２に電
気信号を入力する手段は、スイッチＳ１およびスイッチ
Ｓ２を設け該スイッチＳ１の出力端および該スイッチＳ
２の出力端を交互に所定の周期でそれぞれ前記すだれ状
電極Ｐ１およびＰ２に電気的に接続するスイッチ制御手
段を含み、前記非圧電基板における弾性表面波の伝搬路
の一部に人指または物体が接触したことを、前記接続点
Ｎ１および前記接続点Ｎ２に現れる電気信号の大きさか
ら感知することを特徴とする。
【００１２】請求項９に記載の超音波タッチパネルは、
前記超音波送受波装置が前記非圧電基板の前記一方の板
面に少なくとも２つ設けてあり、一方の前記超音波送受
波装置における前記超音波デバイスＡ，Ｂ間の弾性表面
波の伝搬路と、もう一方の前記超音波送受波装置におけ
る前記超音波デバイスＡ，Ｂ間の弾性表面波の伝搬路と
が互いに直交していることを特徴とする。
前記超音波送受波装置が前記非圧電基板の前記一方の板
面に少なくとも２つ設けてあり、一方の前記超音波送受
波装置における前記超音波デバイスＡ，Ｂ間の弾性表面
波の伝搬路と、もう一方の前記超音波送受波装置におけ
る前記超音波デバイスＡ，Ｂ間の弾性表面波の伝搬路と
が互いに直交していることを特徴とする。
【００１３】
【作用】本発明の超音波タッチパネルは、入力用超音波
デバイスＡおよび出力用超音波デバイスＢから成る超音
波送受波装置を非圧電基板の一方の板面に設けて成る簡
単な構造を有する。入力用超音波デバイスＡは圧電薄板
ａに少なくとも１組のすだれ状電極Ｐを備えて成り、前
記出力用超音波デバイスＢは圧電薄板ｂに前記すだれ状
電極Ｐに対応する少なくとも２組のすだれ状電極Ｑおよ
びＲを備えて成る簡単な構造を有する。入力用超音波デ
バイスＡのすだれ状電極Ｐから電気信号を入力する構造
を採用することにより、非圧電基板に１次モードまたは
２次以上のモードの弾性表面波を励振させることができ
る。このときこの弾性表面波の位相速度が非圧電基板単
体における弾性表面波の伝搬速度にほぼ等しくなるよう
な構造を採用することにより、すだれ状電極Ｐから加え
られる電気的エネルギーが弾性表面波に変換される度合
を大きくすることができるだけでなく、圧電薄板と非圧
電基板との界面での音響インピーダンスの不整合等によ
って生じる反射等を除去することができる。このように
して、低消費電力で高電圧を印加すること無しに効率良
く弾性表面波を非圧電基板に励振することができる。
デバイスＡおよび出力用超音波デバイスＢから成る超音
波送受波装置を非圧電基板の一方の板面に設けて成る簡
単な構造を有する。入力用超音波デバイスＡは圧電薄板
ａに少なくとも１組のすだれ状電極Ｐを備えて成り、前
記出力用超音波デバイスＢは圧電薄板ｂに前記すだれ状
電極Ｐに対応する少なくとも２組のすだれ状電極Ｑおよ
びＲを備えて成る簡単な構造を有する。入力用超音波デ
バイスＡのすだれ状電極Ｐから電気信号を入力する構造
を採用することにより、非圧電基板に１次モードまたは
２次以上のモードの弾性表面波を励振させることができ
る。このときこの弾性表面波の位相速度が非圧電基板単
体における弾性表面波の伝搬速度にほぼ等しくなるよう
な構造を採用することにより、すだれ状電極Ｐから加え
られる電気的エネルギーが弾性表面波に変換される度合
を大きくすることができるだけでなく、圧電薄板と非圧
電基板との界面での音響インピーダンスの不整合等によ
って生じる反射等を除去することができる。このように
して、低消費電力で高電圧を印加すること無しに効率良
く弾性表面波を非圧電基板に励振することができる。
【００１４】本発明の超音波タッチパネルでは、非圧電
基板に励振されている弾性表面波を出力用超音波デバイ
スＢのすだれ状電極ＱおよびＲから電気信号として出力
させる構造を採用するとともに、すだれ状電極Ｑおよび
Ｒのそれぞれをすだれ状電極Ｐに対し弾性表面波の送受
波の指向軸が共通になるよう配置している。従って、非
圧電基板の板面上における弾性表面波の伝搬路（すなわ
ちすだれ状電極Ｐ，Ｑ間およびＰ，Ｒ間）を触指するこ
とにより非圧電基板に励振されている弾性表面波が消滅
または減衰するから、すだれ状電極ＱまたはＲに出力さ
れる電気信号も消滅または減衰する。このようにして、
本発明の超音波タッチパネルは応答時間が短く感度が良
い。
基板に励振されている弾性表面波を出力用超音波デバイ
スＢのすだれ状電極ＱおよびＲから電気信号として出力
させる構造を採用するとともに、すだれ状電極Ｑおよび
Ｒのそれぞれをすだれ状電極Ｐに対し弾性表面波の送受
波の指向軸が共通になるよう配置している。従って、非
圧電基板の板面上における弾性表面波の伝搬路（すなわ
ちすだれ状電極Ｐ，Ｑ間およびＰ，Ｒ間）を触指するこ
とにより非圧電基板に励振されている弾性表面波が消滅
または減衰するから、すだれ状電極ＱまたはＲに出力さ
れる電気信号も消滅または減衰する。このようにして、
本発明の超音波タッチパネルは応答時間が短く感度が良
い。
【００１５】超音波デバイスにおける圧電薄板の厚さを
すだれ状電極の電極周期長以下にし、すだれ状電極の電
極周期長を１次モードまたは２次以上のモードの弾性表
面波の波長にほぼ等しくする構造を採用することによ
り、すだれ状電極から加えられる電気的エネルギーが弾
性表面波に変換される度合を大きくすることができるだ
けでなく、圧電薄板と非圧電基板との界面での音響イン
ピーダンスの不整合等によって生じる反射等を除去する
ことができる。なお、すだれ状電極の電極周期長すなわ
ち弾性表面波の波長λに対する圧電薄板の厚さｄの割合
（ｄ／λ）が小さいほど効果は大きい。
すだれ状電極の電極周期長以下にし、すだれ状電極の電
極周期長を１次モードまたは２次以上のモードの弾性表
面波の波長にほぼ等しくする構造を採用することによ
り、すだれ状電極から加えられる電気的エネルギーが弾
性表面波に変換される度合を大きくすることができるだ
けでなく、圧電薄板と非圧電基板との界面での音響イン
ピーダンスの不整合等によって生じる反射等を除去する
ことができる。なお、すだれ状電極の電極周期長すなわ
ち弾性表面波の波長λに対する圧電薄板の厚さｄの割合
（ｄ／λ）が小さいほど効果は大きい。
【００１６】圧電薄板として圧電セラミックを採用し、
その圧電セラミックの分極軸の方向と厚さ方向とを平行
にする構造を採用することにより、非圧電基板に効率よ
く１次モードまたは２次以上のモードの弾性表面波を励
振することができる。
その圧電セラミックの分極軸の方向と厚さ方向とを平行
にする構造を採用することにより、非圧電基板に効率よ
く１次モードまたは２次以上のモードの弾性表面波を励
振することができる。
【００１７】圧電薄板としてＰＶＤＦその他の高分子圧
電フィルムを採用することにより、非圧電基板に効率よ
く１次モードまたは２次以上のモードの弾性表面波を励
振することができる。
電フィルムを採用することにより、非圧電基板に効率よ
く１次モードまたは２次以上のモードの弾性表面波を励
振することができる。
【００１８】すだれ状電極を圧電薄板と非圧電基板との
界面に設け圧電薄板の空気側を電気的に短絡状態にした
構造を採用することにより、すだれ状電極に加えられる
電気的エネルギーを効率よく弾性表面波に変換すること
ができる。電気的に短絡状態にするには板面に金属薄膜
を被覆する方法が有効である。
界面に設け圧電薄板の空気側を電気的に短絡状態にした
構造を採用することにより、すだれ状電極に加えられる
電気的エネルギーを効率よく弾性表面波に変換すること
ができる。電気的に短絡状態にするには板面に金属薄膜
を被覆する方法が有効である。
【００１９】本発明の超音波タッチパネルは、入力用超
音波デバイスＡにおいて少なくとも２組のすだれ状電極
Ｐ１およびＰ２を設け、出力用超音波デバイスＢにおい
てすだれ状電極Ｐ１に対応する少なくとも２組のすだれ
状電極Ｑ１およびＱ２（以後Ｑグループと呼ぶ）並びに
すだれ状電極Ｐ２に対応する少なくとも２組のすだれ状
電極Ｒ１およびＲ２（以後Ｒグループと呼ぶ）を設けた
構造を採用している。その上すだれ状電極Ｑ１とＲ１と
を互いに電気的に接続しすだれ状電極Ｑ１およびＲ１
（以後第１グループと呼ぶ）に出力される遅延電気信号
を感知できる構造を採用している。また、すだれ状電極
Ｑ２とＲ２とを互いに電気的に接続しすだれ状電極Ｑ２
およびＲ２（以後第２グループと呼ぶ）に出力される遅
延電気信号を感知できる構造を採用している。このよう
にして回路構成が簡略化される。しかも、すだれ状電極
Ｐ１およびＰ２に交互に電気信号を入力することによ
り、遅延電気信号をＱグループのすだれ状電極およびＲ
グループのすだれ状電極に交互に出力することができ
る。従って、非圧電基板の板面上における弾性表面波の
伝搬路（すなわちすだれ状電極Ｐ１とＱ１との間、Ｐ１
とＱ２との間、Ｐ２とＲ１との間またはＰ２とＲ２との
間）のうちたとえばすだれ状電極Ｐ１とＱ１との間を触
指した場合には、すだれ状電極Ｐ１に電気信号が入力さ
れているときに限って第１グループのすだれ状電極に出
力される遅延電気信号が減衰または消滅し、すだれ状電
極Ｐ２に電気信号が入力されているときには第１グルー
プのすだれ状電極に出力される遅延電気信号は変化しな
い。このようにして触指位置を明確に指定することが可
能になる。
音波デバイスＡにおいて少なくとも２組のすだれ状電極
Ｐ１およびＰ２を設け、出力用超音波デバイスＢにおい
てすだれ状電極Ｐ１に対応する少なくとも２組のすだれ
状電極Ｑ１およびＱ２（以後Ｑグループと呼ぶ）並びに
すだれ状電極Ｐ２に対応する少なくとも２組のすだれ状
電極Ｒ１およびＲ２（以後Ｒグループと呼ぶ）を設けた
構造を採用している。その上すだれ状電極Ｑ１とＲ１と
を互いに電気的に接続しすだれ状電極Ｑ１およびＲ１
（以後第１グループと呼ぶ）に出力される遅延電気信号
を感知できる構造を採用している。また、すだれ状電極
Ｑ２とＲ２とを互いに電気的に接続しすだれ状電極Ｑ２
およびＲ２（以後第２グループと呼ぶ）に出力される遅
延電気信号を感知できる構造を採用している。このよう
にして回路構成が簡略化される。しかも、すだれ状電極
Ｐ１およびＰ２に交互に電気信号を入力することによ
り、遅延電気信号をＱグループのすだれ状電極およびＲ
グループのすだれ状電極に交互に出力することができ
る。従って、非圧電基板の板面上における弾性表面波の
伝搬路（すなわちすだれ状電極Ｐ１とＱ１との間、Ｐ１
とＱ２との間、Ｐ２とＲ１との間またはＰ２とＲ２との
間）のうちたとえばすだれ状電極Ｐ１とＱ１との間を触
指した場合には、すだれ状電極Ｐ１に電気信号が入力さ
れているときに限って第１グループのすだれ状電極に出
力される遅延電気信号が減衰または消滅し、すだれ状電
極Ｐ２に電気信号が入力されているときには第１グルー
プのすだれ状電極に出力される遅延電気信号は変化しな
い。このようにして触指位置を明確に指定することが可
能になる。
【００２０】超音波送受波装置を非圧電基板の一方の板
面に少なくとも２つ設ける構造を採用し、しかも一方の
前記超音波送受波装置における入力用超音波デバイスＡ
と出力用超音波デバイスＢとの間の弾性表面波の伝搬路
と、もう一方の前記超音波送受波装置における入力用超
音波デバイスＡと出力用超音波デバイスＢとの間の弾性
表面波の伝搬路とを互いに直交させる構造を採用するこ
とにより、非圧電基板における触指部分のさらなる特定
ができる。これは超音波送受波装置の数が多い程きめ細
かな特定が可能となる。
面に少なくとも２つ設ける構造を採用し、しかも一方の
前記超音波送受波装置における入力用超音波デバイスＡ
と出力用超音波デバイスＢとの間の弾性表面波の伝搬路
と、もう一方の前記超音波送受波装置における入力用超
音波デバイスＡと出力用超音波デバイスＢとの間の弾性
表面波の伝搬路とを互いに直交させる構造を採用するこ
とにより、非圧電基板における触指部分のさらなる特定
ができる。これは超音波送受波装置の数が多い程きめ細
かな特定が可能となる。
【００２１】
【実施例】図１は本発明の超音波タッチパネルの第１の
実施例を示す平面図である。本実施例は超音波デバイス
１，２，３，４およびガラス基板５から成る。超音波デ
バイス１は圧電磁器薄板６にすだれ状電極Ｔ1およびＴ2
を設けて成る。超音波デバイス２は圧電磁器薄板６にす
だれ状電極Ｔ11およびＴ12を設けて成る。超音波デバイ
ス３は圧電磁器薄板６にすだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，
Ｒ4，Ｒ5，Ｒ6，Ｒ7およびＲ8を設けて成る。超音波デ
バイス４は圧電磁器薄板６にすだれ状電極Ｒ11，Ｒ12，
Ｒ13，Ｒ14，Ｒ15，Ｒ16，Ｒ17およびＲ18を設けて成
る。圧電磁器薄板６は厚さ２３０μｍのＴＤＫ製１０１
Ａ材（製品名）で成る。前記各すだれ状電極はアルミニ
ウム薄膜で成る。ガラス基板５は長さ７０ｍｍ、幅５５
ｍｍ、厚さ１．９ｍｍのパイレックスガラスで成る。圧
電磁器薄板６はガラス基板５上に設けられている。圧電
磁器薄板６は厚さ約２０μｍのエポキシ系樹脂によって
ガラス基板５上に固着されている。前記各すだれ状電極
は電極周期長が８４０μｍで７．５対の電極指を有する
正規型のものである。
実施例を示す平面図である。本実施例は超音波デバイス
１，２，３，４およびガラス基板５から成る。超音波デ
バイス１は圧電磁器薄板６にすだれ状電極Ｔ1およびＴ2
を設けて成る。超音波デバイス２は圧電磁器薄板６にす
だれ状電極Ｔ11およびＴ12を設けて成る。超音波デバイ
ス３は圧電磁器薄板６にすだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，
Ｒ4，Ｒ5，Ｒ6，Ｒ7およびＲ8を設けて成る。超音波デ
バイス４は圧電磁器薄板６にすだれ状電極Ｒ11，Ｒ12，
Ｒ13，Ｒ14，Ｒ15，Ｒ16，Ｒ17およびＲ18を設けて成
る。圧電磁器薄板６は厚さ２３０μｍのＴＤＫ製１０１
Ａ材（製品名）で成る。前記各すだれ状電極はアルミニ
ウム薄膜で成る。ガラス基板５は長さ７０ｍｍ、幅５５
ｍｍ、厚さ１．９ｍｍのパイレックスガラスで成る。圧
電磁器薄板６はガラス基板５上に設けられている。圧電
磁器薄板６は厚さ約２０μｍのエポキシ系樹脂によって
ガラス基板５上に固着されている。前記各すだれ状電極
は電極周期長が８４０μｍで７．５対の電極指を有する
正規型のものである。
【００２２】図２は図１の超音波タッチパネルにおける
超音波デバイス１および３を示す平面図である。超音波
デバイス１と３とは互いに対行している。超音波デバイ
ス２と４との関係も超音波デバイス１と３との関係と同
様である。すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4は入力
用として用いられ、電極交叉幅は１８ｍｍである。すだ
れ状電極Ｒ1〜Ｒ8およびＲ11〜Ｒ18は出力用として用い
られ、電極交叉幅は２．７ｍｍである。すだれ状電極Ｒ
1〜Ｒ4はすだれ状電極Ｔ1に対応し、すだれ状電極Ｒ5〜
Ｒ8はすだれ状電極Ｔ2に対応し、すだれ状電極Ｒ11〜Ｒ
14はすだれ状電極Ｔ3に対応し、すだれ状電極Ｒ15〜Ｒ1
8はすだれ状電極Ｔ4に対応している。
超音波デバイス１および３を示す平面図である。超音波
デバイス１と３とは互いに対行している。超音波デバイ
ス２と４との関係も超音波デバイス１と３との関係と同
様である。すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4は入力
用として用いられ、電極交叉幅は１８ｍｍである。すだ
れ状電極Ｒ1〜Ｒ8およびＲ11〜Ｒ18は出力用として用い
られ、電極交叉幅は２．７ｍｍである。すだれ状電極Ｒ
1〜Ｒ4はすだれ状電極Ｔ1に対応し、すだれ状電極Ｒ5〜
Ｒ8はすだれ状電極Ｔ2に対応し、すだれ状電極Ｒ11〜Ｒ
14はすだれ状電極Ｔ3に対応し、すだれ状電極Ｒ15〜Ｒ1
8はすだれ状電極Ｔ4に対応している。
【００２３】図３は図１の超音波タッチパネルの断面図
であって、入力用超音波デバイスと出力用超音波デバイ
スとの関係を示している。入力用すだれ状電極および出
力用すだれ状電極は圧電磁器薄板６のガラス基板５側に
設けられている。
であって、入力用超音波デバイスと出力用超音波デバイ
スとの関係を示している。入力用すだれ状電極および出
力用すだれ状電極は圧電磁器薄板６のガラス基板５側に
設けられている。
【００２４】図４は図１の超音波タッチパネルをｒｆパ
ルスを用いて駆動する場合の構成図である。図５は図４
の構成図における各部〜における波形図である。図
１の超音波タッチパネルの駆動時、信号発生器によって
発生させた連続波はコンピュータからのクロックパル
ス−１および−２によりそれぞれダブル・バランス
ド・ミキサ（Ｄ．Ｂ．Ｍ）１およびＤ．Ｂ．Ｍ．２でｒ
ｆパルス−１および−２に変調される。Ｄ．Ｂ．
Ｍ．１およびＤ．Ｂ．Ｍ．２はスイッチングの役割を果
たしていて、すだれ状電極Ｔ1およびＴ11（以後Ｔ１グ
ループと呼ぶ）にｒｆパルスを印加するかまたはすだれ
状電極Ｔ2およびＴ12（以後Ｔ２グループと呼ぶ）にｒ
ｆパルスを印加している。Ｔ１グループのすだれ状電極
にｒｆパルスが印加されると、Ｔ１グループのすだれ状
電極の電極周期長にほぼ対応する周波数を有するｒｆパ
ルスのみが弾性表面波に変換されて入力用超音波デバイ
ス１および２の圧電磁器薄板６を伝搬し、さらにガラス
基板５を伝搬する。ガラス基板５を伝搬している弾性表
面波のうち出力用超音波デバイス３のすだれ状電極Ｒ1
〜Ｒ4および出力用超音波デバイス４のすだれ状電極Ｒ1
1〜Ｒ14の示す電極周期長にほぼ等しい波長の弾性表面
波のみが遅延電気信号に変換されてすだれ状電極Ｒ1〜
Ｒ4およびＲ11〜Ｒ14（以後Ｒ１グループと呼ぶ）から
出力される。Ｔ２グループのすだれ状電極にｒｆパルス
が印加されると、Ｔ２グループのすだれ状電極の電極周
期長にほぼ対応する周波数を有するｒｆパルスのみが弾
性表面波に変換されて入力用超音波デバイス１および２
の圧電磁器薄板６を伝搬し、さらにガラス基板５を伝搬
する。ガラス基板５を伝搬している弾性表面波のうち出
力用超音波デバイス３のすだれ状電極Ｒ5〜Ｒ8および出
力用超音波デバイス４のすだれ状電極Ｒ15〜Ｒ18の示す
電極周期長にほぼ等しい波長の弾性表面波のみが遅延電
気信号に変換されてすだれ状電極Ｒ5〜Ｒ8およびＲ15〜
Ｒ18（以後Ｒ２グループと呼ぶ）から出力される。この
ようにして、Ｔ１グループおよびＴ２グループのすだれ
状電極に交互に電気信号を入力することにより、遅延電
気信号をＲ１グループおよびＲ２グループのすだれ状電
極に交互に出力することができる。すだれ状電極Ｒ1と
Ｒ5，Ｒ2とＲ6，Ｒ3とＲ7，Ｒ4とＲ8，Ｒ11とＲ15，Ｒ1
2とＲ16，Ｒ13とＲ17，およびＲ14とＲ18をそれぞれ接
続すれば回路構成が簡略化されるだけでなく、それぞれ
の２組のすだれ状電極Ｒ1とＲ5，Ｒ2とＲ6，Ｒ3とＲ7，
Ｒ4とＲ8，Ｒ11とＲ15，Ｒ12とＲ16，Ｒ13とＲ17，およ
びＲ14とＲ18の遅延電気信号が重複された形で受信さ
れる。従って、Ｔ１グループのすだれ状電極に電気信号
が入力されている場合にガラス基板５を伝搬する弾性表
面波の伝搬路を触指すると、Ｔ１グループのすだれ状電
極に電気信号が入力されているときに限って触指位置に
対応する表面波が減衰する。同様にして、Ｔ２グルー
プのすだれ状電極に電気信号が入力されている場合にガ
ラス基板５に伝搬する弾性表面波の伝搬路を触指する
と、Ｔ２グループのすだれ状電極に電気信号が入力され
ているときに限って触指位置に対応する表面波が減衰す
る。このような遅延信号，およびは増幅、整流
されそれぞれ直流信号，およびになる。ガラス基
板５を触指した場合と触指しない場合に相当する直流電
圧値の間で適切なスレッシュホールド電圧値を設定する
ことにより、コンパレータにおいてデジタル信号が得ら
れる。このデジタル信号はコンピュータにより適切なタ
イミングでパラレル信号としてコンピュータに取り込ま
れる。
ルスを用いて駆動する場合の構成図である。図５は図４
の構成図における各部〜における波形図である。図
１の超音波タッチパネルの駆動時、信号発生器によって
発生させた連続波はコンピュータからのクロックパル
ス−１および−２によりそれぞれダブル・バランス
ド・ミキサ（Ｄ．Ｂ．Ｍ）１およびＤ．Ｂ．Ｍ．２でｒ
ｆパルス−１および−２に変調される。Ｄ．Ｂ．
Ｍ．１およびＤ．Ｂ．Ｍ．２はスイッチングの役割を果
たしていて、すだれ状電極Ｔ1およびＴ11（以後Ｔ１グ
ループと呼ぶ）にｒｆパルスを印加するかまたはすだれ
状電極Ｔ2およびＴ12（以後Ｔ２グループと呼ぶ）にｒ
ｆパルスを印加している。Ｔ１グループのすだれ状電極
にｒｆパルスが印加されると、Ｔ１グループのすだれ状
電極の電極周期長にほぼ対応する周波数を有するｒｆパ
ルスのみが弾性表面波に変換されて入力用超音波デバイ
ス１および２の圧電磁器薄板６を伝搬し、さらにガラス
基板５を伝搬する。ガラス基板５を伝搬している弾性表
面波のうち出力用超音波デバイス３のすだれ状電極Ｒ1
〜Ｒ4および出力用超音波デバイス４のすだれ状電極Ｒ1
1〜Ｒ14の示す電極周期長にほぼ等しい波長の弾性表面
波のみが遅延電気信号に変換されてすだれ状電極Ｒ1〜
Ｒ4およびＲ11〜Ｒ14（以後Ｒ１グループと呼ぶ）から
出力される。Ｔ２グループのすだれ状電極にｒｆパルス
が印加されると、Ｔ２グループのすだれ状電極の電極周
期長にほぼ対応する周波数を有するｒｆパルスのみが弾
性表面波に変換されて入力用超音波デバイス１および２
の圧電磁器薄板６を伝搬し、さらにガラス基板５を伝搬
する。ガラス基板５を伝搬している弾性表面波のうち出
力用超音波デバイス３のすだれ状電極Ｒ5〜Ｒ8および出
力用超音波デバイス４のすだれ状電極Ｒ15〜Ｒ18の示す
電極周期長にほぼ等しい波長の弾性表面波のみが遅延電
気信号に変換されてすだれ状電極Ｒ5〜Ｒ8およびＲ15〜
Ｒ18（以後Ｒ２グループと呼ぶ）から出力される。この
ようにして、Ｔ１グループおよびＴ２グループのすだれ
状電極に交互に電気信号を入力することにより、遅延電
気信号をＲ１グループおよびＲ２グループのすだれ状電
極に交互に出力することができる。すだれ状電極Ｒ1と
Ｒ5，Ｒ2とＲ6，Ｒ3とＲ7，Ｒ4とＲ8，Ｒ11とＲ15，Ｒ1
2とＲ16，Ｒ13とＲ17，およびＲ14とＲ18をそれぞれ接
続すれば回路構成が簡略化されるだけでなく、それぞれ
の２組のすだれ状電極Ｒ1とＲ5，Ｒ2とＲ6，Ｒ3とＲ7，
Ｒ4とＲ8，Ｒ11とＲ15，Ｒ12とＲ16，Ｒ13とＲ17，およ
びＲ14とＲ18の遅延電気信号が重複された形で受信さ
れる。従って、Ｔ１グループのすだれ状電極に電気信号
が入力されている場合にガラス基板５を伝搬する弾性表
面波の伝搬路を触指すると、Ｔ１グループのすだれ状電
極に電気信号が入力されているときに限って触指位置に
対応する表面波が減衰する。同様にして、Ｔ２グルー
プのすだれ状電極に電気信号が入力されている場合にガ
ラス基板５に伝搬する弾性表面波の伝搬路を触指する
と、Ｔ２グループのすだれ状電極に電気信号が入力され
ているときに限って触指位置に対応する表面波が減衰す
る。このような遅延信号，およびは増幅、整流
されそれぞれ直流信号，およびになる。ガラス基
板５を触指した場合と触指しない場合に相当する直流電
圧値の間で適切なスレッシュホールド電圧値を設定する
ことにより、コンパレータにおいてデジタル信号が得ら
れる。このデジタル信号はコンピュータにより適切なタ
イミングでパラレル信号としてコンピュータに取り込ま
れる。
【００２５】図６および図７はすだれ状電極Ｔ1，Ｒ1間
における周波数に対する挿入損失の関係を示す特性図で
ある。ただし図６はガラス基板５上を触指しない場合
を、図７はガラス基板５上を触指した場合を示す。３．
９６ＭＨｚ近傍のピークが１次モードの弾性表面波に対
応している。この１次モードの弾性表面波に注目する
と、挿入損失における触指した場合と触指しない場合と
の差が約１０ｄＢであることが分かる。この挿入損失の
変化はタッチパネルの信号処理を行う上で十分な変化で
ある。
における周波数に対する挿入損失の関係を示す特性図で
ある。ただし図６はガラス基板５上を触指しない場合
を、図７はガラス基板５上を触指した場合を示す。３．
９６ＭＨｚ近傍のピークが１次モードの弾性表面波に対
応している。この１次モードの弾性表面波に注目する
と、挿入損失における触指した場合と触指しない場合と
の差が約１０ｄＢであることが分かる。この挿入損失の
変化はタッチパネルの信号処理を行う上で十分な変化で
ある。
【００２６】図８および図９は３．９６ＭＨｚのｒｆパ
ルスを印加した場合のすだれ状電極Ｔ1，Ｒ1間における
応答特性を示す図である。ただし図８はガラス基板５上
を触指しない場合を、図９はガラス基板５上を触指した
場合を示す。すだれ状電極Ｔ1，Ｒ1間にガラス基板５が
設けられていることから、電磁的直達波もなくスプリア
スも少ない良好な応答特性を示していることが分かる。
従って、信号処理が容易にできる。
ルスを印加した場合のすだれ状電極Ｔ1，Ｒ1間における
応答特性を示す図である。ただし図８はガラス基板５上
を触指しない場合を、図９はガラス基板５上を触指した
場合を示す。すだれ状電極Ｔ1，Ｒ1間にガラス基板５が
設けられていることから、電磁的直達波もなくスプリア
スも少ない良好な応答特性を示していることが分かる。
従って、信号処理が容易にできる。
【００２７】図１０は図１に示す超音波タッチパネルを
遅延線発振器を形成して駆動する場合の構成図である。
入力用すだれ状電極に電気信号が入力されると出力用す
だれ状電極に電気信号が出力され増幅器によって増幅さ
れる。増幅器から出力された電気信号は倍電圧整流器
により直流電圧に変換される。このときガラス基板５
上を触指した場合には発振が停止するか或は触指しない
場合とで直流電圧に差が生じる。スレッシュホールド
電圧を適切な値に設定すれば、触指した場合と触指しな
い場合における直流電圧をコンパレータを使用するこ
とによりそれぞれ２つの所定の値の電圧に設定できる。
この遅延線発振器による方法はパルス発生器が不要であ
ることから装置のさらなる小型化が可能である。
遅延線発振器を形成して駆動する場合の構成図である。
入力用すだれ状電極に電気信号が入力されると出力用す
だれ状電極に電気信号が出力され増幅器によって増幅さ
れる。増幅器から出力された電気信号は倍電圧整流器
により直流電圧に変換される。このときガラス基板５
上を触指した場合には発振が停止するか或は触指しない
場合とで直流電圧に差が生じる。スレッシュホールド
電圧を適切な値に設定すれば、触指した場合と触指しな
い場合における直流電圧をコンパレータを使用するこ
とによりそれぞれ２つの所定の値の電圧に設定できる。
この遅延線発振器による方法はパルス発生器が不要であ
ることから装置のさらなる小型化が可能である。
【００２８】図１１は図１の超音波タッチパネルを伝搬
する弾性表面波の速度分散曲線を示す特性図であり、弾
性表面波の波数ｋと圧電磁器薄板６の厚さｄとの積（ｋ
ｄ）または弾性表面波の波長λに対するｄの割合（ｄ／
λ）に対する各モードの位相速度を示す図である。但
し、圧電磁器薄板６は、圧電磁器薄板６のガラス基板５
と接触する方の板面（ガラス側板面）が電気的に開放状
態にあってもう一方の空気に接触する方の板面（空気側
板面）が電気的に短絡状態にあるものと、圧電磁器薄板
６のガラス側板面と空気側板面とが共に電気的に短絡状
態にあるものである。本実施例においては圧電磁器薄板
６の板面に金属薄膜を被覆することによりその板面を電
気的に短絡状態にしている。本図において“ｓｈｏｒ
ｔ”は短絡状態を、“ｏｐｅｎ”は開放状態であること
を示す。弾性表面波には複数個のモードがある。零次モ
ードは基本レイリー波であり、零次モードはｋｄ値が零
のときガラス基板５のレイリー波速度に一致していて、
ｋｄ値が大きくなるにつれて圧電磁器薄板６のレイリー
波速度に収束している。１次以上のモードではカットオ
フ周波数が存在し、ｋｄ値がそれぞれの最小のときガラ
ス基板５の横波速度に収束している。本図において○印
は実測値を示す。
する弾性表面波の速度分散曲線を示す特性図であり、弾
性表面波の波数ｋと圧電磁器薄板６の厚さｄとの積（ｋ
ｄ）または弾性表面波の波長λに対するｄの割合（ｄ／
λ）に対する各モードの位相速度を示す図である。但
し、圧電磁器薄板６は、圧電磁器薄板６のガラス基板５
と接触する方の板面（ガラス側板面）が電気的に開放状
態にあってもう一方の空気に接触する方の板面（空気側
板面）が電気的に短絡状態にあるものと、圧電磁器薄板
６のガラス側板面と空気側板面とが共に電気的に短絡状
態にあるものである。本実施例においては圧電磁器薄板
６の板面に金属薄膜を被覆することによりその板面を電
気的に短絡状態にしている。本図において“ｓｈｏｒ
ｔ”は短絡状態を、“ｏｐｅｎ”は開放状態であること
を示す。弾性表面波には複数個のモードがある。零次モ
ードは基本レイリー波であり、零次モードはｋｄ値が零
のときガラス基板５のレイリー波速度に一致していて、
ｋｄ値が大きくなるにつれて圧電磁器薄板６のレイリー
波速度に収束している。１次以上のモードではカットオ
フ周波数が存在し、ｋｄ値がそれぞれの最小のときガラ
ス基板５の横波速度に収束している。本図において○印
は実測値を示す。
【００２９】図１２は図１の超音波タッチパネルを伝搬
する弾性表面波の速度分散曲線を示す特性図であり、ｋ
ｄ値またはｄ／λ値に対する各モードの位相速度を示す
図である。但し、圧電磁器薄板６は、圧電磁器薄板６の
ガラス側板面と空気側板面とが共に電気的に開放状態に
あるものと、圧電磁器薄板６のガラス側板面が電気的に
短絡状態にあって空気側板面が電気的に開放状態にある
ものを用いた。零次モードではｆｄ値が零のときガラス
基板５のレイリー波速度に一致していて、ｋｄ値が大き
くなるにつれて圧電磁器薄板６のレイリー波速度に収束
している。１次以上のモードではカットオフ周波数が存
在し、ｋｄ値がそれぞれの最小のときガラス基板５の横
波速度に収束している。本図において○印は実測値を示
す。
する弾性表面波の速度分散曲線を示す特性図であり、ｋ
ｄ値またはｄ／λ値に対する各モードの位相速度を示す
図である。但し、圧電磁器薄板６は、圧電磁器薄板６の
ガラス側板面と空気側板面とが共に電気的に開放状態に
あるものと、圧電磁器薄板６のガラス側板面が電気的に
短絡状態にあって空気側板面が電気的に開放状態にある
ものを用いた。零次モードではｆｄ値が零のときガラス
基板５のレイリー波速度に一致していて、ｋｄ値が大き
くなるにつれて圧電磁器薄板６のレイリー波速度に収束
している。１次以上のモードではカットオフ周波数が存
在し、ｋｄ値がそれぞれの最小のときガラス基板５の横
波速度に収束している。本図において○印は実測値を示
す。
【００３０】図１３は圧電磁器薄板６の異なる２つの電
気的境界条件下での位相速度差から算出した実効的電気
機械結合係数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図であ
る。但し、圧電磁器薄板６は、圧電磁器薄板６のガラス
側板面にすだれ状電極（ＩＤＴ）を設け空気側板面を電
気的に短絡状態にしたものを用いている。高次モードの
ｋ2 は零次モードに比べて大きな値を示す。特に１次モ
ードではｋｄ＝１．８においてｋ2 ＝１７．７％という
最大値を示している。
気的境界条件下での位相速度差から算出した実効的電気
機械結合係数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図であ
る。但し、圧電磁器薄板６は、圧電磁器薄板６のガラス
側板面にすだれ状電極（ＩＤＴ）を設け空気側板面を電
気的に短絡状態にしたものを用いている。高次モードの
ｋ2 は零次モードに比べて大きな値を示す。特に１次モ
ードではｋｄ＝１．８においてｋ2 ＝１７．７％という
最大値を示している。
【００３１】図１４は圧電磁器薄板６の異なる２つの電
気的境界条件下での位相速度差から算出した実効的電気
機械結合係数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図であ
る。但し、圧電磁器薄板６は、圧電磁器薄板６のガラス
側板面にすだれ状電極を設け空気側板面を電気的に開放
状態にしたものを用いている。高次モードのｋ2 は零次
モードに比べて大きな値を示す。
気的境界条件下での位相速度差から算出した実効的電気
機械結合係数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図であ
る。但し、圧電磁器薄板６は、圧電磁器薄板６のガラス
側板面にすだれ状電極を設け空気側板面を電気的に開放
状態にしたものを用いている。高次モードのｋ2 は零次
モードに比べて大きな値を示す。
【００３２】図１５は圧電磁器薄板６の異なる２つの電
気的境界条件下での位相速度差から算出した実効的電気
機械結合係数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図であ
る。但し、圧電磁器薄板６は、圧電磁器薄板６のガラス
側板面を電気的に短絡状態にし空気側板面にすだれ状電
極を設けたものを用いている。
気的境界条件下での位相速度差から算出した実効的電気
機械結合係数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図であ
る。但し、圧電磁器薄板６は、圧電磁器薄板６のガラス
側板面を電気的に短絡状態にし空気側板面にすだれ状電
極を設けたものを用いている。
【００３３】図１６は圧電磁器薄板６の異なる２つの電
気的境界条件下での位相速度差から算出した実効的電気
機械結合係数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図であ
る。但し、圧電磁器薄板６は、圧電磁器薄板６のガラス
側板面を電気的に開放状態にし空気側板面にすだれ状電
極を設けたものを用いている。
気的境界条件下での位相速度差から算出した実効的電気
機械結合係数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図であ
る。但し、圧電磁器薄板６は、圧電磁器薄板６のガラス
側板面を電気的に開放状態にし空気側板面にすだれ状電
極を設けたものを用いている。
【００３４】図１１〜１６より、１次以上のモードでは
図１の超音波タッチパネルを伝搬する弾性表面波の速度
がガラス基板５単体を伝搬する弾性表面波の速度と等し
いときｋ2 が最大値を示すことがわかる。
図１の超音波タッチパネルを伝搬する弾性表面波の速度
がガラス基板５単体を伝搬する弾性表面波の速度と等し
いときｋ2 が最大値を示すことがわかる。
【００３５】図１３〜１６より、圧電磁器薄板６のガラ
ス側板面にすだれ状電極を設け空気側板面を電気的に短
絡状態にした構造においてすだれ状電極に加えられる電
気的エネルギーが弾性表面波に変換される度合が大きく
なることがわかる。
ス側板面にすだれ状電極を設け空気側板面を電気的に短
絡状態にした構造においてすだれ状電極に加えられる電
気的エネルギーが弾性表面波に変換される度合が大きく
なることがわかる。
【００３６】図１に示す超音波タッチパネルにおいてガ
ラス基板５に弾性表面波を励振する場合、圧電磁器薄板
６とガラス基板５との界面で音響インピーダンスの不整
合等によって生じる反射等を考慮する必要がある。反射
係数を最小にする手段としては、超音波タッチパネルに
おける表面波速度とガラス基板５単体の表面波速度とが
等しくなるように超音波タッチパネルを設計すること、
表面波の波長λに対する圧電磁器薄板６の厚さｄの割合
（ｄ／λ）が小さくなるように超音波タッチパネルを設
計すること等が挙げられる。ｄ値が一定である場合には
３次よりは２次、２次よりは１次モードの方が有効であ
る。
ラス基板５に弾性表面波を励振する場合、圧電磁器薄板
６とガラス基板５との界面で音響インピーダンスの不整
合等によって生じる反射等を考慮する必要がある。反射
係数を最小にする手段としては、超音波タッチパネルに
おける表面波速度とガラス基板５単体の表面波速度とが
等しくなるように超音波タッチパネルを設計すること、
表面波の波長λに対する圧電磁器薄板６の厚さｄの割合
（ｄ／λ）が小さくなるように超音波タッチパネルを設
計すること等が挙げられる。ｄ値が一定である場合には
３次よりは２次、２次よりは１次モードの方が有効であ
る。
【００３７】
【発明の効果】本発明の超音波タッチパネルによれば、
入力用超音波デバイスＡのすだれ状電極Ｐから電気信号
を入力する構造を採用することにより、すだれ状電極の
部分に１次モードまたは２次以上のモードの弾性表面波
を励振させることができる。このときこの弾性表面波の
位相速度が非圧電基板単体における弾性表面波の伝搬速
度にほぼ等しくなるような構造を採用することにより、
すだれ状電極Ｐから加えられる電気的エネルギーが弾性
表面波に変換される度合を大きくすることができるだけ
でなく、圧電薄板と非圧電基板との界面での音響インピ
ーダンスの不整合等によって生じる反射等を除去するこ
とができる。このようにして、低消費電力で高電圧を印
加すること無しに効率良く弾性表面波を非圧電基板に励
振することができる。
入力用超音波デバイスＡのすだれ状電極Ｐから電気信号
を入力する構造を採用することにより、すだれ状電極の
部分に１次モードまたは２次以上のモードの弾性表面波
を励振させることができる。このときこの弾性表面波の
位相速度が非圧電基板単体における弾性表面波の伝搬速
度にほぼ等しくなるような構造を採用することにより、
すだれ状電極Ｐから加えられる電気的エネルギーが弾性
表面波に変換される度合を大きくすることができるだけ
でなく、圧電薄板と非圧電基板との界面での音響インピ
ーダンスの不整合等によって生じる反射等を除去するこ
とができる。このようにして、低消費電力で高電圧を印
加すること無しに効率良く弾性表面波を非圧電基板に励
振することができる。
【００３８】本発明の超音波タッチパネルでは、出力用
超音波デバイスＢのすだれ状電極ＱおよびＲそれぞれを
すだれ状電極Ｐに対し弾性表面波の送受波の指向軸が共
通になるよう配置する構造を採用することにより、非圧
電基板に励振されている弾性表面波をすだれ状電極Ｑお
よびＲから電気信号として出力させることができる。従
って、非圧電基板の板面上における弾性表面波の伝搬路
（すなわちすだれ状電極Ｐ，Ｑ間およびＰ，Ｒ間）を触
指することにより非圧電基板に励振されている弾性表面
波が消滅または減衰するから、すだれ状電極ＱまたはＲ
に出力される電気信号も消滅または減衰する。このよう
にして、本発明の超音波タッチパネルは応答時間が短く
感度が良い。
超音波デバイスＢのすだれ状電極ＱおよびＲそれぞれを
すだれ状電極Ｐに対し弾性表面波の送受波の指向軸が共
通になるよう配置する構造を採用することにより、非圧
電基板に励振されている弾性表面波をすだれ状電極Ｑお
よびＲから電気信号として出力させることができる。従
って、非圧電基板の板面上における弾性表面波の伝搬路
（すなわちすだれ状電極Ｐ，Ｑ間およびＰ，Ｒ間）を触
指することにより非圧電基板に励振されている弾性表面
波が消滅または減衰するから、すだれ状電極ＱまたはＲ
に出力される電気信号も消滅または減衰する。このよう
にして、本発明の超音波タッチパネルは応答時間が短く
感度が良い。
【００３９】すだれ状電極の電極周期長すなわち弾性表
面波の波長λに対する圧電薄板の厚さｄの割合（ｄ／
λ）をできるだけ小さくし、すだれ状電極の電極周期長
を１次モードまたは２次以上のモードの弾性表面波の波
長にほぼ等しくする構造を採用することにより、すだれ
状電極から加えられる電気的エネルギーが弾性表面波に
変換される度合を大きくすることができるだけでなく、
圧電薄板と非圧電基板との界面での音響インピーダンス
および場の不整合等によって生じる反射等を除去するこ
とができる。なお、圧電薄板の厚さｄを一定にする構造
を採用するならば、すだれ状電極の電極周期長を３次よ
りは２次、２次よりは１次モードの弾性表面波の波長に
ほぼ等しくする構造を併用することにより効果が増大す
る。
面波の波長λに対する圧電薄板の厚さｄの割合（ｄ／
λ）をできるだけ小さくし、すだれ状電極の電極周期長
を１次モードまたは２次以上のモードの弾性表面波の波
長にほぼ等しくする構造を採用することにより、すだれ
状電極から加えられる電気的エネルギーが弾性表面波に
変換される度合を大きくすることができるだけでなく、
圧電薄板と非圧電基板との界面での音響インピーダンス
および場の不整合等によって生じる反射等を除去するこ
とができる。なお、圧電薄板の厚さｄを一定にする構造
を採用するならば、すだれ状電極の電極周期長を３次よ
りは２次、２次よりは１次モードの弾性表面波の波長に
ほぼ等しくする構造を併用することにより効果が増大す
る。
【００４０】圧電薄板として圧電セラミック、ＰＶＤＦ
その他の高分子圧電フィルムを採用することにより、非
圧電基板に効率よく１次モードまたは２次以上のモード
の弾性表面波を励振することができる。圧電セラミック
はその分極軸の方向を厚さ方向と一致させる構造を採用
することにより、非圧電基板に効率よく１次モードまた
は２次以上のモードの弾性表面波を励振することができ
る。
その他の高分子圧電フィルムを採用することにより、非
圧電基板に効率よく１次モードまたは２次以上のモード
の弾性表面波を励振することができる。圧電セラミック
はその分極軸の方向を厚さ方向と一致させる構造を採用
することにより、非圧電基板に効率よく１次モードまた
は２次以上のモードの弾性表面波を励振することができ
る。
【００４１】すだれ状電極を圧電薄板と非圧電基板との
界面に設け圧電薄板の空気側を電気的に短絡状態にした
構造を採用することにより、すだれ状電極に加えられる
電気的エネルギーを効率よく弾性表面波に変換すること
ができる。電気的に短絡状態にするには板面に金属薄膜
を被覆する方法が有効である。
界面に設け圧電薄板の空気側を電気的に短絡状態にした
構造を採用することにより、すだれ状電極に加えられる
電気的エネルギーを効率よく弾性表面波に変換すること
ができる。電気的に短絡状態にするには板面に金属薄膜
を被覆する方法が有効である。
【００４２】本発明の超音波タッチパネルは、少なくと
も２組のすだれ状電極Ｐ１およびＰ２を備えた入力用超
音波デバイスＡと、すだれ状電極Ｐ１に対応する少なく
とも２組のすだれ状電極Ｑ１およびＱ２（以後Ｑグルー
プと呼ぶ）並びにすだれ状電極Ｐ２に対応する少なくと
も２組のすだれ状電極Ｒ１およびＲ２（以後Ｒグループ
と呼ぶ）を備えた出力用超音波デバイスＢとを含む構造
を採用している。すだれ状電極Ｑ１とＲ１とを互いに電
気的に接続しすだれ状電極Ｑ１およびＲ１（以後第１グ
ループと呼ぶ）に出力される遅延電気信号を感知できる
構造、また同様にしてすだれ状電極Ｑ２とＲ２とを互い
に電気的に接続しすだれ状電極Ｑ２およびＲ２（以後第
２グループと呼ぶ）に出力される遅延電気信号を感知で
きる構造を併用している。このようにして回路構成が簡
略化されるだけでなく、すだれ状電極Ｐ１およびＰ２に
交互に電気信号を入力することにより、遅延電気信号を
Ｑグループのすだれ状電極およびＲグループのすだれ状
電極に交互に出力することができる。従って、弾性表面
波の伝搬路のうちたとえばすだれ状電極Ｐ１，Ｑ１間を
触指した場合には、すだれ状電極Ｐ１に電気信号が入力
されているときに限って第１グループのすだれ状電極に
出力される遅延電気信号が減衰または消滅し、すだれ状
電極Ｐ２に電気信号が入力されているときには第１グル
ープのすだれ状電極に出力される遅延電気信号は変化し
ない。このよにして触指位置を明確に指定することが可
能になる。
も２組のすだれ状電極Ｐ１およびＰ２を備えた入力用超
音波デバイスＡと、すだれ状電極Ｐ１に対応する少なく
とも２組のすだれ状電極Ｑ１およびＱ２（以後Ｑグルー
プと呼ぶ）並びにすだれ状電極Ｐ２に対応する少なくと
も２組のすだれ状電極Ｒ１およびＲ２（以後Ｒグループ
と呼ぶ）を備えた出力用超音波デバイスＢとを含む構造
を採用している。すだれ状電極Ｑ１とＲ１とを互いに電
気的に接続しすだれ状電極Ｑ１およびＲ１（以後第１グ
ループと呼ぶ）に出力される遅延電気信号を感知できる
構造、また同様にしてすだれ状電極Ｑ２とＲ２とを互い
に電気的に接続しすだれ状電極Ｑ２およびＲ２（以後第
２グループと呼ぶ）に出力される遅延電気信号を感知で
きる構造を併用している。このようにして回路構成が簡
略化されるだけでなく、すだれ状電極Ｐ１およびＰ２に
交互に電気信号を入力することにより、遅延電気信号を
Ｑグループのすだれ状電極およびＲグループのすだれ状
電極に交互に出力することができる。従って、弾性表面
波の伝搬路のうちたとえばすだれ状電極Ｐ１，Ｑ１間を
触指した場合には、すだれ状電極Ｐ１に電気信号が入力
されているときに限って第１グループのすだれ状電極に
出力される遅延電気信号が減衰または消滅し、すだれ状
電極Ｐ２に電気信号が入力されているときには第１グル
ープのすだれ状電極に出力される遅延電気信号は変化し
ない。このよにして触指位置を明確に指定することが可
能になる。
【００４３】超音波送受波装置を非圧電基板の一方の板
面に少なくとも２つ設ける構造を採用し、しかも一方の
前記超音波送受波装置における超音波デバイスＡ，Ｂ間
の弾性表面波の伝搬路と、もう一方の前記超音波送受波
装置における超音波デバイスＡ，Ｂ間の弾性表面波の伝
搬路とを互いに直交させる構造を採用することにより、
非圧電基板に触指したことが感知されるばかりでなく、
触指部分の特定ができる。これは超音波送受波装置の数
が多い程きめ細かな特定が可能となる。
面に少なくとも２つ設ける構造を採用し、しかも一方の
前記超音波送受波装置における超音波デバイスＡ，Ｂ間
の弾性表面波の伝搬路と、もう一方の前記超音波送受波
装置における超音波デバイスＡ，Ｂ間の弾性表面波の伝
搬路とを互いに直交させる構造を採用することにより、
非圧電基板に触指したことが感知されるばかりでなく、
触指部分の特定ができる。これは超音波送受波装置の数
が多い程きめ細かな特定が可能となる。
【図１】本発明の超音波タッチパネルの一実施例を示す
平面図。
平面図。
【図２】図１の超音波タッチパネルにおける超音波デバ
イス１および３を示す平面図。
イス１および３を示す平面図。
【図３】図１の超音波タッチパネルの断面図。
【図４】図１の超音波タッチパネルをｒｆパルスを用い
て駆動する場合の構成図。
て駆動する場合の構成図。
【図５】図４の構成図における各部〜における波形
図。
図。
【図６】すだれ状電極Ｔ1，Ｒ1間における周波数に対す
る挿入損失の関係を示す特性図。
る挿入損失の関係を示す特性図。
【図７】すだれ状電極Ｔ1，Ｒ1間における周波数に対す
る挿入損失の関係を示す特性図。
る挿入損失の関係を示す特性図。
【図８】３．９６ＭＨｚのｒｆパルスを印加した場合の
すだれ状電極Ｔ1，Ｒ1間における応答特性を示す図。
すだれ状電極Ｔ1，Ｒ1間における応答特性を示す図。
【図９】３．９６ＭＨｚのｒｆパルスを印加した場合の
すだれ状電極Ｔ1，Ｒ1間における応答特性を示す図。
すだれ状電極Ｔ1，Ｒ1間における応答特性を示す図。
【図１０】図１に示す超音波タッチパネルを遅延線発振
器を形成して駆動する場合の構成図。
器を形成して駆動する場合の構成図。
【図１１】図１の超音波タッチパネルを伝搬する弾性表
面波の速度分散曲線を示す特性図。
面波の速度分散曲線を示す特性図。
【図１２】図１の超音波タッチパネルを伝搬する弾性表
面波の速度分散曲線を示す特性図。
面波の速度分散曲線を示す特性図。
【図１３】圧電磁器薄板１の異なる２つの電気的境界条
件下での位相速度差から算出した実効的電気機械結合係
数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図。
件下での位相速度差から算出した実効的電気機械結合係
数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図。
【図１４】圧電磁器薄板１の異なる２つの電気的境界条
件下での位相速度差から算出した実効的電気機械結合係
数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図。
件下での位相速度差から算出した実効的電気機械結合係
数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図。
【図１５】圧電磁器薄板１の異なる２つの電気的境界条
件下での位相速度差から算出した実効的電気機械結合係
数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図。
件下での位相速度差から算出した実効的電気機械結合係
数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図。
【図１６】圧電磁器薄板１の異なる２つの電気的境界条
件下での位相速度差から算出した実効的電気機械結合係
数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図。
件下での位相速度差から算出した実効的電気機械結合係
数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図。
１，２，３，４ 超音波デバイス ５ ガラス基板 ６ 圧電磁器薄板 Ｔ1，Ｔ2，Ｔ11，Ｔ12 すだれ状電極 Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ4，Ｒ5，Ｒ6，Ｒ7，Ｒ8 すだれ状
電極 Ｒ11，Ｒ12，Ｒ13，Ｒ14，Ｒ15，Ｒ16，Ｒ17，Ｒ18 す
だれ状電極
電極 Ｒ11，Ｒ12，Ｒ13，Ｒ14，Ｒ15，Ｒ16，Ｒ17，Ｒ18 す
だれ状電極
Claims (9)
- 【請求項１】 入力用超音波デバイスＡおよび出力用超
音波デバイスＢで成る超音波送受波装置を非圧電基板の
一方の板面上に少なくとも１つ設けて成る超音波タッチ
パネルにおいて、 前記入力用超音波デバイスＡは圧電薄板ａに少なくとも
１組のすだれ状電極Ｐを備えて成り、前記出力用超音波
デバイスＢは圧電薄板ｂに前記すだれ状電極Ｐに対応す
る少なくとも２組のすだれ状電極ＱおよびＲを備えて成
り、 前記すだれ状電極Ｐの電極交叉幅は前記すだれ状電極Ｑ
の電極指の長さと前記すだれ状電極Ｒの電極指の長さと
の合計とほぼ等しく、 前記すだれ状電極Ｐに電気信号を入力し前記非圧電基板
の前記一方の板面に弾性表面波を励振する手段と、前記
非圧電基板に励振された該弾性表面波に応じて前記すだ
れ状電極ＱおよびＲに現れる電気信号を出力する手段と
が設けてあり、 前記非圧電基板の前記一方の板面における前記弾性表面
波の伝搬路の一部に人指または物体が接触したことを、
前記すだれ状電極ＱまたはＲに出力される前記電気信号
の大きさから感知することを特徴とする超音波タッチパ
ネル。 - 【請求項２】 前記圧電薄板ａの厚さは前記すだれ状電
極Ｐの電極周期長以下であり、前記圧電薄板ｂの厚さは
前記すだれ状電極ＱまたはＲの電極周期長以下であっ
て、 前記すだれ状電極Ｐ，ＱまたはＲの電極周期長は１次モ
ードまたは２次以上のモードの弾性表面波の波長にほぼ
等しいことを特徴とする請求項１に記載の超音波タッチ
パネル。 - 【請求項３】 前記１次モードまたは２次以上の前記モ
ードの弾性表面波の位相速度は前記非圧電基板単体に励
振される弾性表面波の伝搬速度にほぼ等しいことを特徴
とする請求項２に記載の超音波タッチパネル。 - 【請求項４】 前記圧電薄板ａまたはｂが圧電セラミッ
クで成り、該圧電セラミックの分極軸の方向は該圧電セ
ラミックの厚さ方向と平行であることを特徴とする請求
項１，２または３に記載の超音波タッチパネル。 - 【請求項５】 前記圧電薄板ａまたはｂがＰＶＤＦその
他の高分子圧電フィルムで成ることを特徴とする請求項
１，２または３に記載の超音波タッチパネル。 - 【請求項６】 前記圧電薄板ａまたはｂは前記すだれ状
電極Ｐ，ＱまたはＲが設けられている方の板面を介して
前記非圧電基板に固着されていることを特徴とする請求
項１，２，３，４または５に記載の超音波タッチパネ
ル。 - 【請求項７】 前記圧電薄板ａまたはｂの板面のうちで
前記すだれ状電極ＰまたはＱ若しくはＲがそれぞれ設け
られていない方の板面はそれぞれ金属薄膜で被覆されて
いることを特徴とする請求項６に記載の超音波タッチパ
ネル。 - 【請求項８】 前記入力用超音波デバイスＡは少なくと
も２組のすだれ状電極Ｐ１およびＰ２を備え、前記出力
用超音波デバイスＢは少なくとも４組のすだれ状電極Ｑ
１，Ｑ２，Ｒ１およびＲ２を備えていて、前記すだれ状
電極Ｑ１およびＱ２は前記すだれ状電極Ｐ１に対応し、
前記すだれ状電極Ｒ１およびＲ２は前記すだれ状電極Ｐ
２に対応しており、 前記すだれ状電極Ｑ１の出力端および前記すだれ状電極
Ｒ１の出力端は互いに電気的に接続点Ｎ１で接続されて
おり、前記すだれ状電極Ｑ２の出力端および前記すだれ
状電極Ｒ２の出力端は互いに電気的に接続点Ｎ２で接続
されており、 前記すだれ状電極Ｐ１およびＰ２に電気信号を入力する
手段は、スイッチＳ１およびスイッチＳ２を設け該スイ
ッチＳ１の出力端および該スイッチＳ２の出力端を交互
に所定の周期でそれぞれ前記すだれ状電極Ｐ１およびＰ
２に電気的に接続するスイッチ制御手段を含み、 前記非圧電基板における弾性表面波の伝搬路の一部に人
指または物体が接触したことを、前記接続点Ｎ１および
前記接続点Ｎ２に現れる電気信号の大きさから感知する
ことを特徴とする請求項１から７までに記載の超音波タ
ッチパネル。 - 【請求項９】 前記超音波送受波装置が前記非圧電基板
の前記一方の板面に少なくとも２つ設けてあり、 一方の前記超音波送受波装置における前記超音波デバイ
スＡ，Ｂ間の弾性表面波の伝搬路と、もう一方の前記超
音波送受波装置における前記超音波デバイスＡ，Ｂ間の
弾性表面波の伝搬路とが互いに直交していることを特徴
とする請求項１から８までに記載の超音波タッチパネ
ル。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25415192A JPH0675688A (ja) | 1992-08-27 | 1992-08-27 | 超音波タッチパネル |
| US08/374,599 US5717434A (en) | 1992-07-24 | 1993-07-23 | Ultrasonic touch system |
| AU45851/93A AU4585193A (en) | 1992-07-24 | 1993-07-23 | Ultrasonic touch system |
| EP93916211A EP0651902A1 (en) | 1992-07-24 | 1993-07-23 | Ultrasonic touch system |
| PCT/JP1993/001028 WO1994002911A1 (en) | 1992-07-24 | 1993-07-23 | Ultrasonic touch system |
| TW83100428A TW230855B (ja) | 1992-07-24 | 1994-01-19 | |
| CN94100323A CN1092918A (zh) | 1992-07-24 | 1994-01-22 | 超声波触摸系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25415192A JPH0675688A (ja) | 1992-08-27 | 1992-08-27 | 超音波タッチパネル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0675688A true JPH0675688A (ja) | 1994-03-18 |
Family
ID=17260938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25415192A Pending JPH0675688A (ja) | 1992-07-24 | 1992-08-27 | 超音波タッチパネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0675688A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030039654A (ko) * | 2001-11-14 | 2003-05-22 | 주식회사 에이터치 | 터치 패널 전극 구조 |
| US6762753B2 (en) | 2000-12-01 | 2004-07-13 | Fujitsu Limited | Touch panel device |
| KR100542798B1 (ko) * | 1997-05-14 | 2006-03-23 | 터치 패널 시스템즈 코포레이션 | 음향파방식터치패널 |
| US7184029B2 (en) | 2002-11-19 | 2007-02-27 | Fujitsu Limited | Touch panel device |
| US7230612B2 (en) | 2002-06-24 | 2007-06-12 | Fujitsu Limited | Touch panel device |
| US7324096B2 (en) | 2000-05-22 | 2008-01-29 | Fujitsu Limited | Touch panel device |
| US7559353B2 (en) | 2006-03-20 | 2009-07-14 | Aleris Aluminum Koblenz Gmbh | Distributor for use in a method of casting hot metal |
-
1992
- 1992-08-27 JP JP25415192A patent/JPH0675688A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100542798B1 (ko) * | 1997-05-14 | 2006-03-23 | 터치 패널 시스템즈 코포레이션 | 음향파방식터치패널 |
| US7324096B2 (en) | 2000-05-22 | 2008-01-29 | Fujitsu Limited | Touch panel device |
| US7705836B2 (en) | 2000-05-22 | 2010-04-27 | Fujitsu Limited | Touch panel device |
| US6762753B2 (en) | 2000-12-01 | 2004-07-13 | Fujitsu Limited | Touch panel device |
| KR20030039654A (ko) * | 2001-11-14 | 2003-05-22 | 주식회사 에이터치 | 터치 패널 전극 구조 |
| US7230612B2 (en) | 2002-06-24 | 2007-06-12 | Fujitsu Limited | Touch panel device |
| US7932900B2 (en) | 2002-06-24 | 2011-04-26 | Fujitsu Limited | Touch panel device |
| US7184029B2 (en) | 2002-11-19 | 2007-02-27 | Fujitsu Limited | Touch panel device |
| US7559353B2 (en) | 2006-03-20 | 2009-07-14 | Aleris Aluminum Koblenz Gmbh | Distributor for use in a method of casting hot metal |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5717434A (en) | Ultrasonic touch system | |
| US4162465A (en) | Surface acoustic wave device with reflection suppression | |
| US5994817A (en) | Ultrasonic touch-position sensing device | |
| JPH0675688A (ja) | 超音波タッチパネル | |
| JPH09205337A (ja) | 表面波装置 | |
| US4370633A (en) | Acoustic wave bandpass electrical filters | |
| Heighway et al. | Balanced bridge SAW impedance element filters | |
| KR100221230B1 (ko) | 자유단선 반사형 표면 음향파 장치 | |
| JPH0675689A (ja) | 超音波タッチパネル | |
| JPH0643995A (ja) | 超音波タッチパネル | |
| JP3959533B2 (ja) | 超音波タッチパネル | |
| GB2097212A (en) | Acoustic wave bandpass electrical filters | |
| JP3867256B2 (ja) | 超音波タッチパネル | |
| JPH0643996A (ja) | 超音波タッチパネル | |
| JP3245688B2 (ja) | 超音波トランスデューサ | |
| JPH06149459A (ja) | 超音波タッチパネル | |
| GB2029148A (en) | Surface wave devices | |
| JP3488980B2 (ja) | 超音波タッチパネル | |
| JPH06149456A (ja) | パネルゲーム装置 | |
| JPH06149457A (ja) | パネルゲーム装置 | |
| RU2195069C1 (ru) | Однонаправленный преобразователь поверхностных акустических волн | |
| JPH1055240A (ja) | 超音波タッチパネル | |
| JP4026031B2 (ja) | 超音波タッチパネル | |
| JP4026030B2 (ja) | 超音波タッチパネル | |
| JPH06149454A (ja) | パネル書き込み装置 |